用于版图处理的方法、设备和介质与流程

本公开的实施例主要涉及集成电路领域，并且更具体地，涉及用于版图处理的方法、设备和介质。

背景技术：

1、电路版图（又可以简称为版图）是从设计并模拟优化后的电路所转化成的一系列图形，其包含了集成电路尺寸、各层拓扑定义等器件相关的物理信息数据。集成电路制造商根据这些数据来制造掩模。掩模上的版图图案决定着芯片上器件或连接物理层的尺寸。

2、随着集成电路制造工艺的技术节点的减小，集成电路中的目标图案之间的距离减小，并且掩模上与目标图案相对应的版图图案的密度增加。由于光刻的分辨率限制，对于版图图案密集的版图，难以采用单个掩模进行光刻图像化。为此，已经提出采用多重曝光光刻技术（multiple patterning lithography）来进行先进制程的制造。多重曝光光刻工艺是将版图图案拆分到多张不同的掩模版上，通过多次曝光和刻蚀的迭代过程，最终形成完整的晶圆图案。

技术实现思路

1、在本公开的第一方面中，提供了用于版图处理的方法。该方法包括：确定分别与多个参考版图对应的多个参考拆分策略。每个参考版图由对应的参考拆分策略进行拆分所得到的拆分质量满足预定条件。该方法还包括确定多个参考版图的相应属性信息，属性信息包括多个版图属性的属性值。该方法还包括基于多个参考拆分策略和多个参考版图的相应属性信息，确定用于版图拆分的决策树模型。决策树模型包括多个属性节点和多个策略节点。每个属性节点对应于一个版图属性的属性值。每个策略节点对应于一个参考拆分策略。

2、在本公开的第二方面中，提供了用于版图拆分的方法。该方法包括：获取决策树模型，决策树模型包括多个属性节点和多个策略节点。每个属性节点对应于多个版图属性中的一个版图属性的属性值，每个策略节点对应于多个参考拆分策略中的一个参考拆分策略。该方法还包括：基于目标版图所具有的多个版图属性的目标属性值，利用决策树模型，确定针对目标版图的目标拆分策略。

3、在一些实施例中，确定针对目标版图的目标拆分策略包括：从决策树模型中确定对应于多个版图属性的目标属性值的目标路径和目标路径所指向的目标策略节点；以及将目标策略节点所指示的参考拆分策略确定为目标拆分策略。

4、在一些实施例中，版图拆分方法还包括：基于目标拆分策略，对目标版图进行拆分；基于对目标版图进行所述拆分的拆分结果，确定决策树模型的性能指标；以及如果确定性能指标低于阈值，通过调整决策树模型的结构来更新决策树模型。

5、在一些实施例中，通过调整决策树模型的结构来更新决策树模型包括：删除决策树模型的分支上的至少一个属性节点；或者调整决策树模型的分支，分支上包括至少一个属性节点和至少一个策略节点。

6、在一些实施例中，决策树模型通过以下被构建：确定分别与多个参考版图对应的多个参考拆分策略，每个参考版图由对应的参考拆分策略进行拆分所得到的拆分质量满足预定条件；以及基于多个参考拆分策略和多个参考版图的多个版图属性的属性值，确定决策树模型。

7、在本公开的第三方面中，提供了一种电子设备。该电子设备包括处理器、以及与处理器耦合的存储器。该存储器具有存储于其中的指令，指令在被处理器执行时使电子设备执行根据本公开的第一方面或者第二方面的方法。

8、在本公开的第四方面中，提供了一种计算机可读存储介质。该计算机可读存储介质上存储有计算机程序。计算机程序在被处理器执行时实现根据本公开的第一方面或者第二方面的方法。

9、通过下文的描述将会理解，根据本公开的实施例，基于多个参考版图对应的多个参考拆分策略和多个参考版图的相应版图属性的属性值，生成用于版图拆分的决策树模型。该决策树模型的属性节点对应于一个版图属性的属性值。策略节点对应于一个参考拆分策略。通过利用由此得到的决策树模型，可以对待拆分的版图的拆分策略进行预测。以此方式，可以得到优化的版图拆分结果，从而改善多重曝光光刻结果。其他的益处将在下文结合相应的实施例展开描述。

10、应当理解，本
技术实现要素：
部分中所描述的内容并非旨在限定本公开的实施例的关键特征或重要特征，也不用于限制本公开的范围。本公开的其他特征将通过以下的描述而变得容易理解。

技术特征：

1.一种版图处理方法，包括：

2.根据权利要求1所述的版图处理方法，其特征在于，确定用于版图拆分的决策树模型包括：针对已构建的第一属性节点，迭代地执行以下操作：

3.根据权利要求2所述的版图处理方法，其特征在于，所述目标版图属性的信息增益度量是基于所述目标版图属性的信息增益值与所述一组版图属性各自的固有值之间的比值来确定的，所述目标版图属性的所述信息增益值表示由所述目标版图属性引起的信息复杂度减少的程度，所述一组版图属性各自的固有值与相应版图属性的属性值的数目成正比。

4.根据权利要求2所述的版图处理方法，其特征在于，确定用于版图拆分的决策树模型还包括：

5.根据权利要求4所述的版图处理方法，其特征在于，基于以下至少一项来确定所述第三属性节点不能被划分：

6.根据权利要求1所述的版图处理方法，其特征在于，所述版图处理方法还包括：

7. 根据权利要求6所述的版图处理方法，其特征在于，确定针对所述目标版图的目标拆分策略包括：

8.根据权利要求6所述的版图处理方法，其特征在于，所述版图处理方法还包括：

9.根据权利要求1所述的版图处理方法，其特征在于，所述版图处理方法还包括：

10. 根据权利要求8或9所述的版图处理方法，其特征在于，通过调整所述决策树模型的结构来更新所述决策树模型包括：

11.根据权利要求1所述的版图处理方法，其特征在于，所述预定条件指示以下至少一项：

12.根据权利要求1所述的版图处理方法，其特征在于，所述多个版图属性包括以下至少一项：

13.根据权利要求1所述的版图处理方法，其特征在于，版图的拆分策略包括以下至少一项：

14. 一种电子设备，其特征在于，包括：

15.一种计算机可读存储介质，其特征在于，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序可由处理器执行以实现根据权利要求1至13中任一项所述的方法。

技术总结
根据本公开的示例实施例提供了用于版图处理的方法、设备和介质。在该方法中，确定分别与多个参考版图对应的多个参考拆分策略。每个参考版图由对应的参考拆分策略进行拆分所得到的拆分质量满足预定条件。该方法还包括确定多个参考版图的相应属性信息，属性信息包括多个版图属性的属性值。该方法还包括基于多个参考拆分策略和多个参考版图的相应属性信息，确定用于版图拆分的决策树模型。决策树模型包括多个属性节点和多个策略节点。每个属性节点对应于一个版图属性的属性值。每个策略节点对应于一个参考拆分策略。以此方式，可以利用根据参考拆分策略得到的决策树模型来对版图的拆分策略进行预测，从而找到适当的版图拆分方式。

技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名
受保护的技术使用者：全芯智造技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/8/16