一种半导体框架存储与自动收发装置的制作方法

本技术属于半导体制造辅助装置，具体涉及一种半导体框架存储与自动收发装置。

背景技术：

1、本专利涉及一种半导体材料的存储、发放与领用的过程，应用于半导体装片工序和物料室，用于解决框架材料的储存、发放、先进先出等问题，可提升被加工产品的质量与效率，同时提升了公司的作业效率，大大降低了公司的生产成本。目前行业里传统的作业方法是，框架放置在生产线的物料室，由物料员专门保管，生产线需要用到框架的时候，由产线操作工拿着作业的流程卡到物料室领取，物料员根据流程卡上信息要求所使用的框架，到柜子里拿取对应的框架发放给产线操作工，操作工领取到框架后拿到机台上作业。

2、然而传统的作业方式存在如下问题：1、人工发放领取框架，存放框架的氮气柜门需经常开合，不仅容易导致框架氧化而引起产品质量异常，而且增加了用气成本；2、人工发放领取框架，有发错的风险，无法保证先进先出而导致框架过期报废，同时也增加了用工成本；3、当框架使用需求急剧增加时，会出现排队领取框架的情况，导致机台停机时间变长，影响生产效率；4、人工发放领取框架，只有一个物料室，但因车间较大，员工领取物料步行距离长，极大影响了员工工作积极性，增加了员工的工作量，导致员工流失率增加，生产线的管理难度增大。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的上述不足之处，本实用新型提供了一种半导体框架存储与自动收发装置，用以解决上述现有的问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种半导体框架存储与自动收发装置，包括箱体、设于箱体内左侧的框架存储室和从上至下依次设于箱体内右侧的控制室、框架产品传送室和机箱放置室，所述控制室、框架产品传送室和机箱放置室均对应设有安全门锁和柜门，所述框架存储室内安装设有框架存储机构，所述控制室内安装设有用于控制整个装置的控制机构，所述框架产品传送室内安装设有用于收发框架的框架产品传送机构，所述机箱放置室内放置设有工程主机，所述箱体外壁镶嵌设有工业触摸显示屏、控制按钮开关和急停按钮开关，所述箱体上挂设有手持式二维码扫描仪，所述箱体顶部安装设有三色状态灯。

4、进一步，所述框架产品传送机构包括进料部、转换部和传送部，所述进料部包括进料传送轨道和滑动连接安装设于进料传送轨道的进料无杆气缸，所述进料无杆气缸上安装设有进料推杆，所述进料推杆上设有进料光电开关，所述进料传送轨道末端安装设有进料红外对射感应器，所述转换部包括旋转气缸和安装设于旋转气缸上的转换传送轨道，所述转换传送轨道上滑动连接设有转换无杆气缸，所述转换无杆气缸上安装设有转换推杆，所述转换推杆上设有转换光电开关，所述转换传送轨道首端设有转换红外对射感应器，所述传送部包括传送轨道和滑动连接设于传送轨道上的传送无杆气缸，所述传送无杆气缸两端均安装设有推拉杆，所述传送轨道两端外壁均设有传送红外对射感应器，所述传送轨道两端内壁均设有传送接近开关，所述传送无杆气缸下方配合连接设有升降气缸。

5、进一步，所述传送无杆气缸连接设有驱动组件，所述驱动组件包括安装设于传送轨道外壁的伺服电机、与伺服电机配合连接的同步轮和同步带、安装设于传送轨道内壁的直线滑轨以及与直线滑轨滑动连接的直线滑块，所述传送无杆气缸安装于直线滑块上。

6、进一步，所述框架存储机构包括x轴直线滑台模组、与x轴直线滑台模组滑动连接的y轴直线滑台模组和滑动连接安装设于x轴直线滑台模组的框架存储柜，所述框架存储柜上开设有多个放置槽，所述放置槽上均安装有接近开关。

7、进一步，所述控制机构包括控制面板和安装设于控制面板上的220v漏电保护开关、220v空气开关、24v电源、光电隔离模块、伺服马达驱动器、接线端子排、plc控制器、plc控制器模组、气动电磁阀、和小型中间继电器。

8、进一步，所述箱体外壁还镶嵌设有usb模块接口和钥匙旋钮开关。

9、本实用新型与现有技术相比，具有如下有益效果：

10、1.本实用新型自动收发框架，可有效减少因人为因素带来的风险，系统核对框架收发情况，可避免人工发放存在漏、错、混的问题，大大降低了人力成本，提升了生产效率；

11、2.本实用新型密封且具有充氮功能，可有效减少灰尘沾污框架风险，保障框架的存放环境，使框架材料能得到很好保护，增加了框架有效使用寿命；

12、3.本实用新型可减少员工领材料需排队的情况发生，降低了机台停机等待时间，提升了生产线的作业效率。

13、4.本实用新型可在车间安装设置多个，员工无需步行较长距离到物料室领取框架材料，大大缩短了领料时间，提升了生产线的作业效率。

14、5.本实用新型可保证框架先进先出，可避免框架过期还未使用的风险，减少了生产原料的成本。

技术特征：

1.一种半导体框架存储与自动收发装置，其特征在于：包括箱体、设于箱体内左侧的框架存储室和从上至下依次设于箱体内右侧的控制室、框架产品传送室和机箱放置室，所述控制室、框架产品传送室和机箱放置室均对应设有安全门锁和柜门，所述框架存储室内安装设有框架存储机构，所述控制室内安装设有用于控制整个装置的控制机构，所述框架产品传送室内安装设有用于收发框架的框架产品传送机构，所述机箱放置室内放置设有工程主机，所述箱体外壁镶嵌设有工业触摸显示屏、控制按钮开关和急停按钮开关，所述箱体上挂设有手持式二维码扫描仪，所述箱体顶部安装设有三色状态灯。

2.如权利要求1所述的一种半导体框架存储与自动收发装置，其特征在于：所述框架产品传送机构包括进料部、转换部和传送部，所述进料部包括进料传送轨道和滑动连接安装设于进料传送轨道的进料无杆气缸，所述进料无杆气缸上安装设有进料推杆，所述进料推杆上设有进料光电开关，所述进料传送轨道末端安装设有进料红外对射感应器，所述转换部包括旋转气缸和安装设于旋转气缸上的转换传送轨道，所述转换传送轨道上滑动连接设有转换无杆气缸，所述转换无杆气缸上安装设有转换推杆，所述转换推杆上设有转换光电开关，所述转换传送轨道首端设有转换红外对射感应器，所述传送部包括传送轨道和滑动连接设于传送轨道上的传送无杆气缸，所述传送无杆气缸两端均安装设有推拉杆，所述传送轨道两端外壁均设有传送红外对射感应器，所述传送轨道两端内壁均设有传送接近开关，所述传送无杆气缸下方配合连接设有升降气缸。

3.如权利要求2所述的一种半导体框架存储与自动收发装置，其特征在于：所述传送无杆气缸连接设有驱动组件，所述驱动组件包括安装设于传送轨道外壁的伺服电机、与伺服电机配合连接的同步轮和同步带、安装设于传送轨道内壁的直线滑轨以及与直线滑轨滑动连接的直线滑块，所述传送无杆气缸安装于直线滑块上。

4.如权利要求3所述的一种半导体框架存储与自动收发装置，其特征在于：所述框架存储机构包括x轴直线滑台模组、与x轴直线滑台模组滑动连接的y轴直线滑台模组和滑动连接安装设于x轴直线滑台模组的框架存储柜，所述框架存储柜上开设有多个放置槽，所述放置槽上均安装有接近开关。

5.如权利要求4所述的一种半导体框架存储与自动收发装置，其特征在于：所述控制机构包括控制面板和安装设于控制面板上的220v漏电保护开关、220v空气开关、24v电源、光电隔离模块、伺服马达驱动器、接线端子排、plc控制器、plc控制器模组、气动电磁阀、和小型中间继电器。

6.如权利要求5所述的一种半导体框架存储与自动收发装置，其特征在于：所述箱体外壁还镶嵌设有usb模块接口和钥匙旋钮开关。

技术总结
本技术属于半导体制造辅助装置技术领域，具体涉及一种半导体框架存储与自动收发装置，包括箱体、设于箱体内左侧的框架存储室和从上至下依次设于箱体内右侧的控制室、框架产品传送室和机箱放置室，所述控制室、框架产品传送室和机箱放置室均对应设有安全门锁和柜门，所述框架存储室内安装设有框架存储机构，所述控制室内安装设有用于控制整个装置的控制机构，所述框架产品传送室内安装设有用于收发框架的框架产品传送机构，所述机箱放置室内放置设有工程主机，所述箱体外壁镶嵌设有工业触摸显示屏、控制按钮开关和急停按钮开关，所述箱体上挂设有手持式二维码扫描仪，本技术可自动化收发框架产品，大大提升了员工的工作效率。

技术研发人员：陈李广,史国辉,严伟田
受保护的技术使用者：上海芯哲微电子科技股份有限公司
技术研发日：20240203
技术公布日：2024/11/7