专利名称：一种磁力导片及其制造方法以及使用该磁力导片的光罩的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种磁力导片，尤其是涉及一种用于光罩中导引光罩移动的磁力导片。
光罩是半导体领域中为人熟知的元件。某些光罩在移动时须借助于磁力导片(guide magnet)。此导片是以瞬间粘剂粘接于光罩下方，其可受磁力的影响而带动光罩移动。磁力导片一般呈矩形扁平状，其材料可为能受磁吸引的不锈钢。习知技术中制造磁力导片的方法包括如下步骤ⅰ)冲压成型；ⅱ)镀铬；以及ⅲ)研磨。
上述步骤(ⅱ)是指将磁力导片的全体镀铬以增加导片的强度与平滑度，而步骤(ⅲ)是指以80号砂纸(举例而言)对磁力导片的两主要平面(其中一面欲粘接于光罩下方)予以研磨。研磨是在主要平面的长度方向上实施，以使该平面上出现细小的沟痕。这些沟痕有助于使粘剂加入到该平面上时，能够产生毛细管现象。虽然两面研磨的方式使得磁力导片的任一面均可以瞬间粘剂粘接至光罩下方，但其缺点是原本镀铬的两主面平面上的铬膜均被磨掉，使以镀铬方式增加强度的效果大打折扣。另外，该未与光罩粘着的一面(即如
图1B所示，磁力导片(20)在T区域之面)，因研磨而使其表面不平滑，很可能遭污物附着。这些肉眼看不到的极小污物会对使用光罩的生产线造成严重的影响，因为污物极可能掉落在严格要求清洁度的地方。
习知技术除了造成铬膜的浪费外，还具有使粘剂四溢而使磁力导片粘着于基台上的重大缺点。如图1A所示，当磁力导片20欲以瞬间粘剂30粘接于光罩10下方时，粘剂30的一部分因毛细管现象而循d4的方向流入标示为S的粘着区。但在粘剂30流入S区之时，其同时也可能向图1A箭头所指的d1,d2,d3方向流动。如图1B所示，向d1、d2方向流动的粘剂因重力作用流下，极可能流入标示为R与T的区域而使磁力导片20与基台40相粘着。基台40于磁力导片20与光罩10粘接时用以固定、支撑磁力导片20。在图1B中，磁力导片20与光罩10及基台40间的邻接区域，如S,R,T，是以较夸大的方式图示以方便了解。另外，由于磁力导片20未与光罩10粘接的一面，即与基台40相接触的一面，(T区域之面)，也经研磨而有了细小的沟痕，因此，自d1、d2流下的粘剂还可能因毛细作用而流向T区。由于粘剂会在极短时间内使磁力导片20与基台40在R及T面粘着，使磁力导片20极难取下。在许多情况下，甚至须将磁力导片20破坏方可，既费时、费力又浪费成本。尤有甚者，因怕滴入太多粘剂30而产生如上述粘附于基台40的缺点，故而滴入较少的粘剂30，然而如此又极易导致粘着力不够，反而使磁力导片20容易脱落。
本发明的目的在于提供一种磁力导片及其制造方法以及使用该磁力导片的光罩，不仅使磁力导片与光罩未粘接的一面能够保持平滑不会遭致污物附着，而且能够保证粘接面上的粘剂在过多时不会自粘接面流溢。
为实现上述目的，本发明的磁力导片，包含一粘接面及一与该粘接面呈相对的非粘接面，其特征在于经研磨的该粘接面上设有至少一凹槽，该粘接面以粘剂粘贴于该光罩的下方，该粘剂自该凹槽中注入并充满该凹槽且流入该粘接面与该光罩粘合。
所述的磁力导片，其特征在于超过所需求部分的粘剂存留于该凹槽内待干。
所述的磁力导片，其特征在于该磁力导片包含有两个凹槽，该两凹槽相隔一定距离以使该粘剂在该粘接面上流动。
所述的磁力导片，其特征在于该粘接面与非粘接面均镀有铬。
所述的磁力导片，其特征在于该磁力导片的凹槽为冲压成型的凹槽。
一种磁力导片的制造方法，其特征在于该磁力导片包含一粘接面及一非粘接面，该粘接面以粘剂粘接于该光罩下方，该磁力导片的制造方法包括如下步骤(a)于磁力导片与光罩相粘接的粘接面上设置至少一凹槽；(b)研磨该粘接面；以使粘剂自该凹槽注入充满该凹槽后，即流入该粘接面而不致溢流出该磁力导片外。
所述的磁力导片的制造方法，其特征在于超过所需求部分的粘剂存留于该凹槽内待干。
所述的磁力导片的制造方法，其特征在于该步骤(a)包含有下列步骤设置两凹槽于该磁力导片的粘接面，且该两凹槽相隔一定距离以使粘剂在该粘接面上流动。
所述的磁力导片的制造方法，其特征在于在该步骤(b)之前，还包括将该磁力导片镀铬的步骤。
所述的磁力导片的制造方法，其特征在于该凹槽以冲压而成型。
一种光罩，其特征在于该光罩下方粘接有磁力导片，该磁力导片包含一粘接面及一与该粘接面呈相对的非粘接面，经研磨的该粘接面上设有至少一凹槽，该粘接面以粘剂粘贴于该光罩的下方，该粘剂自该凹槽中注入并充满该凹槽且流入该粘接面与该光罩粘合。
所述的光罩，其特征在于超过所需求部分的粘剂存留于该凹槽内待干。
所述的光罩，其特征在于该磁力导片包含有两凹槽，该两凹槽相隔一定距离以使粘剂在该粘接面上流动。
所述的光罩，其特征在于该磁力导片镀有铬。
所述的光罩，其特征在于该磁力导片的凹槽为冲压成型的凹槽。
采用了上述技术方案后，本发明的磁力导片，其与光罩粘接的一面设有至少一凹槽，在制造时仅研磨该粘接面，使粘剂自凹槽注入后，即流入整个凹槽内，并立即经凹槽边流入粘接面而不致溢流出粘接面；且当粘剂过多时能够存留于凹槽内待干。因此，使滴液者可免去因滴下太多粘剂而自粘接面流溢的顾虑，而且既使滴入两倍于所需的粘剂也无溢出之虑，如此，既能提高生产质量，也能降低制造成本，避免资料浪费。
下面，结合附图和具体实施方式
对本发明做进一步详细的描述。
图1A为先前技术的磁力导片与光罩相粘接的上视图。
图1B为图1A的前视图，其中S、R、T区被放大。
图2A为本发明的磁力导片与光罩相粘着时的示意图。
图2B为图2A的前视图。
图3为本发明较佳实施例的磁力导片示意图。
图4为图3的磁力导片运用于光罩的示意图。
参阅图2A及2B，本发明的磁力导片20设有至少一凹槽21，在粘剂30注入凹槽21后，部分沿着箭头所示的D1,D2,D3及D4方向行进，部分则存留在凹槽21中待干。依据本发明，在D1方向的粘剂30仍流入凹槽21内，而在D4方向的粘剂30则立即越过槽边210进入粘接面。根据本发明，图2A中的磁力导片20仅在设有凹槽21的一面(即粘接面)予以研磨，另一面(即非粘接面)则不予研磨，因此另一面的铬膜仍存在。研磨后的表面形成细小沟痕50，其有助于粘剂30快速扩散于该粘接面上。图2B为图2A的前视图，其中凹槽21具有一圆弧截面，共深度约在0.3至0.5mm，宽度约2mm。凹槽21的容积允许注入的粘剂量30超过所需时，该等过多的粘剂30得以存留于凹槽21内待干。凹槽21也可采用其他形状的截面，只要确保粘剂30能顺利进入光罩10下方而且不溢流出该粘接面即可。另外，凹槽21须局部暴露于光罩10外，以利于粘剂30的注入。
如图3所示，为本发明的另一较佳实施例。磁力导片20包含两凹槽21、22，如图4所示，其设置两凹槽的好处在于，当磁力导片20左、右各粘接于光罩10下方时，则无须考虑凹槽的方向性。凹槽21及22最好相隔足够的距离以确保粘剂30能在该平面上充分流动。又，当粘剂30自图4右方的凹槽22注入时，粘剂30则立即越过图3的槽边220进入粘接面。
本发明也揭示了一种制造磁力导片的方法，其主要包括以下步骤(ⅰ)在磁力导片的一面上冲压至少一凹槽，该面即磁力导片欲粘着至光罩的一平面；以及(ⅱ)研磨该平面以形成细小沟痕，以助于粘剂的流动。
在本发明的另一较佳实施例中，则是在导片的粘接面上冲压两凹槽以使磁力导片20粘接于光罩10下方，而无须考虑凹槽的方向性。该两凹槽相隔足够的距离以使粘剂流在该平面上并可充分流动。
权利要求
1.一种磁力导片，包含一粘接面及一与该粘接面呈相对的非粘接面，其特征在于经研磨的该粘接面上设有至少一凹槽，该粘接面以粘剂粘贴于该光罩的下方，该粘剂自该凹槽中注入并充满该凹槽且流入该粘接面与该光罩粘合。
2.如权利要求1所述的磁力导片，其特征在于超过所需求部分的粘剂存留于该凹槽内待干。
3.如权利要求1所述的磁力导片，其特征在于该磁力导片包含有两个凹槽，该两凹槽相隔一定距离以使该粘剂在该粘接面上流动。
4.如权利要求1或2或3所述的磁力导片，其特征在于该粘接面与非粘接面均镀有铬。
5.如权利要求1或2或3所述的磁力导片，其特征在于该磁力导片的凹槽为冲压成型的凹槽。
6.一种磁力导片的制造方法，其特征在于该磁力导片包含一粘接面及一非粘接面，该粘接面以粘剂粘接于该光罩下方，该磁力导片的制造方法包括如下步骤(a)于磁力导片与光罩相粘接的粘接面上设置至少一凹槽；(b)研磨该粘接面；以使粘剂自该凹槽注入充满该凹槽后，即流入该粘接面而不致溢流出该磁力导片外。
7.如权利要求6所述的磁力导片的制造方法，其特征在于超过所需求部分的粘剂存留于该凹槽内待干。
8.如权利要求6所述的磁力导片的制造方法，其特征在于该步骤(a)包含有下列步骤设置两凹槽于该磁力导片的粘接面，且该两凹槽相隔一定距离以使粘剂在该粘接面上流动。
9.如权利要求6或7或8所述的磁力导片的制造方法，其特征在于在该步骤(b)之前，还包括将该磁力导片镀铬的步骤。
10.如权利要求6或7或8所述的磁力导片的制造方法，其特征在于该凹槽以冲压而成型。
11.一种光罩，其特征在于该光罩下方粘接有磁力导片，该磁力导片包含一粘接面及一与该粘接面呈相对的非粘接面，经研磨的该粘接面上设有至少一凹槽，该粘接面以粘剂粘贴于该光罩的下方，该粘剂自该凹槽中注入并充满该凹槽且流入该粘接面与该光罩粘合。
12.如权利要求11所述的光罩，其特征在于超过所需求部分的粘剂存留于该凹槽内待干。
13.如权利要求11所述的光罩，其特征在于该磁力导片包含有两凹槽，该两凹槽相隔一定距离以使粘剂在该粘接面上流动。
14.如权利要求11或12或13所述的光罩，其特征在于该磁力导片镀有铬。
15.如权利要求11或12或13所述的光罩，其特征在于该磁力导片的凹槽为冲压成型的凹槽。
全文摘要
一种磁力导片及其制造方法以及使用该磁力导片的光罩,该磁力导片包含一粘接面及一与该粘接面呈相对的非粘接面,经研磨的该粘接面上设有至少一凹槽,该磁力导片的粘接面以粘剂粘贴于该光罩的下方,该粘剂自该凹槽中注入并充满该凹槽且流入该粘接面与该光罩粘合,该粘剂虽流入粘接面但不致溢流出粘接面,并且当粘剂过多时能够存留于凹槽内待干。
文档编号H01L21/77GK1315744SQ0010601
公开日2001年10月3日 申请日期2000年3月29日 优先权日2000年3月29日
发明者潘焕章 申请人:新台科技股份有限公司