专利名称：一种增强型氮化镓hemt器件结构的制作方法
技术领域：
这项发明涉及宽禁带半导体氮化镓HEMT(高电子迁移率晶体管)器件。具体来说，这项发明涉及
到利用多层氮化镓材料的极化特性产生增强型沟道场效应晶体管的器件结构设计。
背景技术：
1. 第三代半导体諷化镓(GaN)的介质击穿电压远远高于第一代半导体硅(Si)或第二代半导体砷化镓 (GaAs),高达3MV/cm,使其电子器件能承受很高的电压。氮化镓异质节结构的沟道具有很髙的电子浓 度和电子迁移率，这意味着氮化镓高电子迁移率晶体管(HEMT)的能在髙频率导通高电流，并具有很低 的导通电阻。另外，氮化镓是宽禁带半导体，能工作在较高的温度。这些特性使效化細EMT特别适用 于制造高频的高功率射频器件和高耐压的开关器件。
2. 因为由压电极化效应和自发极化效应产生的AlGaN/GaN异质节沟道具有极高的二维电子气(2DEG)电 子浓度，通常氮化镓HEMT器件是耗尽型场效应管，或称为常开器件。与常开器件相对应的是常关器件， 或称为增强型器件。耗尽型器件的应用有局限性。在功率射频领域，耗尽型器件必需采用负电压偏置 栅极，要求系统提供一个完全独立的电源系统。在电能转换领域，耗尽型开关器件不仅需要上述独立 的负偏压系统，总体系统安全性还要求这个负偏压系统的运行先于电源通电。所以有必要实现增强型 的氮化镓HEMT来避免系统启动和模式转换时的导通损毁。
3. 现今比较常见的实现增强型氮化镓HEMT的方法有沉栅结构和栅极金属接触区氟等离子轰击处理等。 (图1)为沉栅结构氮化镓HEMT。生长氮化镓材料的基片12 —般是S即phire， SiC或硅。成核层13生 长在基片12上；GaN外延层101生长在成核层13上；AlGaN层102生长在GaN外延层101上。这 时，二维电子气(2DEG) 107会出现在AlGaN和GaN之间的界面处，形成沟道。两个欧姆接触分别形成场效应管的源极22和漏极23。在源极22和漏极23之间的区域，AlGaN被刻蚀成槽，然后金属栅 极104形成在刻蚀槽内。当AlGaN层足够薄时，2DEG会耗尽，所以栅极下沟道内108没有电子。这 种结构的沟道是关断的，称之为增强型场效应管。由于AlGaN层中极强的极化电场，即使AlGaN的厚度 很薄，沟道内也会产生电子，所以在沉栅结构的增强型器件中，栅极金属下的AlGaN层的厚度一般必 需用干法刻蚀减小到3nm到5nm以下。将刻蚀控制在这么高的精度非常困难，器件的夹断电压会有很大 的波动。另外，闪为夹断屯压低，这种结构的夹断效果有限，在零偏置时还会有少暈沟道泄漏电流。 在高电压运行时，这些沟道泄漏电流容易引起器件烧毁。所以，这种器件结构并不实际。
4.(图2)为用氟等离子轰击处理栅极金属接触区后形成的增强型氮化細EMT。形成源极22和漏极23之 前的工艺和制造沉栅结构氮化镓HEMT的工艺一样。形成源极和漏极之后，在沉积金属栅极114之前 用氟等离子轰击形成栅极之下的区域。受到氟等离子轰击的AlGaN层115的晶体结构被破坏，导致其 下沟道内的电子耗尽118，形成增强型场效应管。因为晶体结构被破坏，这种器件的可靠性还没有得 到验证。另外，氟原子很小。当器件长期运行在高温高电压条件下，氟原子可能从AlGaN中释放出来。 增强型管可能会反转成耗尽型管，导致使用该器件的系统失效损毁。
发明内容
1.(图3)为本发明氮化镓增强型场效应管结构。生长氮化镓材料的基片12 —般是Sapphire, SiC或硅。 成核层13生长在基片12上；与以往氮化镓器件结构不同的是，本发明使用AlGaN作为器件的缓冲 层14，而不是用GaN。在缓冲层上是GaN沟道层15。沟道层上是双层AlGaN隔离层，分为第二层AlGaN 16和第三层AlGaN 17。第三层AlGaN 17的铝组分含量高于第二层AlGaN 16铝组分含量。两个欧姆 接触分别形成场效应管的源极22和漏极23。在源极22和漏极23之间的区域，第三层AlGaN被 刻蚀出槽，然后金属栅极24形成在刻蚀槽内。最后，可在器件上沉积一层SiN等介质对器件进行钝化保护。
2. (图3)显示的栅极24是一种场板结构。栅极金属可以在AGaN层刻槽后沉积，也可以在刻槽时用自 对准的方法沉积实现。如果不采用场板结构，也可以采用类似于(图l)中的沉栅结构，则栅极金属用 自对准的方法沉积。
3. 在栅极刻槽时，可以优化干法刻蚀的条件使AlGaN层上的刻槽带有斜坡，从而优化沟道内的电子分布, 以提高器件的击穿电压。
4. (图4)为制造本发明氮化镓增强型场效应管使用的材料结构。成核层13 —般是AlGaN或A1N,然后 过渡到缓冲层AlGaN 14的铝组分。缓冲层AlGaN' 14的铝组分应约为5%至15%，其厚度在lum至3um 左右。GaN沟道层15的厚度在30nm左右。因为GaN的晶格常数大于AlGaN，在缓冲层AlGaN 14上 生长的GaN具有压縮应力。GaN沟道层15的厚度不能太厚，不应使该层GaN晶体松弛， 一般在IO咖 至30nm左右。第二层AlGaN 16的铝组分和缓冲层AlGaN 14的铝组分接近，其厚度在20nm左右。第 三层AlGaN 17的铝组分高于第二层AlGaN 16，铝组分约为25%至45%,其厚度在30咖左右。
5. (图5)显示在栅极刻槽区域沟道内32的二维电子气(2DEG)被完全耗尽，而在没有刻槽的沟道接入区 33还存在2DEG。(图6)和(图7)分别解释了这两种不同情况的形成机理。
6. (图6)为(图5)器件结构中在栅极刻槽区域按A-A'横截面的半导体能带结构。如上所述，GaN沟道层 15的厚度比较薄，该层GaN晶体没有松弛，还维持了其下缓冲层AlGaN 14的晶格常数。第二层AlGaN 16继续维持了该晶格常数。因为第二层AlGaN 16的铝组分和缓冲层AlGaN 14的铝组分接近，其中 基本不存在压电极化电场，而只有自极化电场。所以第二层AlGaN 16中的总极化电场远低于通常的 氮化镓HEMT结构中AlGaN层。如果第二层AlGaN 16中没有故意N型搀杂，则需要很大的厚度才能在 沟道内诱导出2DEG。相对于(图l)中以前的设计，栅极金属下的第二层AlGaN 16可以保留在20nm左右，刻蚀控制比较容易。通过选择合适的第二层AlGaN 16厚度，可以实现较高的夹断电压，并且夹 断电压的波动较小。较高的夹断电压意味着低沟道泄漏电流。
7. (图7)为(图5)器件结构中在沟道接入区域按B-B'横截面的半导体能带结构。因为第三层AlGaN17的 铝组分高于第二层AGaN 16的铝组分，其中既存在自极化电场，也有压电极化电场。该强电场使第 三层AlGaN 17的导带随着其厚度增加而迅速抬高。当材料表面的中间能带高于费米能带时，沟道内 开始出现诱导电子2DEG。
8. 本发明的一种变形是将第三层AlGaN 17的铝组分设计成渐变结构，从下往上铝组分逐渐提高。这样 做的好处是第三层AlGaN 17的厚度可以更厚，适合于形成(图3)所示的场板栅极结构。
9. 本发明的另一种变形是在第二层AlGaN 16和第三层A]GaN 17之间加入一层刻蚀停止层18(etch st叩 layer),如(图8)所示。刻蚀停止层一般采用A1N或高铝组分AlGaN,厚度在广3nm左右。在使用RIE 干法刻蚀栅极刻槽时，由于AlN的刻蚀速度比较低铝组分的第三层AlGaN的刻蚀速度慢，刻蚀停lh位 置可比较准确的定位于这层A1N的深度。准确的刻蚀控制能减小器件夹断电压的波动，提高产品的成 品率。
10. 本发明的另一种变形是采用MISFET(Metal-Insulato广Semiconductor Field-Effect-Transistor，金 属绝缘体场效应晶体管)结构，如(图9)所示。在第三层AlGaN 17上栅极刻槽之后，栅极金属沉积之 前，先沉积一层SiN等介质绝缘体19，厚度在5 15咖左右。这一层介质既作为器件的钝化层，又是 栅极绝缘层，可有效降低栅极的漏电电流。
11. 本发明的另一种变形是双重场板结构，如(图IO)所示。在这种结构中绝缘体20的厚度在5(T200nm左 右，材料为SiN等介质。绝缘体20上的刻槽在第二层AlGaN17刻槽之上，并且比第三层AlGaN 17刻 槽稍宽。栅极金属沉积覆盖住这两个刻槽，在这两个刻槽的边沿形成双重场板结构。双重场板结构可以进一步提高器件的击穿电压。
图l:以前的设计沉栅结构增强型叙化镓HEMT
图2:以前的设计栅极金属接触区氟等离于轰击处理产生的增强型fe化镓HEMT
图3:本发明氮化镓增M场效应管结构
图4:制造本发明氮化镓增强型场效应管使用的材料结构
图5:沟道耗尽区和沟道接入区2DEG示意图
图6:栅极刻槽区域按A-A'横截面的半导体能带结构
图7:沟道接入区域按B-B'横截面的半导体能带结构
阁8:本发明的一种变形使用刻蚀停止层准确控制刻蚀深度
图9:本发明的一种变形MISFET结构
图10:本发明的一种变形双重场板结构
权利要求
1. 本发明适用于增强型氣化镓HEMT器件的设计。
2. 采用AlGaN作为器件的缓冲层，而不是用GaN。这层AIGaN的铝组分约为5%至15%。
3. 在AIGaN缓冲层上采用GaN作为沟道层。这层GaN的厚度应保证其本身不会因压縮应力而晶格松弛， —般在10nra至30nm左右。
4. GaN沟道层上的隔离层为双层AlGaN结构。"F面与GaN沟道层接触的AlGaN层铝组分与AlGaN缓冲层 的铝组分接近，其厚度在20nm左右。上面的AlGaN层铝绍分要大于下面的AlGaN层铝组分，约为25% 至45*，其厚度在30nm左右。
5. 在源极和漏极之间，用干法刻蚀将最上一足高铝组分AlGaN层刻蚀出槽，栅极金属沉积在刻槽中。刻 槽下的沟道内的电子被耗尽，形成增强型HEMT结构。
6. 基于权利要求4的结构，最上面的AlGaN层釆用铅组分从卜往上逐渐提髙的渐变结构。
7. 基于权利要求5的结构，栅极刻槽带有斜坡，从而优化沟道内的电子分布，以提髙器件的击穿电压。
8. 基于权利要求4的结构，在双层AlGaN中插入一层AlN刻蚀停止层，在栅极刻槽时用于准确控制刻蚀 深度。
全文摘要
本发明介绍了利用多层氮化镓材料的极化特性产生增强型沟道场效应晶体管的器件结构设计。该器件结构采用AlGaN作为器件的缓冲层，其上是GaN沟道层。沟道层上是双层AlGaN隔离层，其中下层AlGaN的铝组分与AlGaN缓冲层的铝组分接近，而上层AlGaN的铝组分更高。两个欧姆接触分别形成器件的源极和漏极。在源极和漏极之间用干法刻蚀将最上一层高铝组分AlGaN层刻蚀出槽，金属沉积在刻槽中形成栅极。刻槽下的AlGaN层因为极化电场不强，无法在沟道中诱导出二维电子气。沟道在此处被夹断，形成增强型场效应晶体管，或称为常关器件。
文档编号H01L29/778GK101312207SQ20071001789
公开日2008年11月26日 申请日期2007年5月21日 优先权日2007年5月21日
发明者张乃千 申请人:张乃千