专利名称：半导体装置及其制造方法和安装方法
技术领域：
本发明涉及具有半导体元件和利用粘接材料粘接于该元件的电极形成面的背面的增强构件的半导体装置以及这种半导体装置的制造方法。
薄型化的半导体元件强度差，在进行处理时容易受到外力的破坏。因此以往使用薄型化的半导体元件的半导体装置通常采用以对半导体元件进行增强用的树脂层封装的结构。
在薄半导体元件表面形成树脂层的工序中，树脂层硬化收缩容易导致半导体元件弯曲和或产生裂纹等。半导体元件越薄，这一存在问题越是显著，对于100μm以下的极薄的半导体元件，甚至进行树脂封装也是困难的。
这种半导体装置的制造方法包含将形成多个半导体元件的半导体晶片的背面削薄的工序、通过树脂粘接材料在削薄工序之后的半导体晶片背面粘接增强构件的工序、以及将粘接了增强构件的半导体晶片及增强材料分割为半导体元件单元的工序。
这种半导体装置的另一制造方法包含沿着形成多个半导体元件的半导体晶片的电极形成面一侧到半导体元件的边界形成切割(dicing)槽的工序、在形成切割槽的半导体晶片的电极形成面上粘贴薄片的工序、将粘贴薄片的半导体晶片背面削薄，将半导体晶片削薄为背面达到切割槽的厚度，分割为半导体元件单元的工序、通过树脂粘接剂在半导体元件的背面粘接增强材料的工序、以及将薄片从所述电极形成面上除去之后，将增强材料分割为半导体元件单元的工序。
这种半导体装置的又一种制造方法包含将形成多个半导体元件的半导体晶片的背面削薄的工序、将半导体晶片分割为半导体元件单元的工序、以及通过树脂粘接剂在半导体元件的背面粘接增强材料的工序。
这种半导体装置的薄型半导体元件处理容易，安装后的可靠性高。
图2A～图2C是实施形态1的半导体装置的制造方法的工序说明图。
图3是实施形态1的半导体装置的立体图。
图4A～图4C是实施形态1的半导体装置的安装方法的说明图。
图5A～图5D是本发明实施形态2的半导体装置的制造方法的工序说明图。
图6A～图6D是实施形态2的半导体装置的制造方法的工序说明图。
图7A～图7C是本发明实施形态3的半导体装置的制造方法的工序说明图。
图8A～图8D是实施形态3的半导体装置的制造方法的工序说明图。
图9A～图9B是实施形态3的半导体装置的安装方法的说明图。
图10A～图10D是本发明实施形态4的半导体装置的制造方法的工序说明图。
图11A～图11C是实施形态4的半导体装置的制造方法的工序说明图。
图12是实施形态4的半导体装置的立体图。
图13A～图13C是实施形态4的半导体装置的安装方法的说明图。
图14A～图14D是本发明实施形态5的半导体装置的制造方法的工序说明图。
图15A～图15D是实施形态5的半导体装置的制造方法的工序说明图。
图16A～图16C是本发明实施形态6的半导体装置的制造方法的工序说明图。
图17A～图17D是实施形态6的半导体装置的制造方法的工序说明图。
图18A～图18B是实施形态6的半导体装置的安装方法的说明图。
在图1A中，形成多个半导体元件的半导体晶片1上表面形成作为外部连接电极的凸起2。如图1B所示，半导体晶片1的上表面的凸起形成面(电极形成面)上粘贴着薄片3，在利用薄片3增强的状态下对晶片1的电极形成面的背面进行削薄加工。借助于使用砂轮的研磨装置、使用干刻蚀装置的刻蚀、或利用药液的化学反应的刻蚀，对背面进行削薄加工，以此将半导体晶片1的厚度削薄到约50微米。
接着，在削薄了的半导体晶片1的背面粘贴缓冲板4。如图1C所示，在树脂、陶瓷或金属等材料形成板状的缓冲板4的上表面涂布粘接剂5。粘接剂5是低弹性系数的树脂粘接材料，使用在弹性材料等在粘接状态的弹性系数小，使用小外力就很好容易使其伸缩的材料。
接着在粘接剂5的涂布面上粘贴削薄的半导体晶片1。缓冲板4在各半导体元件被分割形成半导体装置的状态下作为半导体装置搬运(handling)用的保持部起作用，同时也作为在外力作用和冲击时保护半导体元件的增强构件起作用。为此缓冲板4具有显示出比半导体元件的弯曲刚性大的弯曲刚性的足够的厚度。然后，如图1D所示，在粘贴半导体晶片1之后的缓冲板4的下表面粘贴在切割(dicing)工序中起支持作用的薄片6，从电极形成面上剥离薄片3。
接着，由薄片6支持的缓冲板4及半导体晶片1被传送到切割工序。在该工序中，如图2A所示，对缓冲板4及半导体晶片1进行以不同的切割宽度分割的2级切割，即半导体晶片1以切割宽度b1分割后分割为单片半导体元件1’，缓冲板4以比b1小的切割宽度b2分割成为单片的缓冲(bumper)构件4’。然后，将用粘接剂5粘接在半导体元件1’上的缓冲构件4’从薄片6上剥离下来，以完成图2B所示的单片半导体装置7。半导体装置7具备形成作为外部连接电极用的凸起2的半导体元件1’、利用粘接剂5粘接于半导体元件1’的电极形成面的背面上的作为增强构件的缓冲构件4’。缓冲构件4’的尺寸B2比半导体元件1’的尺寸B1大，其外围端部比半导体元件1’的外围端部更向外侧突出。粘接剂5由于是低弹性系数的树脂粘接材料，所以在允许半导体元件1’变形的状态下将半导体元件1’粘接于缓冲构件4’。
如图3所示，和已有的树脂封装型电子零件一样，缓冲构件4’的上表面印着作为识别信息的零件代码8，在角落部形成有规定安装时的方向的极性符号9。亦即缓冲构件4’的与半导体元件1’的粘接面的背面为印刷识别信息的面。其后，将单片的半导体装置7上下翻转，以缓冲构件4’为上表面侧，进行将其收容于向自动安装机提供电子零件用的传送带的装带处理。这样就可以利用电子零件安装装置安装半导体装置7。
使用厚度为50微米的硅板代替半导体元件1’制作半导体装置的模型，进行从1米高度落下的试验。试验结果是，硅板上完全没有发生裂纹等损伤。以此可以确认，实施形态1的半导体装置即使是与通常的电子零件一样处理也完全没有问题。而且由于具有通过粘接剂5在半导体元件1’上安装缓冲构件4’的简单的结构，所以半导体装置7能够使用已有的树脂封装方法难于处理的极薄的半导体元件。
下面参照图4A～图4C对半导体装置7的安装进行说明。如图4A所示，半导体装置7利用安装头10吸附支持于缓冲构件4’的上表面，利用使安装头10移动的方法，处于基板11的上方。而在将半导体装置7的凸起2与基板11的电极12对好位置的状态下，使安装头10下降，使半导体元件1’的凸起2落在电极12上。
然后，对基板11进行加热，用钎焊方法将凸起2与电极12加以连接。如上所述，在将半导体装置7安装于基板11时的搬运中，安装头10支持作为支持部的缓冲构件4’。还有，凸起2与电极12也可以利用导电性树脂粘接剂连接。
半导体装置7安装于基板11上形成的安装组件中，利用将半导体装置7的凸起2连接于作为工件的基板11的电极12上的方法，将半导体装置7固定于基板11上。如图4C所示，安装之后在受到某种外力而发生挠曲变形的情况下，半导体元件1’薄，容易挠曲，而且粘接剂5使用的是低弹性系数的容易变形的材料，因此，对于基板11的挠曲变形，只有半导体元件1’和粘接剂5的粘接层跟着变形。
而且在实施形态1的半导体装置中，采用100微米以下的极薄的半导体元件，以此可以使由于半导体元件1’与基板11的热膨胀系数的差引起的，在凸起2发生的应力减小。已有的带有凸起的电子零件(半导体装置)中使用厚半导体元件，因此发生于凸起的应力过大，有可能发生断线。因此有必要在带有凸起的电子零件与基板之间采用未充满(underfill)的树脂等予以增强。在极薄的半导体元件1’的情况下，安装后没有实施充填未充满的树脂等增强处理，半导体装置与基板的连接部的应力就得到缓和。从而，这种半导体装置具有只是利用粘接剂5将半导体元件1’与缓冲构件4’加以连接的简单形态的封装结构，能够确保安装后的可靠性。
实施形态2图5A～图5D和图6A～图6D是实施形态2的半导体装置的制造方法的工序说明图。按照工序依序表示出制造方法。
在图5A中，在形成多个半导体元件的半导体晶片1的上表面形成外部连接用的凸起2。半导体晶片1的下表面粘贴着薄片6。如图5B所示，在以薄片6支持的状态下，对半导体晶片1进行切割(dicing)，在半导体元件1’的边界上形成切割槽1a。接着从晶片1上剥离薄片6，在各半导体元件1’的凸起形成面上粘贴减薄工序用的增强用薄片3。在利用薄片3增强的状态下，将半导体元件1’的凸起形成面的背面一起减薄。半导体元件1’减薄到约50微米厚，同时利用切割槽1a分离为一个个元件。
接着如图5D所示，半导体元件1’与缓冲板4一起粘贴。即在与实施形态1一样的缓冲板4的上表面涂布粘接剂5。粘接剂5的材料与实施形态1所示的材料相同。然后在涂布粘接剂5的面上粘贴减薄的半导体元件1’。接着如图6A所示，在粘贴半导体元件之后的缓冲板4的下表面上粘贴在切割(dicing)工序中起支持作用的薄片6，在薄片6支持的缓冲板4上进行切割。在这里，去除半导体元件1’的凸起形成面的薄片3之后，如图6B所示，缓冲板4被切割为宽度b2，比半导体元件1’的切割宽度b1还窄，得到单片的缓冲构件4’。然后从薄片6上一个个剥下利用粘接剂5与半导体元件1’粘接的缓冲构件4’，如图6C所示，得到与实施形态1相同的单片的半导体装置7。对半导体装置7与实施形态1一样实施装带处理。
实施形态3图7A～图7C和图8A～图8D是本发明实施形态3的半导体装置的制造方法的工序说明图。图9A和图9B是实施形态3的半导体装置的安装方法说明图。还有，图7A～图7C和图8A～图8D以工序为顺序表示半导体装置的制造方法。
在图7A中，在与实施形态1、2一样的半导体晶片1上表面形成外部连接用的凸起2。接着，如图7B所示，在半导体晶片1的上表面的电极形成面上粘贴薄片3，在以薄片3增强的状态下，对半导体晶片1的下表面进行减薄加工，将半导体晶片1减薄到约50微米厚。
然后在半导体晶片1的下表面粘贴切割工序中起支持作用的薄片6，去除在减薄时用于增强的薄片3。接着，将利用薄片6支持的半导体晶片1送到切割工序，在这里，如图7C所示加工出切割槽1a，将半导体晶片1分割为一个个半导体元件1’。然后，分割的各半导体元件1’从薄片6上剥离下来，如图8A所示，一片片取出。
接着，将半导体元件1’粘贴到缓冲盒14中。本发明实施形态3中使用的增强材料是如图8B所示具备设置于周围的突起14a和形成与半导体元件1’粘接的部分的凹部14b的缓冲盒14。凹部14b内，在与半导体元件1’对应的部分涂布与实施形态1相同材料的粘接剂5。然后如图8C所示，在凹部14b安置半导体元件1’，利用粘接剂5粘接在缓冲盒14中。以此完成半导体装置15的制作。在这里，在与半导体元件1’粘接的状态下，缓冲盒14的突起14a的端部不比半导体元件1’的凸起的前端高。
和实施形态1、2一样，缓冲盒14起着半导体装置15搬运时的支持部的作用，同时也有作为增强构件在外力作用和冲击的情况下保护半导体元件1’的作用。在本实施形态3，缓冲盒14还保护半导体元件1’的侧面，进一步提高半导体装置15的可靠性。然后，如图8D所示，将半导体装置15上下倒置，进行装带处理。这样就可以利用电子零件安装装置进行半导体装置15的安装。
下面参照图9A和图9B对半导体装置15的安装进行说明。如图9A所示，半导体装置15利用安装头10吸附缓冲盒14的上表面得到支持，利用安装头10的移动，处于基板11上方。在实施形态3，在基板11的上表面的电极12周围(与缓冲盒14的突起14a对应的位置)预先涂布粘接剂16。然后，在使半导体装置15的凸起2与基板11的电极12对准位置的状态下，使安装头10下降，使半导体元件1’的凸起2落在电极12上。以此使缓冲盒14的突起14a与基板11上表面的粘接剂16接触。然后将基板11加热，如图9B所示将凸起2钎焊连接于电极12上，同时利用粘接剂16将缓冲盒14固定在基板11上。如上所述，在实施形态3也是，在半导体装置15的搬运中作为支持部的缓冲盒14利用安装头10支持。
在将半导体装置15安装于基板11构成的安装组件中，利用将半导体装置15的凸起2连接于作为工件的基板11的电极12上的方法，将缓冲盒14的周围连接于基板11上，以此将半导体装置15固定于基板11上。在这一安装组件中，也允许半导体元件1’变形，能够得到与实施形态1、2所示的半导体元件相同的效果。
又如图9B所示，在实施形态3，安装后半导体装置15的半导体元件1’由于其上表面和周围完全密闭，可以防止水分或异物混入元件1’与电极12的连接部，提高了安装后的元件的可靠性。
实施形态4图10A～图10D和图11A～图11C是本发明实施形态4的半导体装置的制造方法的工序说明图。图12是该半导体装置的立体图。图13A～图13C是该半导体装置的安装方法说明图。还有，图10A～图10D和图11A～图11C以工序为顺序表示半导体装置的制造方法。
在图10A中，形成多个半导体元件的半导体晶片1上表面形成作为外部连接电极的凸部2。如图10B所示，半导体晶片1的上表面的凸部形成面(电极形成面)上粘贴着薄片3，在利用薄片3增强的状态下对电极形成面的背面进行削薄加工。也可以借助于使用砂轮的研磨装置、使用干刻蚀装置的刻蚀、或利用药液的化学反应的刻蚀对晶片1进行削薄加工。以此将半导体晶片1的厚度削薄到约50微米。
接着，在削薄了的半导体晶片1的背面粘贴缓冲板4。如图10C所示，在树脂、陶瓷或金属等材料形成板状的缓冲板4的上表面，涂布粘接剂50于与半导体晶片1的半导体元件的区域对应的位置。粘接剂50只涂布于与各半导体元件中央部对应的位置上，使用比缓冲板4的弹性系数小的树脂粘接材料。
缓冲板4在分割为各半导体元件形成半导体装置的状态下起半导体装置搬运用的支持部的作用，同时也有作为缓冲器在外力作用和冲击的情况下保护半导体元件的作用。因此要求缓冲板4具有比半导体元件大的挠曲刚性，所以缓冲板具有充分大的厚度。然后，如图10D所示，在粘贴着半导体晶片1的缓冲板4的下表面粘接切割工序中用于增强的薄片6，而将薄片3从电极形成面上剥离。
接着，将利用薄片6增强的缓冲板4及半导体晶片1送到切割工序。在这里，如图11A所示，以不同的宽度对缓冲板4及半导体晶片1进行2级切割。即对半导体晶片1以切割宽度b1分割形成单片的半导体元件1’，对缓冲板4以比b1狭窄的切割宽度b2分割形成单片的缓冲构件4’。
然后将利用粘接剂50与半导体元件1’粘接的缓冲构件4’从薄片6上剥离下来，如图11B所示，以此得到单片的半导体装置30。半导体装置30具有形成作为外部连接用电极的凸部2的半导体元件1’和利用粘接剂50粘接于半导体元件1’的电极形成面的背面上的、作为搬运用的支持部的缓冲构件4’。缓冲构件4’的尺寸B2比半导体元件1’的尺寸B1大，其外围端部比半导体元件1’的外围端部更向外侧突出。在缓冲构件4’，只有半导体元件1’的中央部由粘接剂50局部连接着。半导体元件1’的外端部相对于缓冲构件4’是自由的，即使因为热膨胀导致半导体元件1’和缓冲构件4’的尺寸发生变化，半导体装置30也不会有变化。
如图12所示，和已有的树脂封装型电子零件一样，缓冲构件4’的上表面印有作为识别信息的零件代码8，角上形成规定安装时的方向的极性记号9。亦即缓冲构件4’的与半导体元件1’的连接面的背面为识别信息的印刷面。其后，单片的半导体装置30上下倒置，以缓冲构件4’为上面，支持于提供电子零件的传送带上，这时对其进行装带处理。这样，半导体装置30就可以利用电子零件安装装置进行安装。
以使用厚度为50微米的硅片的半导体装置的模型代替半导体元件1’进行从1米高度落下的试验。其结果是，硅片上完全没有发生裂纹等损伤。以此可以确认，实施形态4的半导体装置即使是与通常的电子零件一样处理也完全没有问题。而且由于半导体装置30具有通过粘接剂50在半导体元件1’的中央部安装缓冲构件4’的简单的结构，所以能够使用已有的树脂封装方法难于处理的极薄的半导体元件。
下面参照图13A～图13对半导体装置30的安装进行说明。如图13A所示，半导体装置30利用安装头10吸附缓冲构件4’的上表面得到支持，利用安装头10的移动，处子基板11上方。然后，在使半导体装置30的凸起2与基板11的电极12对准位置的状态下，使安装头10下降，使半导体元件1’的凸起2落在电极12上。
然后将基板11加热，将凸起2钎焊连接于电极12上。如上所述，半导体装置30在装到基板11上的搬运中支持以安装头10为支持部的缓冲构件4’。还有，凸起2与电极12也可以利用导电性树脂粘接剂连接。
半导体装置30安装于基板11上形成的安装组件利用将半导体装置30的凸起2连接于作为工件的基板11的电极12上，以此将半导体装置30固定于基板11上。如图13C所示，安装之后基板11在受到某种外力而发生挠曲变形的情况下，半导体元件1’薄，容易挠曲，因此，对于基板11的挠曲变形，只有半导体元件1’跟着变形。这时由于半导体元件1’只有其中央部与缓冲构件4’局部连接，所以能够不受缓冲构件4’的阻碍而变形。
而且在实施形态4的半导体装置中，采用100微米以下的极薄的半导体元件，以此可以使由于半导体元件1’与基板11的热膨胀系数的差引起的，在凸起2发生的应力减小。已有的带有凸起的电子零件(半导体装置)中使用厚半导体元件，因此发生于凸起的应力过大，凸起与电极有可能断开。因此有必要在带有凸起的电子零件与基板之间采用未充满(underfill)的树脂等予以增强。在实施形态4中，半导体元件1’极薄，因此安装后没有充填未充满的树脂等予以增强，半导体装置与基板的连接部的应力缓和。而且，利用只是用粘接剂50将半导体元件1’与缓冲构件4’加以连接的简单形态的封装结构，能够确保安装后的可靠性。
实施形态5图14A～图14D和图15A～图15D是本发明实施形态5的半导体装置的制造方法的工序说明图，以工序为顺序表示制造方法。
实施形态5基本上与实施形态2相同，用粘接剂粘贴缓冲板4与半导体元件1’的工序不同。如图14D所示，半导体元件1’和缓冲板4一起粘贴。也就是说，在缓冲板4的上表面与半导体元件1’的区域对应的位置上涂布粘接剂50。在这里，粘接剂50只涂布于与半导体元件中央部对应的位置上。粘接剂50使用的弹性系数比缓冲板4小的材料。然后在涂布粘接剂50的面上粘贴削薄了的半导体元件1’。
以后经过与实施形态2相同的工序，得到半导体装置30。
实施形态6图16A～图16C和图17A～图17D是本发明实施形态6的半导体装置的制造方法的工序说明图，以工序为顺序表示制造方法。图18A和图18B是半导体装置的安装方法说明图。
实施形态6基本上与实施形态3相同，用粘接剂粘贴半导体元件1’和缓冲盒14的工序不同。凹部14b中粘接剂50只涂布于与半导体元件1’中央部对应的部分。然后，如图17C所示，在凹部14b安置半导体元件1’，利用粘接剂50粘接在缓冲盒14和半导体元件1’。得到半导体装置35。在这里，在与半导体元件1’粘接的状态下，缓冲盒14的突起14a的端部不比半导体元件1’的凸起的前端高。
和实施形态4一样，缓冲盒14起着半导体装置35搬运时的支持部的作用，同时也有作为凸起在外力作用和冲击的情况下保护半导体元件1’的作用。在本实施形态6，缓冲盒14还保护半导体元件1’的侧面，因此进一步提高半导体装置35的可靠性。然后，如图17D所示，将半导体装置35上下倒置，进行装带处理。这样就可以利用电子零件安装装置进行半导体装置35的安装。
下面参照图18A和图18B对半导体装置35的安装进行说明。如图18A所示，半导体装置35利用安装头10吸附缓冲盒14的上表面得到支持，利用安装头10的移动，处于基板11上方。在实施形态6，在基板11的上表面的电极12周围(与缓冲盒14的突起14a对应的位置)预先涂布粘接剂16。然后，在使半导体装置35的凸起2与基板11的电极12对准位置的状态下，使安装头10下降，使半导体元件1’的凸起2落在电极12上。
以此使缓冲盒14的突起14a与基板11上表面的粘接剂16接触。然后将基板11加热，如图18B所示将凸起2钎焊连接于电极12上，同时利用粘接剂16将缓冲盒14固定在基板11上。亦即在实施形态6也是在半导体装置35的搬运中作为支持部的缓冲盒14利用安装头10支持。
在将半导体装置35安装于基板11构成的安装组件中，作为半导体装置35的电极的凸起2连接于作为工件的基板11的电极12上，将缓冲盒14的周围连接于基板11上。以此将半导体装置35固定于基板11上。在这一安装组件中，也允许半导体元件1’挠曲变形，能够得到与实施形态4所示的半导体元件相同的效果。
又如图18B所示，在实施形态6，安装后半导体装置35的半导体元件1’由于其上表面和周围完全密闭，可以防止水分或异物混入半导体元件1’和电极12的连接部，提高了安装后的可靠性。
权利要求
1.一种半导体装置，其特征在于，具备具有形成电极的电极形成面的半导体元件、粘接于所述半导体元件的所述电极形成面的背面的增强构件、以及将所述半导体元件在允许其变形的状态下粘接于所述增强材料上的粘接剂。
2.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述粘接剂是低弹性系数的树脂粘接材料，所述半导体元件将整个所述背面粘接于所述增强材料上。
3.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述粘接剂只将所述半导体元件的所述背面的中央部分粘接于所述增强部件上。
4.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述增强构件的弯折刚性比所述半导体元件的弯折刚性大。
5.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述增强构件的外形比所述半导体元件的外形大。
6.根据权利要求5所述的半导体装置，其特征在于，所述增强构件包含连接半导体元件的凹部、以及形成于所述凹部的周围的凸部。
7.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述增强构件作为搬运时的支持部起作用。
8.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，在所述增强材料的与所述半导体元件粘接的面的背面上添加识别信息。
9.一种半导体装置的制造方法，是制造包含具有电极形成面的半导体元件以及增强构件的半导体装置的方法，其特征在于，包含将形成多个半导体元件的半导体晶片的电极形成面的背面削薄的工序、通过粘接材料在所述半导体晶片的削薄了的背面粘贴增强构件的工序、以及将粘接所述增强构件的半导体晶片与增强构件分割为一个个所述半导体元件的工序。
10.根据权利要求9所述的半导体装置的制造方法，其特征在于，分割所述半导体晶片与增强构件的工序包含以比所述半导体晶片的切割宽度小的切割宽度分割所述增强板的工序。
11.根据权利要求9所述的半导体装置的制造方法，其特征在于，还包含在所述半导体晶片的所述电极形成面上粘贴薄片的工序，对所述半导体晶片的所述背面进行削薄的所述工序包含在所述半导体晶片的所述电极形成面上粘贴所述薄片的状态下对所述半导体晶片的所述背面进行削薄的工序。
12.根据权利要求9所述的半导体装置的制造方法，其特征在于，还包含在所述半导体晶片的电极形成面上形成凸起的工序。
13.一种半导体装置的制造方法，是制造包含具有电极形成面的半导体元件以及增强构件的半导体装置的方法，其特征在于，包含沿着形成多个半导体元件的半导体晶片的电极形成面一侧到所述半导体元件的边界形成切割(dicing)槽的工序、在形成所述切割槽的半导体晶片的电极形成面上粘贴薄片的工序、利用将所述半导体晶片的所述电极形成面的背面削薄的方法，将所述半导体晶片削薄为所述背面达到所述切割槽的厚度，分割为所述半导体元件单元的工序、通过粘接材料在所述半导体元件的所述电极形成面的背面粘接增强材料的工序、以及将所述薄片从所述电极形成面上除去之后，将所述增强构件分割为所述半导体元件单元的工序。
14.根据权利要求13所述的半导体装置的制造方法，其特征在于，分割所述增强构件的所述工序包含以比所述半导体晶片的所述切割槽窄的切割宽度分割所述增强构件的工序。
15.一种半导体装置的制造方法，是制造包含具有电极形成面的半导体元件以及增强构件的半导体装置的方法，其特征在于，将形成多个半导体元件的半导体晶片的电极形成面的背面削薄的工序、将所述半导体晶片分割为所述半导体元件的工序、以及通过粘接剂在所述半导体元件的背面粘接增强构件的工序。
16.根据权利要求15所述的半导体装置的制造方法，其特征在于，还包含在所述半导体晶片的所述电极形成面上粘贴薄片的工序，对所述半导体晶片的所述背面进行削薄的所述工序包含对粘贴所述薄片的所述半导体晶片的所述背面进行削薄的工序。
17.根据权利要求15所述的半导体装置的制造方法，其特征在于，还包含在所述半导体晶片的所述电极形成面上形成凸起的工序。
18.一种在工件上安装半导体装置的安装方法，所述半导体装置具备具有电极形成面的半导体元件、以允许所述半导体元件变形的状态粘接于所述半导体元件的所述电极形成面的背面的增强构件、以及将所述半导体元件与所述增强构件粘接的粘接剂，其特征在于，所述方法包含支持所述增强构件的工序、以及将支持所述增强构件的所述半导体装置安装在所述工件上的工序。
19.根据权利要求18所述的半导体装置的安装方法，其特征在于，所述增强构件具有连接所述半导体元件的凹部和形成于所述凹部周围的凸部，安装所述半导体元件的所述工序包含将所述凸部连接于所述工件上的工序。
全文摘要
本发明提供薄型化的半导体元件的处理简单的半导体装置以及半导体装置的制造方法。半导体装置具有半导体元件以及利用粘接剂,作为增强材料粘贴于其电极形成面的背面的缓冲构件。半导体元件利用在粘接之后的状态下容易伸缩的低弹性系数的粘接剂与缓冲构件在允许变形的状态下粘接。借助于此,使半导体装置容易搬运(handling),半导体元件能够随着安装之后的基板的变形而变形。能够有效地缓和循环加热时的热应力影响。
文档编号H01L21/00GK1350329SQ01135819
公开日2002年5月22日 申请日期2001年10月19日 优先权日2000年10月20日
发明者境忠彦, 大園满, 前田憲 申请人:松下电器产业株式会社