基于智能化并行数据引擎的晶圆派工策略查询方法和设备与流程

本申请涉及制造半导体器件的方法和设备，尤其涉及一种基于智能化并行数据引擎的晶圆派工策略查询方法和设备。

背景技术：

1、芯片制造以其复杂的工艺著称，成品前需要几百道工序，生产时有特定机台限制、制程间的时间限制、上下游均衡等众多约束，此外厂内往往多达几百个交期订单量不一的产品、上万个晶圆批次等待生产。

2、面对此，芯片厂往往通过实时派工系统(rtd)来实现调度派工，所述实时意味着派工系统需对工厂进行全方位细节把控，与场内mes、mcs、eap等系统实时互动，随之产生的是海量数据，工业化4.0时代的到来进一步增加了晶圆厂的数据量，实时派工系统每秒需处理多达千笔数据，数据读取能力会影响系统的响应速度，是判断实时派工系统性能的关键指标之一。

3、然而目前的实时派工系统在数据读取方面差强人意，容易卡顿，无法提供最优的派工服务，进而制约晶圆厂产能的进一步提高。如何提高目前实时派工系统的数据读取能力对晶圆厂意义非凡。

技术实现思路

1、本申请的一个目的是提供一种智能化并行数据引擎的晶圆派工策略查询方法和设备，至少用以解决数据读取慢、性能不稳定导致派工效率低下的技术问题。

2、为实现上述目的，本申请的一些实施例提供了以下几个方面：

3、第一方面，本申请提供了一种智能化并行数据引擎的晶圆派工策略查询方法，包括：

4、解析待查询的晶圆派工策略，得到所述派工策略所需的字段；

5、将所述字段作为节点，根据字段间的依赖关系生成节点依赖图；

6、按照字段间的依赖层级将各节点分批次，按照层级由浅入深的顺序根据每批次的节点生成任务并执行，直到所有批次节点处理完成；

7、反馈最终的查询结果。

8、可选的，所述解析待查询的晶圆派工策略，得到所述派工策略所需的字段，包括：

9、获取所述待查询的晶圆派工策略对应的至少一个模型；

10、根据所述派工策略的内容从所述至少一个模型中提取所需的字段。

11、可选的，在根据字段间的依赖关系生成节点依赖图之后还包括：

12、判断所述节点依赖图是否为有向无环图；

13、如果是有向无环图继续执行下一步，如果不是有向无环图则报错。

14、可选的，所述方法还包括：

15、如果是有向无环图，标记所有的节点为未准备状态；

16、所述按照层级由浅入深的顺序根据每批次的节点生成任务并执行，包括：

17、查询本批次的各节点；

18、对于本批次的任一节点，如果所述节点的上级依赖节点的状态均为准备状态，生成任务并执行；更新本批次的各节点状态为准备状态；

19、判断所有节点是否均为准备状态；如果否，查询下一批次的节点并返回生成任务并执行的操作，如果是，则执行反馈最终的查询结果的操作；

20、如果本批次的部分任务执行失败，则将失败任务在下一批次处理时重新生成任务并执行。

21、可选的，查询下一批次的节点并返回生成任务并执行的操作包括：

22、判断下一批次是否达到设定阈值；

23、如果是则报错；如果否则返回生成任务并执行的操作。

24、可选的，所述生成任务并执行，包括：

25、将任务分成io型任务和cpu型任务执行；

26、同一批次的任务互相没有依赖关系，并行执行。

27、可选的，所述io型任务使用第一线程池并行执行，所述cpu型任务使用第二线程池并行执行；所述第一线程池的线程数量大于所述第二线程池。

28、可选的，所述生成任务并执行，包括：

29、同一类型的任务中，能够通过一次查询获取的节点生成同一个任务并执行。

30、可选的，在按照层级由浅入深的顺序根据每批次的节点生成任务并执行之后还包括：

31、将执行结果回写上下文。

32、第二方面，本申请提供了一种电子设备，包括：存储器和处理器；

33、其中，在所述存储器中存储有一个或多个计算机程序，所述一个或多个计算机程序包括指令；当所述指令被所述处理器执行时，使得所述电子设备执行任一项智能化并行数据引擎的晶圆派工策略查询方法。

34、相较于现有技术，本发明为智能调度提供一种优化方案——智能化并行数据引擎，根据调度规则分析所用字段并根据其关系生成节点依赖图，进一步根据依赖关系配置聚合生成任务，同类型任务通过并行查询一次获取，将任务分为io型任务和cpu型任务，利用线程池并行执行。本发明的应用将大大提升派工系统数据读取效率，解决目前派工系统面对海量数据时读取速度慢、容易卡顿、性能不稳定的问题。数据读取能力的提升可以确保派工系统进一步实现实时、精确派工，提升系统稳定性，优化派工系统品质，最终提高派工效率，实现产能最大化。

技术特征：

1.一种智能化并行数据引擎的晶圆派工策略查询方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的，其特征在于，所述解析待查询的晶圆派工策略，得到所述派工策略所需的字段，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据字段间的依赖关系生成节点依赖图之后还包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，查询下一批次的节点并返回生成任务并执行的操作包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述生成任务并执行，包括：

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述io型任务使用第一线程池并行执行，所述cpu型任务使用第二线程池并行执行；所述第一线程池的线程数量大于所述第二线程池。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在，所述生成任务并执行，包括：

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在按照层级由浅入深的顺序根据每批次的节点生成任务并执行之后还包括：

10.一种电子设备，其特征在于，包括：存储器和处理器；

技术总结
本申请提供了一种智能化并行数据引擎的晶圆派工策略查询方法和设备，提出了智能化并行数据引擎，根据调度规则分析所用字段并根据其关系生成节点依赖图，进一步根据依赖关系配置聚合生成任务，同类型任务通过并行查询一次获取，将任务分为IO型任务和CPU型任务，利用线程池并行执行。本发明的应用将大大提升派工系统数据读取效率，解决目前派工系统面对海量数据时读取速度慢、容易卡顿、性能不稳定的问题。数据读取能力的提升可以确保派工系统进一步实现实时、精确派工，提升系统稳定性，优化派工系统品质，最终提高派工效率，实现产能最大化。

技术研发人员：杨哲
受保护的技术使用者：上海朋熙半导体有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15