专利名称：间隙检测及修正装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种间隙检测及修正装置，特别涉及利用数个检测 元件检测板材的数个部位的高度，以分别修正该板材与光罩的间的高度 误差，进而获得较佳的曝光精度及品质的间隙检观'J及修正装置。
技术背景常用板材曝光装置，如图1及图2所示，其包含支撑座91,其承 载板材92。该板材92通常包含塑胶层921、至少黏结层922 、至少一 层铜层923及至少一层感光层924。当该板材92的感光层924进行曝 光的前，其将光罩93直接贴附于该板材92的感光层924表面，以便利 用照射光源〔未绘示〕照射该光罩93，进而对该感光层924进行曝光 作业。虽然上述板材曝光装置确实可相对减少该光罩93及板材92的感光 层924的间的间隙误差，进而相对提升曝光效果。然而，在实际使用上， 由于该板材92的塑胶层921、翻结层922 、铜层92 3及感光层924系分 别具有厚度误差，因此当上述各层压合形成该板材92的后必然具有厚 度误差，其造成该板材92的上表面各部位的实际高度值不完全相同。 此外，由于该板材92的各层的间可能具有结合间隙，因而相对增加该 板材92的总厚度误差，进而造成该光罩93与照射光源的间产生距离误 差，或者该光罩93相对水平面产生倾斜角〔未绘示〕，以致相对降低该 板材92的曝光效果。再者，由于该光罩93系直接贴附于该板材92表 面，因而容易沾附该板材92表面的微尘而造成污染，进而相对降低后 续再次使用时的曝光效果。另外，该光罩93反复在板材92表面进行贴 附及撕除动作，因而在长期使用下容易造成该光罩93图案受损，
进而相对降低该板材92的曝光精度及品质。因此，其确实有必要进一步改良上述板材曝光装置。 实用新型内容本实用新型的目的是解决上述问题，提供一种间隙检测及修正装置， 利用数个检测元件分别检测板材的数个部位和光罩及支撑座相应位置的相 对高度，消除板材和光罩的摩擦，提升曝光精度及品质的功效。为了实现上述目的，本实用新型提供的技术方案是 一种间隙检测及 修正装置，包含支撑座、检测单元、升降单元、光罩座及调距单元；支 撑座用以承载板材；检测单元检测板材的中心部位及数个角的高度；升 降单元根据检测单元的检测结果调整该支撑座的高度；光罩座用以承载 光罩；调距单元根据检测单元的检测结果调整该光罩座的数个角的相对高度。本实用新型确保光罩及板材的间具有相等及固定的距离，消除板材 和光罩的摩擦，提升曝光精度及品质。
图1为间隙检测及修正装置的立体图；图2为间隙检测及修正装置的局部剖视图；图3为间隙检测及修正装置的立体示意图；图4为间隙检测及修正装置的投料阶段的侧视示意图；图5为隙;险测及修正装置的板材修正阶段的侧视示意图；图6 为间隙检测及修正装置的光罩对位阶段的侧视示意图。
具体实施方式
为让本实用新型的上述目的、特征、优点能更明显易懂，以以下实施例，并配合附图，作详细说明如下如图3、 4所示，本实用新型的间隙检测及修正装置，其包含支撑 座1、检测单元3、光罩座4及数个调距单元6,用以调整板材2与光 罩座4之间的相对位置；本间隙检测及修正方法包含三个过程阶段 〔1〕、投料阶段支撑座1承载、定位至少一块板材2，以便带动该板 材2在各个过程阶段的间移动。〔2〕、板材修正阶段检测单元3检测 板材2上表面的数个部位的高度，进而垂直调整该支撑座l，如此可将 板材2调整至特定高度。〔3〕、光罩对位阶段光罩座4用以固定光罩 5,且调距单元6用以调整光罩座4的数个部位的相对高度，以确保光 罩5与板材2之间的每个部位具有相等及固定的距离，进而相对提升后 续曝光精度及品质。如图3、 4所示，本实用新型的间隙检测及修正装置的支撑座1具 有升降单元11，以便带动该支撑座1进行垂直升降动作，该升降单元 11可应用常用的升降构造。此外，支撑座1设置吸附装置；该吸附装 置设有真空吸盘座〔未绘示〕；该真空吸盘座的表面开设数个吸附孔〔未 绘示〕。该真空吸盘座连接吸风装置〔未绘示〕，以便经由该吸附孔吸附 定位该板材2及进行操作。如图3、 4图所示，本实用新型的间隙检测及修正装置的板材2为 软性电路板；该板材2为由第一铜层、塑胶层、黏结层、第二铜层及感 光层〔未绘示，请参照图2所示〕共同组成。该感光层位于该板材2 的上表面〔即远离该支撑座1的一侧〕，且该感光层为正型光阻感光层 或负型光阻感光层，以便进行后续曝光作业。
如图3、 4所示，本实用新型的间隙检测及修正装置的检测单元3 包含数个检测元件31至35，该检测元件31至35为测距装置，雷射测 距装置等光学测距装置。该lt个^r测元件31至35分别对应于该板材2 的中心部位cl及周围部位〔例如四个角c2至c5〕，例如该4全测元件31 对应于该板材2的中心部位cl,且该;险测元件32至35对应于该板材2 的四个角c2至c5,以纟企测该板材2各部位及斥企测元件3之间的相对距 离，以便后续进行高度调整及修正。如图3、 4所示，本实用新型的间隙检测及修正装置的光罩座4对 应于该支撑座1且用以承载光罩5,且该光罩座4的四个角(或数个角 )系分别结合该调距单元6，以便调整该光罩座4的垂直位置。每个该 调距单元6设有驱动元件61及微调元件62;该驱动元件61为驱动马 达，该微调元件62为螺杆；每个驱动元件61通过其对应的微调元件 62，带动该光罩座5的其中的一角进行垂直^t调的升降运动。如图4、 5、 6所示，本实用新型实施例进行间隙检测及修正动作时， 其包含步骤〔1〕、如图4所示，该投料阶段该板材2系吸附定位于 该支撑板l上，且由该投料阶段的搡作运送至该板材修正阶段。〔2〕、 如第5所示，该板材修正阶段该数个检测元件31至35分别检测与该 板材2的数个部位〔即中心部位cl及角c2至c5〕的相对距离；接着， 该支撑座1的升降单元11根据上述检测结果带动该支撑座1上升或下 降至特定高度，以完成初步高度调整；同时，该特定高度可选择以该检 测元件31 〔位于中心部位cl〕的检测结果作为调整基准；或者，选择 以该检测元件31至35 〔位于角c2至c5〕的检测结杲的平均值作为调 整基准；接着，再将该支撑座1及板材2搬运至光罩对位阶段的操作； 〔3〕、如图6所示，该光罩对位阶段该板材2虽经由上述板材修 正阶段进行初歩高度调整，但由千该板材2(或支撑座1 )的表面可能 存在歪斜，因此光罩5的四个角及该板材2的对应的四个角隅的间仍可 能具有微小的一高度误差值d2至d5。例如，该光罩5及板材2的间在 角c2处的距离相对于在中心点cl处具有误差值d2,在角c5处分别具 有误差值d5,其余角c3及c4亦分别具有误差值(未标示)；因此， 该调距单元6带动该光罩5对应于角c2至c5的部位进行高度微调，以 便消除误差值d2至d5。由此，该光罩5的任何部位相对于该板材2的 对应部位具有相等及固定距离。如此，即完成本实用新型的间隙检测及 修正，因而可确保后续曝光品质。
如上所述，相较于常用间隙检测及修正装置的光罩93直接贴附于 板材92表面，因而未能针对该板材92本身的厚度误差进行调整修正， 以致光罩93产生倾斜或与该照射光源〔未绘示〕的间产生距离误差， 进而相对降低后续曝光品质等缺点。本实用新型利用数个检测元件31 至35检测板材2表面数个部位的高度，且根据检测结果进行初步高度 调整及进一步高度微调，以修正该板材2及光罩5的高度误差，因此， 本实用新型确实可相对提升曝光精度及品质。同时，由于光罩5不需直 接接触板材2的表面，因此可确保光罩5不沾染微尘或污物，避免了光 罩5的图案毁损，并相对延长光罩5的使用寿命。
权利要求1、一种间隙检测及修正装置，其特征在于该装置包括支撑座，其用以承载板材；检测单元，其设有数个检测元件，每个检测元件对应于所述的板材的一个特定部位；升降单元，其根据所述的检测单元的检测结果带动支撑座上升或下降；光罩座，其用以支撑光罩，以便光罩对应于该支撑座上的板材；调距单元，其根据该检测单元的检测结果调整光罩及板材的相对距离。
2、 根据权利要求1所述的间隙检测及修正装置，其特征在于所述的 -险测单元的数个#:测元件分别与所述的板材的中心部位及数个角相对应。
3、 根据权利要求1所述的间隙检测及修正装置，其特征在于所述的 调距单元具有数个驱动元件及数个微调元件；所述的驱动元件驱动对应 的微调元件；进行高度修正的所述微调元件分别带动光罩座的数个角。
4、 根据权利要求1所述的间隙检测及修正装置，其特征在于所述的 支撑座设有吸附装置。
5、 根据权利要求4所述的间隙检测及修正装置，其特征在于所述 的吸附装置设有一个真空吸盘座；所述的真空吸盘座的表面设有数个吸 附孔，真空吸盘座连接一个吸风装置。
专利摘要本实用新型公开了一种间隙检测及修正装置，该装置包含支撑座、检测单元、升降单元、光罩座及调距单元；所述的支撑座用以承载板材；所述的检测单元检测所述的板材的中心部位及数个角对支撑座的相对高度；所述的升降单元根据检测单元的检测结果调整支撑座的高度；所述的光罩座用以承载光罩；所述的调距单元根据检测单元的检测结果调整光罩座的数个角对板材的相对高度，因此，可确保光罩及板材之间具有相等及固定的距离，进而相对提升后续曝光品质。
文档编号H01L21/02GK201017173SQ200620158320
公开日2008年2月6日 申请日期2006年11月13日 优先权日2006年11月13日
发明者周进德 申请人:顶瑞机械股份有限公司