显示装置的制作方法

本公开在本文中涉及显示装置及其制造方法，并且更具体地，涉及通过防止金属腐蚀而具有改善的可靠性的显示装置。

背景技术：

1、向使用者提供图像的电子设备(比如智能电话、数字照相机、膝上型计算机、导航单元和电视)包括用于显示图像的显示装置。显示装置可包括用于生成和显示图像的显示面板和输入装置(比如键盘、鼠标或输入感测单元)。

2、输入感测单元设置在显示面板上，并且当使用者触摸输入感测单元(比如触摸面板)时，生成输入信号。从触摸面板生成的输入信号被提供给显示面板，并且响应于从触摸面板提供的输入信号，显示面板可向使用者提供与输入信号对应的图像。

技术实现思路

1、本公开提供通过防止包括在输入感测单元中的电极和布线的腐蚀而具有改善的可靠性的显示装置。

2、本发明的实施方式提供显示装置，该显示装置包括：显示面板，包括显示区和非显示区；以及输入感测单元，设置在显示面板上，其中输入感测单元包括设置在显示面板上的第一感测绝缘层和设置在第一感测绝缘层上的第一感测导电层，并且第一感测绝缘层具有约0.69至约0.85的氮(n)与硅(si)的原子比。

3、在实施方式中，第一感测绝缘层可包括氮化硅和氮氧化硅中的至少一种。

4、在实施方式中，输入感测单元包括非弯曲区和从非弯曲区延伸并且具有预定曲率半径的弯曲区，第一感测绝缘层包括设置在弯曲区中的弯曲感测绝缘层和设置在非弯曲区中的非弯曲感测绝缘层，并且弯曲感测绝缘层具有约0.69至约0.85的氮(n)与硅(si)的原子比。

5、在实施方式中，显示装置可进一步包括设置在输入感测单元上的弯曲保护层，其中弯曲保护层与弯曲区重叠，并且可覆盖输入感测单元的一部分。

6、在实施方式中，显示面板可包括：显示元件层，包括多个发光元件；和封装层，配置为封装显示元件层，并且输入感测单元可直接设置在封装层上。

7、在实施方式中，封装层可包括设置在显示元件层上的第一无机层、设置在第一无机层上的有机层和设置在有机层上的第二无机层，并且输入感测单元可直接设置在第二无机层上。

8、在实施方式中，第一感测绝缘层可具有约2克/立方厘米(g/cm3)至约2.2g/cm3的膜密度。

9、在实施方式中，第一感测绝缘层可具有约-250兆帕(mpa)至约-100mpa的残余应力。

10、在实施方式中，第一感测绝缘层可具有约1.75至约1.95的折射率。

11、在实施方式中，输入感测单元可进一步包括：设置在第一感测绝缘层上并且配置为覆盖第一感测导电层的第二感测绝缘层；以及设置在第二感测绝缘层上的第二感测导电层。

12、在实施方式中，第二感测绝缘层可包括氧化铝、氧化钛、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化锆和氧化铪中的至少一种。

13、在实施方式中，输入感测单元可进一步包括设置在第二感测绝缘层上并且配置为覆盖第二感测导电层的第三感测绝缘层，并且第三感测绝缘层可包括有机材料。

14、在实施方式中，电极接触孔(其暴露第一感测导电层的至少一部分并且与显示区重叠)可限定在第二感测绝缘层中，并且第二感测导电层可通过电极接触孔电连接至第一感测导电层。

15、在实施方式中，输入感测单元可包括：多个感测图案，与显示区重叠并且布置成多个行和多个列；多个感测焊盘，与非显示区重叠；以及多条感测布线，以一对一的方式连接至多个感测焊盘，使得多条感测布线电连接多个感测图案和多个感测焊盘，其中多个感测图案包括在第一感测导电层和第二感测导电层中的至少一个中。

16、在实施方式中，暴露多个感测焊盘中的至少一部分的焊盘接触孔可限定在第二感测绝缘层中，并且感测布线可通过焊盘接触孔电连接至多个感测焊盘。

17、在本发明的实施方式中，显示装置包括：显示面板，包括显示区；以及输入感测单元，设置在显示面板上，其中输入感测单元包括多个感测绝缘层和设置在多个感测绝缘层中的任何一个上的至少一个感测导电层，并且多个感测绝缘层中的至少一个具有约0.69至约0.85的氮(n)与硅(si)的原子比。

18、在本发明的实施方式中，制造显示装置的方法包括：在显示面板上形成第一感测绝缘层；在第一感测绝缘层上形成第一感测导电层；形成设置在第一感测绝缘层上并且配置为覆盖第一感测导电层的第二感测绝缘层；以及形成设置在第二感测绝缘层上的第二感测导电层，其中第一感测绝缘层具有约0.69至约0.85的氮(n)与硅(si)的原子比。

19、在实施方式中，第一感测绝缘层的形成可通过沉积工艺进行，并且第一感测绝缘层的形成可在约70℃至约100℃的温度下进行。

技术特征：

1.一种显示装置，包括：

2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一感测绝缘层包括氮化硅和氮氧化硅中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的显示装置，其中，

4.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一感测绝缘层具有2g/cm3至2.2g/cm3的膜密度。

5.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一感测绝缘层具有-250mpa至-100mpa的残余应力。

6.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一感测绝缘层具有1.75至1.95的折射率。

7.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述输入感测单元进一步包括：

8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述第二感测绝缘层包括氧化铝、氧化钛、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化锆和氧化铪中的至少一种。

9.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述输入感测单元进一步包括设置在所述第二感测绝缘层上并且配置为覆盖所述第二感测导电层的第三感测绝缘层。

10.根据权利要求9所述的显示装置，其中，所述第三感测绝缘层包括有机材料。

技术总结
本申请涉及显示装置。根据实施方式的显示装置包括：显示面板，包括显示区和非显示区；以及输入感测单元，设置在显示面板上，其中输入感测单元包括设置在显示面板上的第一感测绝缘层和设置在第一感测绝缘层上的第一感测导电层，并且第一感测绝缘层具有约0.69至约0.85的氮(N)与硅(Si)的原子比。因此，可防止当输入感测单元被驱动时由于电场引起的电极和布线的腐蚀。因此，可改善显示装置的可靠性。

技术研发人员：李弘范,卢大铉,全昭律,郑真昊,金东郁,金珍镐,金惠镇,林亨哲
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15