一种改善走线缺失的触摸屏触控传感走线结构的制作方法

本技术涉及触控sensor走线领域。

背景技术：

1、行业内触控sensor走线设计主要有钼铝钼与钼铜钼两种，因钼铝钼成本低与易蚀刻成线条，故广泛应用于触摸屏触控sensor走线设计

2、现有走线采用钼铝钼设计，如图2所示，即第一层与第三层均为钼，第二层为铝，走线缺失不良较高，表现为钼铝钼刻蚀后出现侧蚀，呈现倒t型，即第二层铝出现过刻，涂布oc后出现走线缺失，现有解决方案是延长钼铝钼刻蚀工序的后烘烤时间，由16min延长至40min，但对产能影响大。

3、因此需要一种能够改善触控sensor走线缺失的结构设计，并且不影响产能和成本。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是实现一种通过改变行业内触控sensor走线结构，改善触控sensor走线缺失的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种改善走线缺失的触摸屏触控传感走线结构，走线结构位于玻璃上，所述走线结构由玻璃向外依次设有第一层钼层、第二层金属层、第三层氧化钼层。

3、所述第二层金属层为铝层。

4、所述第二层金属层铜层。

5、所述氧化钼层的膜厚为400±50埃。

6、所述铝层的膜厚为2100±150埃。

7、所述钼层的膜厚为300±50埃。

8、所述第一层钼层、第二层金属层、第三层氧化钼层依次通过磁控溅射方式渡制形成。

9、本实用新型通过优化膜层厚度设计，并将第三层膜层由钼改为氧化钼，使得整个生产过程中，无需延长钼铝钼蚀段工序后烘烤时间，钼铝钼刻蚀后无侧蚀，涂布oc后无走线缺失，产能无影响。

技术特征：

1.一种改善走线缺失的触摸屏触控传感走线结构，走线结构位于玻璃上，其特征在于：所述走线结构由玻璃向外依次设有第一层钼层、第二层金属层、第三层氧化钼层；

2.根据权利要求1所述改善走线缺失的触摸屏触控传感走线结构，其特征在于：所述第二层金属层铜层。

3.根据权利要求1所述改善走线缺失的触摸屏触控传感走线结构，其特征在于：所述第一层钼层、第二层金属层、第三层氧化钼层依次通过磁控溅射方式渡制形成。

技术总结
本技术揭示了一种改善走线缺失的触摸屏触控传感走线结构，走线结构位于玻璃上，所述走线结构由玻璃向外依次设有第一层钼层、第二层铝层、第三层氧化钼层。本技术通过优化膜层厚度设计，并将第三层膜层由钼改为氧化钼，使得整个生产过程中，无需延长钼铝钼蚀段工序后烘烤时间，钼铝钼刻蚀后无侧蚀，涂布OC后无走线缺失，产能无影响。

技术研发人员：王胜,王茹,钟素文,余志辉
受保护的技术使用者：芜湖长信科技股份有限公司
技术研发日：20230816
技术公布日：2024/5/6