一种自动化提参过程中参数有效值控制方法及系统与流程

本发明属于芯片制造，尤其涉及一种自动化提参过程中参数有效值控制方法及系统。

背景技术：

1、在半导体集成电路的生产过程中，器件模型参数的提取是一个很重要的环节。目前用来提取半导体器件模型参数的方法很多，其中最普遍的是基于偏微分计算的最小二乘法、牛顿迭代法和麦夸脱算法等，这些方法都是利用求得函数在连续区间极小值的方法来获得器件模型参数的。在模型提参中，参数有效值才是参数的物理表现，如何控制有效值在指定范围内，会大大影响模型质量，但随着模型版本提升，有效值公式越来越复杂，需要考虑温度效应，参数依赖等。因此，自动化提参时，如何保证在有效值范围内找到最佳的参数组合，并且不牺牲过多软件性能，是亟待解决的技术难题。最佳参数组合值目标函数(如rms误差)最小。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本发明的目的是提供一种自动化提参过程中参数有效值控制方法及系统，避免将过于复杂的参数有效值公式带入优化控制过程中，在有效值范围内，能够在不牺牲过多软件性能的前提下找到最佳参数组合。

2、本发明提供的技术方案为：一种自动化提参过程中参数有效值控制方法，包括以下步骤：获取器件目标参数的原值，其中自动化提参之前，所述器件目标及其依赖参数的有效值原值处于预定范围之内；当器件目标参数更新时，通过预设算法对器件有效值更新的当前值进行预设处理；将进行处理后的当前值更新至所述器件的有效值范围内。

3、优选的，获取器件有效值参数的原值，进一步需要获取检测的尺寸：获取器件的边角尺寸：[lmin，wmin，tmin]、[lmax，wwmin，tmin]、[lmin，wmax，tmin]、[lmax，wmax，tmin]、[lmin，wmin，tmax]、[lmax，wmin，tmax]、[lmin，wmax，tmax]、[lmax，wmax，tmax]，l代表长度，w代表宽度，t代表温度；其中，有效值参数随着长度、宽度、温度单调。

4、优选的，通过预设算法对目标参数更新时，处理目标参数进而保证目标参数及其依赖参数有效值在范围内进一步包括：判断所述当前值是否处于与原值相同的预定范围之内，若是则不作处理，若不是，则采用二分法，将当前值和原值的平均值替换所述当前值。

5、优选的，所述方法还包括：当在求导时不检查有效值参数；当目标参数存在依赖参数的情况下，检查有效值是否越界时，对所有依赖参数对应的有效值也进行检测。

6、优选的，当所述器件目标参数为k0时，所述k0的预定范围设置为[0,0.4]。

7、优选的，所述器件目标参数、检查范围及模型版本可以通过用户自定义。

8、优选的，所述方法还包括在获取器件有效值参数的原值之前，对自动化提参所涉及到的器件所有的目标参数设定预定范围。

9、基于相同的构思，本发明还提供一种自动化提参过程中参数有效值控制系统，包括：获取模块，用于获取器件目标参数的原值，其中自动化提参之前，所述器件目标及其依赖参数的有效值原值处于预定范围之内；预处理模块，用于当器件目标参数更新时，通过预设算法对器件有效值更新的当前值进行预设处理；更新执行模块，用于将进行处理后的当前值更新至所述器件的有效值范围内。

10、基于相同的构思，本发明还提供一种电子设备，其特征在于，包括：存储器，所述存储器用于存储处理程序；处理器，所述处理器执行所述处理程序时实现上述任意一项所述的自动化提参过程中参数有效值控制方法。

11、基于相同的构思，本发明还提供一种可读存储介质，其特征在于，所述可读存储介质上存储有处理程序，所述处理程序被处理器执行时实现上述任意一项所述的自动化提参过程中参数有效值控制方法。

12、本发明由于采用以上技术方案，使其与现有技术相比具有以下的优点和积极效果：

13、1、本发明所提供的技术方案中，在自动化提参过程中，当器件参数有效值更新时，通过预设的算法对更新的当前值进行预处理，从而使得无论任何时候器件参数有效值进行更新时都进行预设处理以使得更新值能够始终满足要求，在有效值更新环节做到更优的控制的情况下，从而提高自动化提参整体的精度。同时避免将过于复杂的参数有效值公式带入优化控制过程中，在有效值范围内，能够在不牺牲过多软件性能的前提下找到最佳参数组合。

14、2、本发明提供的技术方案中，获取器件有效值参数的原值具体采用的是获取器件的边角尺寸，只检测边角尺寸能够减少运行软件的硬件开销，从而提升自动化提参的性能。

技术特征：

1.一种自动化提参过程中参数有效值控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的自动化提参过程中参数有效值控制方法，其特征在于，获取器件有效值参数的原值，进一步需要获取检测的尺寸：

3.根据权利要求1所述的自动化提参过程中参数有效值控制方法，其特征在于，通过预设算法对目标参数更新时，处理目标参数进而保证目标参数及其依赖参数有效值在范围内进一步包括：

4.根据权利要求3所述的自动化提参过程中参数有效值控制方法，其特征在于，所述方法还包括：当在求导时不检查有效值参数；当目标参数存在依赖参数的情况下，检查有效值是否越界时，对所有依赖参数对应的有效值也进行检测。

5.根据权利要求1所述的自动化提参过程中参数有效值控制方法，其特征在于，当所述器件目标参数为k0时，所述k0的预定范围设置为[0,0.4]。

6.根据权利要求1所述的自动化提参过程中参数有效值控制方法，其特征在于，所述器件目标参数、检查范围及模型版本可以通过用户自定义。

7.根据权利要求6所述的自动化提参过程中参数有效值控制方法，其特征在于，所述方法还包括在获取器件有效值参数的原值之前，对自动化提参所涉及到的器件所有的目标参数设定预定范围。

8.一种自动化提参过程中参数有效值控制系统，其特征在于，包括：

9.一种电子设备，其特征在于，包括：

10.一种可读存储介质，其特征在于，所述可读存储介质上存储有处理程序，所述处理程序被处理器执行时实现如权利要求1至7中任意一项所述的自动化提参过程中参数有效值控制方法。

技术总结
本发明公开一种自动化提参过程中参数有效值控制方法，获取器件目标参数的原值，其中自动化提参之前，所述器件目标及其依赖参数的有效值原值处于预定范围之内；当器件目标参数更新时，通过预设算法对器件有效值更新的当前值进行预设处理；将进行处理后的当前值更新至所述器件的有效值范围内。在自动化提参过程中，当器件参数目标及其依赖参数的有效值更新时，通过预设的算法对更新的值进行预处理，从而使得无论任何时候器件参数有效值进行更新时能够始终满足要求，在有效值更新环节做到更优的控制的情况下，从而提高自动化提参整体的精度。避免将过于复杂的参数有效值公式带入优化控制过程中，能够在不牺牲过多软件性能的前提下找到最佳参数组合。

技术研发人员：李永胜,石凯,王可亮
受保护的技术使用者：上海概伦电子股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17