识别码识别装置的制作方法

本技术涉及识别码识别产品制作，尤其涉及一种识别码识别装置。

背景技术：

1、在半导体硅片制造领域中，在不同工艺端、不同设备所上载的载具规格不同，因此载具所贴附的识别码的规格、位置等都不径相同。

2、现有技术中的读码器处于固定状态，其位置不能调节，扫描范围比较小，扫描范围无法覆盖所有类型的载具上的识别码的位置，导致部分载具上的识别码读取失败。频繁读码失败会导致设备无法正常开始作业，造成设备利用率下降。在自动化生产时，读码失败需人为处理，降低设备稼动率。在手动生产状态下，读码失败会造成操作者的错误判断，严重情况可能造成机械硬件的损坏、设备内环境颗粒污染和金属污染等，短时间不能恢复生产。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种识别码识别装置，解决由于读码器位置无法调节而导致识别码识别失败的问题。

2、为了达到上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种识别码识别装置，用于识别待识别结构上的识别码，包括：

3、识别部分，用于识别待识别结构上的识别码；

4、识别码信息获取部分，用于获取待识别结构上的识别码的参数信息，所述参数信息包括识别码的位置信息和识别码的尺寸；

5、移动部分，用于根据所述识别码的参数信息，控制所述识别部分移动至待识别结构上的识别码的位置，以进行识别。

6、可选的，所述识别码信息获取部分包括基板和设置于所述基板上的多个压力传感器；

7、所述待识别结构为用于装载硅片的多种类型的载具，不同类型的载具的底部设置不同的镂空图案，以使得多个所述压力传感器发出不同的信号。

8、可选的，所述镂空图案包括至少一个通孔，在所述载具压接于所述基板上时，每个所述通孔完全覆盖对应的所述压力传感器；

9、其中，不同类型的所述载具所包括的通孔的数量或位置不同。

10、可选的，所述识别码信息获取部分还包括处理单元，用于根据多个所述压力传感器传输的信号获取载具的类型，并获取该载具的识别码的参数信息。

11、可选的，多个所述压力传感器包括对应于所述镂空图案的镂空区域的第一子压力传感器，以及对应所述镂空图案的实体区域的第二子压力传感器，所述第一子压力传感器感应的压力大于所述第二子压力传感器感应的压力。

12、可选的，所述移动部分包括水平移动单元，所述水平移动单元包括沿水平方向延伸设置的第一导轨，所述识别部分包括可移动的设置于所述第一导轨上的识别传感器。

13、可选的，所述移动部分还包括升降移动单元，所述升降移动单元包括沿竖直方向延伸设置的第二导轨，所述第二导轨的第一端可移动的设置于所述第一导轨上，所述识别传感器可移动的设置于所述第二导轨上。

14、可选的，所述移动部分还包括：旋转移动单元，包括通过第一旋转轴旋转设置于所述第二导轨远离所述第一导轨的第二端的旋转连接板，所述识别传感器设置于所述旋转连接板上。

15、可选的，所述旋转连接板可绕所述第二端进行360度旋转。

16、可选的，所述第一导轨通过第二旋转轴连接于所述识别码信息获取部分的一侧，使得所述第一导轨可绕所述旋转轴在水平面内旋转。

17、本实用新型的有益效果是：通过识别码信息获取部分和移动部分的相互配合，实现所述识别部分的位置可调，从而扩大识别部分的识别范围，且可以使得识别部分准确的移动至待识别结构的识别码的贴付位置，以进行识别。

技术特征：

1.一种识别码识别装置，用于识别待识别结构上的识别码，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的识别码识别装置，其特征在于，所述识别码信息获取部分包括基板和设置于所述基板上的多个压力传感器；

3.根据权利要求2所述的识别码识别装置，其特征在于，所述镂空图案包括至少一个通孔，在所述载具压接于所述基板上时，每个所述通孔完全覆盖对应的所述压力传感器；

4.根据权利要求2所述的识别码识别装置，其特征在于，所述识别码信息获取部分还包括处理单元，用于根据多个所述压力传感器传输的信号获取载具的类型，并获取该载具的识别码的参数信息。

5.根据权利要求2所述的识别码识别装置，其特征在于，多个所述压力传感器包括对应于所述镂空图案的镂空区域的第一子压力传感器，以及对应所述镂空图案的实体区域的第二子压力传感器，所述第一子压力传感器感应的压力大于所述第二子压力传感器感应的压力。

6.根据权利要求1所述的识别码识别装置，其特征在于，所述移动部分包括水平移动单元，所述水平移动单元包括沿水平方向延伸设置的第一导轨，所述识别部分包括可移动的设置于所述第一导轨上的识别传感器。

7.根据权利要求6所述的识别码识别装置，其特征在于，所述移动部分还包括升降移动单元，所述升降移动单元包括沿竖直方向延伸设置的第二导轨，所述第二导轨的第一端可移动的设置于所述第一导轨上，所述识别传感器可移动的设置于所述第二导轨上。

8.根据权利要求7所述的识别码识别装置，其特征在于，所述移动部分还包括旋转移动单元，所述旋转移动单元包括通过第一旋转轴旋转设置于所述第二导轨远离所述第一导轨的第二端的旋转连接板，所述识别传感器设置于所述旋转连接板上。

9.根据权利要求8所述的识别码识别装置，其特征在于，所述旋转连接板可绕所述第二端进行360度旋转。

10.根据权利要求6所述的识别码识别装置，其特征在于，所述第一导轨通过第二旋转轴连接于所述识别码信息获取部分的一侧，使得所述第一导轨可绕所述旋转轴在水平面内旋转。

技术总结
本技术涉及一种识别码识别装置，用于识别待识别结构上的识别码，包括：识别部分，用于识别待识别结构上的识别码；识别码信息获取部分，用于获取待识别结构上的识别码的参数信息，所述参数信息包括识别码的位置信息和识别码的尺寸；移动部分，用于根据所述感应部分获得的识别码的参数信息，控制所述识别部分移动至待识别结构上的识别码的位置，以进行识别。通过识别码信息获取部分和移动部分的相互配合，实现所述识别部分的位置可调，从而扩大识别部分的识别范围，且可以使得识别部分准确的移动至待识别结构的识别码的贴付位置，以进行识别。

技术研发人员：王国岑,党志伟
受保护的技术使用者：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
技术研发日：20230920
技术公布日：2024/4/17