专利名称：层图案制造方法、配线制造方法、电子设备的制造方法
技术领域：
本发明涉及层图案制造方法，特别涉及适于电子设备的配线的制造的层图案制造方法。
背景技术：
已知有使用喷墨技术形成导电配线的方法(例如参照专利文献1)。根据所述方法，将熔融的焊锡材料或银糊状物直接地图案配置于基板上，其后通过进行热处理或激光照射转换为膜图案。
专利文献1特开2000-216330号公报近来，构成器件的电路的高密度化正逐渐推进，与之对应，例如配线也更加微细化。使用了所述的喷墨技术的膜图案形成方法中，由于喷出的液滴在命中后会在基板上展开，其结果，有时难以稳定地形成微细的膜图案。特别是，在要形成的配线的宽度小于液滴的大小的情况下，不容易形成配线。
发明内容
鉴于所述问题，本发明的目的之一是，提供可以精度优良并且稳定地形成微细化的膜图案的制造方法。
本发明的层图案制造方法包括通过形成位于基板上的第1层和位于所述第1层上的第2层，在所述基板上形成由所述第1层和所述第2层划出的区域的步骤(a)、从喷出装置的喷出部向所述区域喷出液状的材料的步骤(b)，所述第1层相对于所述液状材料的疏液性低于所述第2层相对于所述材料的疏液性。
利用所述构成，可以精度优良并且稳定地形成微细化了的层图案。由于要喷出液状的材料的区域由所述第1层和所述第2层划出，其结果是，被喷出的材料不会不符合要求地在基板上展开。
另外，由于第2层呈现高于第1层的疏液性，因此刚命中被划出的区域的配线材料111的液滴不会超越第2层而向区域之外流动，而是向第1层流动。所以，涂布更加稳定。
优选所述步骤(a)包括按照使所述区域含有具有第1宽度的第1部分和具有小于所述第1宽度的第2宽度的第2部分的方式，形成所述第1层和所述第2层的步骤(c)，所述步骤(b)包括仅向所述第1部分喷出所述材料的步骤(d)。
更优选的是，所述第1层相对于所述液状的材料具有亲液性。
利用所述构成，由于接近基板的层，即第1层具有亲液性，因此即使不向窄幅区域38B和窄幅区域38B喷出配线材料，命中窄幅区域38A的配线材料111也会流入窄幅区域38B和窄幅区域38C。这是因为由所述第1层产生了毛细管现象。
本发明可以用各种方式实现，例如可以作为配线制造方法或电子设备的制造方法实现。
图1(a)是实施例1的等离子显示装置的配线的示意图，(b)是地址电极的示意图。
图2是表示实施例1的制造装置的示意图。
图3是表示实施例1的喷出装置的示意图。
图4是表示实施例1的滑架的示意图。
图5是表示实施例1的喷头的示意图。
图6(a)及(b)是表示图5的喷头的喷出部的示意图。
图7是喷出装置的控制部的功能方框图。
图8(a)～(h)是表示实施例1的地址配线的制造方法的示意图，(a)～(e)是表示(f)的A-A’剖面的图。
图9是表示实施例1的等离子显示装置的示意图。
图10(a)是实施例2的液晶显示装置的配线的示意图，(b)是栅极线的示意图。
图11(a)～(h)是表示实施例2的栅极线的制造方法的示意图，(a)～(e)是表示(f)的B-B’剖面的图。
图12是表示实施例2的液晶显示装置的示意图。
图13(a)及(b)是分别表示实施例3的基体的剖面及平面的示意图。
图14是表示实施例3的制造装置的示意图。
图15是表示实施例3的喷出装置的示意图。
图16(a)～(d)是表示实施例3的栅极线的制造方法的示意图。
图17是表示实施例3的电致发光显示装置的示意图。
图中1、2-制造装置，10A-基体，10B-背面基板，10C-前面基板，12-支撑基板，14-地址电极，14A-宽幅部，14B-窄幅部，14D-地址电极驱动电路，18-被喷出部，18A-宽幅区域，18B-窄幅区域，16-电介质玻璃层，20-围堰，20A、20C-树脂黑颜料层，20B·20D-抗蚀层，21-隔壁，22-MgO(氧化镁)保护层，24-电介质玻璃层，25-显示电极，26-显示扫描电极，28-玻璃基板，29-放电气体，30-液晶显示装置，30A-基体，30B-元件侧基板，30C-前面基板，30D-液晶层，31P、31S-偏光板，33-氧化膜，34-栅极线，34A-宽幅部，34B-窄幅部，34D-栅极线驱动电路，35-半导体层，36-象素电极，36C-对置电极，37S、37D-接触层，38A-宽幅区域，38B-窄幅区域，39-保护膜，40-围堰，40A、40C-树脂黑颜料层，40B、40D-抗蚀层，41P、41S-取向膜，42-栅极绝缘膜，43-基板，44-开关元件，44G-栅电极，44S-源电极，44D-漏电极，44V-接触孔，45-层间绝缘层，46-源极线，46D-源极线驱动电路，47-黑底，49B-围堰，49F-滤色片层，50A-基体，50-电致发光显示装置，52-支撑基板，54-电路元件层，56-象素电极，57R、57G、57B-空穴输送层，58R、58G、58B-被喷出部，60-围堰，60A、60C-树脂黑颜料层，60B、60D-抗蚀层，62-绝缘膜，64-开关元件，65-层间绝缘层，64G-栅电极，64S-源电极，64D-漏电极，64V-通孔，66-对置电极，68-密封基板，69-惰性气体，101-罐，102-喷出扫描部，103-滑架，104-第1位置控制装置，108-第2位置控制装置，100-喷出装置，106-台架，110-管道，111-配线材料，112-控制部，114-喷头，116-喷嘴列，118-喷嘴，126-振动板，128-喷嘴平板，131-孔，129-贮液室，122-隔壁，120-空腔，124-振子，123C-压电元件，124A、124B-电极，127-喷出部，130-供给口，150-干燥装置，160-烤炉，170-输送装置，211R、211G、211B-发光材料，211FR、211FG、211FB-发光层。
具体实施例方式
以下以适用于等离子显示装置的制造方法、液晶显示装置的制造方法及电致发光显示装置的制造方法的情况为例，参照
本发明。而且，以下所示的实施例并不是对权利要求范围中所述的发明的内容进行任何限定。另外，以下的实施例所示的构成的全部内容，并不局限于作为权利要求范围所述的发明的解决手段所必需的。
对将本发明应用于等离子显示装置的制造方法的例子进行说明。
如图1(a)所示，等离子显示装置10具有分别沿Y轴方向延伸的多个地址电极14、向多个地址电极14提供信号的地址电极驱动电路14D、分别沿X轴方向延伸的多个显示扫描电极26、向多个显示扫描电极26提供信号的显示扫描电极驱动电路26D。这里所说的X轴方向及Y轴方向为相互正交的方向，与后述的喷出装置的喷嘴相对于台架相对移动的方向相同。
多个地址电极14被设于等离子显示装置的背面基板上。另外，多个显示扫描电极26被设于等离子显示装置的前面基板上。而且，等离子显示装置10虽然还具有设于前面基板的多个显示电极，但是图1中，为了使说明更简单，将其省略。对于背面基板、前面基板及多个显示电极将在后面叙述。
如图1(b)所示，地址电极14之间的间隔大致为300μm。另外，多个地址电极14分别具有宽幅部14A、窄幅部14B。宽幅部14A的宽度大致为20μm。窄幅部14B的宽度大致为5μm。
本实施例中，多个地址电极14分别借助窄幅部14B与地址电极驱动电路14D连接。如后述所示，地址电极14通过在设于基体上的被喷出部18(图8)上使用喷墨装置等喷出装置喷出液状的配线材料而形成。
本实施例的地址电极14是本发明的「层图案」或「配线」的一个例子。
图2所示的制造装置1是在基体的被喷出部18(图8)上形成配线的装置。具体来说，制造装置1具有向被喷出部18的全部区域涂布液状的配线材料111的喷出装置100、使被喷出部18上的配线材料111干燥的干燥装置150、对配线材料111进行再次加热(后加热)的烤炉160。另外，制造装置1还具有按照喷出装置100、干燥装置150、烤炉160的顺序输送基体的输送装置170。
如图3所示，喷出装置100具有保持液状的配线材料111的罐101、经过管道110从罐101供给配线材料111的喷出扫描部102。喷出扫描部102具备具有分别可以喷出液状的配线材料的多个喷头114(图4)的滑架103、控制滑架103的位置的第1位置控制装置104、保持支撑基板12的台架106、控制台架106的位置的第2位置控制装置108、和控制部112。罐101、滑架103的多个喷头114由管道110连接，利用压缩空气从罐101向多个喷头114分别供给液状的配线材料111。
本实施例的液状的配线材料111是本发明的「液状的材料」的一个例子。所谓液状的材料是指具有可以从喷嘴喷出的粘度的材料。此时，不考虑材料为水性还是油性。只要具有可以从喷嘴喷出的流动性(粘度)即可，即使混入了固体物质，只要作为整体是流动体即可。
第1位置控制装置104具有线性马达，根据来自控制部112的信号，使滑架103沿X轴方向及与X轴方向正交的Z轴方向移动。第2位置控制装置108具有线性马达，根据来自控制部112的信号，使台架106沿与X轴方向及Z轴方向双方正交的Y轴方向移动。台架106具有与X轴方向及Y轴方向两者平行的平面，在该平面上可以固定基体10A(图8)。由于台架106固定基体10A，因此台架106可以决定被喷出部18、18G、18B的位置。而且，本实施例的基体10A是被收容的基板的一个例子。
第1位置控制装置104还具有绕与Z轴方向平行的规定的轴旋转滑架103的功能。所谓Z轴方向是指与垂直方向(即重力加速度的方向)平行的方向。利用由第1位置控制装置104实施的滑架103绕着与Z轴方向平行的轴的旋转，可以使固定于收容基板上的坐标系的X轴及Y轴分别与X轴方向及Y轴方向平行。本实施例中，X轴方向及Y轴方向都是滑架相对于台架106移动的方向。本说明书中，有时也将第1位置控制装置104及第2位置控制装置108表述为「扫描部」。
滑架103及台架106还具有所述以外的平行移动及旋转的自由度。但是，本实施例中，为了使说明简单化，关于所述自由度以外的自由度的记述被省略。
控制部112可以从外部信息处理装置接收表示应当喷出配线材料111的相对位置的喷出数据。控制部112的详细的功能将在后面叙述。
如图4所示，滑架103保持有多个具有相互相同构造的喷头114。这里，图4是从台架106侧观察到的滑架103的图，所以垂直于图面的方向为Z轴方向。本实施例中，在滑架103上，配置有2列由4个喷头114构成的列。按照各个喷头114的长度方向和X轴方向之间的角度AN为0°的方式，将喷头114分别固定在滑架103上。但是，如变形例中说明所示，该角度AN可以改变。
如图5所示，用于喷出配线材料111的喷头114分别具有沿喷头114的长度方向延伸的2个喷嘴列116。所谓喷嘴列116是指180个喷嘴118排成一列的列。将喷嘴列116的方向表述为喷嘴列方向HX。沿着喷嘴列方向HX的喷嘴118的间隔约为140μm。另外，图5中，1个喷头114的2个喷嘴列116相互以半间距(约70μm)相互错开。另外，喷嘴118的直径大约27μm。如上所述，由于喷头114的长度方向和X轴方向之间的角度为角度AN，因此喷嘴列方向HX、即180个喷嘴118排成一列的方向与X轴方向之间的角度也为角度AN。而且，多个喷嘴118的各自的端部位于由所述X轴方向及Y轴方向定义的假想的平面上。另外，按照喷头114可以与Z轴大致平行地喷出材料的方式，对多个喷嘴118的各自的形状进行调整。
如图6(a)及(b)所示，各个喷头114为喷墨喷头。更具体来说，各个喷头114具有振动板126、和喷嘴平板128。一直填充有从罐101经过孔131供给的液状的配线材料111的贮液室129位于振动板126和喷嘴平板128之间。此外，由振动板126、喷嘴平板128、一对隔壁122围成的部分为空腔120。由于空腔120对应喷嘴118设置，因此空腔120的数目和喷嘴118的数目相同。配线材料111从贮液室129经过位于一对隔壁122之间的供给口130向空腔120提供。
在振动板126上，对应各个空腔120，设有振子124。振子124包括压电元件124C、夹隔压电元件124C的一对电极124A、124B。通过向该一对电极124A、124B加上驱动电压，就会从对应的喷嘴118喷出液状的配线材料111。
控制部112(图3)向多个振子124分别提供相互独立的信号。所以，从喷嘴118喷出的配线材料111的体积根据来自控制部112的信号按照每个喷嘴118控制。另外，分别从喷嘴118喷出的配线材料111的体积可以在0pl～42pl(皮升)之间改变。所以，也可以设定在涂布扫描期间进行喷出动作的喷嘴118和不进行喷出动作的喷嘴118。
本说明书中，有时也将包括1个喷嘴118、与喷嘴118对应的空腔120、与空腔对应的振子124的部分表述为喷出部127。根据该表述，1个喷头114具有与喷嘴118的数目相同数目的喷出部127。如上所述，本实施例中，滑架103保持喷头114。另一方面，喷头114分别具有多个喷出部127。所以，本说明书中，有时也表述为滑架103保持多个喷出部127。
喷出部127也可以不具有压电元件，而具有电热转换元件。即，喷出部127也可以具有利用由电热转换元件产生的材料的热膨胀而喷出材料的构成。
如上所述，滑架103通过第1位置控制装置104(图3)向X轴方向及Z轴方向移动。另一方面，台架106(图3)通过第2位置控制机构108(图3)向Y轴方向移动。其结果是，利用第1位置控制装置104及第2位置控制装置108，使滑架103相对于台架106进行相对移动。更具体来说，利用这些动作，多个喷头114、多个喷嘴列116或多个喷嘴118相对于在台架106上被定位了的被喷出部18，在Z轴方向保持规定的距离的同时，在X轴方向及Y轴方向相对移动，即相对地进行扫描。更具体来说，喷头114在相对于台架沿X轴方向及Y轴方向相对扫描的同时，从多个喷嘴118喷出材料。
本发明中，也可以相对于被喷出部18沿Y轴方向扫描喷嘴118，从喷嘴118向被喷出部18喷出材料。所谓「相对扫描」包括，对喷出侧和来自该侧的喷出物命中的一侧(被喷出部18侧)的至少一方相对于另一方进行扫描。另外，有时也将相对扫描和材料的喷出的组合，表述为「涂布扫描」。
下面对控制部112的构成进行说明。如图7的功能方框图所示，控制部112具有输入缓冲存储器200、存储机构202、处理部204、扫描驱动器206、喷头驱动器208。缓冲存储器202和处理部204相互可以通信地连接在一起。处理部204和存储机构202相互可以通信地连接在一起。处理部204和扫描驱动器206相互可以通信地连接在一起。处理部204和喷头驱动器208相互可以通信地连接在一起。另外，扫描驱动器206与第1位置控制机构104及第2位置控制机构108相互可以通信地连接在一起。同样，喷头驱动器208与多个喷头114分别相互可以通信地连接在一起。
输入缓冲存储器200从外部信息处理装置接收用于配线材料111的喷出的喷出数据。喷出数据包括表示基体10A上的所有的被喷出部18的相对位置的数据、表示为了在所有的被喷出部18上涂布所需的厚度的配线材料111所必需的相对扫描的次数的数据、表示被喷出部上的命中位置的数据、指定进行喷出动作的喷嘴118的数据、指定不进行喷出动作的喷嘴118的数据。输入缓冲存储器200向处理部204提供喷出数据，处理部204将喷出数据存放在存储机构202中。图7中，存储机构202为RAM。
处理部204根据存储机构202内的喷出数据，向扫描驱动器206提供表示喷嘴列116相对于被喷出部18的相对位置的数据。扫描驱动器206向第1位置控制机构104及第2位置控制机构108提供与该数据对应的驱动信号。其结果是，将喷嘴列116相对于被喷出部18扫描。另一方面，处理部204根据储存在存储机构202中的喷出数据，向喷头驱动器208提供表示来自对应的喷嘴118的喷出时序的数据。喷头驱动器208根据该数据，向喷头114提供喷出配线材料111所必需的驱动信号。其结果是，从喷嘴列116的对应的喷嘴118喷出液状的配线材料111。
控制部112也可以是至少包括CPU、ROM、RAM的计算机。此情况下，控制部112的所述功能由利用计算机执行的软件程序来实现。当然，控制部112也可以由专用的电路(硬件)来实现。
利用以上的构成，喷出装置100R根据由控制部112提供的喷出数据，进行配线材料111的涂布扫描。
下面对地址电极14的制造方法进行说明。首先，紫外线清洗玻璃基板等支撑基板12。此后，如图8(a)所示，按照覆盖支撑基板12的一侧的面的整个面的方式，使用旋转涂覆法，将分散了黑颜料的热硬化型丙烯酸树脂(即树脂黑颜料)涂布至2μm左右的厚度。利用该操作在支撑基板12上形成树脂黑颜料层20A。另外，按照覆盖整个树脂黑颜料层20A的方式，通过涂布混合了氟类聚合物的负型的丙烯酸类化学放大型感光性抗蚀层，在树脂黑颜料层20A上，形成抗蚀层20B。
然后，对抗蚀层20B和树脂黑颜料层20A进行图案处理。具体来说，如图8(b)所示，借助在与应当形成地址电极14的区域对应的部位具有遮光部AB的光掩模PM1，向抗蚀层20B照射光hυ。此后，通过使用规定的蚀刻液，进行蚀刻，将未照射光hυ的多个部分，即与多个地址电极14对应的多个部分的抗蚀层20B、树脂黑颜料层20A去除。这样，如图8(c)所示，即在支撑基板12上获得具有包围以后应当形成的地址电极14的形状的树脂黑颜料层20C和抗蚀层20D。
通过像这样形成位于支撑基板12上的树脂黑颜料层20C和位于树脂黑颜料层20C上的抗蚀层20D，就会在支撑基板12上形成由树脂黑颜料层20C和抗蚀层20D划出的区域(即被喷出部18)。
本实施例中，树脂黑颜料层20C与本发明的「第1层」对应，抗蚀层20D与本发明的「第2层」对应。
本说明书中，有时也将具有此种形状的树脂黑颜料层20C、位于树脂黑颜料层20C上的抗蚀层20D合并表述为围堰20。根据该表述，通过形成包括树脂黑颜料层20C和抗蚀层20D的围堰20，在支撑基板12上就会形成由围堰20划出的区域，即被喷出部18。而且，本实施例中，所谓「围堰」是包括「隔壁」、「分隔部」的用语。
如图8(f)所示，被喷出部18具有与地址电极14的形状基本相同的形状。所以，被喷出部18具有与地址电极14的宽幅部14A对应的宽幅区域18A、与地址电极14的窄幅部14B对应的窄幅区域18B。宽幅区域18A的宽度大约为20μm，窄幅区域18B的宽度大约为5μm。本实施例中，有时也将支撑基板12、形成于支撑基板12上的被喷出部18合并表述为基体10A。
然后，通过将基体10A固定在制造装置1的喷出装置100的台架106上，在台架106上将被喷出部18定位。此时，按照被喷出部18的长度方向与Y轴方向平行的方式，在台架106上固定基体10A。此后，按照使喷嘴118的X坐标与被喷出部18的X坐标一致的方式，使滑架103及台架106的至少一方移动。此时，最好按照使多个喷嘴118的X坐标分别与多个被喷出部18的X坐标同时一致的方式，预先设定喷嘴列方向HX和X轴方向之间的角度AN。这样，在1个扫描期间中，就可以同时涂布扫描多个被喷出部18。
如图8(d)及(g)所示，喷出装置100在1个扫描期间中，从对应的喷嘴118向被喷出部18喷出液状的配线材料111。此时，如图8(d)及(g)所示，喷出装置100仅向被喷出部18中的宽幅区域18A，以规定的间隔喷出液状的配线材料111。而且，当将刚从喷嘴118喷出的配线材料的液滴向由X轴方向及Y轴方向确定的平面上投影时，该被投影的液滴的半径大约为20μm。即，液滴的半径与宽幅区域18A的宽度大致相同。
本说明书中，所谓「扫描期间」是指，进行1次使滑架103的一边沿着Y轴方向从扫描范围的一端(或另一端)相对移动至另一端(或一端)的期间。另外，本实施例中，所谓「扫描范围」是指，直到将配线材料111涂布在多个被喷出部18的全部为止，滑架103的一边相对移动的范围。但是，根据情况不同，用语「扫描范围」有时指1个喷嘴118相对移动的范围，有时指1个喷嘴列116相对移动的范围，有时指1个喷头114相对移动的范围。而且，所谓滑架103、喷头114或喷嘴118相对移动是指，它们相对于被喷出部18的相对位置发生变化。所以，即使滑架103、喷头114或喷嘴118绝对静止，仅被喷出部18因台架106而移动的情况下，也表现为滑架103、喷头114或喷嘴118相对移动。
所谓液状的配线材料111是指将导电性微粒分散在分散剂中后的分散液。作为导电性微粒，例如可以使用含有金、银、铜、钯及镍当中的任意一种的金属微粒，此外还可以使用它们的氧化物以及导电性聚合物或超导体的微粒等。
为了提高分散性，这些导电性微粒也可以在表面上涂覆有机物等而使用。作为涂覆在导电性微粒的表面上的涂覆材料，例如可以举出二甲苯、甲苯等有机溶剂或柠檬酸等。
导电性微粒的粒径优选1nm以上0.1μm以下。当大于0.1μm时，会有在喷嘴118中产生堵塞的情况。另外，当小于1nm时，涂覆剂相对于导电性微粒的体积变大，所得的膜中的有机物的比例过多，其结果是，导电性降低。
作为分散剂，只要是可以分散所述的导电性微粒并且不会产生凝聚的材料，就没有特别的限定。例如，除了水以外，还可以列举出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等醇类、n-庚烷、n-辛烷、壬烷、癸烷、十四烷、甲苯、二甲苯、异丙基甲苯、1，2，4，5-四甲基苯、茚、二戊烯、四氢化萘、十氢化萘、环己基苯等烃类化合物、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇甲乙醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇甲乙醚、1，2-二甲氧基乙烷、双(2-甲氧基乙基)醚、p-二口恶烷等醚类化合物、碳酸丙烯酯、γ-丁内酯、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲替甲酰胺、二甲亚砜、环己酮等极性化合物。它们当中，从微粒的分散性与分散液的稳定性，以及应用于液滴喷出法(喷墨法)的容易度考虑，优选水、醇类、烃类化合物、醚类化合物，作为更优选的分散剂，可以举出水、烃类化合物。
本实施例中，相对于所述的液状的配线材料111，抗蚀层20D显现出疏液性。另外，树脂黑颜料层20C相对于液状的配线材料111的疏液性低于抗蚀层20D相对于配线材料111的疏液性。或者说，树脂黑颜料层20C相对于液状的配线材料111显现出亲液性。其理由是，在抗蚀层20D中混有氟聚合物，另一方面，树脂黑颜料层20C不含有氟聚合物。一般来说，含有氟的树脂的表面与不含氟的树脂的表面相比，相对于含有所述分散剂的配线材料，显现出更高的疏液性。另一方面，不含氟的树脂的大多数树脂相对于所述液状的配线材料，显示出亲液性。
由于抗蚀层20D显现出相对较高的疏液性，因此刚命中被喷出部18的液滴不会超越抗蚀层20D而向被喷出部18之外流动，而是向树脂黑颜料层20C一方流下。另外，由于与支撑基板12接近的层，即树脂围堰层20C显现出亲液性，因此即使不向窄幅区域18B喷出配线材料111，命中宽幅区域18A的配线材料111也会流入窄幅区域18B。这是因为，由树脂围堰层20C产生了毛细管现象。另外，由于由显示所需的疏液性的层和显示亲液性的层形成围堰20，因此就不需要用于使围堰疏液化或亲液化的表面改性工序。例如不需要将四氟甲烷作为处理气的等离子处理或氧等离子处理。
本实施例中，作为相对于液状的材料显示疏液性的层的材料，使用混合了氟类聚合物的负型的丙烯酸类化学放大型感光性抗蚀剂。感光特性并不限定于负型，也可以是正型。另外，本实施例中，作为相对于液状的材料显示亲液性的层的材料，使用分散了黑颜料的热硬化型丙烯酸树脂(树脂黑颜料)。但是，除了树脂黑颜料以外，还可以将感光性聚酰亚胺、丙烯酸类抗蚀剂、环氧类抗蚀剂作为显示亲液性的层利用。
而且，有时因分散剂的性质，不含氟聚合物的材料也会相对于配线材料111显示出疏液性。在此种情况下，按照与配线材料所含的分散剂相对应，获得所需的疏液性、所需的亲液性的方式，选择材料即可。
利用以上的喷出方法，如图8(e)及(h)所示，不仅在宽幅区域18A上，而且在窄幅区域18B上，都涂布配线材料。
在基体10A的被喷出部18的全部上形成了配线材料111的层的情况下，输送装置170使基体10A位于干燥装置150内。此后，通过使被喷出部18上的配线材料111完全干燥，在被喷出部18上获得地址电极14。然后，输送装置170使支撑基板12位于烤炉160内。其后，烤炉160对多个地址电极14进行再加热(后加热)。再次加热后的宽幅部14A的厚度及窄幅部14B的厚度都为大约2μm。
利用以上的工序，在支撑基板12上形成多个地址电极14。其后，利用公知的薄膜形成工序和图案形成工序，从形成了地址电极14的基体10A出发，获得图9所示的等离子显示装置10。
图9是具有利用制造装置1制造的地址电极14的等离子显示装置10的示意图。等离子显示装置10具有背面基板10B、前面基板10C。
背面基板10B包括所述的支撑基板12、在支撑基板12上以矩阵状形成的多个地址电极14、按照覆盖地址电极14的方式形成的电介质玻璃层16、具有格子状的形状并且限定多个象素区域的隔壁21。
在由隔壁21包围的单元(即象素区域)中，涂布有可以发出红、绿、蓝任意一种光的荧光层17。多个象素区域以矩阵状排列，形成多个象素区域的矩阵的列分别与多个地址电极14对应。
前面基板10C具有玻璃基板28、在玻璃基板28上被相互平行地形成图案的显示电极25及显示扫描电极26、按照覆盖显示电极25及显示扫描电极26的方式形成的电介质玻璃层24、在电介质玻璃层24上形成的MgO保护层22。背面基板10B和前面基板10C被按照与背面基板10B的地址电极54、前面基板10C的显示电极25·显示扫描电极26相互正交的方式来对准位置。在由各隔壁21包围的单元(象素区域)中，以规定的压力密封有放电气体29。而且，图10中，虽然围堰20被去除，但是也可以将围堰20留在等离子显示装置10内。
本实施例中，虽然对等离子显示装置10的地址配线14的制造方法进行了说明，但是即使将本实施例的制造方法应用于等离子显示装置10的显示电极25或显示扫描电极26等其他的配线中，也可以获得与所述的效果相同的效果。
对将本发明应用于液晶显示装置的制造方法中的例子进行说明。而且，如下说明所示，除了实施例2的被喷出部的形状与实施例1的被喷出部的形状不同这一点外，实施例2和实施例1基本上是相同的。
如图10(a)所示，液晶显示装置30具有分别在X轴方向延伸的多条栅极线34、向多条栅极线34提供信号的栅极线驱动电路34D、分别在Y轴方向延伸的多条源极线46、向多条源极线46提供信号的源极线驱动电路46D、多个开关元件44、多个保持电容CP、多个象素电容LC。这里所说的X轴方向及Y轴方向相互正交，如实施例1中说明所示，与喷出装置100的喷嘴118相对于台架移动的方向相同。另外，如后述所示，多条栅极线34及多条源极线46被设于液晶显示装置30的元件侧基板上。对于元件侧基板将在后面叙述。
各个开关元件44的栅电极44G及漏电极44D分别被连接在对应的栅极线34及源极线46上。另外，各个开关元件44的源电极44S被连接在作为象素电容LC的一部分的象素电极36(图12)及作为保持电容CP的一部分的电极这两者上。
如图10(b)所示，栅极线34之间的间隔大约为300μm。多条栅极线34分别具有宽幅部34A、窄幅部34B。宽幅部34A的宽度，即与长度方向正交的方向的长度大于窄幅部34B的宽度。宽幅部34A是各条栅极线34的部分中的沿X轴方向延伸的条状的部分。宽幅部34A的宽度大约为20μm。窄幅部34B是从宽幅部34A向Y轴方向突出的部分，也是开关元件44的栅电极44G。窄幅部34B的宽度大约为10μm。如后所示，栅极线34通过向设于基体上的被喷出部38(图11)上，使用喷墨装置等喷出装置喷出液状的配线材料而形成。具体来说，栅极线34由实施例1中说明的制造装置1(图2)制成。
本实施例的栅电极34是本发明的「层图案」或「配线」的一个例子。
下面对栅极线34的制造方法进行说明。首先，对玻璃基板等的支撑基板32进行紫外线清洗。此后，如图11(a)所示，按照覆盖支撑基板32的一方的面的全部的方式，使用旋转涂覆法涂布分散了黑颜料的热硬化型丙烯酸树脂(即树脂黑颜料)。利用该操作在支撑基板32上形成树脂黑颜料层40A。另外，通过按照覆盖树脂黑颜料层40A的全面的方式，涂布混合了氟类聚合物的负型丙烯酸类化学放大型感光性抗蚀剂，在树脂黑颜料层40A上形成抗蚀层40B。
然后，对抗蚀层40B和树脂黑颜料层40A进行图案处理。具体来说，如图11(b)所示，经由在与要形成栅极线34的区域对应的部位上具有遮光部AB的光掩模PM2，向抗蚀层40B照射光hυ。此后，通过使用规定的蚀刻液进行蚀刻，将未照射光hυ的多个部分，即，与多条栅极线34对应的多个部分的抗蚀层40B、树脂黑颜料层40A去除。利用该操作，如图11(c)所示，在支撑基板32上获得具有包围应当在其后形成的栅极线34的形状的树脂黑颜料层40C和抗蚀层40D。
通过像这样形成位于支撑基板32上的树脂黑颜料层40C和位于树脂黑颜料层40C上的抗蚀层40D，在支撑基板32上形成由树脂黑颜料层40C和抗蚀层40D划出的区域(即被喷出部38)。
本实施例中，树脂黑颜料层40C与本发明的「第1层」对应，抗蚀层40D与本发明的「第2层」对应。
本说明书中，有时也将具有此种形状的树脂黑颜料层40C和位于树脂黑颜料层40C上的抗蚀层40D合并，表述为围堰40。根据该表述，通过形成包括树脂黑颜料层40C和抗蚀层40D的围堰40，在支撑基板32上形成由围堰40划出的区域，即被喷出部38。
如图11(f)所示，被喷出部38具有与栅极线34的形状基本相同的形状。所以，被喷出部38具有与栅极线34的宽幅部34A对应的宽幅区域38A、与栅极线34的窄幅部34B对应的窄幅区域38B。宽幅区域38A的宽度大约为20μm，窄幅区域38B的宽度大约为10μm。本实施例中，有时也将支撑基板32和形成于支撑基板上的被喷出部38合并，表述为基体30A。
然后，通过在制造装置1的喷出装置100的台架106上固定基体30A，在台架106上将被喷出部38定位。此时，按照被喷出部38的长度方向与Y轴方向平行的方式，在台架106上固定基体30A。此后，按照喷嘴118的X坐标与被喷出部38的X坐标一致的方式，使滑架103及台架106的至少一方移动。此时，最好按照多个喷嘴118的X坐标分别与多个被喷出部38的X坐标同时一致的方式，预先设定喷嘴列方向HX和X轴方向之间的角度AN。这样，在1个扫描期间中，就可以同时涂布扫描多个被喷出部38。
而且，根据被喷出部38的形状，由喷出装置100的控制部112提供的喷出数据，从实施例1的喷出数据进行改变。
如图11(d)及(g)所示，喷出装置100在1个扫描期间中，从对应的喷嘴118向被喷出部38喷出液状的配线材料111。此时，如图11(d)及(g)所示，喷出装置100仅向被喷出部38中的宽幅区域38A以规定的间隔喷出液状的配线材料111。而且，当将由喷嘴118喷出后不久的配线材料的液滴向由X轴方向及Y轴方向确定的平面投影时，该被投影的液滴的半径大约为20μm。即，液滴的半径与宽幅区域38A的宽度大致相同。
本实施例中，相对于液状的配线材料111，抗蚀层40D显示疏液性。
另外，树脂黑颜料层40C的相对于液状的配线材料111的疏液性低于抗蚀层40D相对于配线材料111的疏液性。或者说，树脂黑颜料层40C相对于液状的配线材料111呈现亲液性。其原因是，在抗蚀层40D中混有氟聚合物，另一方面，树脂黑颜料层40C不含有氟类聚合物。一般来说，含有氟的树脂的表面与不含氟的树脂的表面相比，相对于实施例1中说明的含有分散剂的配线材料，呈现出更高的疏液性。另一方面，不含氟的树脂的大多数相对于所述液状的配线材料显示亲液性。
由于抗蚀层40D呈现相对较高的疏液性，因此命中被喷出部38后不久的配线材料111的液滴不会超越抗蚀层40D而向被喷出部38之外流动，而是向树脂黑颜料层40C一方流下。另外，由于与支撑基板32接近的层，即树脂黑颜料层40C呈现亲液性，因此即使配线材料未向窄幅区域38B喷出，命中宽幅区域38A的配线材料111也会流入窄幅区域38B。这是因为，因树脂黑颜料层40C产生了毛细管现象。另外，由于由显示所需的疏液性的层和显示亲液性的层形成围堰40，因此就不需要用于使围堰疏液化或亲液化的表面改性工序。例如不需要以四氟甲烷为处理气的等离子处理或氧等离子处理。
本实施例中，作为相对于液状的材料显示疏液性的层的材料，使用混合了氟类聚合物的负型的丙烯酸类化学放大型感光性抗蚀剂。感光特性并不限定于负型，也可以是正型。另外，本实施例中，作为相对于液状的材料显示亲液性的层的材料，使用分散了黑颜料的热硬化型丙烯酸树脂。但是，除了树脂黑颜料以外，还可以将感光性聚酰亚胺、丙烯酸类抗蚀剂、环氧类抗蚀剂作为显示亲液性的层利用。
而且，有时因分散剂的性质，不含氟聚合物的材料也会相对于配线材料111显示出疏液性。在此种情况下，按照与配线材料所含的分散剂相对应，获得所需的疏液性、所需的亲液性的方式，选择材料即可。
利用以上的喷出方法，如图11(e)及(h)所示，不仅在宽幅区域38A上，而且在窄幅区域38B上，都涂布配线材料。
在基体30A的被喷出部38的全部上形成了配线材料111的层的情况下，输送装置170使基体30A位于干燥装置150内。此后，通过使被喷出部38上的配线材料111完全干燥，在被喷出部38上获得地址电极34。然后，输送装置170使基体30A位于烤炉160内。其后，烤炉160对多条栅极线34进行再加热(后加热)。再次加热后的宽幅部34A的厚度及窄幅部34B的厚度都为大约2μm。
利用以上的工序，在基体30A上形成多条栅极线34。其后，利用公知的薄膜形成工序和图案形成工序，从形成了栅极线34的基体30A，获得图12所示的等离子显示装置30。
图12是具有利用制造装置1制造的栅极线34的等离子显示装置30的示意图。等离子显示装置30具有元件侧基板30B、前面基板30C。
元件侧基板30B具有设于支撑基板32的第1面上的偏光板31P、形成于与支撑基板32的第1面相面对的第2面上的多条栅极线34、按照覆盖多条栅极线34的方式形成的氧化膜33、按照覆盖氧化膜33和支撑基板32的方式形成的栅极绝缘膜42、按照覆盖各个栅电极44G的方式位于栅极绝缘膜42上的各个半导体层35。另外，元件侧基板30B在对应的半导体层35上与栅电极44G的一部分重合，同时，具有位于与栅电极44G对应的区域上而相互以规定距离分离的接触层37S及接触层37D、位于接触层37S上的源电极44S、位于接触层37D上的漏电极44D、与漏电极44D连接的源极线46、覆盖源电极44S、漏电极44D和源极线46的保护膜39、位于保护膜39上的聚酰亚胺等层间绝缘层45、在层间绝缘层45上以矩阵状配置的多个象素电极36、覆盖多个象素电极36和层间绝缘层45的取向膜41P。多个象素电极36由ITO(Indium-Tin Oxide)等具有光透过性的材料制成。对取向膜41P，沿规定的方向实施了摩擦处理。在与源电极44S的一部分对应的部分上，设有接触孔(未图示)，借助接触孔内的导电性膜连接有象素电极36和源电极44S。栅电极44G、氧化膜33、半导体层35、一对接触层37S和接触层37D、源电极44S、漏电极44D与开关元件44对应，设于每个象素区域中。而且，与多个象素电极36分别对应的各个区域为象素区域。
前面基板30C具有设于玻璃基板等基板43的第1面上的偏光板31S、位于与基板43的第1面相面对的第2面上并且分别具有与多个象素区域分别对应的多个开口部的黑底47、在黑底47上形成的围堰49B、位于由围堰49B分隔的区域中的多个滤色片层49F、覆盖多个滤色片层49F和围堰49B的保护层OC、位于保护层OC上并且覆盖多个象素电极36的全部的对置电极36C、覆盖对置电极36C的取向膜41S。对取向膜41S沿适合的方向实施了摩擦处理。而且，对取向膜41P实施的摩擦处理的方向和对取向膜41S实施的摩擦处理的方向被按照液晶分子在取向膜41P和取向膜41S之间例如进行TN(Twisted nematic)取向的方式来设定。
在元件侧基板30B和前面基板30C之间，按照与取向层41P和取向层41S接触的方式，设有液晶层30D。而且，图12中，虽然将围堰40去除，但是也可以将围堰40留在液晶显示装置30内。
本实施例中，虽然对液晶显示装置30的栅极线34的制造方法进行了说明，但是即使将本实施例的制造方法应用于液晶显示装置30的源极线46或保持电容用配线等其他的配线中，也可以获得与所述的效果相同的效果。
(实施例1及2的变形例)在实施例1及2中，分别对等离子显示装置的制造方法及液晶显示装置的制造方法进行了说明。更具体来说，对各个显示装置的配线的制造方法进行了说明。但是，实施例1及2的制造方法也可以适用于等离子显示装置及液晶显示装置以外的电子设备的制造方法中。具体来说，如果在作为电子设备的配线的具有宽幅部和窄幅部的配线的制造方法中应用所述制造方法，则可以获得与实施例1及实施例2中说明的效果相同的效果。
本说明书中，所谓「电子设备」是不仅包括等离子显示装置、液晶显示装置、电致发光显示装置、FED(Field Emission display)或SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)的具有电子发射元件的象素显示装置等显示装置，而且还包括IC标记或RFID(Radio FrequencyIdentification)标记等无线标记或半导体装置等的用语。
对将本发明用于电致发光显示装置的制造装置中的例子进行说明。
图13(a)及(b)所示的基体50A是利用后述的制造装置2(图14)进行的处理而成为电致发光显示装置50的基板。基体50A具有配置成矩阵状的多个被喷出部58R、58G、58B。
具体来说，基体50A具有支撑基板52、在支撑基板52上形成的电路元件层54、在电路元件层54上形成的多个象素电极56、在多个象素电极56之间形成的围堰60。支撑基板52是相对于可见光具有光透过性的基板，例如为玻璃基板。多个象素电极56分别是相对于可见光具有光透过性的电极，例如为ITO(Indium-Tin Oxide)电极。另外，多个象素电极56在电路元件层54上被配置成矩阵状，分别限定象素区域。此外，围堰60具有格子状的形状，包围多个象素电极56。另外，围堰60由形成于电路元件层54上的树脂黑颜料层60C、位于树脂黑颜料层60C上的抗蚀层60D构成。
电路元件层54是具有在支撑基板52上沿规定的方向延伸的多个扫描电极、按照覆盖多个扫描电极的方式形成的绝缘膜62、位于绝缘膜62上并且沿与多个扫描电极延伸的方向正交的方向延伸的多个信号电极、位于扫描电极及信号电极的交点附近的多个开关元件64、按照覆盖多个开关元件64的方式形成的聚酰亚胺等层间绝缘层65的层。各个开关元件64的栅电极64G及漏电极64D分别与对应的扫描电极及对应的信号电极电连接。多个象素电极56位于层间绝缘层65上。在层间绝缘层65上，在与多个开关元件64的源电极64S对应的部位上，设有通孔64V，借助该通孔64V内的导电性膜，连接有开关元件64、对应的象素电极56。另外，各个开关元件64位于与围堰60对应的位置上。即，当从与图20(b)的纸面垂直的方向观察时，多个开关元件64分别位于被围堰60覆盖的位置上。
由基体50A的象素电极56和围堰60所限定的凹部(象素区域的一部分)与被喷出部58R、被喷出部58G、被喷出部58B对应。被喷出部58R是应当形成发出红色的波长区域的光线的光的发光层211FR的区域，被喷出部58G是应当形成发出绿色的波长区域的光线的光的发光层211FG的区域，被喷出部58B是应当形成发出蓝色的波长区域的光线的光的发光层211FB的区域。
本实施例的发光层211FR、211FG、211FB是本发明的「层图案」的一个例子。
图13(b)所示的基体50A与由X轴方向及Y轴方向规定的假想平面平行。此外，多个被喷出部58R、58G、58B所形成的矩阵的行方向及列方向分别与X轴方向及Y轴方向平行。在基体50A中，被喷出部58R、被喷出部58G及被喷出部58B沿X轴方向以该顺序周期性地排列。另一方面，被喷出部58R之间在Y轴方向以规定的间隔排成1列，同样，被喷出部58B之间在Y轴方向以规定的间隔排成1列。
被喷出部58R之间的沿X轴方向的间隔LRX大约为560μm。该间隔与被喷出部58G之间的沿X轴方向的间隔LGX相同，与被喷出部58B之间的沿X轴方向的间隔LBX也相同。另外，被喷出部58R的X轴方向的长度大约为100μm，Y轴方向的长度大约为300μm。被喷出部58G及被喷出部58B也具有与被喷出部58R相同的大小。被喷出部之间的所述间隔及被喷出部的所述大小在40英寸左右大小的高清晰电视中对应于与同一颜色对应的象素区域之间的间隔。
图14所示的制造装置2是分别向图13的基体50A的被喷出部58R、58G、58B喷出对应的发光材料的装置。制造装置2具有向被喷出部58R的全部喷出发光材料211R的喷出装置200R、使被喷出部58R上的发光材料211R干燥的干燥装置250R、向被喷出部58G的全部喷出发光材料211G的喷出装置200G、使被喷出部58G上的发光材料211G干燥的干燥装置250G、向被喷出部58B的全部喷出发光材料211B的喷出装置200B、使被喷出部58B上的发光材料211B干燥的干燥装置250B。另外，制造装置2还具有按照喷出装置200R、干燥装置250R、喷出装置200G、干燥装置250G、喷出装置200B、干燥装置250B的顺序输送基体50A的输送装置270。
图15所示的喷出装置200R具有保持液状的发光材料211R的罐201R、从罐201R经过管道210R供给发光材料211R的喷出扫描部102。喷出扫描部102的构成与实施例1的喷出扫描部102(图3)的构成相同，因此对于相同的构成要素使用相同的参照符号，同时，省略重复的说明。另外，喷出装置200G的构成和喷出装置200B的构成都基本上与喷出装置200R的构成相同。但是，取代喷出装置200R的罐201R，喷出装置200G具有发光材料211G用的罐，在这一点上，喷出装置200G的构成与喷出装置200R的构成不同。同样，取代喷出装置200R的罐201R，喷出装置200B具有发光材料201B用的罐，在这一点上，喷出装置200B的构成与喷出装置200R的构成不同。
对使用制造装置2的电致发光显示装置50的制造方法进行说明。首先，使用公知的制膜技术和图案形成技术，在支撑基板52上形成电路元件层54，其后，在电路元件层54上以矩阵状形成多个象素电极56。
首先，对电路元件层54上及象素电极56上进行紫外线清洗。此后，如图16(a)所示，使用旋转涂覆法，按照覆盖电路元件层54上及象素电极56的方式，涂布分散了黑颜料的热硬化型丙烯酸树脂(即树脂黑颜料)。利用该操作，在电路元件层54上及象素电极56上形成树脂黑颜料层60A。
另外，通过按照覆盖树脂黑颜料层60A的方式涂布混合了氟类聚合物的负型的丙烯酸类化学放大型感光性抗蚀剂，在树脂黑颜料层60A上形成抗蚀层60B。而且，本实施例中，有时也将包括电路元件层54及象素电极56的部分表述为「电路基板」。
然后，对抗蚀层60B和树脂黑颜料层60A进行图案处理。具体来说，如图16(b)所示，经由在与要形成发光层211FR、211FG、211FB的区域对应的部位上具有遮光部AB的光掩模PM3，向抗蚀层24B照射光hυ。此后，通过使用规定的蚀刻液进行蚀刻，将未照射光hυ的多个部分，即，与发光层211FR、211FG、211FB对应的部分的抗蚀层60B、对应的树脂黑颜料层60A去除。利用该操作，如图16(c)所示，在电路基板上获得具有包围应当在其后形成的发光层211FR、211FG、211FB的形状的树脂黑颜料层60C和抗蚀层60D。
通过像这样形成位于电路基板上的树脂黑颜料层60C和位于树脂黑颜料层60C上的抗蚀层60D，在所述基板上形成由树脂黑颜料层60C和抗蚀层60D划出的区域(即被喷出部58R、58G、58B)。本实施例中，树脂黑颜料层60C与本发明的「第1层」对应，抗蚀层60D与本发明的「第2层」对应。
本说明书中，有时也将具有此种形状的树脂黑颜料层60C和位于树脂黑颜料层60C上的抗蚀层60D合并，表述为围堰60。根据该表述，通过形成包括树脂黑颜料层60C和抗蚀层60D的围堰60，在电路基板上即形成由围堰60划出的区域，即被喷出部58R、58G、58B。
在被喷出部58R、58G、58B的象素电极56之上，也可以形成对应的空穴输送层57R、57G、57B。空穴输送层57R、57G、57B如果位于后述的发光层211RF、211GF、211BF之间，则电致发光显示装置的发光效率提高。在象素电极56之上设置空穴输送层57R、57G、57B的情况下，由空穴输送层57R、57G、57B、围堰60规定的凹部对应于被喷出部58R、58G、58B。
而且，也可以利用喷墨法形成空穴输送层57R、57G、57B。即，也可以使用喷出装置200，在被喷出部58R、58G、58B上设置空穴输送层57R、57G、57B。此时，对每个象素区域涂布规定量的包含用于形成空穴输送层57R、57G、57B的材料，其后，通过使之干燥，就可以形成空穴输送层57R、57G、57B。
具有被喷出部58R、58G、58B的基体50A由输送装置270向喷出装置200R的台架106搬运。此外，如图16(d)所示，喷出装置200R按照在被喷出部58R的全部中形成发光材料211R的层的方式，从喷头114喷出发光材料211R。在基体50A的被喷出部58R的全部中形成发光材料211R的层的情况下，输送装置270使基体50A位于干燥装置250R内。此后，通过使被喷出部58R上的发光材料211R完全干燥，在被喷出部58R上获得发光层211FR。
然后，输送装置270使基体50A位于喷出装置200G的台架106上。此后，喷出装置200G按照在被喷出部58G的全部中形成发光材料211G的层的方式，从喷头114喷出发光材料211G。在基体50A的被喷出部58G的全部中形成发光材料211G的层的情况下，输送装置270使基体50A位于干燥装置250G内。此后，通过使被喷出部58G上的发光材料211G完全干燥，在被喷出部58G上获得发光层211FG。
然后，输送装置270使基体50A位于喷出装置200B的台架106上。此后，喷出装置200B按照在被喷出部58B的全部中形成发光材料211B的层的方式，从喷头114喷出发光材料211B。在基体50A的被喷出部58B的全部中形成发光材料211B的层的情况下，输送装置270使基体50A位于干燥装置250B内。此后，通过使被喷出部58B上的发光材料211B完全干燥，在被喷出部58B上获得发光层211FB。
本实施例中，相对于液状的发光材料211R、211G、211B，抗蚀层60D呈现疏液性。另外，树脂黑颜料层60C的相对于液状的发光材料211R、211G、211B的疏液性低于抗蚀层60D相对于发光材料211R、211G、211B的疏液性。或者说，树脂黑颜料层60C相对于液状的发光材料211R、211G、211B呈现亲液性。其原因是，在抗蚀层60D中混有氟聚合物，另一方面，树脂黑颜料层60C不含有氟类聚合物。一般来说，含有氟的树脂的表面与不含氟的树脂的表面相比，相对于所述含有分散剂的配线材料，呈现出更高的疏液性。另一方面，不含氟的树脂的大多数相对于所述液状的配线材料显示亲液性。
由于抗蚀层60D呈现相对较高的疏液性，因此刚命中被喷出部58R、58G、58B的发光材料的液滴不会超越抗蚀层60D而向被喷出部58R、58G、58B之外流动，而是向树脂黑颜料层60C一方流下。另外，由于由显示所需的疏液性的层和显示亲液性的层形成围堰60，因此就不需要用于使围堰疏液化或亲液化的表面改性工序。例如不需要以四氟甲烷为处理气的等离子处理或氧等离子处理。
然后，如图17所示，按照覆盖发光层211FR、211FG、211FB及围堰60的方式，设置对置电极66。对置电极66作为阴极发挥作用。其后，通过将密封基板68和基体50A在相互的周边部粘结，即获得图17所示的电致发光显示装置50。而且，在密封基板68和基体50A之间密封有惰性气体69。
在电致发光显示装置50中，从发光层211FR、211FG、211FB发出的光经过象素电极56、电路元件层54、支撑基板52射出。像这样穿过电路元件层54射出光的电致发光显示装置被称为底发光型的显示装置。
在上述实施例中，虽然表示了采用层叠了第1层、第2层的构造的隔壁的例子，但是也可以仅利用第1层形成。
即，通过仅用第1层形成隔壁，对隔壁的亲液性/疏液性的程度进行控制，就可以获得与所示的实施例1至3的构造类似的构造。
例如，在进行疏液处理时，通过处理可以使得隔壁的下层部分亲液性提高，使得隔壁的上层部分比下层部分疏液性更高(即形成疏液性)。
所以，即使利用1层隔壁来形成，通过向宽度较大的区域涂布液滴，也可以使涂布的液体向宽度较小的区域浸透，从而使液体也会填充线宽度较小的区域。隔壁的材料可以使用如前所述的材料。
另外，在对宽度较大的区域进行涂布时，也可以通过沿线宽度方向滴下多个液滴来进行描绘。通过采用此种描绘方法，可以较快地进行对配线宽度大的区域的涂布，同时还可以更快地进行填充。另外，由于可以较快地进行填充，因此也可以较快地进行液体向线宽度较小的区域的填充。
另外，在要形成较厚的膜厚的情况下，可以进行多次如前所述的描绘。具体来说，可以进行多次如图所示的描绘，以及如前所述，进行多次沿线宽度方向滴下多个液滴那样的描绘方法。
上述的描绘方法可以适用于前述的实施例1至3中任意一个中。
权利要求
1.一种层图案制造方法，其特征是，包括通过形成位于基板上的第1层和位于所述第1层上的第2层，在所述基板上形成由所述第1层和所述第2层划出的区域的步骤(a)、和从喷出装置的喷出部向所述区域喷出液状的材料的步骤(b)，所述第1层相对于所述液状的材料的疏液性低于所述第2层相对于所述材料的疏液性。
2.根据权利要求1所述的层图案制造方法，其特征是，所述步骤(a)包括按照使所述区域含有具有第1宽度的第1部分和具有小于所述第1宽度的第2宽度的第2部分的方式，形成所述第1层和所述第2层的步骤(c)，所述步骤(b)包括仅向所述第1部分喷出所述材料的步骤(d)。
3.根据权利要求2所述的层图案制造方法，其特征是，所述第1层相对于所述液状的材料具有亲液性。
4.一种配线制造方法，其特征是，包括通过形成位于基板上的第1层和位于所述第1层上的第2层，在所述基板上形成由所述第1层和所述第2层划出的区域的步骤(a)、和从喷出装置的喷出部向所述区域喷出液状的配线材料的步骤(b)，所述第1层相对于所述液状的配线材料的疏液性低于所述第2层相对于所述配线材料的疏液性。
5.根据权利要求4所述的配线制造方法，其特征是，所述步骤(a)包括按照使所述区域含有具有第1宽度的第1部分和具有小于所述第1宽度的第2宽度的第2部分的方式，形成所述第1层和所述第2层的步骤(c)，所述步骤(b)包括仅向所述第1部分喷出所述配线材料的步骤(d)。
6.根据权利要求5所述的配线制造方法，其特征是，所述第1层相对于所述液状的配线材料具有亲液性。
7.一种电子设备的制造方法，其特征是，包括通过形成位于基板上的第1层和位于所述第1层上的第2层，在所述基板上形成由所述第1层和所述第2层划出的区域的步骤(a)、和从喷出装置的喷出部向所述区域喷出液状的材料的步骤(b)，所述第1层相对于所述液状的材料的疏液性低于所述第2层相对于所述材料的疏液性。
8.根据权利要求7所述的电子设备的制造方法，其特征是，所述步骤(a)包括按照使所述区域含有具有第1宽度的第1部分和具有小于所述第1宽度的第2宽度的第2部分的方式，形成所述第1层和所述第2层的步骤(c)，所述步骤(b)包括仅向所述第1部分喷出所述材料的步骤(d)。
9.根据权利要求8所述的电子设备的制造方法，其特征是，所述第1层相对于所述液状的材料具有亲液性。
全文摘要
一种层图案制造方法，包括通过形成位于基板上的第1层和位于所述第1层上的第2层，在所述基板上形成由所述第1层和所述第2层划出的区域的步骤(a)、和从喷出装置的喷出部向所述区域喷出液状的材料的步骤(b)。此外，所述第1层的相对于所述液状的材料的疏液性低于所述第2层的相对于所述材料的疏液性。由此，可以精度优良地稳定地形成微细化的层图案。
文档编号H01L21/768GK1578598SQ20041006386
公开日2005年2月9日 申请日期2004年7月13日 优先权日2003年7月15日
发明者酒井宽文, 樱田和昭 申请人:精工爱普生株式会社