控制装置、控制方法以及母盘制作装置制造方法
【专利摘要】本文涉及控制装置、控制方法以及母盘制作装置，其中，一种控制装置包括：延迟单元，被配置为延迟母盘的曝光中使用的信号；以及控制单元，被配置为调整信号的延迟量使得满足信息记录介质格式的曝光图案形成于通过恒定线性速度（CLV）方式旋转的母盘上。
【专利说明】控制装置、控制方法以及母盘制作装置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2013年I月22日提交的日本在先专利申请JP2013-009293的权益，通过引用将其全部内容结合于此。
【技术领域】
[0003]本发明涉及控制装置、控制方法以及母盘制作装置。更具体地，本发明涉及用于制作信息记录介质的母盘的控制装置、控制方法以及母盘制作装置。
【背景技术】
[0004]用于执行热感记录的相变控制(PTM)方式已主要被用作切割当前具有最高密度光盘格式的蓝光光盘(BD，注册商标)的方式。因为热感记录，所以PTM适合于制作符合恒定线性速度(CLV)格式的光盘。当采用脊/槽系统以便进一步增加光盘的密度时，最好根据区域恒定角速度(ZCAV)格式执行光盘切割。
[0005]迄今，在采用ZCAV格式的光磁母盘制作中，已采用用于以恒定角速度(CAV)旋转母盘的同时执行切割的方式。图12是示出了采用这种切割系统的母盘制作装置的示意性配置的框图。如图12中示出的，这个母盘制作装置包括格式器101和切割器102。格式器101包括时钟切换器111、摆动信号发生器112、锁相环(PLL)113、及分频器114和115。格式器101生成摆动信号并且将摆动信号供应至切割器102。切割器102生成频率发生器(FG)信号，该信号是光盘旋转同步信号，并且将FG信号供应至格式器101。具有上述配置的母盘制作装置将FG信号乘以PLL时钟来执行时钟乘法切换，从而实现ZCAV格式的区域切换。
[0006]然而，使用以上所述系统在PTM系统中执行ZCAV格式光盘母盘(disc-master)切割具有问题。因为具有图12中示出的配置的母盘制作装置通过利用CAV方式旋转母盘，所以局部线性速度根据径向位置改变，从而使得很难形成统一的槽形。尽管还可以想到激光功率根据径向位置改变的方法，但是极难设定适合于CAV格式的激光功率以满足用于具有比BD的记录密度更高的记录密度的光盘的切割精确度。因此，最好可以在通过利用CLV方式保持母盘的旋转的同时，执行ZCAV格式光盘母盘切割。
[0007]此外，近年来，除ZCAV方式以外的各种格式同样已被提出为母盘格式，并且期望具有那些格式的母盘同样可通过PTM方式制作。同样期望，在具有那些格式的母盘的制作中，母盘可在通过CLV方式保持母盘的旋转的同时被切割，如同具有以上描述的ZCAV格式的母盘的情况。
[0008]作为用于解决以上描述的困难的相关技术，已提出使用CLV方式旋转母盘来根据光盘径向位置改变格式器驱动时钟的多种方式(参见，例如，日本未经审查的专利申请公开第 2007-134045 号、第 6-36357 号、第 2006-119484 号、和第 7-287875 号)。然而，实际上，如以下所述的，很难利用这些方式中的任何方式来切割母盘。
[0009]当用于生成用于分频器的时钟的参考时钟频率是基于日本未经审查的专利申请公开第2007-134045号的段落[0054]中的描述使用BD的参数计算的时候，会产生大约IO19Hz的值(Ρ=0.32μπκ Nf=2024113、并且VL=4.917m/s)。这表示使用当前可用的技术是极难实现的。在日本未经审查的专利申请公开第6-36357号中公开的技术在通过使用分频器生成格式器驱动时钟方面同样是类似的，并且因此面临与日本未经审查的专利申请公开第2007-134045号的问题相似的问题。
[0010]日本未经审查的专利申请公开第2006-119484号公开一种使用直接数字合成器(DDS)的技术。DDS通过使用根据参考时钟操作的同步电路的输出数字地生成各种输出波形。当对参考时钟的频率和可被输出的信号的频率之间的关系给予关注时，DDS同样可被认为是分频器的一个类型。尽管在日本未经审查的专利申请公开第2006-119484号中的段落[0025]解释IOOMHz和32位的DDS具有大约0.023Hz的频率解析度，这是可被输出的最低频率的解析度。为了实现具有用于光盘格式的参考时钟的频率的期望的频率解析度，例如，在BD情况下具有作为IX速度通道时钟的频率的大约66MHz的频率，非常高的参考时钟频率还是必要的。
[0011]日本未经审查的专利申请公开第7-287875号中公开的技术涉及其中电压控制振荡器(VCO)被用于生成待使用的格式器驱动时钟的系统。然而，当用于PLL中的反馈回路时VCO是可提供足够精确的时钟输出的装置。在日本未经审查的专利申请公开第7-287875号中，图1中示出的VC05不是反馈控制的并且被单独使用。BD上的各个轨道的频差大约是0.001%即使是在内周，并且期望的时钟精确度甚至比这个值还高。对于当前技术，根据数字至模拟(D/A)输出值，仍然极难在没有反馈控制的情况下实现稳定地输出具有如此高精确度的时钟的VCO。
【发明内容】
[0012]因此，最好提供可以通过利用CLV方式控制母盘的旋转的同时执行符合CAV方式或者其他方式的母盘切割的控制装置、控制方法、及母盘制作装置。
[0013]根据本发明的一个实施方式，提供了一种控制装置。该控制装置包括:延迟单元，被配置为延迟母盘的曝光中使用的信号；及控制单元，被配置为调整信号的延迟量使得满足信息记录介质格式的曝光图案(pattern)形成于通过CLV方式旋转的母盘上。
[0014]根据本发明的另一个实施方式，提供了一种控制方法。该控制方法包括调整母盘的曝光中使用的信号的延迟量使得满足信息记录介质格式的曝光图案形成于通过CLV方式旋转的母盘上。
[0015]根据本发明的又一实施方式，提供了一种母盘制作装置。母盘制作装置包括:信号发生装置，被配置为生成信号；曝光装置，被配置为基于从信号产生装置提供的信号曝光母盘；以及控制装置，被配置为调整从信号发生装置提供至曝光装置的信号的延迟量。控制装置包括:延迟单元，被配置为延迟母盘的曝光中使用的信号，及控制单元，被配置为调整信号的延迟量使得满足信息记录介质格式的曝光图案形成于通过CLV方式旋转的母盘上。
[0016]如上所述，根据本发明，可以在通过使用CLV方式控制母盘的旋转的同时执行符合CAV方式或者其他方式的母盘切割。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是示出了根据本发明第一实施方式的通过母盘制作装置制作的母盘的一个示例配置的平面图；
[0018]图2A是示出了图1中示出的母盘的形成表面的一部分的放大平面图，并且图2B是示出了图1中示出的母盘的横截面的一部分的放大截面图；
[0019]图3是示出了根据本发明第一实施方式的母盘制作装置的一个示例配置的示意图；
[0020]图4是示出了根据本发明第一实施方式的定时调节器的一个示例配置的框图；
[0021]图5A至图5C示出了根据本发明第一实施方式的母盘制造方法的过程；
[0022]图6A和图6B示出了根据本发明第一实施方式的母盘制造方法的过程；
[0023]图7是示出了区域的格式的示意图；
[0024]图8是示出了角度区域的格式的示意图；
[0025]图9A是示出了摆动的相位与内周侧和外周侧两处的相邻摆动的相位相同的区域的示意图，图9B是示出了摆动的相位与内周侧处的相邻摆动的相位不同并且与外周侧处的相邻摆动的相位相同的区域的示意图，图9C是示出了摆动的相位与内周侧处的相邻摆动的相位相同并且与外周侧处的相邻摆动的相位不同的区域的示意图；
[0026]图10是示出了区域之间分界部分的格式的示意图；
[0027]图11是示出了根据本发明第二实施方式的定时调节器的一个示例配置的框图；以及
[0028]图12是示出了实现通过使用CAV方式控制母盘的旋转的同时符合ZCAV格式母盘的光盘母盘切割的母盘制作装置的示意性配置的框图。
【具体实施方式】
[0029]以下将参考附图按以下顺序描述本发明的实施方式。
[0030]1.第一实施方式(能够执行符合ZCAV方式的格式的切割的母盘制作装置的示例)
[0031]1-1.概述
[0032]1-2.母盘的结构
[0033]1-3.母盘的格式
[0034]1-4.母盘制作装置的配置
[0035]1-5.定时调节器的配置
[0036]1-6.母盘制造方法
[0037]1-7.优点
[0038]2.第二实施方式(能够执行符合光盘角度区域划分方式的格式的切割的母盘制作装置的示例)
[0039]2-1.概述
[0040]2-2.母盘的格式
[0041]2-3.定时调节器的配置
[0042]2-4.优点
[0043]3.修改例
[0044]〈1.第一实施方式>
[0045][1-1.概述][0046]在第一实施方式中，将描述可以在通过完整的CLV操作控制母盘的旋转的同时根据ZCAV格式执行母盘切割，并且采用其中格式器由根据固定时钟进行操作的数字电路实现的配置的技术。
[0047][1-2.母盘的结构]
[0048]图1是示出了根据本发明第一实施方式的通过母盘制作装置制作的母盘的一个示例配置的平面图；图2A是示出了图1中示出的母盘的形成表面的一部分的放大平面图。图2B是示出了图1中示出的母盘的横截面的一部分的放大截面图。母盘I是用于制作光信息记录介质的母盘并且被用于制作复制母盘(例如，母碟)或者基板。使用母盘I制作的光信息记录介质的实例包括数字多功能盘(DVD)、BD、以及具有比BD更高的记录密度的下一代光盘。
[0049]母盘I具有圆盘形,如图1中不出的，并且母盘I的一个主要表面是形成表面S。如图2A和图2B中示出的，形成表面S是具有槽G和脊L的波状表面。本文中，在母盘的制作过程中暴露于激光等的部分被称作槽G，并且夹在相邻槽之间的部分被称作“脊L”。图2B示出了波状表面的凹陷部分是槽G并且其凸出部分是脊L的示例。
[0050]槽G和脊L的形状的实例包括各种形状，诸如螺旋形和同心圆形。槽G和/或脊L是摆动的(曲折的)以用于例如线性速度稳定性和地址信息添加。槽G和脊L之一被用作用于记录信息信号的轨道。以下将描述槽G被用作轨道的示例。
[0051]如图2B中不出的，母盘I具有基板2和基板2的表面上设置的形状层3。基板2的实例包括娃基板和玻璃基板。优选的是无机光刻胶(inorganic resist)被用作形状层3的材料。例如，诸如过渡金属的金属的氧化可被用作无机光刻胶。形状层3具有槽G和脊L0
[0052][1-3.母盘的格式]
[0053]母盘I是符合ZCAV格式的母盘。更具体地，母盘I具有圆环形状的记录区域A，如图1中示出的。记录区域A具有从其内周向着外周(B卩，径向方向)连续设定的多个区域a。记录区域A对应于使用母盘I制作的光信息记录介质的数据记录区域。
[0054][1-4.母盘制作装置的配置]
[0055]图3是示出了根据本发明第一实施方式的母盘制作装置的一个示例配置的示意图。母盘制作装置是在利用完整的CLV操作控制母盘I的旋转的同时允许根据ZCAV格式进行母盘切割的系统。母盘制作装置包括根据固定时钟操作的数字电路。如图3中示出的，母盘制作装置包括用作信号发生装置的格式器11，用作控制装置的定时调节器12，以及用作曝光装置的切割器13。定时调节器12设置于格式器11和切割器13之间。
[0056](格式器)
[0057]格式器11包括根据固定时钟操作并且使用固定时钟生成用于母盘I的曝光中使用的信息信号的数字电路。信息信号是例如具有符合预定光盘格式的单频摆动信号。尽管以下描述是在信息信号是单频摆动信号的情况下的，但信息信号不限于这个示例。
[0058]更具体地，格式器11具有摆动信号发生器11a，该摆动信号发生器Ila使用固定时钟生成用作记录信号的单频摆动信号并且将生成的摆动信号供应至定时调节器12。格式器11可以通过用于制作光盘的母盘的现有格式器来实现。
[0059](切割器)[0060]切割器13用作通过使用激光等照射母盘来曝光母盘I的曝光装置。切割器13通过使用CLV方式控制光盘的母盘I的旋转。基于定时调节器12中提供的摆动信号，切割器13控制照射母盘I的激光的照射图案，以在母盘I的光刻层(resist layer)的表面上形成预定的曝光图案。预定的曝光图案符合光盘的ZCAV格式。切割器13具有设置有频率发生器(FG)的主轴电动机(未不出)。FG信号(旋转信息信号)是从FG输出的并且被提供给定时调节器12。切割器13可以通过用于制作光盘的母盘的现有的切割器来实现。
[0061](定时调节器)
[0062]定时调节器12用作细致地调整摆动信号从格式器11被提供至切割器13的定时的信号处理电路。更具体地，定时调节器12调整从格式器11被提供至切割器13的单频摆动信号的延迟量，使得满足ZCAV格式的曝光图案形成在通过CLV方式旋转的母盘I上。
[0063]使用切割器13提供的FG信号时，定时调节器12确定基准时间。上述摆动信号的延迟量基于基准时间调整。
[0064][1-5定时调节器的配置]
[0065]图4是示出了定时调节器的一个示例配置的框图。如图4中示出的，定时调节器12包括控制单元21、模拟至数字(AD)转换器22、以及具有内插函数的延迟线路23。
[0066]在这种情况下，将通过示例描述BD，并且假设定时调节器12中的电路中的时钟以IX速度IT的周期进行操作。因为各个摆动信号的一个周期是69T，所以各个摆动信号的一个周期对应69个时钟。
[0067](控制单元)
[0068]控制单元21调整具有内插函数的延迟线路23中的摆动信号的延迟量以满足符合ZCAV格式的母盘I 一周(revolution)的摆动的数目。更具体地，通过使用从切割器13提供的FG信号，控制单元21确定用于满足符合ZCAV格式的一周的摆动数目的基准时间。基于基准时间，控制单元21调整具有内插函数的延迟线路23中摆动信号的延迟量。
[0069]如图4中示出的，控制单元21包括区域切换处理单元31、基准时间生成单元32、区域内经过时间测量单元33、计算单元34、伺服滤波器35、以及校正时钟生成单元36。
[0070](区域切换处理单元)
[0071]当母盘I的曝光开始时，区域切换处理单元31将指定最内周处的区域a中的母盘I 一周摆动的数目的通知发布至基准时间生成单元32，摆动数目在ZCAV区域结构的标准中被规定(具体地，如图1中示出的区域的结构的标准)。
[0072]区域切换处理单元31从母盘I的曝光开始时开始计数从切割器13输入至定时调节器12中的FG信号。区域切换处理单元31通过在根据用于ZCAV区域结构标准(具体地，图1中示出的区域的结构的标准)的定时(即，在与每个区域a的分界位置对应的定时)改变母盘一周摆动的数目，来执行区域切换处理，该数目被制定用于基准时间生成单元32。输入FG信号的计数值可在每次切换ZCAV区域a时重置，并且输入FG信号的计数可重新开始。
[0073]更具体地，区域切换处理单元31计数输入至定时调节器12的FG信号并且基于计数值确定切割位置(曝光位置)是否已到达ZCAV区域切换位置(具体地，图1中示出的每一区域的边界位置)。当确定切割位置已到达ZCAV区域切换位置时，区域切换处理单元31改变母盘一周摆动的数目，该数目被指定用于基准时间生成单元32。另一方面，当确定切割位置还没有到达ZCAV区域切换位置时，区域切换处理单元31保持母盘一周摆动的当前数目，该数目被指定用于基准时间生成单元32。
[0074]定时调节器12具有例如存储单元(未示出)，在其中存储着输入FG信号的计数值，以及与ZCAV区域的边界位置对应的计数值。以上描述的区域切换位置可以基于存储单元中存储的输入FG信号计数值来确定。
[0075]区域切换处理单元31将区域内FG信号的计数值提供至基准时间生成单元32。优选的是区域切换处理单元31将用于伺服滤波器35的积分器设定值设定为反映转速变化的值。通过这样的配置，与转速变化对应的校正可以通过前馈进行。因此，甚至在各个区域的边界中，仍可以保持高精度的遵循基准时间的校正。
[0076](基准时间生成单元)
[0077]如上所述，FG信号从切割器13被提供至基准时间生成单元32。指定一周摆动的数目的通知从区域切换处理单元31被发布至基准时间生成单元32，并且区域内的FG信号的计数值同样从区域切换处理单元31被提供至基准时间生成单元32。
[0078]每次FG信号(FG信号的脉冲)从切割器13被输入至基准时间生成单元32，基准时间生成单元32基于定时调节器12中的时钟将期望的经过时间确定为基准时间。确定的经过时间被用于正确地满足指定的一周摆动的数目。基准时间(以时钟为单位)根据例如以下方程(I)来确定:
[0079]基准时间(以时钟为单位)=[(指定的一周摆动的数目)X (与一个摆动对应的时钟的数目)]x[(区域内的FG信号的计数值)+ (每一周的FG齿的数目)](I)
[0080]在方程(I)中，“指定的一周的摆动数目”、“与一个摆动对应的时钟的数目”、“区域内FG信号的计数值”、以及“一周的FG齿的数目”被定义如下:
[0081]指定的每个轨道的摆动数目:指定的与母盘I上的每个区域a对应的每个轨道摆动的数目
[0082]与一个摆动对应的时钟的数目:定时调节器中的时钟的数目、与一个摆动对应的时钟(在这种情况下，BD的示例中的69个时钟)。
[0083]区域内FG信号的计数值:通过定时调节器12计数的每个ZCAV区域a的输入FG信号的数目。
[0084]一周的FG齿的数目:切割器13的主轴电动机的一周的FG齿
[0085]例如，在上文中描述的存储单元中存储“与一个摆动对应的时钟的数目”(例如，69个时钟)和“一周的FG齿的数目”。这些值被用于计算基准时间，例如，根据以上指出的方程(I)。
[0086](区域内经过时间测量单元)
[0087]区域内经过时间测量装置33通过使用定时调节器12中的时钟测量区域内经过时间。当FG信号(FG信号的脉冲)从切割器13中输入时，区域内经过时间测量装置33将测量的经过时间提供至计算单元34。当FG信号(FG信号的脉冲)被输入的定时(timing),可以通过从以上描述的基准时间中减去测量的经过时间来确定时间误差。术语“区域内经过时间”指的是从在各个区域a中曝光开始的经过时间，具体地，从指定母盘一周的摆动的数目的通知从区域切换处理单元31被发布至基准时间生成单元32的时间开始的经过时间或者从开始用于改变母盘一周的摆动的数目的时间起的经过时间。
[0088](AD 转换器)[0089]AD转换器22对格式器11提供的摆动信号进行AD转换并且将得到的摆动信号提供至校正时钟生成单元36和具有内插函数的延迟线路23。
[0090](校正时钟生成单元)
[0091]通过使用从格式器11提供的摆动信号，校正时钟生成单元36生成校正时钟。“校正时钟”是用于执行与格式器11的时钟和定时调节器12的时钟之间的位移(displacement)相对应的校正的信号。
[0092]在本实施方式中，定时调节器12和格式器11根据不同于彼此的相应时钟操作。即使这些时钟的周期误差大约为IOX 10_6，考虑到每一光盘一周的摆动数目超过外周处十万个，每一周会发生超过一个摆动的时间误差。因此，优选地为定时调节器12设置有校正时钟生成单元36以便校正时钟之间的位移。
[0093]校正时钟生成单元36包括二值化单元41、最小相移键控(MSK)移除单元42、以及锁相环(PLL)单元43。二值化单元41 二值化从AD转换器22提供的摆动信号并且将得到的摆动信号提供至MSK移除单元42。MSK移除单元42从二值化单元41中提供的摆动信号中移除MSK标志并且将得到的摆动信号提供至PLL单元43。PLL单元43比较MSK移除单元42提供的输入信号的相位与根据定时调节器12中的时钟生成的摆动周期信号的相位，并且将校正相位移的校正时钟提供至计算单元34。
[0094](计算单元)
[0095]基准时间、在区域内经过时间，校正时钟、以及延迟量被分别从基准时间生成单元32、区域内经过时间测量单元33、校正时钟生成单元36、以及具有内插函数的延迟线路23提供给计算单元34。
[0096]对基准时间、区域内经过时间、校正时钟、以及延迟的量的总结如下。
[0097]基准时间:恰当地满足指定的一周的摆动的数目的期望的经过时间(从各个区域a中的曝光开始起的经过时间)
[0098]区域内经过时间:从各个区域a中的曝光开始起的经过时间
[0099]校正时钟:用于执行与格式器11的时钟和定时调节器12的时钟之间的位移相对应的校正的信号。
[0100]延迟量:具有内插函数的延迟线路23中的延迟量
[0101]在FG信号(FG信号的脉冲)被输入的定时，时间误差(误差信号)可通过从基准时间中减去经过时间来确定。从误差信号中进一步减去校正时钟使得可以执行与格式器11的时钟和定时调节器12的时钟之间的位移相对应的校正。从误差信号中进一步减去具有内插函数的延迟线路23中的延迟量形成反馈回路。
[0102](伺服滤波器)
[0103]伺服滤波器35使用例如比例积分(PI)控制滤波器以在执行对于具有内插函数的延迟线路路23的反馈控制相位补偿的同时实现预期的伺服性能。
[0104](具有内插函数的延迟线路)
[0105]具有内插函数的延迟线路23缓冲从AD转换器22中提供的摆动信号，根据从伺服滤波器35中的输出改变输出更新率，执行线性插入，然后将得到的信号输出至切割器13。因此，摆动信号被输入至切割器13的定时被细致地调节。一定的延迟量被设定用于具有内插函数的延迟线路路23作为初始值，输出更新率同样可根据输入信号增加或者减少。具有内插函数的延迟线路23中的延迟量的输出具有从通过伺服滤波器35的输出指定的更新率的积分中得到的值。因此，整个反馈回路可以被认为是具有积分特性的装置的反馈控制回路。
[0106]作为具有内插函数的延迟线路23的操作结果，通过根据固定时钟操作的格式器11生成的摆动信号在与切割器13的主轴的旋转同步的同时可被平滑地输出。
[0107][1-6.母盘制造方法]
[0108]下面，将参考图5A至图5C和图6A和图6B描述使用以上描述的母盘制作装置的母盘制造方法的一个示例。这个母盘制造方法优选地被应用于制造高密度光盘的母盘的方法，诸如蓝光光盘(注册商标)。
[0109]如图5A中示出的，制造由例如硅等制成的平滑的基板2。下面，如图5B中示出的，光刻层3是例如通过溅镀而沉积在基板2上的。因此，获得具有光刻层3a的母盘I。光刻层3a的材料可能是，例如，无机光刻胶。
[0110]下面，母盘I被放置在上文中描述的母盘制作装置中的切割器13的转盘(未示出)上。下面，如图5C中示出的，母盘I是通过CLV方式旋转和驱动的，并且使用曝光光束4照射光刻层3a以曝光光刻层3a的整个表面。在曝光过程中，母盘I的曝光中使用的摆动信号的延迟量被调整为使得满足ZCAV格式的曝光图案形成于通过CLV方式旋转的母盘I的光刻层3a上。因此，与符合ZCAV格式的摆动槽相对应的潜像(latent image)3b形成于光刻层3a的整个表面上。
[0111]下面，如图6A中示出的，基板2被旋转的同时，显影液5被应用于光刻层3a并且在光刻层3a上进行显影(development)过程。因此,符合ZCAV格式的摆动槽G形成于光刻层3a的整个表面上，如图6B中示出的。这就产出了预期的母盘I。
[0112][1-7.优点]
[0113]根据第一实施方式，对于使用固定时钟数字电路的配置，可便于在完全以CLV方式旋转母盘I的同时切割具有ZCAV格式的母盘。
[0114]〈2.第二实施方式〉
[0115][2-1.概述]
[0116]当槽记录方式被用于增加典型CLV格式光盘的密度时，与相邻轨道有关的摆动相位差连续地改变并且这个改变会引起记录和回放质量以及地址回放质量的变化。当光信息记录介质的密度被进一步增加时，由于相邻摆动的相位之间的不一致导致的信号恶化因为两个因数变得突出，即，轨道间距的减小和线性密度的增加。因此，本发明人为了克服问题已做了深入和广泛的研究并且已设计出一种方式，该方式在实现符合CLV格式的同时使相邻摆动的相位在光信息记录介质的大部分区域中彼此一致。具体地，本方式是一种设定从光信息记录介质的中心径向划分的角度区域并且摆动的相位与相邻摆动的相位的不一致范围限于一个轨道中的一个角度区域的范围。本文中这个系统被称作“光盘角度区域划分方式”。
[0117]根据本发明人所知的知识，在用于制作母盘的相关技术中，很难通过使用PTM方式根据光盘角度区域划分方式执行母盘切割，因为相同的原因，很难通过使用PTM方式根据ZCAV系统执行母盘切割。因此，在第二实施方式中，将描述以下技术，该技术可通过使用PTM方式根据光盘角度区域划分方式执行母盘切割。[0118][2-2.母盘的格式]
[0119](区域)
[0120]图7是示出了区域的格式的示意图。如图7中示出的，根据第二实施方式的母盘I中的各个区域具有从母盘I的中心径向划分的多个区域(这些区域以下简称“角度区域”)。在图7中，为了便于说明，各个区域a已变为长方形。在图7中，尽管在示出的情况中区域a数目是三个，但区域a数目不限于这个示例。
[0121]一个区域a与另一个区域a划分的角度区域的数目不同，并且向着外周侧，划分的角度区域的数目增加。例如，当母盘I中的记录区域A被分成三个区域时，S卩，第一区域a至第三区域a，“10”、“15”和“30”被分别选定为第一区域a、第二区域a、和第三区域a的划分数目。
[0122](角度区域)
[0123]图8是示出了角度区域的的格式的示意图。图8示出了一个示例，其中，母盘I上的记录区域A从其中心径向地被分成十个相等的区域。为了方便描述，这种情况下的条件是在第一轨道中存在38000次摆动并且每一轨道存在大约2.5RUB(记录单元块)。RUB是用于记录主要数据(即，记录/回放数据)的单元并且具有预定长度，例如，64千字节。RUB同样是误差校正块的单元。
[0124]母盘I上的记录区域A具有其中摆动的相位从相邻摆动的相位位移的相位失配范围和其中摆动的相位与相邻摆动的相位相一致的相位一致范围。相位失配范围是一个轨道中的部分范围，并且相位一致范围是轨道中的剩余范围。例如，基于角度区域提供相位失配范围。
[0125]图9A是示出了摆动的相位与内周侧和外周侧两处相邻摆动的相位相同的区域的示意图。例如，在轨道(TRK)号“2”中通过角度区域号“2至4”和“6至10”表示的角度区域中，摆动的相位与在内周侧和外周侧处的相邻摆动的相位相同，如图9A示出的。
[0126]图9B是示出了摆动的相位与内周侧处的相邻摆动的相位不同而与外周侧处的相邻摆动的相位相同的区域的示意图。例如，在轨道(TRK)号“2”中通过角度区域号“I”表示的角度区域中，摆动的相位与内周侧处的相邻摆动的相位不同，然而摆动的相位与外周侧处的相邻摆动的相位相同，如图9B示出的。
[0127]图9C是示出了摆动的相位与内周侧处的相邻摆动的相位相同而与外周侧处的相邻摆动的相位不同的区域的示意图。例如，在轨道(TRK)号“2”中通过角度区域号“5”表示的角度区域中，摆动的相位与内周侧处的相邻摆动的相位相同，然而摆动的相位与外周侧处的相邻摆动的相位不同，如图9C示出。
[0128]一个轨道中摆动的总数例如通过以每个轨道一次或者每两个轨道一次的速率从中心向着外周的速度增加I。在蓝光光盘XL (BDXL)的参数的示例中，按照该标准规定的那样精确切割的母盘I上的一个轨道的长度向着外周每个轨道增加与大约0.5个摆动相对应的量。因此，基本上足以以每两个轨道增加一个摆动的速率增加摆动。可以偶尔存在摆动的数目每个轨道增加I的地方以校正累积误差。额外的摆动例如被顺序地分配至角度区域。
[0129]优选的是在一个轨道的部分范围中进行摆动的增加，优选地，在比每一轨道的一个RUB (即，误差校正块)更小的范围中进行，并且更优选地，仅在每一轨迹中的一个角度区域内进行。对于该配置，摆动的相位与相邻摆动的相位不一致的连续的范围可限于一个轨迹中的部分范围，优选地比一个RUB小的范围，并且更优选地，限于一个角度区域。图8示出了一个示例，其中，摆动的相位与相邻摆动的相位不一致的范围限于大约四分之一的RUB，该RUB是误差校正块的单元。此外，一个摆动已增加0.03%或更少的角度区域中的摆动长度的改变，可充分满足现有BD格式的摆动长度误差规范。
[0130]优选地，摆动的数目被增加的角度区域的顺序被适当地确定以免某些RUB的内周和外周处同时出现不同相位的部分。在BD的示例中，甚至在最内周，每一轨迹存在2.7个RUB或更多。因此，当摆动被增加的区域之间的间隙相对于与一个RUB相对应的距离被大大增加时，可以避免在某个RUB的内周和外周处同时生成不同相位的部分。例如，当母盘I上的各个区域被分成10个区域时，可以以下面的方式设定不同相位部分出现的角度区域的顺序:
[0131]1 — 5 — 9 — 2 — 7 — 3 — 8 — 4—10 — 6 — 1...(然后重复这个顺序)
[0132]以这种方式设置角度区域可以保证不同相位的部分被放置得远离彼此一周的4/10或更多。
[0133]因此，优选的是在环形方向相邻的相位失配范围被设置得远离彼此与至少一个RUB (即，一个误差校正块)对应的距离。更具体地，优选的是相位失配范围被设置为从在环形方向上相邻的相位失配范围中的一个的前端至其另一个相位失配范围的前端、或者从在环形方向上相邻的相位失配范围中的一个的末端至其另一个相位失配末端彼此远离与至少一个RUB (即，一个误差校正块)相对应的距离。这样的配置可以避免在某个RUB中两个相位失配范围的共存。
[0134](区域之间的边界部分)
[0135]图10是示出了区域之间分界部分的格式的示意图。外周处的轨道长度是内周处的轨道长度的大约2.4倍。当母盘I上的记录区域A中划分的角度区域的数目根据在其上的径向位置被改变时，由于摆动数目增加导致的摆动长度改变的变化可被减少到某个水平以下。优选地，如图10中示出的，划分的角度区域数目的改变在所有角度区域中的摆动数目是相同的轨道之后的下一个轨道处进行。就是说，区域a的边界被设置在所有角度的区域的摆动数目相同的轨道与那个轨道之后的下一个轨道之间。这使得可以在防止摆动数目不同于彼此的角度区域的共存的同时改变划分的角度区域的数目。
[0136][2-3.定时调节器的配置]
[0137]根据第二实施方式的母盘制作装置采用在实现符合CLV格式的同时使摆动的相位与母盘I上大部分区域中的相邻摆动的相位相一致的方式，换言之，是根据光盘角度区域划分方式执行母盘I的切割的方式。因为根据第二实施方式的母盘制作装置与根据第一实施方式的装置除了定时调节器12之外基本相同，所以以下将只描述定时调节器12的配置。
[0138]图11是示出了根据本发明第二实施方式的定时调节器的一个示例配置的框图。在第二实施方式中，与第一实施方式中的那些相对应的兀件通过相同参考标号来表不。根据第二实施方式的定时调节器12还具有角度区域增加管理单元37。
[0139]控制单元21调整信号的延迟量使得在一周中部分范围中摆动的数目增加，并且调整摆动信号的延迟量使得另一个区域中的摆动的相位与内周侧处相邻摆动的相位相一致。优选地，一周中的上述部分区域是一个轨迹中的部分范围，优选地，比每一轨道的一个RUB (即，一个误差校正块)更小的范围，并且更优选地，每一轨道的一个角度区域。对于这样的配置，摆动的相位与相邻摆动的相位不一致的连续的范围可限于一个轨迹中的部分范围，优选地，限于小于一个RUB的范围，并且更优选地，限于一个角度区域。
[0140]当具有内插函数的延迟线路23中的延迟量超过临界值时，控制单元21调整信号的延迟量使得一周中的部分范围中的摆动数目增加例如I。以上描述的部分范围可以是多个径向划分的角度区域中的一个，并且控制单元21顺序地增加其中摆动数目将增加例如I的角度区域中的摆动数目。在增加所有的其中摆动数目将增加例如I的角度区域中的摆动数目之后，控制单元21更新用作延迟量的参考的基准时间。
[0141]角度区域增加管理单元37是用于在摆动数目增加I的角度区域中(以下简称“摆动增加区域”，视情况而定)将时钟的数目(例如，69T时钟)增加与一个摆动相对应的数目的框块。例如，当母盘I从其中心径向地被分成十个区域时，角度区域增加管理单元37增加具有内插函数的延迟线路23的更新率使得与36°的光盘中心角相对应的一个整个角度区域中的摆动数目增加I。在这种情况下，当伺服滤波器35的积分器设定值被设置为反映转速变化的值时，与转速变化相对应的校正可以通过前馈进行。因此，甚至在各个摆动增加区域的边界中，遵循基准时间的校正可以被保持为具有高准确度。
[0142]区域切换处理单元31执行如下所述的操作。区域切换处理单元31检查具有内插函数的延迟线路23中的延迟量,并且当延迟量超过临界值时将一周的摆动数目增加I。在这种情况下，当摆动数目没有增加I的任何摆动增加区域仍然在角度区域中时，增加时钟数目以将摆动数目增加I的指令发布至角度区域增加管理单元37，从而增加每一轨道的摆动数目。当在所有摆动增加区域中摆动数目已增加I时，用于将一周的摆动的数目增加与增加的摆动数目已增加的角度区域的数目相对应的量的指令和用于将摆动增加区域的数目设定为零的指令被同时分别发布至基准时间生成单元32和角度区域增加管理单元37，然后摆动数目增加I的指令被再次发布至角度区域增加管理单元37。延迟量的临界值是与例如η次摆动(η是大于或等于I的整数)对应的、更具体地与ηΧ69Τ时钟相对应的时钟数目。
[0143][2-4.优点]
[0144]根据第二实施方式，可以执行母盘切割，该母盘切割允许CLV格式光盘上摆动的相位和相邻摆动的相位在记录区域A的大部分中彼此相一致。
[0145]〈3.变型〉
[0146]尽管以上已具体描述了本发明的实施方式，但本发明不限于以上描述的实施方式并且可对本发明进行基于本发明的技术构思的各种改变和变型。
[0147]例如，上文中描述的实施方式中的构造、方法、进程、形状、材料、数值等仅仅是示例性的，并且视情况而定，同样可使用不同于那些的构造、方法、进程、形状、材料、数值等。
[0148]上文中描述的实施方式中的构造、方法、进程、形状、材料、数值等可以彼此结合，只要其不背离本发明的精神。
[0149]尽管上文中的实施方式中已经描述了除格式器11和切割器13之外具有定时调节器器12的母盘制作装置的配置，但母盘制作装置的配置不限于此。
[0150]例如，可以采用其中具有定时调节器12的格式器11的配置并且格式器11与定时调节器12被集成到一起。对于上述的配置，当格式器11和定时调节器器12根据相同的时钟操作时，可以省去定时调节器12中的校正时钟生成单元36。
[0151]例如，还可以采用切割器13中具有定时调节器12的配置并且切割器13和定时调节器12被集成到一起。对于上述配置，定时调节器12的内部框块配置与上文中描述的实施方式的那些相似并且没有任何操作上的问题。
[0152]对于执行ZCAV切割，因为各个区域中的轨道数目很大，所以存在以下情况，其中，区域中线性速度变化增加，从而在具有内插函数的延迟线路23中包括大量的延迟缓冲。在此情况下，例如，可以采用如下结构。具体地，定时调节器12还可以具有当具有内插函数的延迟线路23的延迟量超过某个量时向格式器11输出用于请求摆动的输出暂停的信号的配置，并且在该时段过程中监测延迟缓冲的更新。这可以抑制延迟缓冲的使用。然而，在这种情况下，格式器11进一步具有用于响应来自定时调节器12的请求停止摆动信号的输出的配置。
[0153]尽管在上文的实施方式中已描述了具有在基板2的表面上设置了形状层3的配置的母盘，但母盘I的配置不限于此。例如，同样可以采用在基板2的表面上直接设置波形形状的配置。
[0154]本发明同样可采用以下配置。
[0155](I) 一种控制装置包括:延迟单元，被配置为延迟母盘的曝光中使用的信号；以及控制单元，被配置为调整所述信号的延迟量使得满足信息记录介质格式的曝光图案形成于通过CLV方式旋转的母盘上。
[0156](2 )根据(I)所述的控制装置，其中，所述信号是具有单频的摆动信号。
[0157](3 )根据(I)或(2 )所述的控制装置，其中，所述控制单元基于使用FG信号确定的基准时间调整所述信号的延迟量。
[0158](4 )根据(I)到(3 )中的任一个所述的控制装置，其中，所述控制单元调整所述信号的延迟量以满足所述母盘一周的摆动数目，所述摆动数目符合所述格式。
[0159](5)根据(4)所述的控制装置，其中，所述控制单元基于满足所述摆动数目的基准时间调整所述信号的延迟量。
[0160](6 )根据(I)到(5 )中任一项所述的控制装置，其中，所述格式是ZCAV格式。
[0161](7)根据(I)所述的控制装置，其中，所述控制单元调整所述信号的延迟量以使得所述摆动数目在所述母盘一周中的部分区域中增加。
[0162](8)根据(7)所述控制装置，其中，所述控制单元调整所述信号的延迟量以使得所述一周中的另一个区域中的摆动的相位与该另一个区域的一侧处的相邻摆动的相位相一致。
[0163](9)根据(7)或(8)所述的控制装置，其中，所述部分区域小于误差校正块。
[0164](10)根据(7)到(9)中任一项所述的控制装置，其中，当所述延迟单元的延迟量超过临界值时，所述控制单元调整所述信号的延迟量使得所述摆动数目在所述一周的部分区域中增加。
[0165](11)根据(7)到(10)中的任一项所述的控制装置，其中，所述部分区域是径向划分的区域中的一个，并且所述控制单元顺序地增加所划分的区域中的所述摆动数目。
[0166](12)根据(11)所述的控制装置，其中，在增加所有所划分的区域中摆动数目之后，所述控制单元更新用作所述延迟量的参考的基准时间。
[0167](13) 一种控制方法，包括:调整母盘的曝光中使用的信号的延迟量以使得满足信息记录介质格式的曝光图案形成于通过CLV方式旋转的所述母盘上。
[0168](14) 一种母盘制作装置包括:信号发生装置，被配置为生成信号；曝光装置，被配置为基于从所述信号发生装置提供的所述信号曝光母盘；以及控制装置，被配置为调整从所述信号发生装置提供至所述曝光装置的所述信号的延迟量，其中，所述控制装置包括，延迟单元，被配置为延迟所述母盘的曝光中使用的信号，以及控制单元，被配置为调整所述信号的延迟量使得满足信息记录介质格式的曝光图案形成于通过CLV方式旋转的所述母盘上。
[0169](15)根据(14)所述的母盘制作装置，其中，所述信号发生装置使用固定时钟生成所述信号。
[0170](16)根据(14)或(15)所述的母盘制作装置，其中，所述曝光装置包括被配置为旋转所述母盘的驱动单元，以及所述控制装置通过使用根据由所述驱动单元执行的旋转生成的FG信号来确定基准时间，并且基于所述基准时间调整所述信号的延迟量。
[0171]本领域中的技术人员应理解，根据设计需求以及其它因素，只要其在所附权利要求或者其等价物范围内，可进行不同的修改、组合、子组合以及变更。
【权利要求】
1.一种控制装置包括: 延迟单元，被配置为延迟母盘的曝光中使用的信号；以及 控制单元，被配置为调整所述信号的延迟量使得满足信息记录介质格式的曝光图案形成于通过恒定线性速度(CLV)方式旋转的母盘上。
2.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述信号是具有单频的摆动信号。
3.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述控制单元基于使用频率发生器(FG)信号确定的基准时间调整所述信号的延迟量。
4.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述控制单元调整所述信号的延迟量以满足所述母盘的每一周的摆动数目，所述摆动数目符合所述格式。
5.根据权利要求4所述的控制装置，其中，所述控制单元基于满足所述摆动数目的基准时间调整所述信号的延迟量。
6.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述格式包括区域恒定角速度(ZCAV)格式。
7.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述控制单元调整所述信号的延迟量以使得所述摆动数目在所述母盘的一周中的部分区域中增加。
8.根据权利要求7所述控制装置，其中，所述控制单元调整所述信号的延迟量以使得所述一周中的另一个区域中的摆动的相位与该另一个区域的一侧处的相邻摆动的相位相—致。
9.根据权利要求7所述的控制装置，其中，所述部分区域小于误差校正块。
10.根据权利要求7所述的控制装置，其中，当所述延迟单元的延迟量超过临界值时，所述控制单元调整所述信号的延迟量使得所述摆动数目在所述一周的部分区域中增加。
11.根据权利要求7所述的控制装置，其中， 所述部分区域是径向划分的区域中的一个，并且 所述控制单元顺序地增加所划分的区域中的所述摆动数目。
12.根据权利要求11所述的控制装置，其中，在增加所有所划分的区域中摆动数目之后，所述控制单元更新用作所述延迟量的参考的基准时间。
13.根据权利要求1所述的控制装置，其中，当所述延迟单元中的延迟量超过特定的量时，所述控制单元输出请求暂时停止输出所述信号的指令。
14.一种控制方法,包括: 调整母盘的曝光中使用的信号的延迟量以使得满足信息记录介质格式的曝光图案形成于通过恒定线性速度(CLV)方式旋转的所述母盘上。
15.一种母盘制作装置，包括: 信号发生装置，被配置为生成信号； 曝光装置，被配置为基于从所述信号发生装置提供的所述信号曝光母盘；以及 控制装置，被配置为调整从所述信号发生装置提供至所述曝光装置的所述信号的延迟量， 其中，所述控制装置包括: 延迟单元，被配置为延迟所述母盘的曝光中使用的信号，以及 控制单元，被配置为调整所述信号的延迟量使得满足信息记录介质格式的曝光图案形成于通过恒定线性速度(CLV)方式旋转的所述母盘上。
16.根据权利要求15所述的母盘制作装置，其中，所述信号发生装置使用固定时钟生成所述信号。
17.根据权利要求15所述的母盘制作装置，其中， 所述曝光装置包括被配置为旋转所述母盘的驱动单元，以及 所述控制装置通过使用根据由所述驱动单元执行的旋转生成的频率发生器(FG)信号来确定基准时间，并且基于所述基准时间调整所述信号的延迟量。
18.根据权利要求15所述的控制装置，其中，当所述延迟单元中的延迟量超过特定的量时，所述控制单元向所述 信号发生装置输出请求暂时停止输出摆动信号的指令。
【文档编号】G11B19/28GK103943121SQ201410018425
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年1月15日 优先权日:2013年1月22日
【发明者】铃木雄一 申请人:索尼公司