利用近场光的磁头悬架组件及具备它的信息记录再现装置的制作方法

专利名称：利用近场光的磁头悬架组件及具备它的信息记录再现装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及利用对光进行会聚后的点光(spot light)来在记录介质中记录再现 各种信息的磁头悬架组件(head gimbal assembly)及具备它的信息记录再现装置。
背景技术：
近年来，受到希望进行更大量且更高密度的信息的记录再现等的需求的影响，要 求计算机设备中的硬盘驱动器等信息记录再现装置实现进一步的高密度化。因此，为了将 相邻磁区之间的影响和热扰动抑制为最小限度，开始采用矫顽力强的材料作为记录介质。 因此，很难将信息记录到记录介质中。
因此，为了消除上述的不良情况，提供了下述混合型磁记录方式的信息记录再现 装置，即利用对光进行会聚后的点光、或对光进行会聚后的近场光，对磁畴进行局部加热， 使矫顽力暂时降低，在该期间内对磁盘进行写入。特别是在利用近场光的情况下，能够处理 现有光学系统中被视为极限的光波长以下的区域中的光学信息。因此，能够实现超越现有 的光信息记录再现装置等的记录比特的高密度化。
作为上述混合型磁记录方式的信息记录再现装置，已提出了各种装置，作为其中 之一，公知有如下的信息记录再现装置其向近场光元件供给用于生成近场光的光，由此， 由近场光元件生成足够大的近场光，能够实现超高分辨率的再现记录、高速记录再现、高SN 比化。该信息记录再现装置使具备近场光元件的滑块在记录介质上扫描，将滑块配置到记 录介质上的期望位置。然后，使从光源放射的近场光与从滑块产生的记录磁场协调工作，由 此能够将信息记录到记录介质中。
这里，作为混合型磁记录方式中的光的供给方式，例如专利文献1所示，公知有在 悬浮体上设置光波导线路的磁头悬架组件的结构。并且，如专利文献2所示，公知有使用光 纤和光棱镜来供给光的结构。
专利文献1 日本特许第416沈97号公报
专利文献2 日本特开2002-298302号公报
但是，上述现有技术的磁头悬架组件中，不能充分地进行光的供给。在专利文献1 中，如图2所示，未设想到对来自光波导线路的光进行会聚。因此，不能将充分的能量汇集 到相当于1比特数据的微小区域中，不能实现混合型磁记录的记录比特的高密度化。为了 产生充分小的光点并将其照射至磁盘，希望在滑块内设置聚光元件或近场光元件，但在该 情况下，需要使光入射到滑块的预定位置。在专利文献1中，由于光波导线路和滑块均设置 在基础绝缘层(柔性基板)上，因此很难使光入射到滑块的预定位置。
另外，为了不妨碍控制滑块稳定悬浮的悬浮体的动作，光波导线路以小曲率半径 而弯曲，但在这种小曲率半径的弯曲的情况下，光波导线路很难将光保持在其芯体内。其结 果是，当在记录介质中进行信息记录时，不能充分地对磁畴进行加热，可能导致信息记录失 败。
另外，在如专利文献2的结构中，虽然光的传播没有很大问题，但需要将光棱镜那样的部件固定在滑块或悬浮体中，可能因制造成本增加及重量增加而导致滑块的悬浮性能恶化。发明内容
本发明是考虑到这样的情况而完成的，其目的在于，提供一种利用近场光的记录 用磁头悬架组件及具备该记录用磁头悬架组件的信息记录再现装置，其能够同时实现滑块 内的近场光元件与滑块外的光源之间的高效连接、以及滑块的稳定悬浮。
为了达成上述目的，本发明提供以下手段。
本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，该磁头悬架组件具有 挠曲部，其构成沿着记录介质的表面延伸设置的悬浮体的一部分；柔性基板，其设置在挠曲 部上；滑块，其以与记录介质的表面相对的方式固定在柔性基板的至少一部分上，使用光束 来产生近场光；以及光供给部，其固定在挠曲部上，其中，柔性基板的至少一部分构成相对 于所述光供给部的光轴倾斜的镜面，光供给部经由镜面与滑块以光学方式结合。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中，通过将柔性基板侧面形成为镜 面，能够实现紧凑的光转向构造。另外，能够将用于光转向的追加部件抑制到最小限度，因 此能够以低成本实现光转向构造，磁头悬架组件的性能因重量增加而降低的程度减轻。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，该磁头悬架组件 还具有设置于柔性基板的电配线。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，电配线设置在柔 性基板内，与所述挠曲部绝缘。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，柔性基板的一部 分为光供给部。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，柔性基板与光供 给部的载置于挠曲部上的部分中的至少一部分是以相同厚度及相同材料形成的。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中，可利用光刻法等对同一树脂模 进行加工而得到柔性基板以及光供给部中的载置于挠曲部上的部分，因此能够以低成本进 行制造。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，光供给部的至少 一部分是由供光束通过的芯体和覆盖所述芯体的覆盖层构成的光波导线路。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，柔性基板包含芯 体和覆盖层。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中，光波导线路与电配线可一体形 成为光电复合配线，因此能够高效率地进行制造。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，光供给部的至少 一部分为激光器。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，电配线中的至少一方与光供给部连接。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，具有设置在镜面 上的金属膜。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中，能够提高镜面的反射率，因此 能够将来自光供给部的光高效率地传递到滑块。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，柔性基板具有切 口，切口具有所述镜面。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，切口由V形槽构 成，该V形槽由第1面及第2面构成，第1面为镜面，第2面为光供给部的光出射端。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中，仅通过在柔性基板上设置切 口，即可形成对光进行反射的功能，因此能够简化整体的结构，提高制造的容易性。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，该磁头悬架组件 具有设置于柔性基板的电配线；以及设置于所述柔性基板的连接焊盘，其用于对滑块与 电配线进行电连接，其中，相比于连接焊盘与电配线之间的连接点，切口被设置在悬浮体的 前端侧。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中，无需切断电配线即可形成切 口。由此，能够与滑块进行稳定的电信号的通信并向近场光产生元件供给高强度且稳定的 光。因此，能够实现高密度、稳定的改写记录。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，该磁头悬架组件 具有设置在挠曲部上的导向部，其用于在挠曲部上对光供给部进行定位，以与柔性基板相 同的材料及相同厚度构成。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中，可利用光刻法等对同一树脂模 进行加工来得到柔性基板以及导向部，因此无需另行地加工导向部，能够以低成本得到光 供给部的固定构造。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，柔性基板与导向 部是一体的。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中，能够用导向部将光供给部固定 到镜面附近。因此，来自光供给部的出射光的光轴不易发生错乱，能够高效率地将能量传递 到近场光元件。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，导向部的侧面中 的至少一个面是相对于光供给部的光轴倾斜的。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中，在形成倾斜预定角度的镜面的 情况下，可以使用具有V形截面或梯形截面的刃的切割刀片。因此，能够容易且低成本地进 行构造的加工。并且，能够减小导向部与镜面之间的距离，因此能够用导向部将光供给部固 定到镜面附近。因此，来自光供给部的出射光的光轴不易发生错乱，能够高效率地将能量传 递到近场光元件。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，光供给部具有与 挠曲部的厚度相同的厚度或比挠曲部的厚度薄的厚度。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，悬浮体具有设置 在挠曲部周围的一部分上的开口，光波导线路被设置为跨过开口。
另外，本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于，柔性基板由树脂 构成。
另外，本发明的信息记录再现装置的特征在于，该信息记录再现装置由上述本发 明的利用近场光的记录用磁头悬架组件以及所述记录介质构成。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中，在使记录介质旋转后，使支架 绕枢轴旋转，使支承在悬浮体上的滑块进行扫描。然后，将滑块配置在记录介质上的期望位 置。然后，从光源向光波导线路内入射光束。由此，能够利用磁头悬架组件的滑块，在记录 介质中进行各种信息的记录再现。
特别是，由于具备本发明的磁头悬架组件，因此能够准确且高密度地进行信息的 记录再现，实现高质量化。另外，能够低成本地制造性能稳定的信息记录再现装置。
根据本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件，能够同时实现滑块内的近场光 元件与滑块外的光源之间的高效连接、以及滑块的稳定悬浮。由此，能够提供高性能的信息 记录再现装置。


图1是示出本发明第1实施方式的信息记录再现装置的结构图。
图2是图1所示的磁头悬架组件的立体图。
图3是图2所示的磁头悬架组件的放大图。
图4是沿图3的A-A’线的截面图。
图5是示出本发明第2实施方式的磁头悬架组件的图。
图6是示出本发明第3实施方式的磁头悬架组件的图。
图7是示出本发明第4实施方式的磁头悬架组件的图。
图8是示出本发明第5实施方式的磁头悬架组件的立体图。
图9是沿图8的B-B，线的截面图。
图10是沿图8的C-C’线的截面图。
图11是图8所示的磁头悬架组件的放大图。
图12是示出本发明第6实施方式的磁头悬架组件的立体图。
图13是图12所示的磁头悬架组件的放大图。
图14是示出本发明第7实施方式的磁头悬架组件的结构图。
图15是说明本发明第7实施方式的磁头悬架组件的截面图。
图16是示出本发明第7实施方式的磁头悬架组件的制造方法的说明图。
图17是说明本发明第8实施方式的磁头悬架组件的截面图。
图18是说明本发明第9实施方式的磁头悬架组件的截面图。
图19是说明本发明第10实施方式的磁头悬架组件的截面图。
图20是示出本发明第11实施方式的磁头悬架组件的制造方法的说明图。
图21是说明本发明第12实施方式的磁头悬架组件一例的结构图。
图22是说明本发明第12实施方式的磁头悬架组件一例的截面图。
图23是说明本发明第12实施方式的磁头悬架组件一例的截面图。
标号说明
D记录介质；1信息记录再现装置；2滑块；3悬浮体；11支架；12磁头悬架组件；13 柔性配线；204挠曲部(flexure) ；20 垫盘(pad)部；206光纤；301柔性基板；301a镜面；304光纤导向部；1203激光器；1204激光导向部。
具体实施方式
(第1实施方式)
下面，参照图1至图4来说明本发明的第1实施方式。图1是示出本实施方式的 信息记录再现装置1的结构图。并且，本实施方式的信息记录再现装置1是以热辅助磁记 录方式来对具有磁记录层的记录介质D进行写入的装置。
如图1所示，在本实施方式的信息记录再现装置1中，固定有滑块2的悬浮体3被 固定在支架11上。将滑块2与悬浮体3合称为磁头悬架组件12。圆盘状的记录介质D通 过主轴电机7向预定方向旋转。支架11能够以枢轴(pivot) 10为中心旋转。支架11通过 致动器6进行旋转，该致动器6受来自控制部5的控制信号的控制。支架11能够将滑块2 配置到记录介质D表面上的预定位置处。壳体9由铝等构成，呈箱状(为了易于理解说明， 在图1中省略了包围壳体9的周围的周壁)。壳体9将上述部件收纳在其内部。主轴电机 7被固定在壳体9的底面。滑块2具有朝向记录介质D产生磁场的磁极(省略图示)、产 生近场光点的近场光元件(省略图示)、以及对记录在记录介质D中的信息进行再现的再现 元件(省略图示)。磁极和再现元件经由沿悬浮体3及支架11铺设的柔性配线13、设在支 架11侧面的接线端子14、以及扁平线缆4而与控制部5连接。
记录介质D可以为1个，但也可以如图1所示那样设置有多个。如果记录介质D 的个数增加，则磁头悬架组件12的个数也增加。图1中示出了仅在记录介质D的单面侧设 置有磁头悬架组件12的结构，但也可以在双面均设置磁头悬架组件12。因此，磁头悬架组 件12的个数最大为记录介质D的个数的2倍。由此，能够增加每个信息记录再现装置的记录容量。
图2是第1实施方式的磁头悬架组件12的放大图。悬浮体3由以不锈钢薄板为材 料的基板201、枢接部(hinge) 202、承载梁(load beam) 203、挠曲部(flexure) 204构成。基 板201通过设在其一部分中的安装孔201a而固定在支架11上。枢接部202连接基板201 和承载梁203。枢接部202比基板201和承载梁203薄，悬浮体3能够以枢接部202为中心 而挠曲。挠曲部204是固定在承载梁203和枢接部202上的细长部件，比承载梁203和基 板201薄，易于挠曲。挠曲部204的前端固定有大致长方体形状的滑块2。
滑块2的表面中的与固定在挠曲部204上的面相反的面是面向记录介质D的面。 该面是利用由旋转的记录介质D产生的气流的粘性来产生用于使滑块2悬浮的压力的面。 该面被称为ABS(Air Bearing Surface 空气支承面)。ABS上设有省略了图示的凹凸形状。 ABS在滑块2与记录介质D之间产生期望的压力分布。利用欲使滑块2远离记录介质D的 正压、欲使滑块2靠近记录介质D的负压以及悬浮体3的推压力之间的平衡，滑块2以期望 的状态而悬浮。记录介质D与滑块2之间的间隙的最小值为IOnm左右或IOnm以下。悬浮 体3的推压力主要是由枢接部202的弹性来产生的。并且，枢接部202及挠曲部204与记 录介质D的表而的起伏对应地发生挠曲，由此能够保持期望的悬浮状态。
挠曲部204上设有柔性配线13。挠曲部204具有大致二字状的开口部。在挠曲 部204中，在被该开口部围住而成为舌状的垫盘部20 上固定有滑块2。滑块2的端部中 的靠悬浮体3的根部侧(支架11侧)的端部称为流入端。将与其相反的靠悬浮体3的前端侧的端部称为滑块2的流出端。它们是基于由上述记录介质D引起的气流的方向而命名 的。磁极(省略图示)、近场光元件(省略图示)以及再现元件(省略图示)设置在滑块2 的流出端侧的侧面上。从悬浮体3的根部侧延伸设置出来的柔性配线13从途中分支为两 根，以绕过上述开口部及滑块2的两侧的方式，与流出端侧的磁极以及再现元件连接。
激光器205设置在挠曲部204的载置于基板201上的部分的一部分上。激光器205 与柔性配线13电连接，激光器205根据控制部5的电信号进行发光动作。在激光器205的 出射端以光学方式连接有光纤206。光纤206的另一端与设在滑块2中的近场光元件(省 略图示)以光学方式结合。由此，来自激光器205的光经由光纤206被导入到近场光元件 中。并且，使用套管207以在光纤206的长度方向上畅通的方式支承光纤206。如上所述， 在信息记录再现装置1工作时，枢接部202及挠曲部204与记录介质D的起伏对应地发生 挠曲。但是，通过由套管207支承光纤206，能够减轻光纤206对枢接部206及挠曲部204 的挠曲的妨碍，使滑块2稳定地悬浮。
图3是第1实施方式的垫盘部20 附近的放大图。图4是图3的A_A’截面。柔 性配线13由柔性基板301、以及载置于该柔性基板301上的4根金属配线302构成。柔性 基板301由聚酰亚胺(polyimide)等树脂构成。金属配线302由铜构成，其表面实施了镀 金。柔性基板301将金属配线302与挠曲部204之间绝缘。另外，没有图示，出于保护的目 的而用聚酰亚胺等树脂覆盖了金属配线302的一部分。4根金属配线302分别与设置在滑 块2中的磁极(省略图示)及再现元件(省略图示)各连接2根。另外，金属配线302的 根数不限定于4根，可根据需要进行增减。
在垫盘20 上，以与柔性基板301相同的材料及相同的厚度，设有光纤导向部303 和垫片(spaCer)304。光纤导向部303为2对俯视呈长方形的形状，光纤206以夹在2对光 纤导向部303之间的方式被定位在垫盘部20 上。以将滑块2载置在柔性基板301的未 载置有金属配线302的部分中的一部分、光纤导向部303以及垫片304上的方式，对滑块2 进行了粘接固定。由于柔性基板301、光纤导向部303及垫片304为相同厚度，因此能够稳 定地固定滑块2。适当设置垫片304以使滑块2稳定地固定在垫盘部20 上。这里，在滑 块2的流入端侧设置了 2对垫片304。柔性基板301的端面中的、与光纤206及光纤导向部 303相对的面是相对于光纤206的长度方向倾斜45度的倾斜平面。通过在该倾斜平面上进 行金属覆膜而形成镜面301a。覆膜的金属使用铝或金。由此，从设置为夹在滑块2与垫盘 部20 之间的光纤206出射的光在镜面301a上转向90度，从而被导入到设在滑块2内部 的近场光元件(省略图示)中。优选的是，柔性基板301、光纤导向部303以及垫片304的 厚度等于或小于光纤206的直径。光纤206的直径为几十μ m到125 μ m。光纤206的直径 越小，则越能够减小滑块2与垫盘部20 之间的距离，从而滑块2的悬浮性能越好。并且， 也可以仅减小光纤206中的载置于垫盘部20 上的部分的直径。
根据这样的结构，通过使用镜面301a，能够实现紧凑的光转向构造。并且，通过将 柔性基板301的一部分改用作镜面，能够以低成本实现光转向构造。并且，能够将用于实现 光转向的追加部件抑制为最小限度，因此，磁头悬架组件性能因重量增加而降低的程度得 到减轻。
另外，可利用光刻法等对同一树脂膜进行加工来得到柔性基板301、光纤导向部 303及垫片304，因此，无需另外对光纤导向部303和垫片304进行加工，从而能够以低成本得到光纤固定构造。
(第2实施方式)
下面，参照图5来说明本发明的第2实施方式。对与第1实施方式相同的部分标 注相同标号，并省略详细的说明。
本实施方式与第1实施方式的不同之处在于，柔性基板301的端面中的与光纤206 相对的部分被切除出矩形，在该切口部的侧面中的与光纤206相对的面上设置有镜面501。 与第1实施方式相同，镜面501是对相对于光纤206长度方向倾斜45度的倾斜平面进行金 属覆膜而成的。
根据这样的结构，既能确保柔性基板301的供载置滑块2的区域的大小，又能在尽 量接近滑块2的流出端的位置处将光导入。由于能够将滑块2稳定地固定在柔性基板301 上，因此能够提高组装的成品率，且能够防止滑块2与挠曲部204之间的振动特性的恶化。 另外，由于能够将设在滑块2中的近场光元件设在靠近流出端的地方，因此滑块的制造变 得容易。
(第3实施方式)
下面，参照图6来说明本发明的第3实施方式。对与第1实施方式相同的部分标 注相同标号，并省略详细的说明。本实施方式与第1实施方式的不同之处在于，光纤导向部 601的端面中的与镜面301a相对的面为倾斜平面602。
根据这样的结构，在形成镜面301a的倾斜平面时，可以使用具有V字截面或梯形 截面的刃的切割刀片。由此，能够容易且低成本地进行构造的加工。并且，由于能够减小光 纤导向部601与镜面301a之间的距离，因此可以利用光纤导向部601将光纤206固定到镜 面301a附近。因此，来自光纤206的出射光的光轴不易发生错乱，从而能够高效率地将能 量传递到近场光元件。
(第4实施方式)
下面，参照图7来说明本发明的第4实施方式。对与第1实施方式及第2实施方 式相同的部分标注相同标号，并省略详细的说明。本实施方式与第2实施方式的不同之处 在于，光纤导向部701与柔性基板702形成为一体。
根据这样的结构，可以利用光纤导向部701将光纤206固定到镜面501附近。因 此，来自光纤206的出射光的光轴不易发生错乱，从而能够高效率地将能量传递到近场光 元件。
(第5实施方式)
下面，参照图8至图11来说明本发明的第5实施方式。对与第1实施方式相同的 部分标注相同标号，并省略详细的说明。
与第1实施方式的不同之处在于，在挠曲部204上设置有光电复合配线801来替 代柔性配线。在光电复合配线801上配置有激光器205，该激光器205与光电复合配线801 以电气方式、光学方式连接。另外，激光器205也可以配置在支架11或控制部5的附近。
图9是沿着图8的B-B’线的、挠曲部204和光电复合配线801的截面图。光电复 合配线801与第1实施方式的柔性配线的结构十分相似，而不同之处在于，在柔性基板802 内设置有矩形截面的波导芯体803。波导芯体803的截面的一边为几μ m到几百u m，由具 有透光性的树脂材料形成。例如可以使用透光性的聚酰亚胺。并且，柔性基板802的折射率比波导芯体803的折射率小，该柔性基板802为非导电性的树脂材料。柔性基板802也 可以使用透光性的聚酰亚胺。在柔性基板802上设有4根金属配线。
图10是沿着图8的C-C’线的、挠曲部204和光电复合配线801的截面图。与第1 实施例的相同之处在于，金属配线302被分为2组，绕过形成垫盘部20 的挠曲部的开口 部，与滑块2的流出端侧连接，不过在本实施例中，还分支出由波导芯体803和包住该波导 芯体803的柔性基板802构成的波导线路804。S卩，从悬浮体3的根部延伸设置出的光电 复合配线801在途中被分为2组金属配线和1条波导线路共3支而配置到垫盘部20 上。 波导线路804从滑块2的流入端侧插入。其原因在于，一般情况下，与电配线相比，光波导 线路不容易弯曲，不能进行绕过滑块2那样的配线。
图11是本实施方式的垫盘部20 附近的放大图。从滑块2的流入端侧配置到垫 盘部20 上的波导线路804在垫盘部20 上具有端部805。在端部805中，波导芯体803 露出，从而来自激光器205的光放射出来。在载置着金属配线302的柔性基板802的与端 部805相对的端面上，与第1实施方式相同地形成有镜面301a。从波导芯体803出射的光 在镜面301a上转向90度而导入到设在滑块2内部的近场光元件(省略图示)中。由此， 通过来自控制部5的电信号来驱动激光器205，并通过光电复合配线801内的波导芯体803 及镜面301a将来自激光器205的光导入到设在滑块2中的近场光元件中。以将滑块2载 置在镜面301a附近的柔性基板802、端部805附近的波导线路804及垫片304上的方式，对 滑块2进行粘接固定。由于在波导线路804上施加负荷时，会对波导性能产生不良影响，因 此为了分散负荷而增大了波导线路804的载置滑块2的部分中的至少一部分的宽度。
根据这样的结构，除在第1实施方式的效果以外，由于波导芯体803与金属配线 302 一体地形成为光电复合配线801，因此还可高效地进行制造。
(第6实施方式)
下面，参照图12至图13来说明本发明的第6实施方式。对与第1实施方式相同 的部分标注相同标号，并省略详细的说明。本实施方式与第1实施方式的不同之处在于，去 除了光纤，从而变更了激光器的位置。
图12是第6实施方式的磁头悬架组件12的放大图。在挠曲部204上设有柔性配 线 1201。
图13是第6实施方式的垫盘部20 附近的放大图。柔性配线1201由柔性基板 301以及载置在该柔性基板301上的6根金属配线1202构成。金属配线1202由铜构成， 其表面实施了镀金。柔性基板301将金属配线1202与挠曲部204之间绝缘。另外，未作 图示，出于保护的目的而用聚酰亚胺等树脂覆盖了金属配线1202的一部分。6根金属配线 1202中的4根分别与设在滑块2中的磁极(省略图示)及再现元件(省略图示)各连接2 根。在垫盘部20 上配置有激光器1203。另外，在垫盘部20 上配置有俯视呈二字状的 激光导向部1204。激光导向部1204与柔性基板301为相同的材料及相同的厚度。因此， 可同时形成激光导向部1204和柔性基板301。激光器1203嵌入到俯视呈二字状的激光导 向部1204中，容易进行定位。激光器1203为端面发光激光器，因此激光从其侧面出射。激 光导向部1204不会妨碍来自激光器1203侧面的激光的出射。激光器1203的厚度等于或 小于激光导向部1204的厚度。以将滑块2载置在柔性基板301的一部分、激光器1203、以 及激光导向部1204上的方式，对滑块2进行固定。6根金属配线1202中的、未与磁极及再现元件连接的2根经由滑块2表面的电极(省略图示)与激光器1203连接，以驱动激光器 1203。由此，从设置为夹在滑块2与垫盘部20 之间的激光器1203出射的光在镜面301a 上转向90度而被导入到设在滑块2的内部的近场光元件(省略图示)中。根据这样的结 构，即使变更了激光器的安装位置也能得到第1实施方式的效果。
(第7实施方式)
下面，参照图14至图16来说明本发明的第7实施方式。对与第1实施方式相同 的部分标注相同标号，并省略详细的说明。本实施方式与第1实施方式的不同之处在于，在 柔性基板内部设置了光波导线路，并在此处形成了切口，由此来实现镜面。
在挠曲部204上设有柔性配线2013，柔性配线2013由柔性基板2301、和载置于 该柔性基板2301上的电配线3302构成。在柔性基板2301的内部设有光波导线路的芯体 3303。以跨越挠曲部204的开口 205的方式来设置光波导线路的芯体3303，并且在滑块2 侧的芯体3303的端面处设有切口 3310。并且，电配线3302与连接焊盘3320连接。相比 于电配线3302与连接焊盘3320的连接点，切口 3310被设置在悬浮体3的前端(自由端) 侧。由此，可以在不使电配线3302切断或变形的情况下形成切口 3310。并且，切口 3310构 成镜面。
柔性配线2013的电配线3302经由连接焊盘3320与滑块2电连接，芯体3303经 由切口 3310以光学方式与滑块2连接。由于柔性配线2013的电配线3302和芯体3303分 别以电气方式及光学方式与控制部5连接，因此控制部5的电路及激光器与滑块2以电气 方式及光学方式连接。
图15是挠曲部204、柔性配线2013及滑块2的截面图。其表示与图14中的H平 面平行的面上的截面。柔性配线2013由以下部分构成形成在挠曲部204上的基础覆盖层 (base clad layer) 3301、形成在基础覆盖层3301上的芯体3303、覆盖芯体3303的遮蔽覆 盖层(cover cladlayer) 3305、形成在遮蔽覆盖层3305上的电配线3302、覆盖电配线3302 的遮蔽层(cover layer) 3304、以及设置在芯体3303的端部处的切口 3310。基础覆盖层 3301与遮蔽覆盖层3305为相同的光折射率，通过准确地管理光折射率来形成芯体3303、基 础覆盖层3301和遮蔽覆盖层3305，由此构成光波导线路。电配线3302由铜、铝、金等材料 构成。遮蔽覆盖层3305和遮蔽层3304承担电配线3302的绝缘的功能。基础覆盖层3301、 遮蔽层3304、芯体3303、遮蔽覆盖层3305均由聚酰亚胺等树脂构成。切口 3310的斜面(镜 面)相对于挠曲部204具有45°的角度，在斜面的表面上设置有金、铝等的薄膜而构成反射 膜 3311。
另外，柔性配线2013内部的芯体3303为直线状或是以大曲率半径弯曲的结构，因 此在芯体3303内部传播的光在传播到切口 3310之前几乎不会发生衰减。
从芯体3303出射的光在通过空气而传播到切口 3310内之后，在设于切口 3310的 斜面上的反射膜3311上发生反射，进而入射到设在滑块2内的近场光产生元件210中。入 射到近场光元件210中的光在滑块2的ABS面上生成近场光，对记录介质D上的微小区域 进行加热。
电配线3302经过焊锡凸块3401与设在滑块2侧面的电焊盘、磁极以及再现元件 (省略图示)电连接。
由此，可通过来自控制部5的电路的信号来控制设在滑块2中的磁极及再现元件。12另外，可通过设在磁极附近的近场光产生元件210的近场光来对记录介质D的期望区域进 行加热，因此能够对记录介质D的信息进行记录再现。
图16示出了本发明的磁头悬架组件的制造工序，特别是柔性配线2013的制造方 法、以及柔性配线2013与滑块2之间的连接固定方法。图16示出了与图14中的H平面 平行的面上的截面。
在不锈钢的薄板上涂敷感光性聚酰亚胺。进行曝光及显影，形成基础覆盖层 3301 (图16 (a))。在其上涂敷抗蚀剂，进行曝光及显影，然后，形成芯体3303 (图16 (b))。在 除去抗蚀剂后，涂敷感光性聚酰亚胺，进行曝光及显影，形成遮蔽覆盖层3305 (图16 (c))。 接着，使用单侧具有45°倾斜的切割刀具，切除基础覆盖层3301、芯体3303、遮蔽覆盖层 3305，在预定位置处形成切口 3310(图16(d))。在用抗蚀剂将斜面部分以外的部分保护起 来之后，在斜面部分上进行铝的蒸镀，形成反射膜3311(图16(e))。除去抗蚀剂后，涂敷另 外的抗蚀剂，进行曝光及显影，然后，用铜形成电配线3302 (图16 (f))。在除去抗蚀剂后，涂 敷感光性聚酰亚胺，进行曝光及显影，形成遮蔽层3304 (图16 (g))。由此，形成了柔性配线 2013。
用抗蚀剂等将柔性配线2013的整体保护起来之后，对不锈钢的薄板进行蚀刻，形 成挠曲部204(图16(h))。在除去抗蚀剂后，通过激光焊接对另行制作的悬浮体的承载梁与 挠曲部204进行固定。在电配线3302的露出部分上印刷焊锡凸块3401，在遮蔽3304上涂 敷热硬化性的粘接剂3402 (图16 (i))。将滑块2定位在柔性配线2013的预定位置处，进行 加热。焊锡凸块3401发生熔解，从而电配线3302与滑块2的电配线电连接，滑块2通过粘 接剂；3402固定在遮蔽层3304上(图16 (j))。
根据这样的结构，来自激光器的光能够在几乎发生不衰减的情况下入射到近场光 产生元件中，从而能够从滑块发出高强度的近场光。并且，由于在滑块上未搭载有大的光学 部件，因此滑块的总高度几乎没有变化。因此，能够实现滑块的稳定悬浮，能够使滑块与记 录介质相接近。由此，能够使磁极、近场光元件以及再现元件与记录介质D之间的距离保持 为恒定，因此能够实现准确且稳定的记录再现。另外，柔性配线2013可一体地形成电配线、 光波导及与近场光产生元件之间的连接部件，因此能够实现低成本的结构。
(第8实施方式)
下面，参照图17来说明本发明的第8实施方式。对与第7实施方式相同的部分标 注相同标号，并省略详细的说明。本实施方式与第7实施方式的不同之处在于构成为，在切 口 3310中填充了粘接剂3402。
根据这样的结构，滑块2与柔性配线2013之间的粘接面积扩大，能够增大粘接强 度。并且，关于粘接剂3402，通过使用光学用粘接剂，特别是具有与光波导线路的芯体3303 相同的折射率的粘接剂，由此，芯体3303端面处的反射光变小，入射到切口 3310及近场光 产生元件210的光量变大，能够生成更强的近场光。
(第9实施方式)
下面，参照图18来说明本发明的第9实施方式。对与第7实施方式相同的部分标 注相同标号，并省略详细的说明。本实施方式与第7实施方式的不同之处在于，切口 3310 的斜面的角度不同。
如图18所示，切口 3310的斜面不限于45°，也可以构成为60°左右。此时，通过在近场光产生元件210内设置光栅，能够使相对于近场光产生元件210倾斜地入射的光的 行进方向成为与滑块2的ABS面垂直的方向来进行传播。同时，能够在切口 3310与连接焊 盘3320之间确保有设置电配线3302的区域。因此，在形成切口 3310时，可用切割刀具等 一并加工多个柔性配线2013。
并且，通过将切口 3310的斜面形成为凹状，能够构成凹面镜，从而能够在对光进 行会聚后使其入射到近场光产生元件210中。
另外，以上使用切口 3310作为镜面的一例进行了说明，但显然并不限于此。例如， 也可以倾斜地切断芯体3303的前端，由此利用其前端的斜面来进行光的反射。另外，优选 的是，斜面相对于光轴的角度是在全反射条件下对光进行反射的角度。
(第10实施方式)
下面，参照图19来说明本发明的第10实施方式。对与第7实施方式相同的部分 标注相同标号，并省略详细的说明。本实施方式与第7实施方式的不同之处在于，将光波导 线路的芯体3303的端面形成为斜面。
如图19所示，光波导线路的芯体3303的端面构成为设有几度左右的倾斜。根据 这样的结构，虽然在芯体3303中传播来的光在端面上发生反射，但由于不是光波导线路的 传播模式，因此反射光不会传播到激光器。因此，激光的振荡稳定，因此，能够将稳定的光供 给到光波导线路、乃至近场光产生元件中，从而能够生成稳定的近场光。
(第11实施方式)
下面，参照图20来说明本发明的第11实施方式。对与第7实施方式相同的部分 标注相同标号，并省略详细的说明。本实施方式与第7实施方式的不同之处在于柔性配线 2013内的芯体3303与电配线3302之间的位置关系。
图20示出了用于在同一平面上构成芯体3303与电配线3302的底面的制造工序。 这里，图20示出了与图14中的)(Z平面平行的面上的截面。
具体而言，在不锈钢的薄板上涂敷感光性聚酰亚胺。进行曝光及显影，形成基础 覆盖层3301 (图20 (a))。在其上涂敷抗蚀剂，进行曝光及显影，然后，形成芯体3303 (图 20(b))。在除去抗蚀剂后，涂敷另外的抗蚀剂，进行曝光及显影，然后，用铜形成电配线 3302 (图20 (c))。在除去抗蚀剂后，涂敷感光性聚酰亚胺，进行曝光及显影，形成遮蔽覆盖 层3305(图20(d))。之后的制造工序与上述制造工序相同，使用单侧具有45°倾斜的切割 刀具，针对每个电配线3302，切除基础覆盖层3301、芯体3303、遮蔽覆盖层3305，在预定位 置处形成切口 3310。然后，对不锈钢的薄板进行蚀刻，形成挠曲部。通过激光焊接对挠曲部 与悬浮体的承载梁进行固定。在电配线3302的露出部分上印刷焊锡凸块，在遮蔽层3304 上涂敷热硬化性粘接剂，对滑块进行固定和电连接。
由此，在柔性配线2013中，芯体3303与电配线3302的配置不限于第7实施方式 的结构，可通过任意方式的配置来构成。并且，能够将柔性配线2013构成得较薄，柔性配线 2013的刚性对挠曲部204的变形的阻碍减小。因此，能够使滑块跟随于记录介质，所以能够 使滑块在非常接近记录介质的状态下悬浮。
(第12实施方式)
下面，参照图21及图22来说明本发明的第12实施方式。对与第7实施方式相同 的部分标注相同标号，并省略详细的说明。本实施方式与第7实施方式的不同之处在于，在柔性配线2013内设置有光供给部3330。
图21示出了本实施方式的挠曲部204的一部分，图22示出了柔性配线2013和滑 块2的部分的截面(图21中的H平面)。
具体而言，在柔性配线2013内部设有光供给部3330、多个电配线3302和滑块接 合部3340。光供给部3330由光波导线路的芯体3303及半导体激光器3331构成。电配线 3302分别与连接焊盘3320和激光用连接焊盘3321电连接。滑块接合部3340设置在半导 体激光器3331的周围，其高度比半导体激光器3331的Z方向的高度高。由此，滑块接合部 3340形成为滑块接合部3340的与滑块2相对的面比半导体激光器3331的与滑块2相对 的面更向滑块2侧突出。
滑块2通过与滑块接合部3340和遮蔽覆盖层3305粘接而固定在柔性配线2013上。
激光用连接焊盘3321与半导体激光器3331电连接，半导体激光器3331根据从激 光用连接焊盘3321供给的电信号进行振荡而射出光。从半导体激光器3331出射的光入射 到光波导路径的芯体3303，并在切口 3310处发生反射而入射到设在滑块2中的近场光产生 元件210中。
另外，如图23所示，也可以仅由半导体激光器3331构成光供给部3330。由半导体 激光器3331振荡并射出的光直接入射到切口 3310，并入射到设置在滑块2中的近场光产生 元件210中。
根据这样的结构，作为光源的半导体激光器3331与近场光产生元件210之间的光 路长度变短，能够向近场光产生元件210供给很高的光能。因此，能够生成高强度的近场 光。并且，去除了光波导线路的芯体跨越挠曲部204的开口 205的结构，能够降低滑块2的 支承刚性。因此，滑块2容易跟随于记录介质的振动，能够使滑块2在非常接近记录介质的 状态下悬浮。由此，能够实现稳定且可靠的信息记录。并且，由于半导体激光器3331与滑 块2未被直接固定在一起，因此不会出现滑块2的运动对半导体激光器3331施加负荷等的 应力情况。因此，能够供给稳定且高强度的光。
另外，本发明的技术范围不限于上述实施方式，还包含在不脱离本发明的主旨的 范围内对上述实施方式加以各种变更而得到的方式。即，上述实施方式中举出的结构等只 不过是一例，可以适当地进行变更。并且，也可对上述各实施方式进行适当组合。
另外，优选的是光供给部被设置在柔性配线2013的内部，且具有与柔性配线 2013的厚度相同的厚度或比其薄的厚度。
权利要求
1.一种利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于，该磁头悬架组件具有 挠曲部，其构成沿着记录介质的表面延伸设置的悬浮体的一部分； 柔性基板，其设置在所述挠曲部上；滑块，其以与所述记录介质的表面相对的方式固定在所述柔性基板的至少一部分上， 使用光束来产生近场光；以及光供给部，其固定在所述挠曲部上，其中，所述柔性基板的至少一部分构成相对于所述光供给部的光轴倾斜的镜面， 所述光供给部经由所述镜面与所述滑块以光学方式结合。
2.根据权利要求1所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 该磁头悬架组件还具有设置于所述柔性基板的电配线。
3.根据权利要求2所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 所述电配线设置在所述柔性基板内，与所述挠曲部绝缘。
4.根据权利要求1所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 所述柔性基板的一部分为所述光供给部。
5.根据权利要求1所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于，所述柔性基板与所述光供给部的载置于所述挠曲部上的部分中的至少一部分是以相 同厚度及相同材料形成的。
6.根据权利要求1所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于，所述光供给部的至少一部分是由供所述光束通过的芯体和覆盖所述芯体的覆盖层构 成的光波导线路。
7.根据权利要求6所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 所述柔性基板包含所述芯体和所述覆盖层。
8.根据权利要求1所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 所述光供给部的至少一部分为激光器。
9.根据权利要求1所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 该磁头悬架组件具有设置在所述镜面上的金属膜。
10.根据权利要求2所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 所述电配线中的至少一方与所述光供给部连接。
11.根据权利要求1所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 所述柔性基板具有切口，所述切口具有所述镜面。
12.根据权利要求11所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 所述切口由V形槽构成，该V形槽由第1面及第2面构成，所述第1面为所述镜面，所述第2面为所述光供给部的光出射端。
13.根据权利要求11所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于，该磁头悬架组 件还具有设置于所述柔性基板的电配线；以及设置于所述柔性基板的连接焊盘，其用于对所述滑块与所述电配线进行电连接， 其中，相比于所述连接焊盘与所述电配线之间的连接点，所述切口被设置在所述悬浮体的前端侧。
14.根据权利要求1所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于，该磁头悬架组件具有设置在所述挠曲部上的导向部，该导向部用于在所述挠曲部上对 所述光供给部进行定位，且以与所述柔性基板相同的材料及相同的厚度构成。
15.根据权利要求14所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 所述柔性基板与所述导向部是一体的。
16.根据权利要求14所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 所述导向部的侧面中的至少一个面是相对于所述光供给部的光轴倾斜的。
17.根据权利要求1所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于，所述光供给部具有与所述挠曲部的厚度相同的厚度或比所述挠曲部的厚度薄的厚度。
18.根据权利要求6所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 所述悬浮体具有设在所述挠曲部的周围的一部分上的开口，所述光波导线路被设置为跨越所述开口。
19.根据权利要求1所述的利用近场光的磁头悬架组件，其特征在于， 所述柔性基板由树脂构成。
20.一种信息记录再现装置，其具有权利要求1所述的热辅助磁记录用磁头悬架组件；以及 所述记录介质。
全文摘要
本发明提供利用近场光的磁头悬架组件及具备它的信息记录再现装置。设置在挠曲部(204)上的柔性基板(301)的侧面中的与光纤(206)相对的面构成相对于光纤(206)的长度方向倾斜预定角度的镜面(301a)，由此使光纤(206)与滑块(2)内的近场光元件以光学方式结合。
文档编号G11B5/48GK102034486SQ20101050202
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月30日 优先权日2009年9月30日
发明者千叶德男, 大海学, 平田雅一, 田边幸子, 篠原阳子 申请人:精工电子有限公司