专利名称：光记录介质的制造方法及其制造装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及光记录介质的制造方法及其制造装置，更具体地讲，涉及具有多个记录层的光记录介质的制造方法及其制造装置。
背景技术：
近年来，为了记录/再现长时间且高画质的动态图像等大容量数据，期望开发一种与过去相比能够进一步实现信息高密度化的光记录介质。作为这种能够实现信息高密度化的光记录介质，有蓝光光盘，例如可以举出具有在I块介质上设有2层(双层)记录层的层叠构造的BD — R等。如果采用这种设置2层以上的记录层的多层化技术，则能够在不改变每I层的记录密度的情况下增大容量。这种层叠式多层光记录介质的中间层通常利用被称为光致聚合法(Photo Polymerization,下面有时称为“2P法”)的制造方法进行制造。根据2P法,例如在形成有记录轨道用的凹凸的透明的第I基板上依次形成第I反射层、第I记录层、形成有记录轨道用的凹凸的中间层、第2反射层、第2记录层，最后形成保护层，由此制造2层构造的光记录介质。在2P法中，通常以如下方式制造中间层。首先，在形成了记录层等的基板上涂敷放射线固化性树脂原料等，然后在其上放置具有凹凸的放射线透射性压模。然后，在使所述放射线固化性树脂原料等固化后将压模剥离。这样将凹凸转印到放射线固化性树脂原料的表面上，从而形成中间层。然后，再在中间层上形成记录层等，由此制造具有多个记录层的光记录介质。无论记录再现光从基板侧或者保护层侧的哪一侧入射，中间层都形成了通向至少一个记录层的记录再现光的光路的一部分，中间层的光学均匀性对记录再现特性产生较大的影响。因此，对利用2P法形成的中间层要求某种程度以上的基板整面的膜厚均匀性、以及光学特性的均匀性。通常，一般采用如下方法利用旋涂法在基板上涂敷放射线固化性树脂原料，在其上放置放射线透射性压模，然后照射紫外线等放射线使树脂原料固化来形成中间层(参照专利文献I)。但是，在上述的现有技术中，基板整面的中间层的膜厚分布不均匀、中间层内产生气泡等不良情况的发生频率较高，很难稳定且高效地形成在光学方面具有良好的均匀性的中间层。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2004 - 288259号公报
发明内容
发明要解决的问题本发明正是为了解决利用这种2P法制造层叠式多层光记录介质时出现的技术课题而完成的。S卩，本发明的目的在于，提供一种改善了制造效率的层叠式多层光记录介质的制造方法及其制造装置。用于解决问题的手段为了解决这种课题，本发明的主旨如下所述。(I) 一种光记录介质的制造方法，该光记录介质在具有中心孔的圆板状的基板上具有多个记录层，在多个所述记录层之间具有中间层，该中间层由放射线固化性树脂原料构成，具有凹凸形状，其特征在于，在形成所述中间层的步骤中按如下顺序至少包括第一步骤，在放射线透射性压模和具有所述记录层的基板之间涂敷所述放射线固化性树脂原料，使所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板重叠；第二步骤，在朝相互接近的方向加压的状态下对所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板进行扭动，由此使所述放射线固化性树脂原料延伸；第三步骤，仅向所述基板的中心孔附近照射放射线，使所述放 射线固化性树脂原料固化；以及第四步骤，为了使所述放射线固化性树脂原料延伸到整个具有所述记录层的基板，在进行具有所述记录层的基板和所述放射线透射性压模的旋转的同时，使延伸到整个所述基板的所述放射线固化性树脂原料固化，将所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板粘接。(2)根据(I)所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，所述基板和所述放射线透射性压模都是在如下位置形成有圆环状的小凸起在所述第一步骤中重叠的面侧的、比卡紧区域更靠近中心孔侧的位置。(3)根据(I )或(2)所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，在所述第二步骤中包括使所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板相对旋转的扭转步骤，将该扭转步骤中的扭转的转速设为O. Irpm 30rpm,将扭转之间的按压幅度设为10 μ m 100 μ m,将扭转的旋转角度设为180° 360°的范围。(4)根据(I) (3)中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，在所述第三步骤中，将照射放射线的范围设为从所述基板的中心起半径15_以内的范围。(5)根据(I) (4)中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，在所述第二步骤与所述第三步骤之间包括这样的步骤通过向所述放射线透射性压模和所述基板之间施加50g IOOg的荷重进行加压。(6)根据(I) (5)中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，在所述第二步骤与第三步骤之间包括这样的步骤从用于固定所述放射线透射性压模和所述基板的中心孔的中心轴对所述放射线固化性树脂原料进行减压吸引。(7)根据(I) (6)中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，所述放射线固化性树脂原料的粘度在50cP IOOOcP之间。(8)根据(2) (7)中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，所述放射线透射性压模的所述小凸起与所述基板的所述小凸起的高度的合计值为所述中间层的目标膜厚±15 μ m以内，所述放射线透射性压模的所述小凸起与所述基板的所述小凸起的半径方向的错位为O. 5mm以内。(9)根据(6) (8)中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，从所述中心轴对所述放射线固化性树脂原料进行减压吸引的步骤中的吸引压力为一 IkPa 一20kPa的范围。(10)—种光记录介质 的制造装置，该光记录介质在具有中心孔的圆板状的基板上具有多个记录层，在多个所述记录层之间具有中间层，该中间层由放射线固化性树脂原料构成，具有凹凸形状，其特征在于，该制造装置用于形成所述中间层的步骤，至少具有第一单元，其在放射线透射性压模和具有所述记录层的基板之间涂敷所述放射线固化性树脂原料，使所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板重叠；第二单元，在朝相互接近的方向加压的状态下对所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板进行扭动，由此使所述放射线固化性树脂原料延伸；第三单元，其仅向所述基板的中心孔附近照射放射线，使所述放射线固化性树脂原料固化；以及第四单元，其为了使所述放射线固化性树脂原料延伸到整个具有所述记录层的基板，在进行具有所述记录层的基板和所述放射线透射性压模的旋转的同时，使延伸到整个所述基板的所述放射线固化性树脂原料固化，将所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板粘接。发明效果根据本发明，能够制造包括在光学上整面都具有均匀特性的中间层的光记录介质。另外，也能够改善基于2P法的层叠式多层光记录介质的制造效率。
图I是用于说明本发明的光记录介质的制造方法的图。图2是用于说明间隙分配法(gap dispense)的图。图3是用于说明在本发明的光记录介质的制造方法中使用的锤及遮光掩膜的设置位置的图。图4是用于说明本发明使用的基板的小凸起的剖视图。图5是用于说明本发明的光记录介质的制造装置的图。
具体实施例方式下面，对用于实施本发明的方式(以下也称为发明的实施方式)进行详细说明。但是，本发明不限于以下的发明的实施方式，当然可以在不脱离其主旨的范围内进行各种变更来实施。A.本发明的光记录介质的制造方法的优选实施方式图I是用于说明本发明的光记录介质的制造方法的一个优选示例的图。在图I中，作为层叠式多层光记录介质的制造方法的一例，示出了具有包含有机色素的两个记录层的双层式单面入射型的光记录介质(单面2层DVD — R或者单面2层DVD可记录光盘)的制造方法。另外，在图I中为了方便起见，示出了仅将光记录介质的记录区域的一部分剖面放大的图。以图I (f)所示的单面2层DVD — R为代表的单面2层的光记录介质100具有顺序地层叠以下部分而得到的构造具有中心孔的圆板(盘)状的透光性的第I基板101;包含色素的第I记录层102 ;半透明的第I反射层103 ;由放射线固化性树脂原料构成的透光性的中间层104 ;包含色素的第2记录层105 ;第2反射层106 ;粘接层107 ;以及形成最外层的第2基板108。在第I基板101和中间层104上分别形成有凹凸，并分别构成记录轨道。作为单面2层DVD — R的光记录介质100的光信息的记录/再现是通过从第I基板101侧向第I记录层102和第2记录层105照射的激光109来进行的。另外，在本发明的实施方式中，“透光性(或者透明)”是指对于为了在包含色素的第I记录层102和第2记录层105上记录/再现光信息而照射的光(激光109)的波长的透光性。具体地讲，是指对于记录/再现用的光的波长通常具有30%以上、优选50%以上、更优选60%以上的透射性。另一方面，对于记录/再现用的光的波长的透射性理想的情况是100%，但通常是99. 9%以下的值。在此，本发明涉及光记录介质的制造方法，该光记录介质在具有中心孔的圆板状的基板上具有多个记录层、和在这些记录层之间具有由放射线固化性树脂原料构成的凹凸形状的中间层，其特征在于，在形成中间层的步骤中包括后面叙述的第一步骤 第四步骤。在本发明的实施方式中，对除上述中间层之外的各层的材料及制造方法没有特别限制，能够利用公知的现有技术来适当地形成。 例如，图I (a)所示的在表面上凹凸地形成有沟槽、岸台(9 > K)及预制凹坑的第I基板101能够通过使用镍制压模等对聚碳酸酯树脂进行注射成形等而制得。并且，在第I基板101的具有凹凸的一侧的表面上通过旋转涂敷等涂敷含有有机色素的涂敷液，然后，进行加热等来去除涂敷液中使用的溶剂等，由此能够使第I记录层102成膜。另外，在使第I记录层102成膜后，例如对Ag合金等进行溅射或者蒸镀，由此能够在第I记录层102上使第I反射层103成膜。并且，在后述的中间层104的形成步骤之后，如图1(d)所示，通过旋转涂敷等在中间层104表面涂敷包含有机色素的涂敷液，并进行加热等来去除涂敷液中使用的溶剂等，由此能够使第2记录层105成膜。在这种情况下，优选加热的温度是构成中间层104的树脂的玻璃化转变温度以上的温度。通过在上述温度下进行加热，能够抑制被认为是由于中间层104的收缩而在第I基板101产生翘曲的现象。另外，在本发明的实施方式中，在中间层104上直接形成第2记录层105，当然也可以隔着其它层(例如保护层或缓冲层)来形成第2记录层105。另外，如图I (e)所示，通过对Ag合金等进行溅射蒸镀等，能够在第2记录层105上使第2反射层106成膜。然后，如图I (f)所示，经由粘接层107将通过对聚碳酸酯进行注射成形而得到的作为镜面基板的第2基板108粘贴在第2反射层106上等，由此完成光记录介质100的制造。粘接层107可以是不透明的，表面可以稍微粗糙，还能够使用延迟固化型的粘接剂等。例如，利用丝网印刷等方法在第2反射层106上涂敷粘接剂，并照射紫外线，然后放置第2基板108并按压，由此形成粘接层107。另外，也能够采用如下方式等，即在第2反射层106和第2基板108之间夹持压敏式双面胶带并进行按压来形成粘接层107。如上所述，图I (f)的光记录介质的层结构是具有两个记录层的光记录介质的一例。因此，当然也可以使用图I (f)未图示的其它的层(例如，形成于第I基板101和第I记录层102之间的基底层等)。下面，以在数据基板111上形成中间层104的情况为例来说明中间层104的形成步骤(第一步骤 第四步骤)，该数据基板111是在图1(a)所示的第I基板101上依次层叠第I记录层102和第I反射层103而得到的。另外，在本发明的实施方式中，数据基板111通常是透明的。( I)第一步骤在该步骤中，在放射线透射性压模和具有记录层的基板(此处是数据基板)之间涂敷放射线固化性树脂原料，将放射线透射性压模和具有记录层的基板重叠。具体地讲，如图2所示，在数据基板111的第I反射层侧的表面上，利用喷嘴等连续地或者间断地将作为一种放射线固化性树脂原料的紫外线固化性树脂原料104a (下面，在放射线固化性树脂原料是紫外线固化性树脂原料时，记作紫外线固化性树脂原料104a，在广义地表示放射线固化性树脂原料时，记作放射线固化性树脂原料104a)涂敷成与数据基板111为同心圆的大致圆环状，如图I (C)所示，将具有凹凸形状的放射线透射性压模110重叠。另外，紫外线固化性树脂原料104a也可以涂敷于放射线透射性压模110的表面，还可以将数据基板111和放射线透射性压模110 (下面有时记作两个基板)重叠(即相对地配置)，然后涂敷于两者的间隙中。
在上述的步骤中，关于紫外线固化性树脂原料104a的涂敷，优选将数据基板111和放射线透射性压模110重叠(即相对地配置)，然后将喷嘴插入间隙中进行涂敷的方法。该方法被称为间隙分配法，下面使用图2对该方法进行说明。例如，将放射线透射性压模110配置在上侧、将数据基板111配置在下侧，并使两者的中心孔大致一致而平衡地配置，将两个基板的间隙固定为2 4_左右。将直径I. 5mm左右的一个或者多个喷嘴从基板外周侧横向地插入到该间隙中，并且配置成使其喷出口位于中间层形成区域的中央附近。优选这多个喷嘴的前端以相等间隔配置于同心圆上。在该状态下，在从喷嘴前端喷出紫外线固化性树脂原料104a时，由于两个基板的距离接近，因而所喷出的紫外线固化性树脂原料104a立即接触两个基板110及111，并通过毛细管现象在二者的间隙中延伸。此时，使喷嘴或者数据基板111和放射线透射性压模110沿数据基板111的周向旋转，由此能够将紫外线固化性树脂原料104a涂敷成大致圆环状。在预定量的所述紫外线固化性树脂原料104a的喷出完成后，使喷嘴退出，使配置于上侧的放射线透射性压模110下降、或者使配置于下侧的数据基板111上升，从而使所述紫外线固化性树脂原料104a进一步延伸。由此，能够实现在外线固化性树脂原料104a内很少产生气泡的涂敷。另外，在将数据基板111和放射线透射性压模110重叠时，优选使两个基板110及111各自的中心孔贯通光记录介质的制造装置的同一中心轴，并且进行调整以使两个基板的偏心量在30 μ m以内。并且，优选在数据基板中的第I基板101及放射线透射性压模110进行重叠的面侧分别预先形成图4所示的圆环状的小凸起。图4 (a)是示意地示出第I基板101的图，图4 (b)是图4 (a)的α — α线部分的剖视图。例如，小凸起可利用对第I基板101或者放射线透射性压模110成型时的模具按压的位置、形状进行设计等公知方法，形成在期
望的位置。优选圆环状的小凸起的形成位置比光记录介质的卡紧区域(该卡紧区域指被光记录介质的记录再现装置卡紧的区域，通常是从光记录介质的中心起半径11. 5mm 16. 5mm左右的区域)更靠近中心孔侧。因此，对于数据基板中的第I基板101，优选在从第I基板101的中心起半径8. 5 11. 5mm的区域内形成圆环状的小凸起,而对于放射线透射性压模110，优选在与上述区域对应的位置形成圆环状的小凸起。并且，关于小凸起的高度，优选两个基板的小凸起的高度的合计值在期望的中间层膜厚的± 15 μ m的范围内，更优选在±5 μ m的范围内。在此，小凸起的高度是以形成有记录轨道的数据记录区域为基准的高度。通过将小凸起的高度设为这种范围，在将两个基板重叠并加压时，能够使两个基板的间隔成为理想的范围，容易得到期望的中间层膜厚。小凸起的剖面形状没有特别限制，也可以是矩形状、三角形状、半圆状中的任意形状。并且，关于在使两个基板相对时的两个小凸起的半径方向的位置关系，优选两个小凸起的顶点的半径方向的错位为O. 5mm以下，更优选0mm。两个小凸起的半径位置接近，从而能够利用圆环状的小凸起阻止紫外线固化性树脂原料向中心孔方向的延伸，在期望的位置形成中间层。(2)第二步骤在第二步骤中，朝相互接近的方向对在第一步骤中重叠的两个基板进行加压，在 进一步缩小两个基板的间隔的状态下对两个基板进行扭转。此时的按压幅度也取决于紫外线固化性树脂原料的量和进行重叠时的间隔，但优选IOym以上，更优选30 μ m以上。并且，优选100 μ m以下，更优选60 μ m以下。本发明所讲的按压幅度是在第二步骤中使两个基板的间隔进一步缩小时的两个基板的相对移动距离。在该步骤中，与上述加压同时地使重叠的两个基板相对旋转，由此将例如重叠的两个基板中的一方固定，而使另一方沿周向旋转，由此使所涂敷的紫外线固化性树脂原料104a在两个基板面上延伸。在本说明书中，将该步骤中的所述两个基板的相对旋转记作“扭转”，将该步骤记作扭转步骤。另外，也可以使两个基板向彼此相反的方向旋转来进行扭转。并且，对两个基板的加压可以在对两个基板进行扭转之前实施，也可以在缩小两个基板的间隔而加压的同时进行扭转。通过进行扭转步骤，能够使所涂敷的紫外线固化性树脂原料104a在两个基板面上进一步延伸。优选对两个基板进行扭转时的相对转速为O. Irpm以上，更优选IOrpm以上。并且,优选30rpm以下，更优选20rpm以下。紫外线固化性树脂原料具有转速越低、则越均匀地延伸的趋势，但从生产效率的角度考虑，转速较高时更好。并且，对两个基板进行扭转时的相对旋转角度也取决于光记录介质的制造装置的旋转台的平行度的机械精度和转速，优选180° 360°。如果在该范围内，则对生产效率的影响减小，且紫外线固化性树脂原料104a具有在两个基板上均匀扩散的趋势。(3)加压步骤在本发明的实施方式中，优选在上述第二步骤之后、后述的第三步骤之前，具有通过向放射线透射性压模110和数据基板111之间施加预定荷重来进行加压的步骤。具体地讲，如图3 Ca)所示，优选将所述放射线透射性压模110配置在上侧，在所述放射线透射性压模Iio上放置锤120，由此对两个基板110及111之间进行加压。在图3
(a)中，为了使紫外线固化性树脂原料104a进一步向数据基板111的中心孔侧延伸，将锤配置在从数据基板111的中心起半径7. 5_ 28_的区域内，但配置锤的位置能够根据紫外线固化性树脂原料104a的粘度等适当调整。此时的锤的荷重优选50g以上，更优选70g以上。并且，优选IOOg以下，更优选90g以下。如果在该范围内，则能够使紫外线固化性树脂原料104a延伸到理想的范围内。并且，如图3 (a)所示，也可以利用多个锤进行加压，还可以利用一个锤进行加压。图3 (a)所示的示例是这样的示例，即配置用于对中心孔附近进行加压的石英环的锤120和其外侧的第I遮光性锤121和其更外侧的第2遮光性锤122来进行预定的加压。并且，在此是通过放置锤来进行加压，但也可以利用公知的机械加压法进行加压。另外，优选在中心孔附近配置的锤使用放射线可充分透射的材质，以便进行后述的第三步骤的放射线照射。在作为该第三步骤的放射线照射紫外线的情况下，优选在中心孔附近配置的锤使用紫外线可充分透射的材质。在本发明的实施方式(紫外线照射的方式)中，为了同时实现紫外线的透射性和某种程度的荷重，优选在中心孔附近配置的锤是透射紫外线的合成石英的环。另外，在使用紫外线不能充分透射的材质的锤作为上述锤的情况下，优选上述紫外线不能充分透射的材质的锤的放置位置是直径20mm以上的区域，以便在后述的第三步骤中照射紫外线时从盘的中心起直径20mm附近的区域中不会成为锤的阴影。 并且，在第三步骤中的一个实施方式的紫外线照射之前，如图3(a)所示，优选在用于对两个基板110及111的中心孔进行固定的中心轴123的侧面开设吸引用的细孔124，从该细孔对紫外线固化性树脂原料104a进行减压吸引，由此加快使紫外线固化性树脂原料延伸到中心孔侧的速度。由此，与不进行减压吸引时相比，所述紫外线固化性树脂原料104a到达在数据基板111侧及放射线透射性压模110形成的圆环状的小凸起为止的时间缩短，能够缩短生产节拍时间。此时的最佳的吸引压力也取决于所述紫外线固化性树脂原料104a的粘度和数据基板111的表面形状等，但优选在-IkPa -20kPa的范围内。(4)第三步骤然后，进行仅向所述基板的中心孔附近照射放射线并使所述放射线固化性树脂原料固化的第三步骤。具体地讲，在紫外线固化性树脂原料104a刚刚到达两个基板110及111的圆环状的小凸起后，如图3 (b)所示，仅向基板的中心孔附近照射紫外线，使该区域的紫外线固化性树脂原料104a固化。此时的照射范围如果过大，则导致自然延伸的膜厚不均匀的所述紫外线固化性树脂原料104a在较大的范围内直接固化，即使在第四步骤中使两个基板110及111高速旋转来使膜厚变均匀，该照射范围附近的膜厚分布也有可能紊乱。因此，优选将此时的照射范围仅限定在尽量远离被要求较高的膜厚精度的光记录介质的信息记录区域的范围内。另外，如果照射范围过小，则导致内周端的固化不充分，在第四步骤中空气有可能在旋转延伸过程中从两个基板的内周端进入紫外线固化性树脂原料104a内。最佳的照射范围是从数据基板111 (尤其是第一基板)及放射线透射性压模110的中心起半径8mm以上的区域，更优选IOmm以上的区域，特别优选Ilmm以上的区域。并且，优选从数据基板111 (尤其是第一基板)及放射线透射性压模110的中心起半径15mm以下的区域，更优选14mm以下的区域，特别优选13mm以下的区域。如果在该范围内，则在后述的第四步骤中使紫外线固化性树脂原料延伸时，空气不会进入紫外线固化性树脂原料104a内，且能够得到均匀的膜厚分布。根据紫外线固化性树脂原料的材料和制造环境适当优化紫外线光量和照射时间即可，通常约为20mW/cm2 200mW/cm2、0 5秒。另外，为了仅向上述限定的区域照射紫外线，在中心孔上设置具有期望半径的圆形开口的遮光掩膜即可，但为了防止由于紫外线的衍射而导致的照射区域边界的模糊，优选在距放射线透射性压模Iio的上表面Imm以内的位置平行设置遮光掩膜。并且，例如如图3 (b)所示，关于上述的加压用的锤，在照射紫外线的区域(中心孔侧的区域)中使用紫外线透射性的合成石英环，在不照射紫外线的区域中使用遮光性的锤121、122等，由此也能够使锤具有作为遮光掩膜的作用。(5)第四步骤然后，进行这样的第四步骤为了使所述放射线固化性树脂原料延伸到整个具有所述记录层的基板，在进行具有所述记录层的基板和所述放射线透射性压模的旋转的同时，使延伸到整个所述基板的所述放射线固化性树脂原料固化，将所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板粘接。具体地讲，取下在第三步骤中使用的遮光掩膜、锤等，将两个基板110及111固定在能够高速旋转的旋转台上并进行高速旋转(旋转涂敷)，由此在使所述紫外线固化性树脂 原料104a进一步延伸到两个基板的外周部的同时，使紫外线固化性树脂原料104a固化，由此形成由紫外线固化性树脂原料构成的层104a (以下，将由包括紫外线固化性树脂原料在内的放射线固化性树脂原料构成的层也称为树脂原料层104a)，将放射线透射性压模110和数据基板111粘接。旋转涂敷时的转速通常为500rpm 15000rpm左右。在使两个基板旋转的状态下，隔着放射线透射性压模110，从放射线透射性压模110侧向两个基板110及111的整面照射紫外线，使紫外线固化性树脂原料104a固化，在已充分固化时将放射线透射性压模110剥离，由此形成中间层104。中间层的膜厚可以根据光记录介质的类型适当设定，单面2层DVD — R的中间层膜厚为55 μ m左右。在本发明的实施方式中，为了提高中间层厚度的均匀性，在通过两个基板的旋转而使紫外线固化性树脂原料延伸的同时，进行紫外线固化性树脂原料的固化步骤。在此，在通常的旋涂法中，树脂原料层的膜厚由于离心力而具有内周部薄、外周部厚的趋势，因而一边进行旋转涂敷一边照射紫外线，同时进行旋转延伸和紫外线固化，由此能够进一步提高内外周的中间层的膜厚的均匀性。并且，此时优选在通过具有适当开口尺寸的膜厚分布调整用遮光掩膜来进行紫外线照射的同时进行旋转涂敷。使用以向内周侧照射更多的紫外线的方式而设计的遮光掩膜作为所述膜厚分布调整用遮光掩膜，由此处于内周比外周先固化的趋势，能够使中间层的膜厚的均匀性良好。根据紫外线固化性树脂原料的材料和制造环境适当优化本步骤中的紫外线光量和照射时间即可，通常为10mW/cm2 120mW/cm2、0. I 5. O秒左右。(6)其它步骤在光记录介质的实际制造时，顺序地进行上述第一步骤 第四步骤，在第四步骤之后，将放射线透射性压模110从树脂原料层104a (参照图I (C))剥离。由此，形成放射线透射性压模110的转印用凹凸形状被转印到树脂原料层104a后的中间层104。另外，在本说明书中，树脂原料层104a是在涂敷后固化、放射线透射性压模被剥离之前的层。并且，中间层104是放射线透射性压模110被剥离后的层。因此，树脂原料层104a和中间层104是形成于相同位置的层，但是其状态不同。将放射线透射性压模110剥离的具体方法没有限制，通常利用这样的方法进行剥离即对内周进行真空吸附，使刀口进入光记录介质的中心孔侧，在向此处吹入空气的同时使形成有树脂原料层104a的数据基板111和放射线透射性压模110分离。在此，关于上述的放射线透射性压模110的剥离，可以在常温下进行等，不进行温度控制就进行剥离，也可以在将形成有树脂原料层104a的数据基板111加热的状态下进行剥离，如果在加热的状态下将放射线透射性压模110剥离，可以良好地进行剥离，能够得到具有良好的凹凸形状的树脂原料层104a，进而能够得到具有良好的凹凸形状的中间层104，因而是优选方式。进行加热操作的时期是任意的，但优选在紫外线固化性树脂原料104a固化后即压模剥离步骤中进行加热操作。并且，剥离放射线透射性压模110时的温度是任意的，但通常优选50°C以上，并且优选树脂原料层104a的(即中间层104的)玻璃化转变温度以下、以及压模110的玻璃化转变温度以下。在本发明的实施方式中，优选的是，在通过将放射线透射性压模110剥离而形成中间层104后，还对中间层104实施表面改质处理。由此，中间层104进一步进行固化，并 且维持稳定的凹凸。在此，关于表面改质处理，只要是促进中间层104的固化的处理，则没有限定，但优选放射线照射处理和/或加热处理。并且，在放射线中优选使用紫外线。因此，例如在树脂原料层104a由紫外线固化性树脂原料构成的情况下，作为表面改质处理可以采用紫外线照射及加热处理中的任何处理，但优选至少利用紫外线照射。在上述的第一步骤、第二步骤、第三步骤、第四步骤、其它步骤的具体说明中，记述了放射线固化性树脂原料采用紫外线固化性树脂原料的情况，但在采用电子线固化性树脂原料和其它放射线固化性树脂原料的情况下，其步骤基本上与采用紫外线固化性树脂原料的第一步骤、第二步骤、第三步骤、第四步骤、其它步骤大致相同。(关于放射线透射性压模)在本发明的实施方式中使用的放射线透射性压模110的“放射线透射性”是指对于使放射线固化性树脂原料固化时的放射线的透射性。具体地讲，上述放射线通常具有30%以上、优选50%以上、更优选60%以上的透射性。另一方面，对于上述放射线的透射性，理想地讲是100%，但通常是99. 9%以下的值。另外，在本发明中，基于包含电子线、紫外线、可见光、红外线的意义，采用“放射线”。在上述实施方式中以放射线采用紫外线的情况为例进行了说明，但本发明不限于此。关于放射线透射性压模，能够适当使用利用过去公知的材料及公知的制造方法而制得的压模。关于放射线透射性压模的材料，例如能够使用聚烯类树脂或聚苯乙烯类树脂等非极性材料、或者聚碳酸酯类树脂、丙烯类树脂等通用且低成本的树脂。另外，放射线透射性压模的材料可以独立使用一种材料，也可以按照任意的组合及比率一并使用两种以上的材料。在上述的说明中，优选低成本且能够实现高精度的沟槽形状的聚碳酸酯类树脂，尤其是光记录介质的基板优选采用过去公知的聚碳酸酯类树脂。例如，能够使用具有放射线透射性压模所具备的转印用凹凸形状的相反(Negative)凹凸图案的金属制压模(例如镍制压模)，通过注射成形等制造放射线透射性压模。
另外，放射线透射性压模通常形成为在中央部形成有贯通正面和背面的中心孔的圆板形状。在本发明的实施方式中，放射线透射性压模优选采用表面具有转印用凹凸形状、在中央部形成有中心孔的圆板形状的压模。从形状稳定性和容易操作的角度考虑，在本发明的实施方式中使用的放射线透射性压模优选厚度通常为O. 3mm以上。但是，通常为5_以下。如果放射线透射性压模的厚度在该范围内，则具有充足的放射线透射性，因而即使是隔着放射线透射性压模照射放射线，也能够有效地使紫外线固化性树脂原料固化，提高生产性。另外，优选放射线透射性压模的外径大于第I基板的外径(即光记录介质的外径)。如果预先将放射线透射性压模的外径设计为大于第I基板的外径，则在进行注射成形时，能够在光记录介质的外径外侧的外周部也能够具有余量地形成凹凸形状，能够沿着在形成放射线透射性压模的中间层时使用的区域的整面形成良好的凹凸形状。另外，通过使放射线透射性压模的外径大于第I基板的外径，放射线透射性压模的外径大于中间层(即由放射线固化性树脂原料构成的层)的外径。由此，容易良好地形成 中间层的端面的形状。具体地讲，在将放射线透射性压模放置在放射线固化性树脂原料上时，放射线固化性树脂原料层的树脂有时附着在放射线透射性压模和中间层的外周端部，该树脂在剥离放射线透射性压模时有时成为毛刺。因此，通过使放射线透射性压模的外径大于中间层(放射线固化性树脂原料层)的外径，使容易成为毛刺的树脂位于中间层外径的外侧、即放射线透射性压模的外周端部。其结果是，即使产生了毛刺，也不会对中间层的端面产生影响，能够去除产生毛刺的部分。具体地讲，优选放射线透射性压模的外径通常是直径比第I基板的外径大Imm以上，更优选大2mm以上。但是，直径与第I基板的外径之差通常是15mm以下，优选IOmm以下。(关于放射线固化性树脂原料)作为在形成中间层时使用的放射线固化性树脂原料，只要是含有借助放射线而固化的放射线固化性树脂的材料，则没有特别限制。放射线固化性树脂可以单独利用一种，也可以按照任意的组合及比率一并利用两种以上。作为放射线固化性树脂，例如可以列举紫外线固化性树脂和电子线固化性树脂等各种树脂，其中特别优选紫外线固化性树脂。通过采用紫外线固化性树脂，容易进行放射线透射性压模的凹凸形状的转印。作为紫外线固化性树脂，可以列举自由基类(即自由基聚合型)紫外线固化性树脂和阳离子类(即阳离子聚合型)紫外线固化性树脂，能够适当使用过去公知的这些材料。在放射线固化性树脂原料采用自由基类紫外线固化性树脂的情况下，例如能够采用包括紫外线固化性化合物(自由基类紫外线固化性化合物)和光聚合引发剂作为必须成分的组成物。作为自由基类紫外线固化性化合物，例如能够将单官能(甲基)丙烯酸酯及多官能(甲基)丙烯酸酯用作聚合性单体成分。这些物质可以单独使用一种，也可以按照任意的组合及比率一并利用两种以上。另外，在此将丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯一并称为(甲基)丙烯酸酯。另外，光聚合引发剂没有限制，例如优选分子裂解型或者夺氢型的光聚合引发剂。在本发明中，优选使用以自由基聚合型的丙烯酸酯为主体的未固化的紫外线固化性树脂原料，并使其固化来得到中间层。另一方面，在放射线固化性树脂原料采用阳离子类紫外线固化性树脂的情况下，例如能够使用包括阳离子聚合型光引发剂的环氧树脂。作为环氧树脂，例如可以列举双酚A—环氧氯丙烷型、脂环式环氧树脂、长链脂肪族型、溴化环氧树脂、缩水甘油脂型、缩水甘油醚型、杂环式类等。作为环氧树脂，优选使用游离的氯及氯离子含有率少的环氧树脂。氯的量优选I重量％以下，更优选O. 5重量％以下。并且，作为阳离子聚合型的光引发剂，可以列举锍盐、碘盐、重氮盐等。并且，放射线固化性树脂原料优选采用在20°C 40°C下为液状的树脂原料。在涂敷放射线固化性树脂原料时，不需使用溶剂即可涂敷，因而生产性提高。并且，优选将放射 线固化性树脂原料适当调整为使其粘度在常温下为50cP以上、IOOOcP以下。更优选IOOcP以上。并且，更优选500cP以下，特别优选400cP以下。通过适当变更放射线固化性树脂原料中的单体的含有率等，能够进行放射线固化性树脂原料的粘度的调整。B.本发明的光记录介质的制造方法的另一优选方式以上以单面2层DVD — R或者单面2层DVD可记录光盘为例，对本发明的光记录介质的制造方法进行了说明，但本发明不限于此。即，只要是利用包括如下步骤的制造方法而制造的光记录介质或者光记录介质用层叠体，就能够良好发挥本发明的效果，所述步骤是在数据基板上直接或者隔着其它层涂敷放射线固化性树脂原料，在将具有凹凸形状的放射线透射性压模固定后进行剥离，将放射线透射性压模的凹凸形状转印到树脂上，形成中间层。即，也能够将本发明的实施方式的制造方法适用于其它结构的光记录介质。例如，也能够适用于具有3层以上的记录层、具有2层以上的中间层的光记录介质。在这种情况下，能够采用本发明的实施方式的制造方法来形成2层以上的中间层。另夕卜，在上述的实施方式中对所谓基板面入射型的光记录介质的制造方法进行了说明，当然也能够适用于所谓膜面入射型的光记录介质的制造方法。作为适用本发明的实施方式的光记录介质的另一个不例，有蓝光光盘，例如可以列举具有在I个光记录介质上设有2层(双层)记录层的层叠构造的2层BD — R光记录介质。当然，同样能够将上述的中间层的形成方法应用于2层BD-R光记录介质。在这种情况下，取代前面说明的粘接层107、第2基板108，而是形成厚度75 μ m左右的保护层。关于保护层的形成方法能够采用旋涂法等过去公知的制造方法。此时，在2层BD — R光记录介质中，在规格上将中间层的膜厚设为25 μ m左右。并且，在记录层是3层以上的情况下，适当设定中间层的膜厚。另外，在BD — R等从保护层侧进行激光光束照射的膜面入射型的光记录介质中，第I记录层及第I反射层的层叠顺序、以及第2记录层及第2反射层的层叠顺序分别与上述方式的顺序相反。另外，在上述的实施方式中，将中间层设为仅由I层构成的层，但为了提高放射线透射性压模从中间层的剥离性，也能够采用这样的方法使用两种以上的树脂材料作为形成中间层的放射线固化性树脂原料，将中间层设为不同的树脂的层叠构造。这种方法的优点在于，例如放射线透射性压模侧采用与放射线透射性压模的剥离性良好的树脂材料A，数据基板侧采用与数据基板的紧贴性良好的树脂材料B等，由此能够改善剥离性。在这种情况下，仅对中间层的具有大部分膜厚的一方树脂材料应用本发明的制造方法，也能够得到本发明的效果。具体地讲，例如可以列举这样的示例预先将所述树脂材料A涂敷于放射线透射性压模并使其固化，在形成由树脂材料B构成的树脂原料层时采用本发明的制造方法。另外，关于记录层材料，只要是能够在通常的光记录介质中使用的材料，就没有特别限制，能够采用本发明的实施方式的制造方法。例如，不仅能够采用有机色素材料，也能够采用相变化型的记录材料或部分氮化膜、部分氧化膜。作为相变化型记录材料的具体例，例如优选采用 SbTe 类、GeSbTe 类、InSbTe 类、AgSbTe 类、AgInSbTe 类、GeSbSn 类、InGeSbTe类、InGeSbSnTe类等以Sb为主成分的组成。作为部分氮化膜、部分氧化膜的具体例，可以列举BiGeN、SnNbN等部分氮化膜、和TeOx、BiFOx等部分氧化膜。C.本发明的光记录介质的制造装置的优选方式 上述的光记录介质的制造方法通过利用以下的制造装置等来实施。具体地讲，光记录介质在具有中心孔的圆板状的基板上具有多个记录层，在多个所述记录层之间具有由放射线固化性树脂原料构成的凹凸形状的中间层，光记录介质的制造装置在形成所述中间层的步骤中被使用，并至少具有以下的第一单元、第二单元、第三单元、第四单元。(I)第一单元本发明的光记录介质的制造装置具有的第一单元是这样的单元在放射线透射性压模和具有所述记录层的基板之间涂敷放射线固化性树脂原料，使所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板重叠。图5 (a)示出了第一单元的一个示例。如图5 (a)所示，第一单元至少具有基板保持台部201，其将形成有记录层的数据基板111的记录层侧作为上表面，大致水平地进行保持，并使其旋转等；压模保持反转台部202，其以使放射线透射性压模110的凹凸形成面侧成为数据基板111侧的方式，保持放射线透射性压模110并使其旋转等；以及喷嘴部203，其将紫外线固化性树脂原料104a涂敷在数据基板111和放射线透射性压模110之间。基板保持台部201例如具有旋转台210，其用于放置数据基板111 ;中心轴211，其用于插通数据基板111和放射线透射性压模Iio的中心孔；吸引孔212，其用于固定数据基板111以使其在旋转台210上不移动；以及用于使旋转台210旋转的旋转机构(未图示)
坐寸ο另外，压模保持反转台部202具有反转旋转台214，其具有通过吸引来保持放射线透射性压模110的吸引孔213 ;输送机构(未图示)，其能够沿任意方向输送由反转旋转台214保持的放射线透射性压模110 ;以及用于使反转旋转台214旋转的旋转机构(未图示)
坐寸ο喷嘴部203具有喷嘴、使喷嘴的前端移动到任意位置的移动机构(未图示)、以及使预定量的紫外线固化性树脂原料104a从喷嘴的前端喷出的控制机构(未图示)等。另外，用于喷出紫外线固化性树脂原料104a的喷嘴可以只设置一个，也可以设置两个以上。在第一单元中，例如，如图5 Ca)所示，利用基板保持台部201和压模保持旋转台部202分别输送数据基板111和放射线透射性压模110，并且以贯通同一中心轴211且相对的方式进行配置。然后，将喷嘴部203的喷嘴的前端插入两个基板110和111之间，使预定量的紫外线固化性树脂原料104a从喷嘴部203喷出。此时，使基板保持台部201的旋转台210和/或压模保持旋转台部202的反转旋转台214沿数据基板111的周向旋转，由此将紫外线固化性树脂原料104a涂敷成圆环状。然后，在涂敷紫外线固化性树脂原料104a之后使喷嘴前端退出，使旋转台210和反转旋转台214双方或者任意一方向上或者向下移动，由此使数据基板111和放射线透射性压模110重叠。另外，关于本单元中的紫外线固化性树脂原料104a的涂敷量等制造条件、和在本单元中使用的紫外线固化性树脂原料104a、放射线透射性压模110、数据基板111等的材料，能够设为与在上述的光记录介质的制造方法中说明的制造条件及材料相同的制造条件及材料。(2)第二单元第二单元是这样的单元，对所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板在向使相互接近的方向加压的状态下进行扭转，即使基板彼此相对旋转，由此使所述放射线固化性树脂原料延伸 在第二单元中，例如如图5 (b)所示，使上述的基板保持台部201的旋转台210和/或压模保持旋转台部202的反转旋转台214向上或者向下移动,对数据基板111和放射线透射性压模110向使其接近的方向加压，使所述旋转台210和反转旋转台214双方或者任意一方沿数据基板111的周向旋转，由此使通过第一单元而涂敷的紫外线固化性树脂原料104a在两个基板面上延伸。在第二单元中，可以将旋转台210和反转旋转台214中任意一方固定，使另一方向上或者向下移动来控制加压状态，也可以使旋转台210和反转旋转台214双方向上及向下移动来控制加压状态。另外，在对放射线透射性压模110和数据基板111进行扭转时，可以以将一方固定、使另一方沿周向旋转的方式，控制各个旋转台210和反转旋转台214的旋转，也可以控制成为使放射线透射性压模110和数据基板111沿相反方向旋转，从而使各个旋转台210和反转旋转台214沿相反方向旋转。另外，在上述旋转后，压模保持旋转台部202被从放射线透射性压模110上卸下，放射线透射性压模Iio以与数据基板111重叠的状态被保持在基板保持台部201侦U。关于上述加压控制时的按压幅度、扭转时的旋转速度、旋转角度等制造条件，能够设为与在上述的光记录介质的制造方法中说明的制造条件相同的制造条件。(3)第三单元第三单元是仅向所述基板的中心孔附近照射放射线，使所述放射线固化性树脂原料固化的单元。例如，如图5 (C)所示，第三单元是具有用于放射放射线220的放射线源205、和能够将成为目标的区域遮光的遮光机构204的单元等。另外，优选第三单元具有对放射线透射性压模110的中心孔侧进行加压的加压机构，该加压机构也可以兼做遮光机构。在第三单元中使用的放射线源205只要能够在预定的定时照射能够使紫外线固化性树脂原料104a固化的放射线220，则没有特别限制，能够根据紫外线固化性树脂原料104a的类型和所需要的强度等适当选择。
另外，遮光机构例如是由遮光掩膜、和能够将该遮光掩膜输送到任意位置的遮光掩膜输送机构等构成的遮光机构等。图5 (C)示出了加压机构兼做遮光机构204的方式。加压机构具有一个或者两个以上的锤(在图5 (c)中指204a 204c)以及锤输送机构204d，锤输送机构204d支撑该锤204a 204c并能够将其输送到放射线透射性压模110上的任意位置。例如，在照射放射线的区域中配置的锤204a选择放射线透射性的材质，在不照射放射线的区域中配置的锤204b和204c选择遮光性的锤，由此能够利用锤同时进行加压和遮光。也可以是，如图5 (C)所示，第三单元还具有从基板保持台部201的中心轴211进行放射线固化性树脂原料104a的减压吸引的吸引机构(未图示)等。在设有吸引机构的情况下，能够在从放射线源205照射放射线之前或者照射放射线的过程中，使放射线固化性树脂原料104a尽快延伸到数据基板111的中心孔侧，能够缩短生产节拍时间等。
另外，在上述的放射线照射后，遮光机构204等被从放射线透射性压模上卸下。关于本单元中的来自放射线源的放射线照射量和照射时间、加压量、吸引机构的吸引压力等制造条件，能够设为与在上述的光记录介质的制造方法中说明的制造条件相同的制造条件。(4)第四单元第四单元是这样的单元，为了使所述放射线固化性树脂原料延伸到具有所述记录层的基板整体，在进行具有所述记录层的基板和所述放射线透射性压模的旋转的同时，使延伸到所述基板整体的所述放射线固化性树脂原料固化，将所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板粘接。第四单元例如是如图5 (C)所示具有以下部分的单元旋转机构(未图示)，其使旋转台210旋转，使数据基板111和放射线透射性压模110同时高速旋转；以及放射线源206，其在旋转的同时照射用于使放射线固化性树脂原料104a固化的放射线220。在本方式中，优选将旋转机构及放射线源206控制成为，与旋转机构的旋转开始基本同时地从放射线源206开始放射线220的照射，与旋转结束基本同时地结束照射，但也可以使旋转开始和放射线的照射开始、以及/或者旋转结束和放射线的照射结束的时刻适当错时。放射线源206可以采用与第三单元相同的放射线源，也可以采用不同的放射线源。并且，在本发明中，优选第四单元除了上述的旋转机构和放射线源之外，还具有遮光机构(未图示)。通常仅仅单纯地通过旋转机构进行旋转延伸，致使放射线固化性树脂原料104a的厚度是内周变薄、外周变厚。因此，通过具有根据半径来改变照射量的开口的遮光掩膜进行紫外线照射并使高速旋转，并且在高速旋转过程中从中心孔侧起顺序地固化，由此能够形成在整个面上大致均匀的膜厚。作为这种遮光机构，能够实现为由能够调整来自放射线源206的照射量的遮光掩膜、和能够将该遮光掩膜输送到任意位置的遮光掩膜输送机构等构成的遮光机构等。另外，关于本单元中的旋转机构的转速和来自放射线源的放射线的照射等制造条件，能够设为与在上述的光记录介质的制造方法中说明的制造条件相同的制造条件。(5)其它
另外，在上述的实施方式中，上述第一单元 第四单元采用了相同的基板保持台部201，但这些单元也可以采用不同的基板保持台部201。并且，进行了放射线透射性压模110在上侧、数据基板111在下侧的说明，但也可以将这两个基板上下颠倒地配置各个单元。并且，本发明不限于上述结构，除上述结构之外，也可以根据需要适当具有其它结构。实施例下面，通过实施例来更详细地说明本发明的具体方式，本发明只要不脱离其宗旨就不受这些实施例的限定。(实施例I)实施例I示出了利用本发明的方法制造追加写入式2层蓝光光盘的示例。在通过注射成形而制得的聚碳酸酯基板的表面上，经过多个溅射制膜步骤形成了由无机膜构成的追加写入式记录膜(下面，将这样在聚碳酸酯基板上形成有记录膜的基板 记述为“数据基板”)，该聚碳酸酯基板的表面上被转印了轨道间距O. 32 μ m、深度20nm的沟槽，该聚碳酸酯基板的厚度为I. 1mm、直径为120mm。通过与此不同的注射成形，制得在表面上被转印了间距O. 32 μ m、深度20nm的沟槽的、厚度为O. 6mm、直径为124mm的聚碳酸酯基板(下面，将这样形成有沟槽的聚碳酸酯基板记述为“放射线透射性压模”)。数据基板表面的沟槽和放射线透射性压模表面的沟槽采用将在注射成形时使用的镍制压模的沟槽的凹凸取向颠倒的沟槽，由此形成反向的凹凸取向。上述数据基板、放射线透射性压模都是在中央形成有直径15mm的中心孔，而且通过注射成形预先在以数据基板和放射线透射性压模的中央为中心的直径20_的位置、形成如图4所示的高度约15 μ m的圆环状的小凸起300。然后，将上述放射线透射性压模固定在能够高速旋转的旋转台上，使用前端的外径为I. 08mm、内径为O. 72mm的喷嘴,在上述放射线透射性压模上的半径166mm的位置,将常温下的粘度约为280cP的紫外线固化性树脂原料A (下面，简称为“树脂A”)涂敷成圆环状。涂敷量约3g。在树脂A于数秒后自然地充分到达放射线透射性压模上的直径20mm的小凸起时开始高速旋转，在以9100rpm旋转4秒后,对放射线透射性压模上面的氛围进行氮气清扫，并照射70mW/cm2的紫外线I秒钟，使树脂A固化。此时的树脂A的固化膜的厚度约为10 μ m。然后，将形成有这种树脂A的固化膜的放射线透射性压模和数据基板固定在另一个旋转台上，然后使两者以3_间隔相对。使两者的旋转台同步地旋转I圈，使用前端的外径为I. 49mm、内径为I. Ilmm的喷嘴，在这种间隙中从放射线固化性透射性压模和数据基板的中心起半径30mm的位置涂敷约3g的、常温下的粘度约为380cP的紫外线固化性树脂原料B (下面，简称为“树脂B”)。此时，使数据基板的中心孔和放射线透射性压模的中心孔贯通同一中心轴，并进行调整使两个基板的偏心量在30 μ m以内。然后，将数据基板的旋转台固定，再将两个基板的间隔缩小45 μ m，仅使放射线透射性压模的旋转台以15rpm旋转180°进行扭转，使树脂B延伸。然后，卸下放射线透射性压模的旋转台，在从放射线透射性压模的中心孔附近到盘中部圆周的范围内，在半径为7. 5mm Ilmm的位置放置能够充分透射紫外线的石英环，使内周锤和外周锤接触半径为Ilmm 28mm的位置，并施加荷重合计80g。在此，内周锤和外周锤采用遮光性的材质。由此，使两个基板上的小凸起彼此相对，在该状态下使树脂B自然延伸到两个基板之间，在其内周侧延伸端刚刚到达小凸起后，从放射线透射性压模的上方仅向中心孔附近照射高压水银灯的紫外线。在此，内周锤发挥遮光掩膜的作用，使只能向半径Ilmm以内的圆形区域中照射紫外线。此时，除了向内周侧的自然延伸之外，从在贯通两个基板的中心孔的中心轴的侧面设置的减压吸引用的细孔，以_12kPa的压力对树脂进行减压吸引，由此能够缩短树脂的内周侧延伸端到达上述凸起所需要的时间。此时的紫外线光量是70mW/cm2，照射时间为I秒。虽然合适的照射量取决于树脂B的固化性能以及树脂A的固化膜和放射线透射性压模的透光性，但是设定为照射范围的树脂B完全固化的程度的照射量。然后，取下上述锤和石英环，将两个基板固定在旋转台上使高速旋转，使树脂B延伸。此时，将转速设为7800rpm，以便使两个基板之间的中间层的厚度达到所要求的膜厚，此处是达到约25 μ m的厚度。通常仅仅单纯地进行旋转延伸，致使树脂原料的厚度在内周变薄在外周变厚，因 而通过具有根据半径来改变照射量的开口的遮光掩膜进行紫外线照射并使高速旋转，并且在高速旋转过程中先从内周侧起顺序地固化，由此能够形成在整个面上大致均匀的膜厚。这种膜厚调整用紫外线照射是这样进行的，即与旋转开始基本同时地开始照射，与旋转结束基本同时地结束照射。根据树脂B的固化性、树脂A的固化膜的紫外线透射性，适当调整遮光掩膜的形状及紫外线照射强度，由此能够在盘记录区域整个面中将中间层的膜厚的变动抑制为(最大膜厚-最小膜厚)2 μ m程度。在截止到旋转结束的期间中不存在如下问题，即空气从直径20mm的树脂B的固化膜的内周端进入而使得基板彼此分离，或者气泡从树脂内周端进入。在使高速旋转停止后，从放射线透射性压模侧继续向基板整面照射紫外线，使树脂B完全固化，借助机械力量使放射线透射性压模与树脂A的固化膜之间剥离。通过将与聚碳酸酯的剥离性能良好的树脂材料用作树脂A、将与聚碳酸酯的紧密粘接性能良好的树脂材料用作树脂B，在借助机械力量将上述两个基板剥离时，能够在放射线透射性压模与树月旨A之间进行剥离。在将这样制得的数据基板、树脂B、树脂A按照该顺序进行层叠得到的基板上，通过多次溅射步骤来层叠追加写入式记录膜，然后旋转涂敷紫外线固化树脂C，由此形成了厚度约75 μ m的保护层。此时，需要从相当于盘卡紧部的内周端的直径23mm的部分起形成均匀的保护层，但通过如上所述使该区域中的中间层形成为大致均匀状态，在涂敷树脂C时能够形成均匀的保护层，而且不会卷入气泡。对通过以上步骤制得的本发明的实施例I的光记录介质的伺服特性进行评价，其结果如表I所示。在向形成于中间层上的第2记录层进行记录再现时评价伺服残余(寸一
残渣)，由此进行伺服特性的评价。在进行数据的记录再现时，需要使光拾取器的物镜自动地上下移动，以便使记录再现用激光光束的焦点追随于记录面。伺服残余是表示物镜的自动追随时的移动距离的指标，在对光记录介质进行记录再现时，如果伺服残余过大，则产生伺服不良，导致产生记录再现错误。蓝光光盘的伺服残余的值在2倍速记录中优选45nm以下，在4倍速记录中优选80nm。在本发明中，根据为了使记录再现时的光拾取器的物镜自动追随而需要的驱动电压来计算伺服残余，针对从内周到外周进行记录再现时的各个半径的伺服残余的值，按照2倍速和4倍速的情况进行了评价。根据表I，在实施例I的情况下，在光记录介质的整个面中，对于2倍速的情况得到了小于45nm的值，对于4倍速的情况得到了小于80nm的值，能够得到良好的伺服特性。这说明了中间层的膜厚的均匀性良好，因而物镜能够充分追随。(比较例I)除了不进行扭转之外，其它与实施例I相同地制得光记录介质，并对伺服残余进行了评价，其结果如表2所示。虽然在2倍速时得到了小于45nm的值，但是在4倍速时在内周侧是超过80mm的值。这可以理解为由于不进行扭转，因而在内周侧的中间层的膜厚均匀性恶化。(比较例2)除了不进行内周固化之外，其它与实施例I相同地制得光记录介质，在不进行内 周固化的情况下，在第四步骤中的高速延伸时空气从内周进入中间层，致使上面的放射线透射性压模剥离，光记录介质的制造比较困难。针对上述结果，通过采用本发明的光记录介质的制造方法，能够形成更均匀的中间层，能够制造在中间层上的第2记录层的高速记录时也具有良好的伺服特性的光记录介质。[表I]
权利要求
1.一种光记录介质的制造方法，该光记录介质在具有中心孔的圆板状的基板上具有多个记录层，在多个所述记录层之间具有中间层，该中间层由放射线固化性树脂原料构成，具有凹凸形状，其特征在于， 在形成所述中间层的步骤中按如下顺序至少包括 第一步骤，在放射线透射性压模和具有所述记录层的基板之间涂敷所述放射线固化性树脂原料，使所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板重叠； 第二步骤，在朝相互接近的方向加压的状态下对所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板进行扭动，由此使所述放射线固化性树脂原料延伸； 第三步骤，仅向所述基板的中心孔附近照射放射线，使所述放射线固化性树脂原料固化；以及 第四步骤，为了使所述放射线固化性树脂原料延伸到整个具有所述记录层的基板，在进行具有所述记录层的基板和所述放射线透射性压模的旋转的同时，使延伸到整个所述基板的所述放射线固化性树脂原料固化，将所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板粘接。
2.根据权利要求I所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，所述基板和所述放射线透射性压模都是在如下位置形成有圆环状的小凸起在所述第一步骤中重叠的面侧的、比卡紧区域更靠近中心孔侧的位置。
3.根据权利要求I或2所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，在所述第二步骤中包括使所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板相对旋转的扭转步骤，将该扭转步骤中的扭转的转速设为O. Irpm 30rpm,将扭转之间的按压幅度设为10 μ m 100 μ m,将扭转的旋转角度设为180° 360°的范围。
4.根据权利要求I 3中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，在所述第三步骤中，将照射放射线的范围设为从所述基板的中心起半径15_以内的范围。
5.根据权利要求I 4中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，在所述第二步骤与所述第三步骤之间包括这样的步骤通过向所述放射线透射性压模和所述基板之间施加50g IOOg的荷重进行加压。
6.根据权利要求I 5中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，在所述第二步骤与第三步骤之间包括这样的步骤从用于固定所述放射线透射性压模和所述基板的中心孔的中心轴对所述放射线固化性树脂原料进行减压吸弓I。
7.根据权利要求I 6中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，所述放射线固化性树脂原料的粘度在50cP IOOOcP之间。
8.根据权利要求2 7中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，所述放射线透射性压模的所述小凸起与所述基板的所述小凸起的高度的合计值为所述中间层的目标膜厚±15μπι以内，所述放射线透射性压模的所述小凸起与所述基板的所述小凸起的半径方向的错位为O. 5mm以内。
9.根据权利要求6 8中任意一项所述的光记录介质的制造方法，其特征在于，从所述中心轴对所述放射线固化性树脂原料进行减压吸引的步骤中的吸引压力为一 IkPa 一20kPa的范围。
10.一种光记录介质的制造装置，该光记录介质在具有中心孔的圆板状的基板上具有多个记录层，在多个所述记录层之间具有中间层，该中间层由放射线固化性树脂原料构成，具有凹凸形状，其特征在于，该制造装置用于形成所述中间层的步骤，至少具有 第一单元，其在放射线透射性压模和具有所述记录层的基板之间涂敷所述放射线固化性树脂原料，使所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板重叠； 第二单元，在朝相互接近的方向加压的状态下对所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板进行扭动，由此使所述放射线固化性树脂原料延伸； 第三单元，其仅向 所述基板的中心孔附近照射放射线，使所述放射线固化性树脂原料固化；以及 第四单元，其为了使所述放射线固化性树脂原料延伸到整个具有所述记录层的基板，在进行具有所述记录层的基板和所述放射线透射性压模的旋转的同时，使延伸到整个所述基板的所述放射线固化性树脂原料固化，将所述放射线透射性压模和具有所述记录层的基板粘接。
全文摘要
提供改善了制造效率的光记录介质的制造方法及其制造装置。一种光记录介质的制造方法，该光记录介质在基板上具有多个记录层，在多个记录层之间具有凹凸形状的中间层，该制造方法在形成中间层的步骤中至少包括第一步骤，在放射线透射性压模和具有所述记录层的基板之间涂敷放射线固化性树脂原料，使放射线透射性压模和具有记录层的基板重叠；第二步骤，在朝相互接近的方向加压的状态下对放射线透射性压模和具有记录层的基板进行扭动，由此使放射线固化性树脂原料延伸；第三步骤，仅向基板的中心孔附近照射放射线，使放射线固化性树脂原料固化；以及第四步骤，在进行具有记录层的基板和放射线透射性压模的旋转的同时，使放射线固化性树脂原料固化，将放射线透射性压模和具有记录层的基板粘接。
文档编号G11B7/24GK102812516SQ20118001358
公开日2012年12月5日 申请日期2011年4月7日 优先权日2010年4月9日
发明者野尻诚喜 申请人:三菱化学媒体股份有限公司