为薄片样本制备自动选择感兴趣结构的制作方法

背景技术：

1、显微术是利用显微镜更好地观察裸眼难以看到的物体的技术领域。显微术的一个分支(称为带电粒子(例如，电子和/或离子)显微术)涉及使用加速带电粒子束作为照明源。带电粒子显微术的类型包括例如透射电子显微术(tem)、扫描电子显微术(sem)、扫描透射电子显微术和离子束显微术。薄片样本与tem显微镜一起使用，它是薄层、膜或组织板。薄片样本在带电粒子显微镜(诸如，包括来自感兴趣结构(例如，细胞、微晶电子衍射(microed)晶体等)的sem柱和离子束柱的双射束显微镜)上制备，并且被放置在电子显微术网格上。在某些情况下，使用低温薄片样本，其包括通过快速冷冻玻璃化的样本。

技术实现思路

技术特征：

1.一种用于带电粒子显微镜的支持装置，所述支持装置包括：

2.根据权利要求1所述的支持装置，其中，所述第一逻辑、所述第二逻辑和所述第三逻辑由公共计算设备实现。

3.根据权利要求1所述的支持装置，其中，在所述带电粒子显微镜中实现所述第一逻辑、所述第二逻辑和所述第三逻辑中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的支持装置，其中，所述第一逻辑还被配置为：

5.根据权利要求1所述的支持装置，其中，所述多个分割类别包括选自由多个感兴趣结构、多个网格方块、多个裂缝、多个污染物和背景组成的组的至少一个。

6.根据权利要求5所述的支持装置，其中，所述第二逻辑还被配置为：

7.根据权利要求6所述的支持装置，其中，所述第二逻辑还被配置为：

8.根据权利要求6所述的支持装置，其中，所述第二逻辑还被配置为：

9.根据权利要求1所述的支持装置，其中，所述第三逻辑还被配置为：

10.根据权利要求1所述的支持装置，其中，所述第三逻辑还被配置为：

11.一种通过计算设备执行的用于提供科学仪器支持的自动方法，所述方法包括：

12.根据权利要求11所述的方法，还包括：

13.根据权利要求12所述的方法，还包括：

14.根据权利要求12所述的方法，其中，所述多个分割类别还包括网格边缘，并且所述方法还包括：

15.根据权利要求12所述的方法，还包括：

16.根据权利要求12所述的方法，其中，选择所选择的用于铣削的感兴趣结构包括：

17.根据权利要求12所述的方法，还包括：

18.根据权利要求12所述的方法，其中，应用自动图像处理来分割所述图像包括利用使用薄片样本的多个注释图像训练的卷积神经网络来处理所述图像。

19.一种或多种非暂时性计算机可读介质，在其上具有指令，所述指令当由科学仪器支持装置的一个或多个处理设备执行时，使所述科学仪器支持装置执行权利要求11所述的方法。

20.一种带电粒子显微镜，包括：

技术总结
本发明涉及为薄片样本制备自动选择感兴趣结构。本文公开的是科学仪器支持系统以及相关方法、计算设备和计算机可读介质。例如，在一些实施例中，为带电粒子显微镜提供支撑装置。支撑装置被配置为将自动图像处理应用于表示薄片样本的图像以将该图像分割成多个分割类别。支持装置还被配置为基于多个分割类别识别薄片样本中的候选感兴趣结构的子集，并且从薄片样本中的候选感兴趣结构的子集中选择所选择的用于铣削的感兴趣结构。支持装置还被配置为基于所选择的用于铣削的感兴趣结构来设置用于科学仪器的至少一个铣削参数。还提供了一种通过计算设备执行的用于提供此类科学仪器支持的自动方法。

技术研发人员：雷迪姆·科里兹,马特伊·多尔尼克,马尔科·弗拉贝尔
受保护的技术使用者：FEI公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15