专利名称：塔式多层循环老化设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种循环老化设备，特别是一种塔式多层循环老化设备。
本实用新型的上述目的是这样实现的，一种塔式多层循环老化设备，在一温控处理室内部区分出的高温处理通道及低温处理通道内组架多层输送进给系统，其特征在于该多层输送进给系统具有复数层双轨循环输送装置，在其两侧各搭配一组升降输送进给装置，所述双轨循环输送装置包括一穿伸入温控处理室高温处理通道的输送带、一穿伸入温控处理室低温处理通道的输送带，所述输送带各由一动力驱动组件驱动带动；所述升降输送进给装置包括一平行间隔的竖轨，且于竖轨间距组架一推移机构，该推移机构由一动力驱动组件带动；所述推移机构顶部架构一由气压推移组件带动一移位台座作横向位移，且移位台座上设有由一动力驱动组件带动的输送带。
藉此，利用多层输送进给系统的各层别双轨循环输送装置可一次处理多种不同机种的受测物，且受测物在双轨循环输送装置中进行以高、低温处理循环进给经热胀冷缩的冲击工作特性，可快速针对电子元件具不良情形进行检测，进而在生产制程能力上具有缩短老化处理制程时间效益，也可提升整体稼动率及具有多样少量的制程效益。
以下结合附图
以具体实例对本实用新型进行详细说明。
图2为本实用新型由俯视角度视得的平面示意图。
图3为本实用新型由侧面角度视得的平面示意图。
附图标号说明温控处理室1；平台214；高温处理通道11；升降输送进给装置22；低温处理通道12；竖轨221；多层输送进给系统2；推移机构222；双轨循环输送装置21；移位台座224；输送带211、212、227；气压推组件225；动力驱动组件213、223、226。
上述的双轨循环输送装置21包括一穿伸入温控处理室1高温处理通道11的输送带211、一穿伸入温控处理室1低温处理通道12的输送带212，此输送带211、212各受一动力驱动组件213驱动带动，供以移送上方承载电子产品的平台214输送进给至温控处理室1内作以老化处理。
上述的升降输送进给装置22，包括一平行间隔的竖轨221，且于竖轨221间距组架一推移机构222，该推移机构222可受一动力驱动组件223带动，于竖轨221上作以上下位移，且该推机构222顶部架构一由气压推移组件225带动移位台座224作以横向位移，且移位台座224上也设有由一动力驱动组件226带动的输送带227，此输送带227可对应于输送带211或输送带212，让平台214上承载的电子产品透过移位台座224的推移输送作以轨道转换运输进给，得在输送带211或输送带212作以循环进给进行老化处理，如此进行老化处理的电子产品即能作以循环进给处理。
由上述说明得知，本实用新型在实用实施上，利用其多层输送进给系统2的各层别双轨循环输送装置21可一次处理多种不同机种的电子产品，且电子产品在双轨循环输送装置21中进行高、低温处理循环进给经热胀冷缩的冲击工作特性，可快速针对电子元件具不良情形进行检测，与传统的单层老化处理设备作比较，本实用新型在生产制程能力上具有缩短老化处理制程时间的效益，也可提升整体稼动率，在生产上也具有多样少量的制程效益。
综上所述，本实用新型所提供的塔式多层循环老化设备，能达到预期的实用价值及目的，并能增进此电子产品老化设备的功效。
权利要求1.一种塔式多层循环老化设备，在一温控处理室内部区分出的高温处理通道及低温处理通道内组架多层输送进给系统，其特征在于该多层输送进给系统具有复数层双轨循环输送装置，在其两侧各搭配一组升降输送进给装置，该双轨循环输送装置包括一穿伸入温控处理室高温处理通道的输送带、一穿伸入温控处理室低温处理通道的输送带，所述输送带各由一动力驱动组件驱动带动；所述升降输送进给装置包括一平行间隔的竖轨，且于竖轨间距组架一推移机构，该推移机构由一动力驱动组件带动；所述推移机构顶部架构一由气压推移组件带动一移位台座作横向位移，且移位台座上设有由一动力驱动组件带动的输送带。
专利摘要本实用新型是一种塔式多层循环老化设备，主要于一温控处理室于内部区隔出的高温处理通道及低温处理通道内组架多层输送进给系统，该多层输送进给系统由复数层双轨循环输送装置于两侧各搭配一组升降输送进给装置所组成，该双轨循环输送装置设有各穿伸高、低温处理通道并于上方平台输送受测物进给以老化处理的输送带，而该升降输送进给装置的竖轨间距组架一推移机构作以横向位移，供以可对应于多层输送进给系统的输送带，让输送受测物得作以轨道转换运输循环进给；藉此，受测物在双轨循环送装置中进行高、低温循环进给经热胀冷缩的冲击工作特性，可快速针对电子元件具不良情形进行检测，进而在生产制程能力上具有缩短老化处理制程时间效益。
文档编号H01L21/66GK2560094SQ02207919
公开日2003年7月9日 申请日期2002年3月19日 优先权日2002年3月19日
发明者李三元 申请人:效鸿科技股份有限公司