一种用于风囊泵的工艺质量检测方法、设备及介质与流程

本说明书涉及风囊泵，尤其涉及一种用于风囊泵的工艺质量检测方法、设备及介质。

背景技术：

1、半导体制造过程中涉及的工艺复杂、工序繁多，风囊泵在半导体行业中的应用场景非常广泛，多样化的应用场景使得风囊泵在半导体制造过程中发挥着不可替代的作用，同时，也对风囊泵制作过程中的工艺质量有更高的要求。

2、在风囊泵的制作过程中，需要在不同的生产流程后进行多种类型的质量检测，一般情况下，通常包含设计校验、胚料物理性质检测、半成品工件尺寸检测、半成品工件金属检测和组装后性能测试多种质量检测过程。在上述种类的质量检测过程中，需要按照检测顺序依次进行，其检测结果直接影响了下一生产节点的启动，因此，每种质量检测的检测结果准确性和检测效率都会对完整生产线的生产效率产生影响。在实际的风囊泵的生产线中，针对同一种质量检测过程，不同功能类型的风囊泵可能存在集中检测的场景。在对同一个质量检测过程进行集中处理时，不同应用场景的风囊泵功能不同，对应的质量检测标准存在差异，若检测标准匹配出现问题，将会影响质量检测结果的准确性；同样地，若采用相对固定的测试节奏，不考虑上下游生产节点的实际情况，可能会产生测试量积压或测试空闲的问题，降低测试效率。

3、综上所述，在对不同功能风囊泵的同一个质量检测过程进行集中处理的场景中，受到风囊泵功能类型和上下游生产节点的限制，风囊泵的工艺质量检测过程存在检测效率低的问题，影响整个生产线的生产效率。

技术实现思路

1、本说明书一个或多个实施例提供了一种用于风囊泵的工艺质量检测方法、设备及介质，用于解决如下技术问题：在对不同功能风囊泵的同一个质量检测过程进行集中处理的场景中，受到风囊泵功能类型和上下游生产节点的限制，对风囊泵的工艺质量检测过程存在检测效率低的问题，影响整个生产线的生产效率。

2、本说明书一个或多个实施例采用下述技术方案：

3、本说明书一个或多个实施例提供一种用于风囊泵的工艺质量检测方法，所述方法包括：获取目标风囊泵生产线中每个检测流程节点的检测流程节点信息，其中，所述检测流程节点信息包括每个所述检测流程节点对应的节点标识和至少一个待检测部件的部件信息，所述检测流程节点包括胚料检测节点、半成品工件检测节点和组装后性能测试节点；通过每个所述检测流程节点对应的节点标识和所述至少一个待检测部件的部件信息，确定每个所述检测流程节点对应的质量检测策略，其中，所述质量检测策略包括至少一个检测指标和所述检测指标对应的质量参考信息，所述部件信息包括所述待检测部件对应的部件生产追溯信息；获取所述检测流程节点的上游生产节点和下游生产节点的实时生产数据，基于所述实时生产数据和所述质量检测策略中的所述检测指标，匹配对应的至少一个指定检测设备；通过所述指定检测设备，对所述待检测部件进行质量检测，采集实时部件检测参数，并上传至质量分析节点，通过所述质量分析节点，基于所述实时部件检测参数和所述质量检测策略中所述检测指标对应的质量参考信息，确定每个所述待检测部件的质量检测结果。

4、本说明书一个或多个实施例提供一种用于风囊泵的工艺质量检测设备，包括：

5、至少一个处理器；以及，

6、与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，

7、所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行上述方法。

8、本说明书一个或多个实施例提供的一种非易失性计算机存储介质，存储有计算机可执行指令，所述计算机可执行指令设置为：执行上述方法。

9、本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：通过上述技术方案，通过获取每个检测流程节点的详细信息（包括节点标识和待检测部件的部件信息），精确匹配质量检测策略，避免了检测标准不匹配导致的误判，从而提高了检测效率；实时采集并上传检测参数至质量分析节点，使得检测结果的反馈更加及时，减少了检测过程中的等待时间，进一步提升了检测效率；每个检测流程节点对应的质量检测策略，包含了针对特定功能类型风囊泵的检测指标和质量参考信息，确保了检测标准的准确性和针对性，从而提高了检测结果的准确性，此外，部件信息中包含的部件生产追溯信息，有助于在检测过程中追踪和定位问题，进一步增强了检测结果的可靠性和可追溯性；通过获取上游生产节点和下游生产节点的实时生产数据，能够动态调整检测设备的分配和测试节奏，避免了测试量积压或测试空闲的问题，优化了生产流程，实时生产数据的引入，使得质量检测过程与生产流程更加紧密地结合；质量检测效率的提升和检测结果的准确性，使得生产线上的各个节点能够更加顺畅地衔接，减少了生产过程中的等待和延误，提升了整体生产效率。

技术特征：

1.一种用于风囊泵的工艺质量检测方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于风囊泵的工艺质量检测方法，其特征在于，通过每个所述检测流程节点对应的节点标识和所述至少一个待检测部件的部件信息，确定每个所述检测流程节点对应的质量检测策略，具体包括：

3.根据权利要求2所述的一种用于风囊泵的工艺质量检测方法，其特征在于，根据所述检测流程节点的检测类型和所述待检测部件对应的风囊泵功能类型，确定每个所述检测流程节点对应的质量检测策略，具体包括：

4.根据权利要求2所述的一种用于风囊泵的工艺质量检测方法，其特征在于，根据所述检测流程节点的检测类型和所述待检测部件对应的风囊泵功能类型，确定每个所述检测流程节点对应的质量检测策略，具体包括：

5.根据权利要求1所述的一种用于风囊泵的工艺质量检测方法，其特征在于，基于所述实时生产数据和所述质量检测策略中的所述检测指标，匹配对应的至少一个指定检测设备，具体包括：

6.根据权利要求5所述的一种用于风囊泵的工艺质量检测方法，其特征在于，基于所述检测流程节点对应的参考检测效率和所述质量检测策略中的所述检测指标，匹配对应的至少一个指定检测设备，具体包括：

7.根据权利要求5所述的一种用于风囊泵的工艺质量检测方法，其特征在于，基于所述上下游同步指数，对所述检测需求信息进行修正，确定所述检测流程节点对应的修正检测需求信息，具体包括：

8.根据权利要求1所述的一种用于风囊泵的工艺质量检测方法，其特征在于，上传至质量分析节点，具体包括：

9.一种用于风囊泵的工艺质量检测设备，其特征在于，所述设备包括：

10.一种非易失性计算机存储介质，存储有计算机可执行指令，其特征在于，所述计算机可执行指令设置为：执行如权利要求1-8任一所述的方法。

技术总结
本说明书实施例公开了一种用于风囊泵的工艺质量检测方法、设备及介质，涉及风囊泵技术领域，方法包括：获取目标风囊泵生产线中每个检测流程节点的检测流程节点信息，检测流程节点包括胚料检测节点、半成品工件检测节点和组装后性能测试节点；通过每个检测流程节点对应的节点标识和至少一个待检测部件的部件信息，确定每个检测流程节点对应的质量检测策略，质量检测策略包括至少一个检测指标和检测指标对应的质量参考信息；基于实时生产数据和所述检测指标，匹配对应的至少一个指定检测设备；通过指定检测设备采集实时部件检测参数，通过质量分析节点，基于实时部件检测参数和质量参考信息，确定每个待检测部件的质量检测结果。

技术研发人员：于宏伟,原桂龙
受保护的技术使用者：青岛贝斯兰半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/3/16