专利名称：用于稳定结合界面的热处理的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在衬底上制造包含半导体材料薄层的结构的方
法，包括以下步骤
在施主衬底的厚度中制备脆性区域； 将施主衬底和支撑衬底进行结合；
在脆性区域的水平面上分离施主衬底，将施主衬底的一部分转移 到支撑衬底上以在该支撑衬底上构成薄层；
对在支撑衬底上具有薄层的该结构体进行热处理，以稳定薄层和 支撑衬底之间的结合界面。
本发明还涉及到由该工艺所得到的结构。
背景技术：
以上提及的这种方法为众所周知，比如Smart CutTM法，它对应
于本发明的一种优选实施方式。
关于Smart Cut 法的其他细节见文献"Silicon-on-Insulator Technology: Materials to VLSI, 2nd Edition", Jean-Pierre Colinge著， Kluwer Academic Publishers, 第50-51页。
这些方法可以方便地在支撑衬底上制造包含半导体材料的薄层 的结构，尤其是对于绝缘层插在薄层和支撑衬底间的绝缘体上硅 (SeOI; Semiconductor on Insulator)型的结构。
由这些方法得到的结构用于微电子应用、光学和/或光电子领域， 薄层典型地用作有源层以形成器件。
薄层和支撑衬底之间的结合界面的稳定性是必需的，以使分离后 得到的结构呈现出与本发明的应用领域的需求和规范相一致的机械特 性和电气特性。
特别是该方法确保了薄层和支撑衬底间的强粘合性。如果没有这 种粘合性的话，在形成电子部件的后续步骤中存在的风险有可能导致 薄层在结合界面的水平面上发生剥离。
在这一方面表明，在没有至少对结合界面进行强化处理的情况
下，直接在分离后将根据Smart CutTM法形成的结构浸没入HF池中， 会导致薄层在结构边缘部分的径向分离超过几微米，甚至薄层整体分 离。
另外，结合接合的水平面处的结合质量很有可能改变薄层中载流 子的行为。为了确保得到满意的和可重现的电气性能，很有必要使结 合界面稳定。
可以通过制造结构的裂面并用Wright型溶液蚀刻结合界面(对 于SKVSi界面大概需要10秒钟)来描述薄层/支撑衬底结合界面稳定 性是否恰当。如果结合界面不稳定或者稳定性很差，那么蚀刻会在界 面的水平面处揭示出很多缺陷，甚至造成界面的完全腐蚀。相反地， 如果结合界面非常稳定，就不会出现缺陷。
更确切地说，本发明认为一旦正确地稳定了结合界面，通过扫描 电子显微镜(SEM)观察Wright蚀刻后的结合界面，比如观察3个 区域，每个区域宽度为3jun，平均每个区域中的缺陷数量小于等于l。
3个区域(每个宽度为3nm)都没有出现缺陷的结合界面被认为 是完全稳定的。
每个区域(每个宽度为3nm)出现1个缺陷的结合界面认为是弱 稳定的。尽管如此，这种弱稳定性还是满足本发明相关应用领域的。
最后，每个区域(每个宽度为3nm)出现多于l个缺陷的结合界 面被^人为是不稳、定的。
附图la表示完全稳定的且没有任何缺陷的BOX (埋入氧化物) 氧化物/珪Si界面。另一方面，附图lb表示不够稳定的BOX/砝Si界 面，表示了在Box氧化物层和Si衬底间的缺陷区域Zd，这个缺陷区 域Zd表现出Wright蚀刻出现的缺陷(根据SEM观察其数量远多于 1个缺陷/区域)。
部分解决方法被提出来解决结合界面稳定性问题。这些方法推荐 在施主衬底和支撑衬底间产生"强"结合，典型地通过在结合阶段和分
离阶段之间热注入(heat injection),或者甚至在结合阶段之前对被 结合界面的一个和/或另一个进行预处理。
这些方法可以通过增加施主衬底(以及薄层)和支撑衬底间的结 合能来强化结合。结合强化是一个微观现象并且结合能可以用机械方 法测量，比如用Maszara刀片(blade)技术。
这项技术的描述可参见"Silicon-On-Insulator by Wafer Bonding: A Review，，，by W.P. Maszara, in J. Electrochem. Soc. ， Vol. 138; No. 1， January 1991。
但这些解决方法不能使得结合界面稳定；稳定性是一个微观现 象，它反映了在安装在整个界面上的两个村底之间的原子键(共价键) 的均匀建立。如前所述，这些共价键只要没成键，哪怕是局部的，就
会通过Wright溶液蚀刻以化学方式表现出来。
换句话说，稳定的结合界面需要表现出高结合能，但是反之却不 成立。
为了使薄层和支撑村底之间的结合界面产生真正的稳定性，当前 典型的做法是对分离并将薄层从施主衬底移到支撑衬底后得到的结构 进行热处理。
更确切地说，这种热处理是将分离后得到的结构在至少iooo'c的 温度下进行数小时的炉内退火。
这种长持续时间的热处理在接下来的说明中被称为"稳定性退火"。
举个例子，就Si02/Si结合而言(Si02层典型地形成于施主衬底 的表面，用来在薄层和Si支撑衬底之间起到绝缘层的作用)，稳定性 退火包括将分离后得到的结构体在1100"的温度下暴露2小时，
另外，可以参看文献US6，403，450，其中记栽了稳定性退火的例子。
尽管如此，实施如此长持续时间的稳定性退火来稳定结合界面的
方法，其效果并不能完全令人满意。首先，薄层可能无法承受数小时的炉内稳定性退火。举个例子， 这种应用于硅薄层约束的退火很可能在薄层的厚度中产生位错型缺陷 从而导致约束的松弛。另外，稳定性退火是一个长时间(数小时)的操作，结果造成大 量热量消耗(温度/持续时间对)问题。因此，稳定性退火使得制造在 支撑衬底上具有薄层的结构的工艺变得复杂，并且增加了这种结构的 生产成本。再者，稳定性退火很可能因其实现所需的装置导致这种在支撑村底上具有薄层的结构的质量降低。事实上，当温度超过1000。C的时候，由于约束区的出现很可能产生"滑移线，，型缺陷，约束区一般位于结构 体和装置(被称为"舟")之间的接触点末端的水平面上，该装置用于 支撑炉内的结构体。此外，有证据表明这种薄层质量下降现象(比如因产生滑移线) 会在稳定性退火和其他热处理方法结合起来使用时被加重(比如与快速热退火结合起来用的时候，见文献US 2005/0042840 )。这种组合事 实上会产生最终联合起来降低薄层的质量的持续的热源约束。因此需要有一种技术来替代在温度至少IOOO'C的炉内实施数小 时的分离后稳定性退火，更确切地说，需要一种技术，它允许使薄层 和其上被转移了所述薄层的支撑衬底间的结合界面稳定化而不存在上 面提到的这些缺点。发明内容本发明旨在迎合这种需要并提出了一种方法来制造一种在衬底 上具有半导体材料的薄层的结构，包括以下步骤 在施主衬底的厚度中产生脆性区域； 将施主衬底和支撐衬底进行结合；在脆性区域的水平面上分离施主衬底，以将施主衬底的一部分转移到支撑衬底上以在支撑衬底上形成薄层；
在分离后对该结构体进行热处理，以稳定薄层和支撑衬底之间的结合界面；其特征在于用于稳定结合界面的热处理步骤通过执行一次或多 次快速热退火操作的方式进行。本方法一些特点如下，但不只限于此在分离后，本方法还包括减薄薄层的步骤；减薄步骤在第一次快速热退火操作之后执行；减薄步骤包括在温度小于等于IOOO'C下执行的热处理操作；减薄步骤的热操作是对分离后得到的结构进行的氧化，其操作温 度为800'C 1000'C，优选是950t:;在对分离后得到的结构进行氧化之后，接着执行脱氧操作以去除 在氧化过程中形成的氧化层；通过执行至少两个快速热退火操作来进行用来稳定结合界面的 热处理步骤，而在这两个快速热退火操作之间执行减薄步骤；对分离后得到的结构在大致120(TC 1250。C温度下以持续时间为 5~60秒的条件执行快速热退火操作；此外，这个方法还包括在分离之前执行增强结合能的步骤，和执 行至少一次快速热退火操作来实现稳定结合界面的热处理步骤；增强结合能的步骤在结合之前执行，并包括对被结合表面的一个 和/或另一个的等离子处理；暴露在等离子下的持续时间为5~60秒，优选为30秒左右；应用单位表面射频功率为150-2800 mW/cm2之间的射频装置来 引发并保持等离子，优选为750mW/cn^左右；以使分离后得到的结构处于温度大致等于1200'C且持续时间为 5 60秒的方式进行快速热退火操作，持续时间优选为30秒左右。
图la表示完全稳定的且没有任何缺陷的BOX (埋入氧化物)氧 化物/珪界面。
图lb表示不够稳定的BOX/砝界面以及在BOX氣化物层和Si 衬底间的缺陷区域Zd。图2a是通过在1100X:下持续两小时的现有的稳定性退火获得的 高度稳定的氧化物/硅界面(与图la相似)。图2b是根据第一实施方式的优选变化例的稳定的氧化物/硅界 面，进行了 2次在1200'C的温度下持续30秒的RTA操作，在其间插入了在小于或等于iooot:的温度下热氧化而实现的减薄步骤。图2c是根据第一实施方式的优选变化例的高度稳定的氧化硅/珪 界面，在分离前进行了等离子处理以增强结合能，在分离后接着进行 一系列RTA ( 1200。C/30秒)以及在温度小于或等于1000。C下的热氧 化减薄。
具体实施方式
通过下面对本发明优选实施方式的详细描述，并结合非限定性的 例子以及参照附图，本发明其他方面、目标和优点将更加清楚，除附 图la和lb在前面已经讨论过外，附图2a给出了以实施现有的稳定性 退火方法的方式稳定的结合界面，而附图2a-2c均给出了通过实施依 据本发明的实施方式得以稳定的结合界面。前面已经解释过，本发明涉及在支撑衬底上具有半导体材料的薄 层的结构的制造，这个薄层通过在已在厚度中产生了脆性区域的施主 衬底的水平面上进行分离来获得。可以以接近或大于要被转移的薄层厚度的深度在施主衬底的厚 度中产生脆性区域，其方法为通过注入原子种或者形成多孔层或甚至 其他任何可以使施主衬底中的机械结合局部地变脆的方法。然后通过施主衬底和支撑衬底间的紧密接触以及分子粘着来实 现结合。然后在脆性区域的水平面上将施主衬底进行分离， 一般通过热注 入和/或机械注入，从而使得施主衬底的一部分转移到支撑衬底上并在
支撑衬底上形成薄层.此外，本发明的方法包括对分离后得到的结构进行用以使薄层和 支撑衬底之间的结合界面稳定的热处理步骤。更确切地说，本发明主要针对一项使结合界面稳定的技术，这项技术不需要依靠稳定性退火，也就是说不需要在至少1000。C的温度下进行数小时的炉内退火。因此，本发明提出了在分离后进行一次或多次RTA (快速热退 火)类操作来实现稳定结合界面的热处理步骤。申请人注意到，通过一种特别意外的方式可以稳定结合界面，其 实施热稳定性处理的时间明显短于目前所认为所必需的时间(典型地 在超过1000C的温度下退火超过30分钟)。需要提醒的是，稳定的结合界面就本发明而言可理解为结合界面 在经Wright蚀刻后通过SEM显微镜观察到的微观缺陷密度小于密度 界限，典型为1个缺陷/区域(宽度为3pm )。在本发明的范围内，快速退火可以在现有的用于执行快速热退火 的炉内实行的。快速退火也可以在外延装置中实行。快速退火是在受控气氛中进行的。可以是包括氢和氩混合物的气 氛，纯氩气氛，纯氢气氛，乃至包含氯化氢的气氛。通常，以这样的方式实施的RTA操作的热量收支大于最小的热 量收支(持续时间/温度对)。RTA温度典型地必须保持在1000。C以 上并持续大约几秒到几分钟的时间。稳定化步骤优选与减薄薄层的步骤一起在分离步骤后执行。这个减薄步骤特别使得被转移到支撑衬底上的薄层的厚度被减 小到最终结构所需要的厚度。另外，注意到除了所谓的减薄功能外，减薄步骤还因其平滑作用 而制备了薄层的表面，特别是为后续的RTA操作。减薄步骤优先但不排它地在稳定性热处理步骤后实行。优选通过对薄层进行氧化热处理(从而在薄层上形成氧化物层)， 然后执行脱氧操作(以去除氧化过程中形成的氧化物层；比如，将此
结构浸入到10%或20%的氢氟酸溶液中数分钟)来实行减薄步骤。 例如，氧化可以通过在气态氧中加热该结构来实现。无论如何，热氧化要在温度小于或等于IOOO匸的条件下实现；比如在800。C 1000'C的温度下，优选在950'C的温度下。将会看到，在小于等于1000 'C的温度下进行减薄的行为可以限制滑移线的产生。减薄步骤并不只限于氧化/脱氧方式；也可以用其他方式实行 比如对薄层进行干法蚀刻，即通过在小于等于IOOO'C的温度下在蚀刻 气体(比如，HC1)中进行退火。依据本发明的方法的第一优选实施方式，长持续时间的稳定性退 火被进行至少两次RTA操作所取代。更确切地说，这里两次RTA操作的实行温度比现有的稳定性退火操作的实行温度更高。以通过将分离后得到的结构暴露在1100r的温度下达2小时来 实现现有的Si/Si结合界面的稳定为例，在本发明中执行两次RTA操 作，每次持续30秒，实行温度为1200r。然而，需要注意的是对于每次RTA操作，本发明并不局限于这 种热量收支(30秒/1200'C)，还对RTA操作的执行有影响温度高于1200。C,典型地可达约1250。C;和/或持续时间多于5秒，典型地可达60秒。在第一实施方式的优选变化例的范围内，薄层减薄步骤在每次 RTA操作之间执行。减薄是通过在小于或等于1000。C温度下进行热氧 化并紧接着进行脱氧来实现的。依据本发明的方法的第二优选实施方式，稳定性退火步骤被替代 为执行以下操作在分离前执行增强结合能的步骤，以及在分离后进行至少1次快速热退火操作来实现结合界面的稳定化。优选在结合之前进行增强结合能的步骤，该步骤包括对被结合界
面的一个和/或另一个进行等离子处理。这样，在该变化例的范围内，施主衬底(以在薄层和支撑衬底之底(因同样原因被氧化或未被氧化)在与待结合面紧密接触之前暴露 于等离子下。暴露于等离子下的持续时间为5~60秒；典型为30秒左右。 等离子处理步驟可使用现有的微电子技术中进行干法蚀刻的设备。特别是该设备要能进行RIE(反应离子蚀刻，Reactive Ion Etching )类型的蚀刻。等离子处理可以在真空室中进行，甚至可在大气压下进行。向室中导入纯净气体(典型是02，也可以是N2， He或者Ar) 或者混合气体，流速约为50-500 sccm量级，以建立10~200 mToir(典 型为50mTorr)的气压的方式进行。用来激发并保持等离子的装置的单位面积射频功率范围为 150 2800 mW/cm2，典型约为750mW/cm2 (对于直径为300mm晶片 的衬底，功率范围为100-2000W,典型约为500W量级)。等离子处理使结合界面更易于在温度中稳定。因此，在根据前面 提出的条件在结合之前对被结合界面的一个和/或另一个进行了等离 子处理的情况下，结合界面稳定性热处理步骤可以包括在1200。C下进 行RTA型的快速热退火处理，持续5 60秒，典型为30秒左右。在第二实施方式的优选变化例的范围内，薄层的减薄步骤在RTA 操作之后实行。这里通过在小于或等于IOOO'C的温度下进行热氧化紧 接着进行脱氧来实现减薄。回到第二优选实施方式的一般说明，可以看到在分离之前进行增 强结合能的步骤会使得在分离后进行的快速热退火步骤中结合界面更 容易稳定。因而RTA退火中的热量收支可以比第一优选实施方式的RTA要 低。第二优选实施方式中的RTA退火因此可以比第一实施方式中的 RTA退火更快(在上面的例子的情况下)或者能在更低的温度下实行。
另外，在第二优选实施方式的范围中可以通过进行多次快速热退 火操作来高度地稳定结合界面，其次数少于第一实施方式中需要的操作次数。笫二实施方式典型地只需要一次RTA操作而笫一实施方式 至少需要两次RTA操作来高度地稳定结合界面。基于这个原因，附图2a 2c示出了结合界面的稳定性，分别表示图2a:通过在1100t:下持续两小时的现有的稳定性退火获得的 高度稳定的氧化物/硅界面(与图la相似)；图2b:根据第一实施方式的优选变化例的稳定的氧化物/硅界面， 进行了 2次在1200。C的温度下持续30秒的RTA操作，在其间插入了 在小于或等于1000。C的温度下热氧化而实现的减薄步骤；图2c:根据第一实施方式的优选变化例的高度稳定的氧化硅/珪 界面，在分离前进行了等离子处理以增强结合能，在分离后接着进行 一系列RTA (1200。C/30秒)以及在温度小于或等于IOOO'C下的热氧 化减薄。在附图2b中可以看到，结合界面的稳定性(例如被Wright蚀刻 表现出来的)不够低密度的缺陷可被有效地检测到。然而，这种低 密度的缺陷的存在并没有危害，因为所得到的稳定性证明是满足本发 明的应用领域的。最后，分离后执行的操作(如优选的RTA/减薄/RTA以及等离子 十RTA/减薄系列操作)，可以通过仍在小于或等于1000。C的温度下执 行额外的步骤来完成(比如，额外的减薄步骤，典型地以氧化/脱氧的 形式)。这样，本方法除了用于稳定结合界面而实行的一次或多次快速热 退火操作外，不包括任何使用高于IOOO'C的温度的步骤，或者优选为 950°C;也就是说，对于相应于整个工艺与一次或多次用来稳定结合界 面的快速热退火步骤之间的区别的一系列工艺步骤而言，其温度保持 低于IOOO'C，或者优选为950t。因此，除RTA步骤之外的高于IOOO'C 的高温处理和热氧化得以完全抑制。尤其是，在脆性区域的^lc平面上 分离施主衬底后，温度保持在1000。C以下，或者优选为950。C。
权利要求
1.一种制造在衬底上具有半导体材料的薄层的结构的方法，包括以下步骤在施主衬底的厚度中产生脆性区域；将所述施主衬底与支撑衬底进行结合；在所述脆性区域的水平面上分离所述施主衬底，以将所述施主衬底的一部分转移到所述支撑衬底上并在该支撑衬底上形成薄层；对在所述支撑衬底上包含所述薄层的结构进行热处理，以稳定所述薄层和所述支撑衬底之间的结合界面。其特征在于，通过实施一次或多次快速热退火操作来执行稳定所述结合界面的所述热处理步骤。
2. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括在分离后减 薄所述薄层的步骤。
3. 如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述减薄步骤在第 一次快速热退火操作后实施。
4. 如权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述减薄步骤 包括在温度小于或等于1000。C下执行的热处理操作。
5. 如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述减薄步骤的所 述热操作是对分离后得到的所述结构在温度为800。C 1000r之间、优 选为950'C下执行的氧化过程。
6. 如权利要求5所述的方法，其特征在于，在对分离后获得的 所述结构进行氧化后，接着进行脱氧操作以去除所述氧化操作中形成 的氧化层。
7. 如权利要求2到6任一项所述的方法，其特征在于，用于稳 定结合界面的所述热处理步骤是通过实施至少两次快速热退火操作执 行的，以及在所述两次快速热退火操作之间执行减薄步骤。
8. 如权利要求7所述的方法，其特征在于，快速热退火操作是 通过将分离后得到的所述结构在约1200'C 1250'C之间的温度下处理 约5~60秒之间的持续时间而执行的。
9. 如权利要求2到6任一项所述的方法，其特征在于，还包括 在分离前执行的结合能增强步骤，以及通过至少实施一次快速热处理 操作执行稳定结合界面的热处理步骤。
10. 如权利要求9所述的方法，其特征在于，在结合前实施所述 结合能增强步骤，该步骤包括对被结合表面的一个和/或另一个进行的 等离子处理。
11. 如权利要求10所述的方法，其特征在于，暴露于等离子下 的持续时间为5 60秒之间，优选为30秒左右。
12. 如权利要求10或11所述的方法，其特征在于，通过施加每 单位面积150 2800 mW/cm2之间的射频功率，优选为750mW/cm2左 右，来激发并保持等离子。
13. 如权利要求9到12任一项所述的方法，其特征在于，对分 离后获得的所述结构进行温度约等于1200'C、持续时间约为5到60 秒之间、最好30秒左右的处理，来执行快速热退火操作。
14. 如权利要求1到13任一项所述的方法，其特征在于，在一 次或多次用于稳定结合界面的快速热退火操作之后，温度保持在低于 1000。C，优选为950。C。
15. 如权利要求14所述的方法，其特征在于，对于相应于整个 工艺与一个或多个用来稳定结合界面的快速热退火步骤之间的区别的 工艺步骤而言，其温度保持低于1000°C，或者优选为950'C。
全文摘要
本发明涉及一种制造在衬底上包括半导体材料的薄层的结构的方法，包含以下步骤在施主衬底的厚度中产生脆性区域；将施主衬底和支撑衬底进行结合；在脆性区域的水平面上分离施主衬底，以将施主衬底的一部分转移到支撑衬底上以在后者上构成薄层；在分离后对该结构进行热处理，以稳定薄层和支撑衬底之间的结合界面，这样操作可以避免薄层中出现滑移线。
文档编号H01L21/20GK101106073SQ200710109608
公开日2008年1月16日 申请日期2007年6月7日 优先权日2006年7月13日
发明者埃里克·内瑞特, 塞巴斯蒂安·克瑞迪雷斯 申请人:S.O.I.泰克绝缘体硅技术公司