专利名称：传送缺陷来源识别器中图像,数据,或其它信息的方法和装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及分析晶片缺陷的系统。更具体地，本发明涉及传送缺陷来源识别器中晶片缺陷图像或其它信息的方法和装置。
背景技术：
有许多技术，例如光学系统，电子显微镜，空间特征分析和能量耗散X射线微量分析被用来识别半导体晶片上地缺陷。为了使用这些缺陷分析技术识别缺陷，从一组经过加工的晶片中时常选择出晶片，即每N个晶片中选择出一个。使用通常被称作计量工具的工具和一个或多个上述分析技术分析选出的晶片。计量工具产生涉及选定晶片的图像，数据，和其它信息。技术人员检查计量工具记录的图像和数据以识别选定晶片上的缺陷。
通常通过反复试验识别缺陷来源，即改变工艺参数以求消除从后一组经过加工的晶片中选定的一个晶片中的缺陷。某些类型的缺陷的产生原因是众所周知的。这些缺陷被编目到一个可查找缺陷数据和图像数据库中。操作员可以将测试结果与缺陷数据库相比较以求测试结果与缺陷数据库中含有的缺陷相匹配。在找到匹配时数据库提供一个针对晶片缺陷来源的解决方案。用户或计算机则能够采取解决方案提供的纠正措施以限制缺陷的进一步出现。
缺陷数据和缺陷解决方案通常被存储在一个与计量工具连接的计算机中。同样地，在具有许多套计量工具的集成电路工厂中，缺陷数据分散在工具及其计算机系统中间。
因此需要一个在工厂内部的工具中间或使用公共通信协议的工厂之间传送缺陷、缺陷来源和缺陷解决方案信息的方法和装置。
发明内容
本发明提供了一个在工厂之间向集成电路工厂内不同位置或向一个集中式缺陷知识库来回传送缺陷、缺陷来源和缺陷解决方案信息的方法和装置。该方法包括在一个缺陷来源识别器客户端内部产生缺陷检查信息，其中缺陷检查信息含有涉及在半导体晶片上识别的缺陷的信息。在一个方面，可扩展标记语言(XML)转换器将缺陷检查信息转换成具有用户定义的标签所定义的形式的缺陷检查信息。通过网络向缺陷来源识别器服务器发送转换后的缺陷检查信息。在缺陷来源识别器服务器上根据转换的缺陷检查信息导出缺陷来源信息。任何客户端均可以通过网络和服务器访问信息。
参照下列结合附图的详细描述可以容易地理解本发明，其中
图1描述了一个缺陷来源识别器；
图2是关于图1中示出的缺陷来源识别器的模块图3A和3B共同描述了一个请求事务处理方法的流程图4是图3A和3B的请求事务处理方法的信号序列图5A和5B共同描述了一个数据通知事务处理方法的流程图；而
图6描述了图5A和5B的数据通知事务处理方法的信号图。
具体实施例方式
为利于理解，尽可能使用相同的索引号表示图中公共的相同单元。
零件描述
A.缺陷来源识别器结构
图1中示出了在经过晶片加工系统102加工的晶片中识别缺陷来源的缺陷来源识别器100的一个实施例。在2001年7月13日提交的美国专利申请09/905,607号中提出了一个公开了缺陷来源识别器100的一个实施例的共同待决专利申请，这里参考引用了这个专利申请。缺陷来源识别器100包括一个缺陷来源识别器服务器106，一个网络110，和多个缺陷来源识别器客户端104。各个缺陷来源识别器客户端104被连接到一个晶片加工系统102。本发明的公开内容描述了一个在不同网络部分之间传送缺陷来源识别器100内部的图像，数据，和/或其它信息的方法和装置。晶片加工系统102包含一或多个加工单元103。各个加工单元被用来对晶片完成诸如化学汽相沉积(CVD)，物理汽相沉积(PVD)，电化学电镀(ECP)，化学沉积，其它已知沉积加工，或其它已知蚀刻加工的加工。
缺陷来源识别器100分析缺陷以识别在晶片加工系统102内部的加工期间在晶片中出现的缺陷的来源。缺陷来源识别器100向一个远程位置传送晶片数据，图像，和/或涉及晶片缺陷的信息以便进行分析，比较晶片图像和晶片缺陷的案例历史记录，对晶片进行光谱分析，并且/或者向晶片加工系统(或位于晶片加工系统那里的操作员)传送缺陷来源和缺陷的操作解决方案。缺陷来源识别器100在加工单元内部已经加工的晶片中的缺陷以及加工单元的操作状态所证实的一个或多个加工单元的操作和/或状态中分析缺陷来源。可能经过加工单元加工的晶片包含半导体晶片或某些其它形式的在其上完成连续加工步骤的基底。
更具体地说，图1中示出的缺陷来源识别器100的实施例包括一或多个缺陷来源识别器客户端104，一或多个缺陷来源识别器服务器106，和一个网络110。各个客户端104被连接到一个晶片加工系统102。晶片加工系统102包括一个传送单元120，多个加工单元103，一个晶片传送系统121(也被称作机器人)，和一个工厂接口122。工厂接口122包含一个盒式装载锁123，一个计量单元124，和计量工具180。盒式装载锁123存储一或多个晶片盒。为了检测晶片缺陷来源，计量工具180与计量单元124相连并且与之共同测量和测试晶片特征与晶片缺陷。计量工具180可以包含一个扫描电子显微镜装置，一个光学晶片缺陷检查系统装置，一个空间特征分析设备，晶片缺陷分析器，发送电子显微镜，离子束分析器，和/或任何被用来分析晶片缺陷的计量工具。
多个缺陷来源识别器客户端104在图1的实施例中被图示成缺陷来源识别器客户端A，B，和C。下列描述涉及缺陷来源识别器客户端A的细节，但是也代表所有的缺陷来源识别器客户端。各个缺陷来源识别器客户端104包含一个控制晶片加工系统102以及单个加工单元103的操作的客户端计算机105。缺陷来源识别器服务器106包含服务器计算机107。
客户端计算机105通过网络110与服务器计算机107交互以便接收服务器计算机107中存储的涉及晶片加工系统102加工的晶片上的当前和历史(即研究案例)缺陷的数据。同样地，客户端计算机105和服务器计算机107与一个或多个计量工具180(和各种存储晶片缺陷案例历史记录的数据库)交互以便分析晶片加工系统102中产生的缺陷。网络110在客户端计算机105和服务器计算机107之间提供数据通信。网络110可以使用因特网，内部网，广域网(WAN)，或任何其他形式的网络。网络110可以使用被网络110使用的计算机语言，比如超文本标记语言(HTML)或可扩展标记语言(XML)。HTML目前是因特网使用的主流标记语言。XML是因特网中接受程度越来越高的标记语言。使用HTML和/或XML需要在各个客户端计算机105上安装相应的HTML和/或XML浏览器。
HTML和XML均使用标签定义发送数据的类型和内容。例如，在HTML和XML中图像的标记与文本的标记是不同的。HTML提供接近100个由语言定义的标签。XML允许用户或系统操作员根据需要定义任意数量的唯一标签。由于在晶片加工系统102，缺陷来源识别器客户端104，网络110，和缺陷来源识别器服务器106之间可以发送不同用户的许多不同数据类型的数据，XML数量无限的用户定义标签适用于缺陷来源识别器100和缺陷知识库数据库系统。
缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106与晶片加工系统102交互以便识别经过加工的半导体晶片的缺陷。缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106提供晶片缺陷解决方案。由一个具体的缺陷来源识别器客户端104控制晶片加工系统102的操作。在缺陷来源识别器100的某些实施例中，缺陷来源识别器客户端104从缺陷来源识别器服务器107接收导出的解决方案。解决方案被提供给晶片加工系统102(自动提供或由一个操作员输入)，，而解决方案被用来控制晶片加工系统的操作。
由于客户端计算机105和服务器计算机107的操作和功能被如此紧密地集成在一起，客户端计算机105或服务器计算机107可以完成类似的客户/服务器操作。在本发明中客户端计算机105中单元的索引编号被附加一个额外的索引字符＂a＂。类似地，服务器计算机107的索引字符被附加上一个额外的索引字符＂b＂。在必须区别客户端计算机105的单元和服务器计算机107的单元的公开内容中，提供适当的对应索引字符＂a＂或＂b＂。在客户端计算机105或服务器计算机107的单元单独或全部可以执行规定任务的公开内容中，可以省略索引字符之后附加的字母。
客户端计算机105和服务器计算机107包括一个相应的中央处理单元(CPU)160a，160b；一个存储器162a，162b；支持电路165a，165b；一个输入/输出接口(I/O)164a，164b；和一个总线。客户端计算机105和服务器计算机107可以均被实现成一个通用计算机，一个微处理器，一个工作站，微控制器，一个个人计算机(PC)，一个模拟计算机，一个数字计算机，一个微芯片，一个微型计算机，或任何其他已知类型的适当计算设备或系统。CPU160a，160b为对于相应客户计算机105和服务器计算机107执行处理和算术运算。
存储器162a，162b包含单独或组合存储计算机程序，例如DSI软件182或184，操作数，操作员，尺寸数值，晶片加工方法和配置，和其它控制缺陷来源识别处理和晶片加工系统操作的参数的随机访问存储器(RAM)，只读存储器(ROM)，可移动存储器，和磁盘存储器。未示出的客户端计算机105或服务器计算机107中的各个总线在CPU160a，160b之间；支持电路165a，165b之间；存储器162a，162b之间；和I/O接口164a，164b之间提供数字信息发送。客户端计算机105或服务器计算机107中的总线还分别将I/O接口164a，164b连接到晶片加工系统102中的其它部分。
I/O接口164a，164b提供一个控制客户端计算机105和/或服务器计算机107中各个单元之间的数字信息发送的接口。I/O接口164a，164b还在客户端计算机105和/或服务器计算机107中的各个单元与晶片加工系统102的不同部分之间提供一个接口。支持电路165a，165b包括计算机中使用的公知电路，例如时钟，高速缓存，电源，诸如显示器和键盘的用户接口电路，系统设备和其它与客户端计算机105和/或服务器计算机107相关的附件。
缺陷来源识别器100使用一个自动缺陷来源识别软件程序，程序的部分182和184被存储在存储器162a或162b中以便分别在客户端计算机105和服务器计算机107上执行。缺陷来源识别器100自动导出缺陷来源，在只需要最小的用户干预的情况下显示可能原因并且/或者自动补救晶片加工系统102中导致缺陷的加工状况。由于缺陷来源识别器100某些实施例的自动操作(和参考历史缺陷案例信息产生某些缺陷的可能解决方案)。缺陷来源识别器100减少了解决问题的时间周期，简化了缺陷来源识别过程，并且改进了缺陷识别的准确性。
缺陷来源识别软件程序可以被组织成一个产生执行摘要屏幕的基于网络的应用程序，其中执行摘要屏幕在功能上被细分成多个图形用户接口屏幕。图形用户接口屏幕在缺陷来源识别器客户端104上显示其接口和缺陷来源。缺陷来源识别器客户端104的用户因而可以和缺陷源识别器客户端上的缺陷索引系统交互以便增加执行摘要屏幕。在另一个实施例中，缺陷索引系统100可以被配置成被包含在缺陷来源识别器客户端105中的独立系统。选择缺陷来源识别器的配置主要取决于期望得到的操作和性能特性。
可扩展标记语言(XML)是被用于提供基于因特网和其它网络的通信的标准化标记语言。在缺陷来源识别器100的一个实施例中，选择XML作为在缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间进行数据传送的协议。XML使用用户定义的标签支持从一个网络结点到另一个网络位置结点传送各种数据类型的数据。XML支持使用大量的预定标签和非预定标签。使用大量标签允许更清晰地定义XML数据结构的各个部分的指定内容。XML可以根据标签定义的数据内容分隔和组织所传送的数据。例如，可以通过一个单独的XML文件传送多个图像和描述各个图像的位置的定位数据。因而使用数据处理技术并且根据定位数据可以清除图像。XML充当允许不同操作系统的用户使用缺陷来源识别器100的独立平台。
另外，XML提供了根据一个单独链接选择多个目标站点的扩展链接和高级寻址。这种扩展链接功能可以简化根据用户输入，技能或选定输出访问多个和变化的链接站点的方式，使得能够同时从多个地理分散的位置访问数据。同样地，不同服务器106和客户端104构成一个大型分布式缺陷，缺陷来源和缺陷解决方案库。
缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间的通信的一个实施例使用基于TCP套接字的通信。在TCP协议中，源结点或目标结点的完整地址被称作套接字。按照包含网络ID，主机ID和用户或进程ID的层次结构组织各个结点的套接字。如图2所示可以实现缺陷来源识别器100内部的数据传送的一个实施例。可选地，硬件单元可被用于缺陷来源识别器100的各个部分以利于服务器106和客户端104之间的通信。应当从图1的角度理解图2的下列描述。
图2示出了缺陷来源识别器100的软件体系结构200。缺陷来源识别器服务器106可以被分成4个层次，其中包含一个通信层202，一个通知队列层204，一个通知处理程序层206，和一个数据库层208。缺陷来源识别器服务器106也可以被细分成三个进程，其中包含一个通信进程210，一个接收队列进程212，和一个发送队列进程214。通信进程210包含管理套接字通信并且向适当消息队列发送通知的Windows NT服务应用程序。接收队列进程212和发送队列进程214可以均包含微软公司的事务处理服务器或Windows NT服务应用程序。接收队列进程212和发送队列进程214均被用来执行通知侦听程序和处理程序动作。接收队列进程212用于数据请求而发送队列进程214用于数据通知。将两种消息进程分成不同的队列进程212和214增强了数据存储和传送性能。数据通知通常更加频繁地发生并且涉及的数据传送的规模要大于数据请求。因此，主要涉及数据请求的队列进程214所具有的数据传送量低于主要涉及数据通知的发送队列进程212。
缺陷来源识别器客户端104的软件体系结构取决于缺陷来源识别器100的应用。缺陷来源识别器客户端104通常包含多个缺陷来源识别器客户端104。各个缺陷来源识别器客户端104包含一个客户端数据库232，一个客户端应用程序230，一个通信适配器234，和一个XML解码器232。
缺陷来源识别器客户端104的体系结构通常包含一个应用程序和数据库层261和通信层262。应用程序和数据库层261包括客户端应用程序230和一个客户端数据库232。客户端应用程序230与客户端数据库232进行交互以便通过可控方式访问客户端数据库232的数据或向客户端数据库232存储数据。通信适配器234充当一个在客户端应用程序230，XML解码器236和缺陷来源识别器服务器106的通信层202之间发送数据的I/O部分。
通信层262包括通信适配器类234和XML解码器类236。通信适配器类234处理与缺陷来源识别器客户端106之间的套接字通信。
XML解码器类236在XML(即用于缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间发送的数据的协议)和客户端应用程序230使用的语言之间的进行转换。通过使用XML C++分析器和SAX模型(Ottowa，Ontario加拿大的Meggison技术有限公司的商标)对应用程序分组进行XML分析，XML解码器类236通过封装和拆装非XML数据分组对不遵循XML格式的数据分组进行数据转换。SAX是完成基于事件的XML分析的标准商用接口并且充当XML的简单应用编程接口。XML解码器类236将通常存储在客户端数据库232内或具有诸如Windows格式的数据和其它信息转换成XML格式。通过因特网或其它网络可以有效和可靠地传送以XML格式存储的数据。
缺陷来源识别器客户端104的通信适配器234通常包含一个允许缺陷来源识别器客户端104与网络110接口的浏览器，例如NETSCAPENAVIGATOR或微软公司的INTERNET EXPLORER。
进程210包含通信服务器240，一个通知设备242，和一个通信管理器244。发送队列进程214包含一个通知队列250，一个通知侦听程序252，多个处理程序254，其中处理程序包含一个XMLActiveX数据对象(ADO)254。XML ADO254充当缺陷来源识别器数据库272和通知队列250之间的高级接口。XML ADO254被用来从缺陷来源识别器数据库408检索数据。发送队列进程214简要存储从进程210发送的、诸如分组或其它数据的信息以便将其存储在缺陷来源识别器数据库272中。
请求队列进程212包含一个请求队列单元260，一个通知侦听程序262，和至少一个XML ADO264。请求队列进程212临时存储诸如分组和其它数据、被存储在缺陷来源识别器数据库272中的信息以便将其传递到进程210。这种信息通常被传递到进程210以便进一步发送到一个缺陷来源识别器客户端104。
虽然这里通过请求队列进程212和通知队列进程214示出了两个不同的进程，但也可以在物理上将进程212和发送队列进程214合并到一个单独的队列进程中。这种合并的队列进程合并队列进程212和214的队列活动以便在缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间的两个相对方向上临时存储和发送诸如分组或其它数据的信息。
现在详细描述缺陷来源识别器服务器106中包含的四个层次202，204，206，和208。通信层202管理缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间的低层网络通信并且在其间提供一个接口。通信层202的一个实施例实现了一个Windows NT服务通信服务器240以便管理缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间的基于TCP的套接字通信。通信层202包含一个在缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间提供基于套接字的通信接口的通信管理器244。通信管理器244允许一个缺陷来源识别器服务器106应用程序使用为这个连接打开的套接字向缺陷来源识别器客户端104回送应答。
通信管理器244的通信接口的一个实施例包含一个套接字服务器245。套接字服务器245通过多线程模式允许并行完成多个任务。每当套接字服务器245从缺陷来源识别器客户端104接收一个针对缺陷来源识别器服务器106的新连接请求时，通信管理器244中包含的一个套接字服务器245会创建一个新线程。套接字服务器还产生一个处理线程内部通信的新套接字对象。当缺陷来源识别器客户端104终止连接时，通信管理器244中的套接字服务器关闭套接字以终止线程。通信层202的缺陷来源识别器通知类242创建缺陷来源识别器通知接口的实例，该实例执行向适当消息队列发送通知的任务。
通知队列层204包含一个或多个队列进程212和214。队列进程212和214分别包含相应的队列250或260，队列250或260含有不同缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间发送的通知消息。各个队列250或260与一个相应的通知侦听程序接口252或262相关。每当一个新消息被加到队列250或260中的一个上面时，调用相应通知侦听程序接口2522或262的Arrived()方法。调用队列250或260导致从相应队列250，260派发一个消息。在Arrived()方法内，为处理通知可以创建不同通知侦听程序接口252或262的实例。
可以在任意时刻启动或终止各个队列进程212或214。可以在运行时刻指定借以明确通知侦听程序252或262侦听的各个队列250或260的队列名称。这个运行时刻操作提供了针对不同用例(晶片缺陷检查装置204，制造执行数据库装置210等等)使用相同接口的灵活性。通知队列层204完成缺陷来源识别器服务器106的通知侦听和通知处理任务。通知处理任务包括针对缺陷来源识别器数据库加入/检索记录以及向诸如计量工具180的远程工具请求数据。
在队列进程212和214的一个实施例中，根据通知标记解码出connectionlD类，并且根据通知体解码出请求数据。通过调用XMLADO接口250或264的缺陷来源识别器request()方法从通知标记解码出connectionlD。通过传入请求数据(XML格式)从通知体解码出请求数据并且得到应答数据(XML格式)。通信管理器244使用相同套接字并且通过相同的connectionlD调用SendStringToConnection()方法向缺陷来源识别器客户端发送应答。
可以通过单线程阻塞模式或多线程非阻塞模式实现通知处理程序层206。如果通过多线程非阻塞模式实现通知处理程序层206，则会产生一个新消息以便创建一个处理通知消息的新线程。这种对新线程的使用方法提高了通知侦听程序252或262的效率。同步从不同缺陷来源识别器客户端104检索/加入/删除的数据的传送以限制数据干扰。单线程阻塞模式具有消除这种数据干扰以便完全保证包含不同缺陷来源识别器客户端的各个事务处理的线程的安全性的优点。
缺陷来源识别器数据库层208包含缺陷来源识别器数据库408。使用典型的数据库，例如使用SQL可以实现缺陷来源识别器数据库层208。
计量工具在缺陷来源识别器和晶片缺陷检查装置之间实现的接口基于套接字双向通信协议。晶片缺陷检查进程和缺陷来源识别器通过一个规定的套接字传送数据。缺陷来源识别器客户端104初始化通信。缺陷来源识别器客户端104打开一个套接字并且使用套接字向缺陷来源识别器服务器106发送数据。缺陷来源识别器服务器106运行多个并行进程，例如Windows NT进程提供的进程，其中包含侦听套接字，执行ADO等等。
在缺陷来源识别器100中使用XML作为数据格式协议允许使用数据处理技术将数据内容分隔成不同的类型(例如图像，数据，或其它信息类型)。另外，XML是平台独立的。同样地，使用不同操作系统的缺陷来源识别器客户端可以完全通过网络110与单独的检测来源识别器服务器106交互。缺陷来源识别器100可以实现一个处理公共任务的通用接口，并且各个不同用户可以在不改变通用公共任务框架的情况下根据期望的请求/应答参数加入不同的用户定义数据解码器能力。
现在描述各种公共成员函数实施例。这些公共成员函数涉及图4示出的缺陷来源识别器请求事务处理400的实施例，和/或图6示出的缺陷来源识别器通知事务处理600的实施例。计量工具180的晶片缺陷检查进程定义了两个在缺陷来源识别器启动与缺陷来源识别器服务器106之间的数据请求事务处理时可以被主要应用程序使用的类，即DSIConnector类和XMLDataDecoder类。
DSIConnector类是一个在缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间建立套接字通信的独立类的一个实施例。为DSIConnector类提供了下列公共成员函数。
DSIonnector类中的DSIConnector函数是在创建IDSIConnector对象时向缺陷来源识别器客户端104传递缺陷来源识别器服务器106的端口号和地址的DsiConnector构造函数。地址可以具有名称或IP地址的形式。
DSIConnector类的init函数初始化DSIConnector对象。init函数创建套接字ID并且初始化套接字地址数据结构。可以通过阻塞或非阻塞模式创建套接字。应当在创建DSIConnector对象之后调用init函数。init函数指出是否存在差错。
DSIConnector类的连接函数在缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间建立连接。连接函数偿试在规定时间内连接到缺陷来源识别器服务器106。这个函数指示是否存在差错或是否函数超时。
DSIConnector类的sendRequest函数从缺陷来源识别器客户端向缺陷来源识别器服务器发送一个请求。sendRequest函数还创建头记录。这个函数还指示是否不能在规定时间内发送请求字符串或是否存在差错。
DSIConnector类的getReplyHeader函数从缺陷来源识别器服务器106得到应答头。
消息头规定消息体的长度。应当在调用getReplyBody函数之前调用getReplyHeader函数以便用户可以分配足够的存储器存储应答。getReplyHeader函数指示是否不能在规定时间内接收头记录或是否产生差错。
IDSIConnector类的getReplyBody函数从缺陷来源识别器服务器106得到应答消息体。getReplyBody函数的应答缓冲区应当足够(调用getReplyHeader()函数以确定应答体长度)保存来自缺陷来源识别器服务器106的应答。getReplyBody函数指示是否在规定时间内不能接收＂完成＂应答或是否存在差错。
DSIConnector类的disconnect函数断开与缺陷来源识别器服务器106的套接字通信。disconnect函数会关闭套接字连接，并且在不再需要与服务器进行通信时被调用。
XMLDataDecoder类是图2示出的XML解码器236的实施例中的XML分析程序的一个封装类的一个实施例。XMLDataDecoder类运行XML分析程序。同样地，XML数据解码器类在客户端应用程序使用的格式和XML之间转换含有图像，数据和/或其它信息的文件。XML数据解码器类含有下列公共成员函数
CWFXMLDataDecoder函数是创建数据解码器类的实例的SMLDataDecoder类的构造函数。CWFXMLDataDecoder函数不包含参数。
XMLDataDecoder类的init函数初始化XMLDataDecoder类的一个对象。应当在创建对象之后调用init函数。如果已经创建对象则init函数返回真。
SMLDataDecoder类的ParseXML函数分析XML字符串格式。
XMLDataDecoder类的公共成员数据包含SAX分析程序的文档处理程序。解码的数据被存储成CWFSAXHandler的一个公共成员数据。
为了节省网络110上的运行时刻处理能力并减少数据传输量，修改标准XML格式(在分析方面更加灵活)。使用XML格式进行缺陷来源识别器客户端数据请求。期望在两侧均维护一个属性名称-类型表格和一个单元名称-类型表格。因此每次不需要向数据项的各个实例附加一个数据类型。相反，缺陷来源识别器的一个实施例使用两个查找表在运行时刻根据名称获取类型。新格式还在一个单元中引入多个属性以节省数据流长度。
数据请求的通用XML字符串的一个实施例包含以下伪码
＜DSINotificationXML ＜Header To＝＂$To＂ From＝＂$From＂ Type＝＂Request＂ Name＝＂$Name＂/＞ ＜Data＞ … ＜/Data＞ ＜/DSINotificationXML＞
表格1中示出了通用数据请求类的XML属性和单元。
表格1通用数据请求类
数据应答的通用XML字符串的一个实施例包含以下伪码
＜DSINotificationReplyXML＞ ＜Header To＝＂$To＂ From＝＂$From＂ Type＝＂Reply＂ Name＝＂$Name＂/＞<!-- SIPO <DP n="15"> --><dp n="d15"/> ＜Data＞ ＜Error ErrNum＝＂$ErrNum＂ ErrText＝＂$ErrText＂/＞ ＜ReplyDataList＞ ＜ReplyData/＞ …… ＜ReplyData/＞ ＜/ReplyDataList＞ ＜/Data＞ ＜/DSINotificationReplyXML＞
在上述伪码中，字符串＂$xxx＂分隔数据项的数值。表格2描述了通用数据应答类中包含的XML属性和单元。
表格2通用数据应答类
GetLeadClasses方法会返回具有指定缺陷的主导类别或最重要类别的缺陷列表。这个方法被用来确定在指定晶片缺陷检查过程204上已经处理过的晶片/晶片组，并且我们仍然将信息存储在晶片缺陷检查过程204中。这个方法访问晶片缺陷检查过程中存储的图像，数据，或其它信息以便检索数据。
GetLeadClass的数据请求的XML字符串的一个实施例包含以下伪码
＜DSINotificationXML- ＜Header To＝＂$To＂ From＝＂$From＂ Type＝＂Request＂ Name＝＂GetLeadClasses＂/＞ ＜Data＞ ＜WFLST NUM＝＂$TOTAL WAFER NUMS＂ MDPC＝＂$MaxDefectPerClass＂＞ ＜WF PID＝＂$ProductID＂ LID＝＂$LotID＂ WID＝＂$WaferID＂ SID＝＂$StepID＂/＞ … ＜WF PID＝＂$ProductID＂ LID＝＂$LotID＂ WID＝＂$WaferID＂ SID＝＂$StepID＂/＞ ＜/WFLST＞ ＜/Data＞ ＜/DSINotificationXML＞
除第一WF数据块之外，如果所有晶片具有相同PID和SID以至保存一组不必要的数据副本，其余WF数据块可以省略PID(产品ID)和SID(步骤ID)。
表格3示出GetLeadClass的数据请求字符串的属性和单元的一个实施例。
表格3GetLeadClass的数据请求字符串
GetLeadClass的数据应答的XML字符串的一个实施例包含以下伪码
＜DSINotificationReplyXML＞ ＜Header To＝＂$To＂ From＝＂$From＂ Type＝＂Reply＂ Name＝＂GetLeadClasses＂/＞ ＜Data＞ ＜ErrorErrNum＝＂$ErrNum＂ ErrText＝＂$ErrText＂/＞ ＜ReplyDataList＞ ＜WF_DFT NUM＝＂$TOTA_DEFECTS_NUMS＂ PID＝＂$ProductID＂ LID＝＂$LotID＂ WID＝＂$WaferID＂ SID＝＂$StepID＂＞ ＜DFT DID＝＂$DefectID＂ CID＝＂$ClassID＂ CN＝＂$ClassName＂ SRC＝＂$Source＂ TM＝＂$ToolModel＂ TID＝＂$ToolID＂ SSA＝＂$SSAID＂/＞ …… ＜DFT DID＝＂$DefectID＂ CID＝＂$ClassID＂ CN＝＂$ClassName＂ SRC＝＂$Source＂ TM＝＂$ToolModel＂ TID＝＂$ToolID＂ SSA＝＂$SSAID＂/＞ … ＜/WF_DFT＞ ＜WF_DFT NUM＝＂$TOTAL_DEFECTS_NUMS＂ PID＝＂$ProductID＂ LID＝＂$LotID＂ WID＝＂$WaferID＂ SID＝＂$StepID＂＞ ＜DFT DID＝＂$DefectID＂ CID＝＂$ClassID＂ CN＝＂$ClassName＂ SRC＝＂$Source＂ TM＝＂$ToolModel＂ TID＝＂$ToolID＂ SSA＝＂$SSAID＂/＞<!-- SIPO <DP n="20"> --><dp n="d20"/> …… ＜DFT DID＝＂$DefectID＂ CID＝＂$ClassID＂ CN＝＂$ClassName＂ SRC＝＂$Source＂ TM＝＂$ToolModel＂ TID＝＂$ToolID＂ SSA＝＂$SSAID＂/＞ ＜/WF_DFT＞ ＜/ReplyDataList＞ ＜/Data＞ ＜/DSINotificationReplyXML＞
除第一WF_DFT数据块之外，如果所有晶片具有相同PID和SID以至保存不必要的数据副本，其余WF_DFT数据块可以省略PID和SID。
表格4示出GetLeadClass的数据请求字符串的属性和单元的一个实施例如下
表格4GetLeadClass的数据请求字符串
GetReviewedWaferList方法返回一列属于一个指定晶片组并且已经在扫描电子显微镜装置上检查过的晶片。这个方法被用来确定在指定扫描电子显微镜装置上已经处理过的晶片/晶片组，并且我们仍然将信息保存在扫描电子显微镜装置中。这个方法访问扫描电子显微镜装置以检索数据。
GetReviewedWaferList类的数据请求的XML字符串的一个实施例包含以下伪码
＜DSINotificationXML ＜Header To＝＂$To＂ From＝＂$From＂ Type＝＂Request＂ Name＝＂GetReviewedWaferList＂/＞ ＜Data＞ ＜WFLSTNUM＝＂$TOTAL_WAFER_NUMS＂＞ ＜WF PID＝＂$ProductID＂ LID＝＂$LotID＂ WID＝＂$WaferID＂ SID＝＂$StepID＂/＞ ＜WFPID＝＂$ProductID＂ LID＝＂$LotID＂ WID＝＂$WaferID＂ SID＝＂$StepID＂/＞ ＜/WFLST＞ ＜/Data＞ ＜/DSINotificationXML＞
除第一晶片缺陷检查装置数据块之外，如果所有晶片具有相同PID和SID以至保存不必要的数据副本，其余晶片缺陷检查装置数据块可以省略PID和SID。表格5示出GetReviewedWaferList类中存储的数据请求的属性和单元的一个实施例。
表格5GetReviewedWaferList类的数据请求字符串
GetReviewedWaferList类的数据应答的XML字符串的一个实施例包含以下伪码
＜DSINotificationReplyXML＞ ＜Header To＝＂$To＂ From＝＂$From＂ Type＝＂Reply＂ Name＝＂GetReviewedWaferlist＂/＞ ＜Data＞ ＜ErrorErrNum＝＂$ErrNum＂ ErrText＝＂$ErrText＂/＞ ＜ReplyDataList NUM＝＂$NUM_OF_WAFERS＂＞ ＜WAFER WID＝＂$WaferID＂ LID＝＂$LotID＂ PID＝＂$ProductID＂ SID＝＂$StepID＂ RV＝＂$Reviewed＂ S EM＝＂$SEMTooIID＂ RCP＝＂$RecipeName＂ UTM＝＂$UpdateTime＂/＞ …… ＜WAFER WID＝＂$WaferID＂ LID＝＂$LotID＂ PID＝＂$ProductID＂ SID＝＂$StepID＂ RV＝＂$Reviewed＂ SEM＝＂$SEMToolID＂ RCP＝＂$RecipeName＂ UTM＝＂$UpdateTime＂/＞ ＜/ReplyDataList＞ ＜/Data＞ ＜/DSINotificationReplyXML＞
表格6GetReviewedWaferList类的数据应答字符串
下列方法被用来从晶片缺陷检查过程向缺陷来源识别器数据库收集数据。晶片缺陷检查过程将是一个使用那些方法向缺陷来源识别器数据库加入所有晶片和缺陷数据的客户端。
数据通知的通用XML字符串的一个实施例包含以下伪码
＜DSINotificationXML ＜Header To＝＂$To＂ From＝＂$From＂ Type＝＂xxx_Notification＂ Name＝＂$Name＂/＞ ＜Data＞ … ＜/Data＞ ＜/DSINotificationXML＞
表格7数据通知类的通用XML字符串
SetDieList方法设置模片列表。针对各个模片，该方法定义成快闪存储(flash)。针对各个模片，我们会得到缺陷数量。SetDieList的数据通知的XML字符串的一个实施例包含以下伪码
＜DSINotificationXML ＜Header To＝＂$To＂ From＝＂$From＂ Type＝＂WF_Notification＂ Name＝＂SetDieList＂/＞ ＜Data＞ ＜DIELST NUM＝＂$TOTAL_DIE_NUMS＂ WFTOOLID＝＂$WFToolID＂ PID＝＂$ProductID＂ LID＝＂$LotID WID＝＂$WaferID＂ SID＝＂$StepID＂＞ ＜DIEINFO XDIE＝＂$XDie＂ YDIE＝＂$YDie＂ FL＝＂$FLASH＂ CT＝＂$Count＂/＞ ＜DIEINFO XDIE＝＂$XDie＂ YDIE＝＂$YDie＂ FL＝＂$FLASH＂ CT＝＂$Count＂/＞ ＜/DIELST＞ ＜/Data＞ ＜/DSINotificationXML＞ -
表格8SetDieList类的XML数据通知字符串
SetDefectList方法针对指定晶片/步骤设置缺陷列表。SetDefectList的数据通知的XML字符串的一个实施例为
＜DSINotificationXML＜Header To＝＂$To＂From＝＂$From＂Type＝＂WF_Notification＂Name＝＂SetDefectList＂/＞＜Data＞＜DFLST NUM＝＂$TOTAL_DF_NUMS＂WFTOOLID＝＂$WFTooIID＂PID＝＂$ProductID＂LID＝＂$LotIDWID＝＂$WaferID＂SID＝＂$StepID＂FLF＝＂$FromFlashDieOrNot＂＞＜DF DID＝＂$DefectID＂XDIE＝＂$XDie＂YDIE＝＂$YDie＂XL＝＂$XLocation＂YL＝＂$YLocation＂XS＝＂$XSize＂YS＝＂$YSize＂DS＝＂$DSize＂OAID＝＂$OTFADCID＂OCID＝＂$OpticalClassificationID＂INUM＝＂$Numlmages＂IPH＝＂$lmagePath＂CL＝＂$Cluster＂/＞…＜DFDID＝＂$DefectID＂XDIE＝＂$XDie＂YDIE＝＂$YDie＂XL＝＂$XLocation＂YL＝＂$YLocation＂XS＝＂$XSize＂YS＝＂$YSize＂DS＝＂$DSize＂OAID＝＂$OTFADCID＂OCID＝＂$OpticalClassificationID＂INUM＝＂$Numlmages＂IPH＝＂$lmagePath＂CL＝＂$Cluster＂/＞＜/DFLST＞＜/Data＞＜/DSINotificationXML＞
表格9SetDefectList类的XML数据通知字符串
SetProduct方法针对指定晶片/步骤设置产品数据。SetProduct方法的数据通知的XML字符串的一个实施例包含以下伪码
＜DSINotificationXML ＜Header To＝＂$To＂ From＝＂$From＂ Type＝＂WF_Notification＂ Name＝＂SetProduct＂/＞ ＜Data＞ ＜PRODUCTWFTOOLID＝＂$WFTooIID＂ PID＝＂$ProductID＂ LID＝＂$LotID WID＝＂$WaferID＂ SID＝＂$StepID＂ WD＝＂$WaferDiam＂ MT＝＂$MarkType＂ ML＝＂$MarkLocation＂ DPX＝＂$DiePitchX＂ DPY＝＂$DiePitchY＂ NDX＝＂$NumberDieX＂ NDY＝＂$NumberDieY＂ SDX＝＂$StartDieX＂ SDY＝＂$StartDieY＂ GS＝＂$GapSize＂ FSX＝＂$FieldSizeX＂ FSY＝＂$FieldSizeY＂ BW＝＂$BareWafer＂ BWR＝＂$BareWaferRep＂/＞ ＜/Data＞ ＜/DSINotificationXML＞
表格10SetProduct类的XML数据通知字符串
缺陷来源识别器服务器106包含多个向缺陷来源识别器服务器106提供维护套接字和线程的功能的类。缺陷来源识别器100使用诸如部件身份号码的代码与缺陷来源识别器服务器106进行通信。端口号可以被改变成任何唯一值。就象按照XML格式为通信管理器244，队列250或260，通知接口242，通知侦听程序252，262，和XML ADO 254，264提供的那样，以下是这种缺陷来源识别器服务器106的方法和参数的实施例
缺陷来源识别器服务器106的通信管理器接口244包含下列方法和属性
一个SendStringToConnection方法通过其连接ID向指定连接发送一个字符串。SendStringToConnection方法的语法的一个实施例是ErrorCode＝objDSICommManager.SendStringToConnection(longIConnectionID，BSTR bstrString)。SendStringToConnection方法通过其连接ID向指定连接发送字符串。SendStringToConnection方法包含诸如IConnectionlD、指定发送数据的连接ID的参数。通过传值方式传递数据。并且字符串bstrString是一个指定要发送的XML字符串的输入参数。通过传值方式传递这个参数。
TotalConnection属性返回打开连接的总数。TotalConnection属性的语法是ObjDSICommManager.TotalConnection。这是一个只读属性。
缺陷来源识别器服务器106的通知接口242包含下列方法和属性
一个NotifyToDSI方法向预先指定的队列250或260发送一个字符串。NotifyToDSI方法遵循语法ErrorCode＝objDSINotification.NotifyToDSI(BSTR NotificationText)。NotifyToDSI()方法包含指定方法发送的XML字符串的字符串参数bstrString。通过传值方式传递字符串。
QueName属性表示发送通知的队列250或260的名称。可以读取和设置这个属性。QueName属性包含表示队列250或260的名称的字符串QueName。
NotficationLabel属性表示通知消息的标记。可以读取和设置这个属性。NotificationLabel属性包含表示通知标记的字符串NotificationLabel。
缺陷来源识别器客户端106的通知侦听程序接口252，262包含下列方法和参数。
一个Initialize方法初始化侦听队列250或260并且处理队列250或260上接收的消息的任务。Initialize()方法遵循语法ErrorCode＝NotificationListener.Initialize(BSTR QueName)。字符串QueName是Initialize方法的一个指定其希望侦听的队列250或260的参数。通过传值方式传递参数QueName。Initialize方法包含以下差错代码，例如队列未指定，提供了无效队列名称，创建消息队列失败，打开消息队列失败，故障警告，消息队列导致通知故障，和其它通信差错。如果初始化方法成功，Initialize方法返回一个返回代码。
Uninitialize方法终止侦听队列250或260和处理消息的任务。Uninitialize方法遵循语法ErrorCode＝objNotificationListener.Uninitialize(BSTR QueName)。
LastNotificationLabel属性表示最后通知消息的标记。这个属性只能被读取。这个属性包含字符串NotificationLabel。NotifcationLabel是最后接收的通知的标记。
LastNotification属性表示最后的通知消息。这个属性只能被读取。LastNotification属性包含字符串LastNotification。LastNotification属性表示最后接收的通知。
当在初始化队列之后一个新通知消息被加到队列250或260时自动调用Arrived方法。Arrived方法的一个实施例遵循语法ErrorCode＝objNotificationListener.Arrived(LPDISPATCH pQueue，longICursor)。Arrived方法包含指定接收消息的队列250或260的身份的参数LPDISPATCH pQueue。通过传值方式传递arrived方法。Arrived方法的另一个参数是指定队列250或260的游标的ICursor。通过传值方式传递ICursor参数。
当在初始化队列250或260之后一个包含差错的新通知消息被加到队列250或260时自动调用ArrivedError方法。ArrivedError方法的一个实施例遵循语法ErrorCode＝objNofificationListener.ArrivedError(LPDISPATCH pQueue，long ErrorCode，long ICursor)。ArrivedError方法包含指定接收消息的队列250或260的pQueue参数LPDISPATCH。通过传值方式传递该参数。ArrivedError方法包含指定差错编号的long参数ErrorCode。ArrivedError方法包含指定队列250或260的游标的参数ICursor。通过传值方式传递ICusor。
缺陷来源识别器服务器106的XML ADO254，262包含下列方法和参数。
当在初始化队列之后一个具有差错编号的新通知消息被加到队列250或260时自动调用DSIRequest方法。DSIRequest方法的一个实施例遵循语法ErrorCode＝objDSIXMLADO.DSIRequest(BSTRRequestXML，BSTR*ReplyXML)。DSIRequest方法包含指定XML格式的请求数据的参数BSTR RequestXML。通过传值方式传递参数BSTR RequestXML。
缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间的数据传送包含两个基本用例。在一个用例中，缺陷来源识别器客户端104从缺陷来源识别器服务器106启动一个数据请求事务处理。
图4示出了缺陷来源识别器请求事务处理400的信号序列图的一个实施例。在图2示出的缺陷来源识别器100的实施例中执行请求事务处理400。图3示出了对应于图4的信号序列图的数据请求事务处理方法300的流程图。应当一起观察图2，3，和4。在缺陷来源识别器请求事务处理400中，缺陷来源识别器客户端104使用客户端应用程序230初始化一个如图3的步骤302所示的缺陷来源识别器适配器实例并且向缺陷来源识别器服务器106发送连接请求信号401。
通过在402休眠一段指定时间并且直到超时，缺陷来源识别器客户端104等待返回确认信号405。如图3的步骤304所示，通信适配器234创建一个套接字并且向缺陷来源识别器服务器106的通信服务器240发送一个连接请求信号403(包含套接字)。缺陷来源识别器服务器的通信层202在404侦听新连接请求。如图3的步骤306所示，缺陷来源识别器客户端104启动一个新线程以处理套接字。如图3的步骤308所示，缺陷来源识别器服务器106向缺陷来源识别器客户端104回送一个确认信号405。在图3的步骤312中，在缺陷来源识别器客户端104被确认信号405唤醒之后，缺陷来源识别器客户端106的客户端应用程序230向缺陷来源识别器服务器106的通信适配器240发送一个通常具有XML格式的请求数据信号406。通过在407休眠一段指定时间并且直到超过指定的时间，缺陷来源识别器客户端104等待一个发送任务结束指示。
通信适配器234接着向缺陷来源识别器服务器106的通信服务器240发送一个请求数据信号408。通信服务器240接收请求数据信号408并且向通知接口242发送一个单独的线程409。在图3的步骤312中，缺陷来源识别器服务器106接着创建通知接口242的实例并且向队列250(或260)发送一个消息。消息包含一个具有连接ID的通知。通知侦听程序252或262在图3的步骤314中向相应的队列250或260侦听新消息。如图3的判决步骤316所示，如果存在一个新消息，则通知侦听程序252或262调用相应的XML ADO接口254或264(或另一个适当的处理程序)以便执行ADO并且按照XML格式在缺陷来源识别器数据库408中存储信息。如果没有新消息，数据请求事务处理方法300在步骤317终止。
为了回送一个针对请求事务处理400中请求的信息的应答，缺陷来源识别器服务器106的ADO264在图3的步骤316中从缺陷来源识别器数据库408向412中的相应通知侦听程序返回一个XML应答信号412。应答信号412中的XML返回字符串含有对请求的信息的应答。利用连接ID，通知侦听程序262调用通信管理器244向413中的通信管理器回送应答字符串。通信管理器444接着向通信服务器240发送应答信号414。在图3示出的数据请求事务处理方法300的步骤320中，通信服务器240通过网络110向缺陷来源识别器客户端104的通信适配器234发送应答信号415。
在缺陷来源识别器客户端104接收确认信号405之后，客户端在获取应答的416中调用一个GetReply()方法。在417，缺陷来源识别器客户端104在某个指定超时周期内等待来自检测来源指示器服务器106的应答信号415。在缺陷来源识别器客户端104接收应答信号415之后，接收的XML数据在418被传送到XML解码器。在图3示出的数据请求事务处理方法300的步骤322中，缺陷来源识别器客户端会将通过XML数据接收的XML解码器对象236实例化成适当的数据结构，即具有客户端应用程序230可以使用的数据格式。数据可以具有图像，文本或任何其他信息的形式。由于XML在一个单独传送的文件中使用用户定义的标签提供多种数据，XML解码器如图3的步骤324所示对图像，文本或其它信息进行分段。在应答信号418，XML文件包含的定位数据指示在XML文件中存储不同图像，文本或其它信息的位置。
缺陷来源识别器客户端104的客户端应用程序230在419从XML解码器236接收解码的数据结构(包含图像，文本和/或其它信息)。缺陷来源识别器客户端104的客户端应用程序230接着在420发送一个断开请求。在图3示出的数据请求事务处理方法300的步骤326中，缺陷来源识别器适配器234在421向通信服务器240发送断开请求。在422，缺陷来源识别器通信服务器240根据图3的步骤328所示的断开请求421关闭打开的套接字并且终止涉及请求事务处理400的相关线程。
图5A和5B共同描述了一个数据通知事务处理方法500的流程图。图6描述了图2中示出的、在缺陷来源识别器客户端104和缺陷来源识别器服务器106之间执行的通知事务处理方法的信号序列图。应当结合下列描述观察图2，5，和6。如图5的步骤502所示，当缺陷来源识别器客户端104的应用程序和数据库层231使用信号601初始化一个通信适配器234时启动通知事务处理方法600。通信适配器234在图5的步骤504中向缺陷来源识别器服务器106的通信服务器240发送一个连接请求信号603。缺陷来源识别器客户端104在602休眠并且在一段指定的超时时间内等待返回一个确认信号605。通信适配器创建一个包含套接字(对应于通知事务处理600)的线程并且通过连接请求信号603向通信服务器240发送套接字。缺陷来源识别器服务器106在接收连接请求信号603之后进行等待并且在604侦听新连接请求。在接收到一个新连接请求信号时，在图5示出的数据通知事务处理方法500的实施例的步骤506中启动一个处理套接字的新线程。
在图5示出的数据通知事务处理方法500的步骤508中，通信服务器240向缺陷来源识别器客户端104的通信适配器234发送一个确认信号605。在缺陷来源识别器客户端104被确认信号605唤醒之后。在数据通知事务处理方法500的步骤510中，缺陷来源识别器客户端104的客户端应用程序230向通信适配器234发送一个请求数据信号606(最好具有XML格式以避免再解码成XML格式)。缺陷来源识别器客户端通过在607休眠等待一段指定的超时时间。
通信适配器234向缺陷来源识别器服务器106的通信服务器240发送一个请求数据信号608。在图5示出的数据通知事务处理方法500的步骤512中，通信服务器240接收请求数据信号608，并且通过发送一个对应的消息609在一个单独线程中创建通知接口242的一个实例。消息609包含一个通知部分和连接ID部分。在图5示出的数据通知事务处理方法500的步骤514中，通知侦听程序进程252或262在610针对通知队列250或260侦听一个被通知队列接收的新消息。数据通知事务处理方法500继续执行到判决步骤516，其中如果通知侦听程序进程610检测到一个新消息，缺陷来源识别器服务器106通过调用XML ADO264或264接口在611对缺陷来源识别器数据库408执行XML ADO从而继续执行到步骤518。如图5中517所示，如果判决步骤516的结果为否，则数据通知事务处理方法500终止。数据以XML格式被存储在缺陷来源识别器数据库408中。通信服务器240在数据通知事务处理方法500的步骤220中向缺陷来源识别器客户端104的缺陷来源识别器通信适配器234发送一个确认通知的确认代码612。在613中，缺陷来源识别器客户端104的缺陷来源识别器通信适配器234接收其对通知的确认。
缺陷来源识别器客户端104接着可以关闭套接字以终止通知事务处理600。在图6的614和图5的步骤522中，缺陷来源识别器适配器向缺陷来源识别器通信适配器234发送一个断开请求。在615，缺陷来源识别器通信适配器234发送一个终止缺陷来源识别器通知事务处理600。在接收615之后，缺陷来源识别器通信服务器在图5的步骤524中关闭打开的套接字并且终止相关线程以终止通知事务处理600。
虽然这里详细示出和描述了各种结合本发明特征的实施例，但本领域的技术人员可以容易地导出许多其它仍然结合同样特征的各种实施例。
权利要求
1.在一个缺陷来源识别器客户端和服务器之间传送缺陷信息的方法，包括
在一个缺陷来源识别器客户端内部产生缺陷检查信息，其中缺陷检查信息含有涉及在半导体晶片上识别的缺陷的信息；
将缺陷检查信息转换成经过转换并且具有通过用户定义的标签定义的形式的缺陷检查信息；
通过网络向一个缺陷来源识别器服务器发送经过转换的缺陷检查信息；和
在缺陷来源识别器服务器上根据转换的缺陷检查信息导出缺陷来源信息。
2.如权利要求1所述的方法，其中经过转换的缺陷检查信息具有可扩展标记语言(XML)的形式。
3.如权利要求1所述的方法，其中缺陷来源信息具有XML的形式。
4.如权利要求1所述的方法，其中在晶片加工系统的一个计量单元中识别半导体晶片上的缺陷。
5.如权利要求1所述的方法，其中还包括
从缺陷来源识别器服务器向缺陷来源识别器客户端发送缺陷来源信息；和
在缺陷来源识别器客户端上使用缺陷来源信息。
6.如权利要求5所述的方法，其中在缺陷来源识别器客户端上同时显示缺陷来源信息和缺陷检查信息。
7.如权利要求5所述的方法，其中还包括
在缺陷来源识别器服务器上提供缺陷参考信息；
从缺陷来源识别器服务器向缺陷来源识别器客户端发送缺陷参考信息；和
在缺陷来源识别器客户端上显示缺陷参考信息。
8.如权利要求5所述的方法，其中由缺陷来源识别器客户端上的用户输入控制从缺陷来源识别器服务器向缺陷来源识别器客户端发送缺陷参考信息。
9.如权利要求5所述的方法，其中在缺陷来源识别器客户端上同时显示缺陷来源信息和缺陷参考信息。
10.如权利要求1所述的方法，其中使用缺陷解决方案信息涉及在缺陷来源识别器客户端上根据缺陷解决方案信息显示缺陷的缺陷解决方案。
11.在一个缺陷来源识别器服务器和客户端之间传送缺陷信息的方法，包括
在一个缺陷来源识别器客户端内部产生缺陷检查信息，其中缺陷检查信息含有涉及在半导体晶片上识别的缺陷的信息；
将缺陷检查信息转换成经过转换的缺陷检查信息，其中经过转换的缺陷检查信息具有可扩展标记语言(XML)的形式；
通过网络向一个缺陷来源识别器服务器发送经过转换的缺陷检查信息；
在缺陷来源识别器服务器上根据经过转换的缺陷检查信息导出缺陷参考信息，其中缺陷参考信息具有XML的形式；
从缺陷来源识别器服务器向缺陷来源识别器客户端发送缺陷参考信息；和
在缺陷来源识别器客户端上使用缺陷参考信息。
12.如权利要求11所述的方法，其中缺陷参考信息包含解决方案。
13.如权利要求11所述的方法，其中在晶片加工系统的一个计量单元中识别半导体晶片上的缺陷。
14.如权利要求11所述的方法，其中在缺陷来源识别器客户端上同时显示缺陷参考信息和缺陷检查信息。
15.如权利要求11所述的方法，其中还包括
在缺陷来源识别器客户端上显示缺陷参考信息。
16.如权利要求11所述的方法，其中由缺陷来源识别器客户端上的用户输入控制从缺陷来源识别器服务器向缺陷来源识别器客户端发送缺陷参考信息。
17.如权利要求11所述的方法，其中在缺陷来源识别器客户端上同时显示缺陷来源信息和缺陷参考信息。
18.如权利要求11所述的方法，其中使用缺陷解决方案信息涉及在缺陷来源识别器客户端上根据缺陷参考信息显示缺陷的缺陷解决方案。
19.在缺陷来源识别器服务器和客户端之间传送缺陷信息的装置，包括
一个产生缺陷检查信息的计量工具，其中缺陷检查信息含有涉及在半导体晶片上识别的缺陷的信息；
一个转换器，该转换器将缺陷检查信息转换成经过转换并且具有通过用户定义的标签定义的形式的缺陷检查信息；
一个网络，该网络向一个缺陷来源识别器服务器发送经过转换的缺陷检查信息；和
根据转换的缺陷检查信息导出缺陷来源信息的缺陷来源识别器服务器。
20.如权利要求19所述的装置，其中转换器是一个可扩展标记语言(XML)转换器。
21.如权利要求19所述的装置，其中缺陷来源信息具有XML的形式。
22.如权利要求19所述的装置，其中还包括
从缺陷来源识别器服务器向缺陷来源识别器客户端发送缺陷来源信息的网络；和
使用缺陷来源信息的缺陷来源识别器客户端。
23.如权利要求22所述的装置，其中缺陷来源识别器客户端同时显示缺陷来源信息和缺陷检查信息。
24.如权利要求19所述的装置，其中还包括
提供缺陷参考信息的缺陷来源识别器服务器；
从缺陷来源识别器服务器向缺陷来源识别器客户端发送缺陷参考信息的网络；和
显示缺陷参考信息的缺陷来源识别器客户端。
25.如权利要求24所述的装置，其中由缺陷来源识别器客户端上的用户输入控制从缺陷来源识别器服务器向缺陷来源识别器客户端发送缺陷参考信息的网络。
26.如权利要求24所述的装置，其中缺陷来源识别器客户端同时显示缺陷来源信息和缺陷参考信息。
27.如权利要求19所述的装置，其中使用缺陷解决方案信息的缺陷来源识别器客户端涉及显示缺陷解决方案。
全文摘要
在一个缺陷来源识别器服务器和客户端之间传送缺陷信息的方法和相关装置。该方法包括在一个缺陷来源识别器客户端内部产生缺陷检查信息，其中缺陷检查信息含有涉及在半导体晶片上识别的缺陷的信息。在一个方面，一个XML转换器将缺陷检查信息转换成经过转换并且具有用户定义的标签所定义的形式的缺陷检查信息。通过网络向缺陷来源识别器服务器发送转换后的缺陷检查信息。在缺陷来源识别器服务器上根据转换的缺陷检查信息导出缺陷来源信息。
文档编号H01L21/66GK1447914SQ0180299
公开日2003年10月8日 申请日期2001年10月2日 优先权日2000年10月2日
发明者阿莫斯·多尔, 马亚·拉德辛斯基 申请人:应用材料有限公司