专利名称：静电吸附载台热循环液流量监测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种静电吸附载台热循环液流量监测装置。
背景技术：
半导体生产设备中，静电吸附载台热循环液的流量大小影响到反应腔 的温度及分布，对于应力、成膜速率、折射率和刻蚀速率都有很大影响。 现有装置对于静电吸附载台热循环液的流量进行监测后，只能对过低流量 进行控制，无法实时观察流量的具体数据。如果要检查流量必须关闭热循 环阀门，把一个专用浮子流量计接到管路中，再打开热循环阀门来观察流 量。观察结束后再把浮子流量计从回路当中拆下。在此过程中，因为热循 环液的关闭打开，会导致反应腔温度下降或者上升，使反应腔内环境受到 影响。在投入正常使用之前必须做先导片进行观察，以保证反应腔内部环 境在正常作业水平。这样步骤非常麻烦，很不方便，由于消耗了导片，因 此提高了生产成本，并且降低了生产效率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，提供一种静电吸附载台热循环液流量 监测装置，能够在生产过程中对静电吸附载台的热循环液流量进行监测， 避免因为对静电吸附载台热循环液流量进行监测而影响正常的生产。
为解决上述技术问题，本发明静电吸附载台热循环液流量监测装置的 技术方案是，包括静电吸附载台本体和多个流量传感器，还包括设置在静
电吸附载台热循环液的管路中，测量静电吸附载台热循环液流量的电子流 量计。
作为本发明静电吸附载台热循环液流量监测装置的进一步改进是，所
述电子流量计的输出反馈信号线连接到一个继电器的控制端，所述继电器 的开关一端连接至所述流量传感器的报警信号输入端，所述流量传感器连 接有故障报警电路。
本发明通过在静电吸附载台热循环液的管路中设置电子流量计，实现 了在生产过程中对静电吸附载台的热循环液流量进行监测，避免了由于静 电吸附载台的热循环液流量的监测而对反应腔的温度造成影响，从而导致 正常的生产工作无法进行，使的生产过程中可以随时监测静电吸附载台的 热循环液流量，提高了工作效率。
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明
附图为本发明静电吸附载台热循环液流量监测装置的电路示意图。
具体实施例方式
本发明静电吸附载台热循环液流量监测装置，包括静电吸附载台本体 和多个流量传感器，另外还包括设置在静电吸附载台热循环液的管路中， 测量静电吸附载台热循环液流量的电子流量计。
所述电子流量计设置有显示流量数据的显示器，使得热循环液的流量 能够随时被显示出来。
所述电子流量计的输出反馈信号线连接到一个继电器的控制端，所述
继电器的开关一端连接至所述流量传感器的报警信号输入端，所述流量传 感器连接有故障报警电路。
具体来说，本发明静电吸附载台热循环液流量监测装置如附图所示，
包括静电吸附载台本体A和流量传感器2、 3、 4,以及电子流量计l。所述 静电吸附载台本体A的端口 P7包括有多个接线，其中包括与电源连接的接 线5、 9、 11、 7，以及接地的接线6、 10、 12、 8。所述流量传感器2监测 反应腔的流量，流量传感器3监测静电吸附载台的流量，流量传感器4监 测分子泵的流量。这三个流量传感器都是静电吸附载台本来就有的，但是 它们的功能却非常有限。如图所示，所述流量传感器2、 3、 4分别通过接 口控制电路21、 31和41连接到所述静电吸附载台本体A上。现以接口控 制电路21为例，所述接口控制电路21与所述静电吸附载台本体A相连接 的接口P2包括有4条接线，其中，接线3接电源，接线4接地，接线l和 接线2是所述接口控制电路21中一个继电器K2开关的两端，其中任一个 可作为报警信号输入端，另外一个就作为报警信号输出端，所述继电器K2 的线圈的两端(即控制端)连接到所述接口控制电路21的控制电路上，所 述控制电路从流量传感器2采集流量信号，然后根据流量传感器的流量信 号，控制继电器K2开关的状态。所述接口控制电路31和41与所述接口控 制电路21的结构相同，也包括有各自的继电器K3和K4，这里不再赘述。
本发明包括一个设置有显示流量数据的显示器的电子流量计1，所述电 子流量计1设置在静电吸附载台热循环液的管路中。所述电子流量计1可 采用由SMC制造的型号为PFW720-04-27的电子流量计，并且该电子流量计1还要有一反馈信号线。所述电子流量计的端口 Pl中，接线3连接电源， 接线4接地，而接线2为反馈信号线，通过P7 口的接线26连接到继电器 Kl的控制端，通过接线2信号的变化来控制继电器Kl开关的状态。
所述电子流量计以及各接口控制电路的电源连接如下Pl 口的接线3 连接到P7 口的接线5， Pl 口的接线4连接到P7 口的接线6; P2 口的接线3 连接到P7 口的接线9， P2 口的接线4连接到P7 口的接线10; P3 口的接线 3连接到P7 口的接线ll， P3 口的接线4连接到P7 口的接线12; P4口的接 线3连接到P7 口的接线7, P4 口的接线4连接到P7 口的接线8。
所述继电器Kl的开关一端连接到电源，另外一端通过P7 口的接线27 连接到所述接口控制电路21的报警信号输入端P2 口的接线1;所述接口控 制电路21的报警信号输出端，也就是P2口的接线2，依次通过P7口的接 线28和接线29连接到所述接口控制电路31的报警信号输入端P3 口的接 线l;所述接口控制电路31的报警信号输出端，也就是P3口的接线2，依 次通过P7 口的接线30和接线31连接到所述接口控制电路41的报警信号 输入端P4 口的接线1;所述接口控制电路41的报警信号输出端，也就是 P4口的接线2，通过P7端口的接线32连接到所述报警电路。实际上，通 过上述连接，使得继电器K1、 K2、 K3和K4的开关相互串连在一起，然后 连接到报警电路。
正常情况下，所述电子流量计1的反馈信号使继电器K1的开关处于闭 合状态，而接口控制电路21、 31和41都使其各自控制的继电器K2、 K3和 K4处于闭合状态，这时报警信号输出端输入给报警电路的信号为高电平。
如果某一流量传感器的信号表示流量过低，则与该流量传感器相连接的接 口控制电路就使得其所控制的继电器的开关断开，这样报警信号输出端的 输出信号就发生变化，从而引起报警电路报警。如果所述电子流量计1监
测到流量过大，所述则电子流量计1的反馈信号发生变化，使得继电器K1 的开关断开，这时报警信号输出端的输出信号就发生变化，从而引起报警 电路报警。
本发明通过在静电吸附载台热循环液的管路中设置电子流量计，使得 对热循环液流量的监测不必打开设备的管路，实现了在生产过程中对静电 吸附载台的热循环液流量进行监测，避免了由于静电吸附载台的热循环液 流量的监测而对反应腔的温度造成影响，从而导致正常的生产工作无法进 行，使的生产过程中可以随时监测静电吸附载台的热循环液流量，提高了 工作效率。
权利要求
1.一种静电吸附载台热循环液流量监测装置，包括静电吸附载台本体和多个流量传感器，其特征在于，还包括设置在静电吸附载台热循环液的管路中，测量静电吸附载台热循环液流量的电子流量计。
2. 根据权利要求1所述的静电吸附载台热循环液流量监测装置，其特 征在于，所述电子流量计设置有显示流量数据的显示器。
3. 根据权利要求1所述的静电吸附载台热循环液流量监测装置，其特 征在于，所述电子流量计的输出反馈信号线连接到一个继电器的控制端， 所述继电器的开关一端连接至所述流量传感器的报警信号输入端，所述流 量传感器连接有故障报警电路。
全文摘要
本发明公开了一种静电吸附载台热循环液流量监测装置，包括静电吸附载台本体和多个流量传感器，还包括设置在静电吸附载台热循环液的管路中，测量静电吸附载台热循环液流量的电子流量计。本发明通过在静电吸附载台热循环液的管路中设置电子流量计，实现了在生产过程中对静电吸附载台的热循环液流量进行监测，避免了由于静电吸附载台的热循环液流量的监测而对反应腔的温度造成影响，从而导致正常的生产工作无法进行，使得生产过程中可以随时监测静电吸附载台的热循环液流量，提高了工作效率。
文档编号H01L21/00GK101202204SQ200610147329
公开日2008年6月18日 申请日期2006年12月15日 优先权日2006年12月15日
发明者炜 王, 谢伟皓 申请人:上海华虹Nec电子有限公司