专利名称：磁头的制造方法以及用于该制造方法的加工夹具的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种具有读取元件和写入元件的磁头的制造方法，该方法包括以下步 骤准备长形条的步骤，在长形条上形成了若干磁头；将长形条安装并固定在具有若干夹 具光学标记的加工夹具上的步骤；检测若干夹具光学标记的位置的步骤，上述若干夹具光 学标记设置在安装了长形条的加工夹具上；根据检测出的若干夹具光学标记的位置来求算 加工夹具的变形，当加工夹具的变形在容许范围内时，用加工夹具继续固定长形条，当加工 夹具的变形在容许范围之外时，卸下长形条的步骤；对安装在加工夹具上的长形条进行加 工的步骤；将进行加工后的长形条切割成单个磁头的步骤。 本发明涉及另一种具有读取元件和写入元件的磁头的制造方法，该方法包括以下
步骤准备长形条的步骤，在长形条上形成了若干磁头并设置了若干长形条光学标记；将
长形条安装并固定在具有若干夹具光学标记的加工夹具上的步骤；检测若干夹具光学标记
的位置的步骤，若干夹具光学标记设置在安装了长形条的加工夹具上；检测设置在长形条
上的若干长形条光学标记的位置的步骤；根据检测出的夹具光学标记与长形条光学标记的
相对位置关系，求算长形条的实际变形，当长形条的实际变形在容许范围内时，用加工夹具
继续固定长形条，当长形条的实际变形在容许范围之外时，卸下长形条的步骤；对安装在加
工夹具上的长形条进行加工的步骤；将进行加工后的长形条切割成单个磁头的步骤。 本发明进一步涉及一种具有读取元件和写入元件的磁头的制造方法，该方法包括
以下步骤准备长形条的步骤，在长形条上形成了若干磁头并设置了若干长形条光学标记；
将长形条安装并固定在具有若干夹具光学标记的加工夹具上的步骤；检测若干夹具光学标
记的位置的步骤，若干夹具光学标记设置在安装了长形条的加工夹具上；检测设置在长形
条上的若干长形条光学标记的位置的步骤；根据检测出的夹具光学标记与长形条光学标记
的相对位置关系，对加工夹具施加按压或者拉伸的矫正负荷的步骤；对安装在施加了矫正
负荷的加工夹具上的长形条进行加工的步骤；将进行加工后的长形条切割成单个磁头的步骤。 此外，本发明优选的是，将若干长形条光学标记，以沿长形条纵向方向排列的方式 配置在长形条上；将若干夹具光学标记，以在加工夹具上安装所述长形条时沿长形条纵向 方向排列的方式配置在加工夹具上；再根据夹具光学标记与长形条光学标记的相对位置关 系，可以求出长形条宽度方向的变形。 本发明还涉及一种在磁头制造中所使用的加工夹具，该加工夹具用于固定形成了 若干具有读取元件和写入元件的磁头的长形条，其中，上述加工夹具具有若干夹具光学标记。 根据本发明，通过利用在固定了长形条的加工夹具上设置的若干夹具光学标记， 可以求算出加工夹具自身的变形。接着，根据求算出的加工夹具自身的变形，可以恰当矫正 其变形。并且，当加工夹具自身的变形在容许范围之外时，也可以暂时将长形条从加工夹具 上卸下。 此外，从利用长形条上设置的长形条光学标记而能够求算出的长形条外观上的变 形量中，减去利用加工夹具上设置的若干夹具光学标记而求算出的加工夹具自身的变形 量，可以求出长形条的实际变形量(真值变形量)。因此，或者可以调整长形条在加工夹具 上的安装状态，或者可以进行拆卸，同时对长形条的实际的翘曲及实际变形进行解析，进而 可以求出长形条在加工夹具上恰当的安装方法。 由此，根据本发明，可以很容易的对长形条进行恰当的加工，因此，可以制造出具 有恰当读取元件磁极长度(MR高度)以及写入元件磁极长度(颈高度)的高精密度磁头。
图1是表示本发明实施方式中用于磁头制造的基板的概略立体图。
图2是形成于图1所示基板上的磁头的截面图。
图3是图2所示磁头的飞行面侧的侧视概略图。
图4是切断图1所示基板后得到的长形条的立体图。 图5(a)是表示在本发明加工夹具上安装图4所示长形条之前的状态概略图、(b) 是表示在本发明加工夹具上安装图4所示长形条并进行研磨的状态概略图。
图6是表示本发明长形条光学标记以及夹具光学标记的检测方法的模式图。
图7是切断图4所示长形条后得到的磁头的立体图。 图8(a)是表示在加工夹具的部分区域中产生能够矫正的变形的图表，(b)是表示 在加工夹具的部分区域中产生不能矫正的变形的图表。 图9是表示长形条变形量、加工夹具变形量和长形条真值变形量的图表。
具体实施例方式以下，参照附图对本发明实施方式进行具体说明。 根据本实施方式的磁头制造方法，首先，在如图1、图2所示基板(晶圆)1上，形成 多个磁头2。例如，在如图2所示的由氧化铝-碳化钛复合物(Al203 *TiC)等的基体la和 在其上层积的氧化铝(A1203)等的绝缘材料制成的衬底层lb所组成的基板1上，形成矩阵 状(Matrix)的含有读取部3和写入部4的磁头2。读取部3是在基板1上的下屏蔽层5和 上屏蔽层6之间夹着读取元件7的结构。读取元件7例如可以是在一对磁性体层之间夹着 非磁性层的巨磁阻(GMR，Giant Magneto Resistance)元件，也可以是在一对磁性体层之间 夹着绝缘层的隧道磁阻(TMR，Tunneling Magneto Resistance)元件。另一方面，写入部4 是以垂直磁记录(PMR， Perpendicular Magnetic Recording)方式进行磁记录的部件，主要 由形成写入元件8的主磁极、辅助磁极9、薄膜线圈IO构成。此外，如图3所示，读取元件7 和写入元件8配置于在平面内重叠后的同一位置上。 接着，在本实施方式中，如图3所示，在接近磁头2的位置或者在磁头2内，形成长
6形条光学标记11。与图1所示基板1内呈矩阵状配置的若干磁头2相对应，长形条光学标 记ll也呈矩阵状配置。 然后，切断具有排列成矩阵状的若干磁头2及长形条光学标记11的基板1，得到若 干细长的长形条14 (参照图4、图5 (a)、图5 (b))。在该长形条14内，若干磁头2及长形条光 学标记11分别排列成行。另外，在如图所示的实施例中，磁头2及长形条光学标记11可以 排成一列，也可以排成若干列。当磁头2排成若干列时，有时也将该部件称作条块(block)。
虽然没有特殊限定长形条14内的长形条光学标记11的位置，但是通过图未示的 光学传感器能够检测出其位置，并且可以根据检测出的长形条光学标记11的位置可求出 长形条14的变形的位置。此外，对长形条光学标记11的形成方法没有特殊限定，可以使用 公知的方法。例如，当使用溅镀法(sputtering)等对构成读取元件7或写入元件8的任意 一层进行成膜时，可以在读取元件7或写入元件8的附近同时成膜而形成长形条光学标记 11。此时，由于磁头2的各层具有透光性，因此可以通过来自磁头2外部的光学传感器检测 长形条光学标记11的透射图像。或者，可以通过使用溅镀法等在磁头2表层上成膜来形成 长形条光学标记ll。 之后，如图5(b)所示，使用粘合剂(图未示)等将长形条14安装到加工夹具15 上。本实施方式的加工夹具15具有与长形条14的若干长形条光学标记11相对应的若干夹 具光学标记12。在此，加工夹具15的夹具光学标记12与长形条14的长形条光学标记11 相对应是指，在加工夹具15上安装了长形条14的状态下，各长形条光学标记11面向各夹 具光学标记12，为了使每个长形条光学标记11与每个夹具光学标记12之间的相对位置关 系(间隔等)完全一致，与长形条光学标记11相对应配置夹具光学标记12。因此，只设置 与长形条14的长形条光学标记11相同数目的加工夹具15的夹具光学标记12。但是，当根 据夹具光学标记12与长形条光学标记11的相对位置关系，可以求出加工夹具15及长形条 14的变形时，夹具光学标记12和长形条光学标记11的数目也可以不相同。为了向加工夹 具15施加后述的矫正负荷，可以在加工夹具15上设置可插入图未示的致动器(actuator) 的孔17。 对加工夹具15内的夹具光学标记12的位置没有特殊限定，只要能通过图未示的 光学传感器检测出其位置，并能根据检测出的夹具光学标记12的位置求出加工夹具15的 变形的位置即可。此外，对夹具光学标记12的形成方法也没有特殊限定，可以使用公知的 方法。例如，可以用激光等产生的热量或者切割器等物理力雕刻加工夹具15的表面来形成 夹具光学标记12。 但是，将基板1切割成细长的长形条14时，切割后的长形条14有时会发生翘曲 (Row Bow)或变形。进一步地，当在加工夹具15上安装长形条14时，加工夹具15也很可能 会随着该长形条14的翘曲而发生变形。因此，在本实施方式中，通过图未示的光学传感器， 对长形条14的若干长形条光学标记11的每个位置进行光学检测，同时也对加工夹具15的 若干夹具光学标记12的每个位置进行光学检测。接着，根据这些检测结果调整长形条14 及加工夹具15，从而使长形条14及加工夹具15的变形处于容许范围内。该调整是本发明 的主要特征之一，后面将进行详细的说明。另外，在本发明的实施方式中，如图6所示，每个 长形条光学标记11及每个夹具光学标记12都是长方形，图未示的光学传感器可以检测这 些标记的中心位置C。但只要能够光学检测出其位置，长形条光学标记ll及夹具光学标记12也可以为任何形状。 使用长形条光学标记11及夹具光学标记12来调整长形条14及加工夹具15，当 长形条14及加工夹具15的变形在容许范围内时，对长形条14进行加工。具体来说，如图 5(b)所示，通过使加工夹具15面向研磨盘16移动，将安装于加工夹具15上的长形条14 的被研磨面13(参照图4)按压在研磨盘16上并进行研磨。例如，一边确认在长形条14 上预先形成的ELG(图未示)的阻值，一边进行研磨，在ELG的阻值达到规定值的时间点， 判断已经得到了期望的研磨量并结束研磨。另外，长形条14的被研磨面13是指在完成磁 头2的制造时位于磁记录介质(图未示)的上方并面对磁记录介质的飞行面13(ABS :Air BearingSurface)。 最后，通过将上述研磨后的长形条14切割成单个的磁头2而可以得到若干如图7 所示的磁头2。 在如上所述的磁头2的制造方法中，本实施方式具有能显著改善长形条14及加工 夹具15的变形的特征。关于这一点将进行以下说明。 下面对本发明涉及的背景进行说明。本申请人首先考虑到将设置了长形条光学标 记的长形条安装在加工夹具上，长形条会发生翘曲及变形，因而研究了或者调整长形条在 加工夹具上的安装角度，或者使用若干致动器向加工夹具施加矫正负荷使加工夹具变形进 而矫正长形条的翘曲，然后再进行研磨的方法。接着，如上所述，当ELG的阻值达到规定值 的时候结束研磨。然而，即使进行这样的控制，长形条内若干读取元件及写入元件也很有可 能得不到各自期望的元件高度(MR高度及颈高度)。 因此，为了得到期望的MR高度及颈高度本申请人想了很多办法。首先，不是在一 个加工夹具上安装一个或两个长形条再进行研磨，而是在加工夹具上安装作为若干长形条 集合体的条块(block)(堆，stack)再进行研磨。该条块是从基板上切割出的包含若干列 磁头组的区域的部件，是若干长形条一体化的状态。此时，特别是与细长的长形条相比，条 块具有不易发生翘曲的优点，但由于先将研磨后的条块切断来获得单个长形条，再将每个 长形条切割成单个磁头，所以生产效率降低。而且上述方法并未充分改善变形。
经本发明人进一步研究后推测，不只是长形条会发生翘曲，沿长形条的翘曲安装 长形条的加工夹具自身也会发生变形，这也是得不到期望的MR高度及颈高度的原因之一。 接着本发明人研究了 使加工夹具上安装长形条时所使用的粘合剂在粘合时变形减小的方 法，以及使用受热变形小的材料来形成加工夹具的方法等。采用上述改善方法虽然取得了 一定程度的效果，但并不能说从本质上解决了长形条及加工夹具的变形问题，而且解决得 也不够充分。 通过本发明人进一步的研究，加工夹具可以形成以下形状及结构当研磨安装在 加工夹具上的长形条时因受到的压力而容易弯曲的形状及结构，以及当研磨安装在加工夹 具上的长形条在若干点上能够弯曲的形状及结构等。因此，研磨时加工夹具受到来自研磨 盘的压力而弯曲，因而产生了使整个长形条更容易比较均匀地与研磨盘接触的效果。但是， 由于加工夹具变得容易弯曲，也会存在因安装长形条时的应力(粘合应力)而易发生微小 变形的问题。 采用上述方法虽然取得了一定程度的效果，但并没有得到令人十分满意的效果。 在上述例子中，可以通过检测设置在长形条上的若干长形条光学标记的位置来求算长形条的翘曲，但未考虑到加工夹具自身的变形。因此，为了得到期望MR高度及颈高度并为了进 一步改善上述效果，本发明人提出了求算加工夹具的变形状态应该会有效的想法，进而完 成了本发明。 具体来说，本发明在用于安装并固定长形条14的加工夹具15上设置若干夹具光 学标记12。夹具光学标记12设置在与长形条光学标记11相对应的位置，该长形条光学标 记11设置在安装了长形条14的上述加工夹具15上。也就是说，夹具光学标记12与长形 条光学标记11数量相同，每个夹具光学标记12与每个长形条光学标记11相向配置。具有 上述若干夹具光学标记12的加工夹具15，在本发明之前不曾被使用过。此外，当根据夹具 光学标记12与长形条光学标记11的相对位置关系可以求出加工夹具15及长形条14的变 形时，夹具光学标记12与长形条光学标记11的数目也可以不相同。 在本发明的第一实施方式中，将长形条14安装在加工夹具15上后，使用图未示的 光学传感器，分别检测加工夹具15上的若干夹具光学标记12的位置。接着，根据检测出的 若干夹具光学标记12的位置，求算加工夹具15自身的变形状态。当该加工夹具15的变形 在容许范围内时，不从加工夹具15上拆下长形条14，而是继续固定长形条14，并开始进行 研磨工序。但是，根据需要可以在加工夹具15的孔17中插入图未示的致动器，通过该致动 器的工作向加工夹具15施加按压或者拉伸的矫正负荷从而矫正变形。另一方面，当加工夹 具的自身变形在容许范围之外时，也可以暂时将长形条从加工夹具上拆下然后再次重新安 装。上述容许范围是任意设定的标准，例如，容许范围可以是当超出该范围时通常会造成长 形条14内所有磁头2的MR高度和颈高度均不能再进行高精密度加工的标准。反之，容许 范围也可以是只要处于该范围之内通常长形条14内所有磁头2的MR高度和颈高度均能进 行高精密度加工的标准，也就是说，可以是当超出该范围时若干磁头的各MR高度和颈高度 中至少有一个不能进行高精密度加工的标准。除了考虑要求的成品率程度以及要求的磁头 性能等之外，也要考虑生产安全，通过操作者的判断可以设定比较严格的容许范围，也可以 设定比较宽松的容许范围。 对加工夹具15的变形是在容许范围之内还是在容许范围之外的判定，可以根据 加工夹具15在规定范围内的变形量增大及减少的反复次数是否比预先设定的标准次数多 来判断。例如，当对加工夹具施加按压或者拉伸的矫正负荷的点有多个(例如9个点)时， 在相邻两点之间如果不包含加工夹具15变形的两个以上极值(最大值或者最小值)的部 分，或者，假如如图8(a)所示成为极值的部分与施加矫正负荷的点几乎一致的话，可以通 过施加矫正负荷来矫正加工夹具15的变形。因此，在这种情况下可以判断加工夹具15的 变形是在容许范围内，没有必要将长形条14从加工夹具15上卸下。在如图8(a)所示实施 例的情况下，在点A施加作为矫正负荷的按压力(从图上方至图下方的力)，同时在点B施 加作为矫正负荷的拉伸力(从图下方至上方的力)，通过这样可以矫正加工夹具的变形。
与之相对，假如在相邻两点之间包含加工夹具15变形的两个以上极值(最大值或 者最小值)部分，也就是说，假如如图8(b)所示的图中存在两个以上波峰及波谷，不论在 规定点(例如点A及点B)上分别施加按压力(从图上方至图下方的力)，还是施加拉伸力 (从图下方至上方的力)，都不可能矫正加工夹具15的变形。也就是说，如图8(b)所示，即 使对点A和点B双方都增加按压力，也不可能矫正加工夹具15的变形，并且，即便对点A和 点B中任意一方施加按压力而对另一方施加拉伸力，或者对点A和点B双方都增加拉伸力，也都不可能矫正加工夹具15的变形。因此，当无论对点A和点B怎样施加矫正负荷都不能 矫正加工夹具15的变形时，可以判定加工夹具15的变形是在容许范围之外，将长形条14 从加工夹具15上暂时卸下再重新安装，然后重新检测夹具光学标记12的位置，并根据该检 测结果求出加工夹具15自身的变形状态。在加工夹具15的变形处于容许范围内之前，即 达到能够矫正的程度之前，要反复进行长形条14的再安装和对夹具光学标记12位置的检 测。当最终判定加工夹具15的变形达到容许范围之内时，根据需要对加工夹具15施加矫 正负荷，从而完成对长形条14及加工夹具15的调整。接着，开始进行长形条14的研磨工 序及切断工序。 在上述实施例中，可以说利用了加工夹具15在规定的狭窄范围内变形量增大以 及减少的反复次数，来作为表示加工夹具15变形量大小的指标。但是，也可以采用以下方 式可以采用预先决定最大变形量的标准值，再根据加工夹具15的最大变形量是否处于上 述标准值以下范围内的判断，来决定是否从加工夹具15上卸下长形条14 ;或者分别求算长 形条14内各长形条光学标记11与加工夹具15内各夹具光学标记12之间的相对位置，再 根据在这些相对位置中最大变形量是否处于上述标准值以下范围内的判断，来决定是否从 加工夹具15上卸下长形条14。对上述最大变形量的定义并没有特殊限定，可以根据变形的 状态任意设定。例如，可以根据变形量的平均值求算平均中心线，以距离该平均中心线最远 的值作为最大变形量，或者可以以若干夹具光学标记12中位于两个端部的标记相互连接 而成的直线为中心线，以距离该中心线最远的值为最大变形量。 另外，本实施方式是求出加工夹具15自身的变形状态，再对该变形进行矫正的方 法。因此，当加工没有设置长形条光学标记11的长形条14时也可以采用该方法。
接着，为了得到期望的MR高度及颈高度，本发明人提出了除了加工夹具15的变形 之外求出长形条14的实际变形状态是否更有效的想法，并完成了本发明。因此，在本发明 的第二实施方式中，将长形条14安装在加工夹具15上后，分别检测加工夹具15上的若干 长形条光学标记12的位置，同时分别检测长形条14上的若干长形条光学标记11的位置。 然后根据检测出的夹具光学标记12与长形条光学标记11之间的相对位置关系，求出长形 条15的实际变形状态。如图9所示，用长形条14的长形条光学标记11的变形量减去加工 夹具15的变形量的值即为长形条14的实际变形量(真值变形量)。当长形条14的实际变 形在容许范围内时，不从加工夹具15上卸下长形条14，继续固定长形条14，并开始进行研 磨工序。并且，根据需要可以对加工夹具15施加按压或者拉伸矫正负荷从而矫正变形。另 一方面，当长形条14的实际变形在容许范围之外时，将长形条14暂时从加工夹具15上卸 下。再将卸下的长形条14重新安装。并且，可以保持原状加热长形条14和加工夹具15，通 过改变粘合剂的粘合状态来改变长形条14的变形量。 对长形条14的实际变形是在容许范围内还是在容许范围外的判定，与上述第一 实施方式相同，可以通过在对加工夹具15施加按压或者拉伸矫正负荷的多点中的相邻两 点之间，在用图示表示长形条14的真值变形量时是否存在两个以上波峰及波谷(两个以上 的极值)来进行判断。此外，上述判定也可以采用预先决定最大真值变形量的标准值，再根 据判断长形条14的最大真值变形量是否在上述标准值以下范围内的方式来进行判断。
本实施方式是求出长形条14的实际变形状态，通过加工夹具15来矫正该变形的 方法。因此，当加工设置了长形条光学标记11的长形条14时也可以采用该方法。
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另外，作为上述实施方式的变形实施例，也可以根据检测出的夹具光学标记12与 长形条光学标记11之间的相对位置关系，对加工夹具15施加矫正负荷。此外，也可以不具 有施加矫正负荷的结构(制动器及孔17)，只要在容许范围之内，不需要对长形条14和加工 夹具15进行任何改变就能进行加工；而如果在容许范围之外则直接将长形条从加工夹具 上卸下，或者也可以保持原状加热长形条14和加工夹具15，通过改变粘合剂的粘合状态来 改变长形条14的变形量。 对根据若干夹具光学标记12的位置检测结果来求算加工夹具15的变形量的方法 并没有特殊限定。例如，用n次多项式求出连接若干夹具光学标记12位置形成的线的近似 曲线，并连接上述曲线两个端点形成直线(中心线)，将上述曲线和上述直线进行比较，可 以把近似曲线与中心线的分离距离(中心线两端各自最大分离距离之和)看作是加工夹具 15的变形量。对于长形条14的变形量，也可以采取同样的方法求算若干长形条光学标记 11的位置。 如上所述，根据本发明，在固定长形条14的加工夹具15上设置若干夹具光学标记 12。通过利用该夹具光学标记12，可以求出加工夹具15自身的变形量。根据由此求算的加 工夹具15的变形量，可以矫正加工夹具15的变形。此时，对加工夹具15变形的矫正，也可 以通过对规定的加工夹具15的若干区域施加矫正负荷(按压力或者拉伸力)来进行，此外 也可以通过其它方法进行。当判定变形量太大以至于达到不可能矫正加工夹具的程度时， 将长形条14从加工夹具15上卸下后再重新安装。当把长形条14重新安装在加工夹具15 上时，由于在之前的安装状态中已求出加工夹具15的变形量，因此要选择尽可能消除该变 形的安装方法，具体来说，可调整加工夹具15上长形条14的安装位置以及安装姿态，或者 考虑到粘合变形，可以调整粘合剂涂布的分布等。 此外，如上所述，可以利用夹具光学标记12来求算加工夹具15变形量，同时也可 以利用长形条光学标记11来求算长形条14的变形量。此时，根据长形条光学标记11来求 算长形条14的变形量实际上也包含了加工夹具15的变形量。因此，要从利用长形条光学 标记11求算的长形条14的变形量中，减去利用夹具光学标记12求算的加工夹具15的变 形量，从而求出长形条14的真值变形量。通过以上方法，可以更正确的掌握长形条14的翘 曲及变形，进而可以对长形条14实际的翘曲及变形进行解析。由于可以对这种长形条14 实际的翘曲及变形进行解析，因此长形条14在加工夹具15上的粘合条件能够达到最佳化， 同时可以通过迅速并简单的控制得到期望的MR高度及颈高度。
权利要求
一种具有读取元件和写入元件的磁头的制造方法，其特征在于包括准备长形条的步骤，在所述长形条上形成了若干所述磁头；将所述长形条安装并固定在具有若干夹具光学标记的加工夹具上的步骤；检测若干所述夹具光学标记的位置的步骤，若干所述夹具光学标记设置在安装了所述长形条的所述加工夹具上；根据检测出的若干所述夹具光学标记的所述位置来求算加工夹具的变形，当所述加工夹具的变形在容许范围内时，用所述加工夹具继续固定所述长形条，当所述加工夹具的变形在容许范围之外时，卸下所述长形条的步骤；对安装在所述加工夹具上的所述长形条进行加工的步骤；将进行加工后的所述长形条切割成单个所述磁头的步骤。
2. —种具有读取元件和写入元件的磁头的制造方法，其特征在于包括 准备长形条的步骤，在所述长形条上形成了若干所述磁头并设置了若干长形条光学标记；将所述长形条安装并固定在具有若干夹具光学标记的加工夹具上的步骤； 检测若干所述夹具光学标记的位置的步骤，若干所述夹具光学标记设置在安装了所述长形条的所述加工夹具上；检测若干所述长形条光学标记的位置的步骤，若干所述长形条光学标记设置在所述长形条上；根据检测出的所述夹具光学标记与所述长形条光学标记的相对位置关系，求算长形条 的实际变形，当所述长形条的实际变形在容许范围内时，用所述加工夹具继续固定所述长 形条，当所述长形条的实际变形在容许范围之外时，卸下所述长形条的步骤；对安装在所述加工夹具上的所述长形条进行加工的步骤；将进行加工后的所述长形条切割成单个所述磁头的步骤。
3. —种具有读取元件和写入元件的磁头的制造方法，其特征在于包括 准备长形条的步骤，在所述长形条上形成了若干磁头并设置了若干长形条光学标记； 将所述长形条安装并固定在具有若干夹具光学标记的加工夹具上的步骤； 检测若干所述夹具光学标记的位置的步骤，若干所述夹具光学标记设置在安装了所述长形条的所述加工夹具上；检测若干所述长形条光学标记的位置的步骤，若干所述长形条光学标记设置在所述长 形条上；根据检测出的所述夹具光学标记与所述长形条光学标记的相对位置关系，对所述加工 夹具施加按压或者拉伸的矫正负荷的步骤；对安装在施加了所述矫正负荷的所述加工夹具上的所述长形条进行加工的步骤； 将进行加工后的所述长形条切割成单个所述磁头的步骤。
4. 如权利要求2或3所述磁头的制造方法，其特征在于包括将若干所述长形条光学标记，以沿所述长形条纵向方向排列的方式，配置在所述长形 条上；将若干所述夹具光学标记，以在所述加工夹具上安装所述长形条时沿所述长形条纵向 方向排列的方式，配置在所述加工夹具上；根据所述夹具光学标记与所述长形条光学标记的相对位置关系，求出所述长形条的变形。
5. —种在磁头制造中所使用的加工夹具，所述加工夹具用于固定长形条，所述长形条 上形成了若干具有读取元件和写入元件的所述磁头，其特征在于 所述加工夹具具有若干夹具光学标记。
全文摘要
本发明的目的在于提供一种经过简单并迅速的处理就能够高精度地形成MR高度和颈高度的磁头制造方法，并提供一种用于该制造方法的加工夹具。其中，所述磁头制造方法包括以下步骤将长形条安装在具有若干夹具光学标记的加工夹具上，该长形条上形成了若干具有读取元件和写入元件的磁头。检测安装了长形条的加工夹具上的若干夹具光学标记的位置，并且检测长形条上设置的若干长形条光学标记的位置。根据检测出的若干夹具光学标记位置和若干长形条光学标记的相对位置关系，来求算长形条的实际变形量，当长形条的实际变形在容许范围之外时，卸下长形条再重新安装，然后对安装在加工夹具上的长形条进行加工，再将其切割成单个磁头。
文档编号G11B5/127GK101714357SQ20081016965
公开日2010年5月26日 申请日期2008年10月7日 优先权日2008年10月7日
发明者保坂浩治, 小野寺郁人, 朱宁, 洪晓明, 藤井隆司 申请人:新科实业有限公司