专利名称：离子发生器的制作方法
^^发明涉及用于带静电的M工件的除电的离子M器，更W^，涉及 一种具有用于防止由于M附着等引起电极针污染的功能的离子纽器。背景M在半#晶片和液晶玻璃等^#工件的处理^中，对带静电的该工件的 除电^^离子^jt器。该离子iLt器是这样构成的例針利文献1//Hf的， 在壳体下表面的电极安装口内并列配i汪电极伸负电极针，通i^J"这些电极 针交替;^jEJI^冲状高电压和负脉沖状高电压，使得两电极针发生电晕放电而 交替产生正、负离子。另外，在所i^jE负电极针之间的位置上开空气吹出口，通itAii个空气吹 出口中喷出空气，获取由电极针产生的离子，从而将离子化的空气吹向工件。^jtit种离子;^器中，所iiJt负电极针由于附着空气中的尘埃而容易受污 染，M这种污染时，浙渐地难以发生电晕放电使得离子的产生量减少，最终 可能不食1#产生离子。因此，必须频^i树受污染的电极外清洁和更换^MNt业，在该保 养作业期间，由于必须停止离子;^器和关^B殳备的运行，因此*#在由于花费 劳力和时间而容易使作ik^:率斷氐的问题。专利文献l: JP特开2005-108829号7^^L发明内容为了解决所述以往的问题，械明的目的在于提^-"种具有抑制向电极针上附着灰尘的功能，并且即使电极针受到污染也負膝易除去该污染的离子^Li器。为实现/斤述目的，本发明的离子U器具有具有l个以上电极安装部的 壳体；相互并列iU于所述电极安装部的离子^A用的正负电极针；所述电极拉普拉斯塔形分解系数，取其中的高频分量作为最终融合图像拉普拉斯塔形分解系数的高 频分量/^;(6)、对步骤(2)得到的最终融合图像拉普拉斯塔形分解系数的低频分量；和步骤 (5)得到的最终融合图像拉普拉斯塔形分解系数的高频分量/^，作逆塔形变换得到最终 的融合图像^(x,j;)。上述的基于梳状波和拉普拉斯塔形分解的多源图像融合方法，所说的对仅含源图像高 频信息的图像/fO,力和/f(x，力在Brushlet变换域中进行融合，其方法如下(1) 、将含源图像高频信息的图像/,(x,力和/f(:c,少)分别进行Brushlet变换，得到图 像/,(jc,力和/f(jc,力的Brushlet分解系数，其中包括类低频分量和高频分量，图像/，(x,力 的Brushlet分解系数的类低频分量和高频分量分别表示为丄f和//f ，图像/f0c,力的 Brushlet分解系数的类低频分量和高频分量分别表示为《和//f ;(2) 、对类低频分量Zf和《直接进行平均，作为/,(;c，力和/fOc，力的融合图像的 Brushlet分解系数的低频分量《，即《-(Zf+《)/2，并且对图像/f 的高频分量和 图像/f(jc,力的高频分量，采用局域方差融合算子进行融合，得到/,(;c,力和/fOc,力的融 合图像的Brushlet系数的高频分量/^ ;(3) 、对仅含源图像高频分量的融合图像的Brushlet变换的类低频分量g和高频分量 《，作Brushlet逆变换，得到仅含源图像高频信息的融合图像。本发明与现有技术相比具有以下优点1、 本发明可以有效保留源图像中的纹理和边缘信息，抑制了易在融合图像中产生的 边缘模糊现象和条纹状失真，能够得到目标场景清晰、详细的融合图像。2、 本发明中用到的拉普拉斯塔形分解相当于滤波器运算，而Brushlet变换采用的是快 速傅立叶变换，所以整体方法运算速度快，可以进行实时处理。
图1是本发明的实现流程2是本发明对厂区遥感图像融合结果比较3是本发明对高光谱光学相机拍摄的林区图像融合结果比较4是本发明对医学图像融合结果比较图具体实施方式
参照图1、它是本发明的实现流程图。结合图1对本发明的实现步骤及具体实施方式
说明如下^f对于电极安装3L^所述^i:范围内倾斜的状态下，允许电^l^f向电^L安^^孑L内的皿的卡jb^。所述卡jbW^j构成为，在电极套管的"^ii方向的两端部，该LfJi部的卡止 凸缺其下部的比该卡止凸起凸出高度但小的摩擦凸条；在所述电极安装孔的 ")^i^向的两端部，i^在使电极^f以对于电极安装《L^所述^i:范围内倾 斜的状,^A时^^斤述卡止凸^t过的W赠；并且，i5J/W于该烦'滩，且将 电极^T^A电极安装^^使其回到沿着壳体的长边方向的正常的安装姿态 时，与所^^擦凸絲^k^触的萍性接触片；该举性接触片构成为，4狄于 倾斜姿态的电极絲旋^f吏其回到正常的安装状态时，^^斤ii^擦凸条挤压， 从而与该摩擦凸^It接触；所述两举性接触片位于回到正常的安装姿态后的 电极套管的两端的卡止凸起的下方位置，B止于该卡止凸起，从而防止电极 ^f的脱出，由此能够装卸自由地固定电极^f。为了壳体的高电压产生n和电极套管的电气性连接，期望在安装电极套 管的壳俺的电极安装部4:， i^连接于壳体内高电压J^装置的正负高电压发 生电路的连接端子，这些连接端^LiU在与安装于所述电极安装部的电极套 管的电极针对应的位置上。W卜，所述包护絲可以为以下形式，将^f面 形状是近似椭圆形状的^f主辆—目同形状的保护罩，通过它们的")^i方向的 滑动^^它们具有的凸缘部^fuMt，来^卸自由M结。本发明的离子^A器中，^负电极针Ji^正负高电压时，通过电晕放 电从该两电极针中产4JE^负离子。这时，通it^空气吹出口喷出到空间部内 的空气，从狱軍内开口的空气喷出孔中向工件喷絲空气，该空^f到^J斤 述电极针产生的离子而形成离子化空气，由该离子进行工件的除电。另一方面，^MJ斤述空气吹出口喷出的空气的^分在所述空间内扩散，从 环绕在电极针周围的空气流出3L向外朝夂出。该空气流沖M于所述电极针表面 和周围空气中的尘埃等的灰尘，防止该灰尘在电极针表面作为污染而附着。因 此，能够减轻由于灰尘附着导致的电极针污染，并减少清洁^^换该电极针等 的^^作业的次数。另外，如果使电极^f相对壳体装卸自由，并且絲电极针的背板也可以 拆开，则可以W卜郎简《Jt^i行电极针的更换和污染的清洁。
图lU示本发明中的离子^A器的第1实施例的JE^L图。图2是图1的部M大剖面图。图3是图2关键部的放大图。图4是图3的仰视图。图5是《^示除电时的空气流状态的剖面图。图6是本发明中的离子发生器第2实施例的、与所述图2对应的位置的部图7是图6中沿w-vn线的部M大剖面图。图8是电极转的JE^L图。图9是图8中沿DC-仅线的剖面图。图IO是图8中沿X - X线的剖面图。图11 ;l^斤述电极^f的#^图。图12^^斤述电极^r的Wl图。图13^^斤述电核4^f^^W态下的外现图。附图称6i兑明1、 31:离子tt器2、 32:壳体3、 33:电极安装部4A、 4B、 34A、 34B:电极针 5、 35:空气吹出口 7、 37:高电压M装置13、 43:电极^f14、 44:凹部16、 46:电极针用絲孔17、 47:电极安装孔 20、 50: t觜耕 23:做革23a、 53a:主体部 24、 54:空间部25、 55:空气喷出孔26、 56:空气流出孔 27:间隙37a:连接端子 43A:包护絲 43C:狱軍 43D:背板 47a: ^J: 47b:,赠 47c:萍性接触片 48c:卡止凸起 48d:摩擦凸条 49d、 49e:夹持片 49f:举阵变形部图1 ~图4示出了本发明中的离子发生器的一个实施方式。该离子发生器1， 在半*晶片和液晶玻璃等的^工件的处理工艺中，^^I于带静电的该工件 的除电，如图1所示，从该离子;^器1向工件\￥交替发射#负离子时，通 itji该工件W带正电的情况下该工件W吸附负离子，带负电的情况下吸附正 离子，可以赠工件W除电。W卜，图l示出了发射正离子的瞬间，这^接 着同^iife^负离子。所述离子发生器1是细，1^的条型，4ti^M"细长的中空壳体2。该壳在该壳体2下面，该壳体2的^方向上等间隔地设置多个电极安装部3， 各电极安装部3从图2 ~图4中可知，分别^t:Hk^^it过电晕放电iit^正离子 的正电极针4A和发射负离子的负电极针4B，并且iU用于向工件W吹付已发 射的离子的空气吹出口5。另外，在所述壳体2的内部，i经高压发生LlM7和空气管道8,该高压 发生装置7用于向所述电极针4A、 4B胁乐辦状直流高电压，该空气管道8用于向所述空气吹出口 5供应压缩空气。将所述壳体2的"^ii方向的两端部分别用端板9堵塞，在"H) '戚两侧的端 板9上^X接头10，通雄该接头10上连接来自压缩空气源11的配管lla， 所述空气管道8连接于该压缩空气源11。在所述壳体2的侧面，形^JMt显示部12,该##显示部12上安^"操 作#^显示灯等。虽然没有特别图示，但^^斤述高电压^jt装置7，具有向正电极针4A;^ 正的务辦状高电压的正高电压;^电路，和向负电极针4B #负的乐辦状高电 压的负高电压U电路，通it^周期性动作的这些高电压^ji电路向两电极针 4A、 4B交替胁正负高电压，从而^it些电极针4A、 4B间纽电晕放电而产 生正负离子。所iiiE负高电压^A电5g"^可以向正负电极针同时^ojEJfp负高 电压。所述电极针4A、 4B，具有呈圆餘的安^l的絲部4b和用于电晕放电 的圆锥状前端部4a ，通过由合^#脂等的绝缘性非磁1±#料形成的电极套管13 ， 被安絲所述电极安装部3中。从图3和图4可知，该电极錄13具有近似椭 圆形状的剖面形状，其前面(下面)具有近似椭圆形状的凹部14。在该凹部14 的平的内底壁13a，在其中^即电极^f 13的中轴线L的位XJi形成"1^t安 装孔15，并JL^椭圓的")^r向(^#方向)上与该中轴线等距离间距的位置 上形成两个电极针用糊，孔16，通it^it^Mt孔16、 16内嵌合所述电极针 4A、 4B的g部4b，使得两个电极针4A、 4B以尖的前端部4a向所述凹部14 内凸出的状态被并列安装預电极絲13。所述电极针4A、 4B的前端部4a 从凹部14的内底壁13a凸出的狄比该凹部14的、狄小。从而，这些电极针 4A、 4B的前端部4a处于没有从凹部14向夕h^凸出，而;LE内^fe该凹部14 内的状态。而且，所述电极^fl3被嵌合、固定在所述壳体2的下面形成的椭圆形的 安装孔17内，椭圆的^以朝向壳体2的"j^T向的状态安^^该壳体2内. 从而，所iijE负2个电极针4A、 4B也沿着壳体2的"j^i^向i经。所述电极絲13相对于壳体2的固定，例如，可以^MH吏得在其H)3'J和另 "H)8'J形成的凸一凹部相互4^的方法il^声》:fci^方法进行。另外，在所述电极转13的t觜安装孔15内，插入前端具有所述空气吹出口 5的喷嘴部降20，通过该"lHf部件20，在所述凹部14的内底壁13a的中 轴线L的位置上形成所述空气吹出口 5。该^f部件20的M部4b与在所述 壳体2的内部延伸于该壳体2的^ii方向的管道形成部21相连接，在该t觜部 件20的内部形成了连接该管道形成部21内的主管道8a和所述空气吹出口 5的 歧管8b,由这些主管道8a和歧管8b形成所述空气管道8。所iii管道8a和歧管8b的截面积湘互;Ut同等大小，另外，形成所述空 气吹出口5的开口截面积tbil些管道8a、 8b的截面积小，由此，>^^斤述;^1径 的空气管道8^T^的空气，赠小收拢的空气吹出口 5,以高速强劲^t喷出。所述空气吹出口 5也可以直接形^所述内底壁13a上。在所述电极絲13的凹部14的内部，i^J^所述两电极针4A、 4B和 空气吹出口 5的#軍23。该，軍23由合^#脂等的^^性的非磁1^#^^ 得，^T扩^^所述凹部14 ^Ui的呈平板状的主体部23a，和从该主体部 23a的外周与该主体部23a垂:W^伸的凸4^卜周壁23b，由于^Ui形成浅 皿形，JL^斤^卜周壁23b连接于凹部14的内底壁13a,从而在所iii体部23a 和凹部14的内底壁13a之间形成了在该凹部14胁内扩展的空间部24。舰 所述保护軍23通过螺紋固定^^手^^卸自由地安装在电极套管13上。在所述狱罩23的主体部23a上，在该空气吹出口 5的前方位JJl形， 于向工件喷射A^斤述空气吹出口5喷出的空气的空气喷射孔25，并且，为向外 部露出所iiit负电极针4A、 4B的前端部4a,在与ilJL负电极针4A、 4B的对 应位^Ji分别P个的形成两个空气流出孔26、 26，该空气流出孔26、 26 iM 于沿着这些电极针4A、 4B向狱罩23夕h^流出^yj斤述空气吹出口 5喷出并在 所述空间部24扩散的空气。所述空气喷射孔25以与该空气吹出口 5同轴^k^M所述空气吹出口 5 的正前位置上，其大小形成为与该空气吹出口 5几乎同直径。但是，该空气喷 射孔25的位置和大小不必与所述空气吹出口5完全同轴并同直径，例如，如果 ;i从该空气吹出口 5喷出的空气的喷射范围内的位置，即从该空气吹出口喷出 的空气的喷流直接吹付的位置，^W亥空气吹出口 5的中心稍微偏离的位置上 ^t^可以的，另外，比该空气吹出口 5稍微大一点的直^il稍微小一点的直径 也;U更关系的。另一方面，所述空气流出孔26位于与所述电极针4A、 4B同轴状的位置上，各电极针4A、 4B的尖锐的前端部4a在狱罩23的前面从该空气流出孔26微 微凸出。但是，所述电极针4A、 4B的前端，也可以位于与保护革23的前面相 同位置或射肖嫩退一点的位置上。絲，所述空气流出孔26的孑W圣形成为大 于所述空气喷射孔25的孑W圣。具有所i^构的离子^jt器l中，从高电压J^M7向正负电极针4A、 4B交"f^fe^正的脉沖状高电压和负的脉冲状高电压时，该两电极针4A、 4B 的前端部4a上产生电晕放电，从两电极针4A和4B中交替产生脉负的离子。 这时，来自压缩空气源11的空^ititi管道8a和歧管8b^^到空气吹出口 5， 并从该空气吹出口 5喷出到空间部24内。^J斤述空气吹出口 5强劲喷出的空气喷流，主妙图5中箭头al所示，从 该空气吹出口 5的正前位置上的该保护軍23上开口的空气喷射孔25， 封不动^MW强烈禾I^向该狱軍23的夕MP喷出，形肚空气流A1向工 件喷射。这时该主空气流A1，获:W^斤述电极针4A、 4B产生的离子，形成离子化空气，通过向工件吹该离子化的空^Mi械工件w的除电。另一方面，WJ斤述空气吹出口 5向空间部24内喷出的部分空气，如图5中 箭头a2所示，飞'雖ij所述旨軍23上，扩#空间部24内，W过围绕电极 针4A、 4B周围的空气流出孔26沿着该电极针4A、 4B的前端部4a向夕Np流 出，作为辅助空气流A2向工件喷射。该辅助空气流A2与主空气流A1同^ 城离子化。所^助空气流A2的流速比所逸主空气流Al的沐速艮，通过该辅助空气 流A2沿着电极针4A、 4B的前端部4a流动，从而冲A^tiHt电极4f^表面和 周围的空气中的尘埃等^t，防止该^fc作为污染附着在电极针4A、 4B表面 上。其结果，减轻了附着灰尘引起的电极针的污染，减少了对该电极针的清洁 和更^^等的j^^作业的频率。虽然所迷实施方式中，壳体2内具有多个电极安装部3，但是该电极安装 部3的数量也可以是1个。另外，通过#^面形似椭圆的所述电极錄13,在该椭圆的絲朝向壳 体2的^J^T向的状态下安^该壳体2中，正负两个电极针4A、 4B沿着该 壳体2的"^i^r向iU， ^a也可以^;斤述电;fel^f 13 >^朝向与所^向#^ 90 度的方向上，即，通过将椭圓的絲安絲壳体2的横宽方向上，从而将所述2个电极针4A、 4B并列iitl^该壳体2的横宽方向上。进而，所述实齡式中，保护革23的主体部23a呈平板状，位于相对凹部 14的内底壁13a平4t^I位置上，但是，所ii^体部23a也不必要必须形成为平 板状，^^Ml中央的-"^分向夕卜侧(前侧)以圆，凹陷也是可以的。这种 情况下，圆锥的顶点位置上形成所述空气喷射孔25。图6 ~图13示出了本发明中的离子发生器的第2实施例。该第2实施例的 离子^a器31与所錄1实施例相比，通it^f目对壳体32装卸自由的包护套 管43A中装卸自由Ak^装背板43D，而构成电极絲43，在该背板43D上安装 电极针34A、 34B。因此，即^;斤述电极针34A、 34B受到污染，也可以容易地 清除污染，m存、来说，与第l实施例不同。jH外，该离子发生器31在结构上 与笫1实施例没有实质变化的部分，在下文中将省《$^说明，与所菲1实施 例不同的方面在下文中说明。如上所述，通ii^目对壳体32装卸自由Ak^装包护絲43A,和在该包护套 管43A中装卸自由地安装背板43D，而构成该离子发生器31的壳体32的多个 电极安装部33中安装的电极套管43,其中背板43D中安絲电极针34A、34B， 除了电极针34A、 34B外均可由合^M脂等的lfe^性的非磁li^柳成。另夕卜， 如图9、图10和图13中可知，所述包护絲43A是通it^卸自由地连接其上 半部的^f主体43B和其下，的保护罩43C而构成的。所述^^f主体43B与第1实施例的电极套管13相同，平面形状为近似椭圆 形，其中絲形成，安装孔45，并J^^f安装孔4S的两侧等距离的位置 上，分别形成电极针用似争孔46,进而，在其两端，立设了一对导引壁48a， M为用于后述背板43D的安装的引导部，剖面呈近似椭圆形，在: H殳了所述 中^P的，安装孔45部^f前面，凸设了卡止于后述的背板43D的夹持片 49e的结合孔49g中的凸攀48b。另夕卜，在该錄主体4犯的下部的前后内缘， 从图9、图10和图13可知，卡止凸设于狱革43C的侧部Ji^上的凸缘部53b 的卡jMf49h，在该卡ob滑49h中嵌A^斤述凸缘部53b，使得该保护罩43C相 对平面形状为近似椭圆形状的錄主体43B在其长轴方向上滑动，可以进行安 装。构成包护套管43A的下半部的旨罩43C，其平面形状为与所述^T主体 43B相同的近似椭圆形状，其,鄉Ji^中设有所述凸缘部53b，并JUjt其下面形 A^似椭圆形状的回部44。而且，树于絲主体43B安装狱軍43C时，形 成该凹部44的底壁的平板^Li体部53a;til所述两电极针34A、 34B和与空气 管道38舰的空气吹出口 35，在与絲主体43B的底壁43a之间，形成使从 空气吹出口 35喷出的空气扩散的空间部54。
所述保护軍43C的主体部53a中，将该保护軍43C安^L^f主体43B的 ^L^位置时，用于将>^斤述空气吹出口35喷出的空气向工件喷射的空气喷射孔 55形劲位于该空气吹出口 35的前方，并J/HiL负电极针34A、 34B的前端部 34a向夕NP露出朋于令^^斤述空气吹出口 35喷出的空气沿着该电极针34A、 34B向保护罩43C的夕MP流出的2个空气流出孔56、 56， ^别形成于与所述 正负电极针34A、 34B对应的位置。所述空气喷射孔55及空气流出孔56的其 它诏S方式，与所述第1实施例的情况实质J^i相同的。
另夕卜，对于所述背板43D，从图9和图13等可知，在所述^f主体43B的 上部两端Ji^设的一对导引壁48a之间^A的板^^座49a的中辨，与所述 #f主体43B的倾安装孔45同轴地形成铺插入孔49b，并对该，插入 孔49b的两侧，分别与所述转主体43B的电极针用^#孔46同轴地形成电极 针固定孔49c，进而，在所^M^t49a的lfr^插入孔49b的前后，通iiAUt 侧夹^H殳了^主体43B的中^P的1^t安装孔45的部分，从而iW目对于 该^f主体43B固定背板43D的一对夹持片49d、 49e。
该夹持片49d、 49e，其中的一个构成为作为接触于^f主体43B的夹^ ^f夹持片49d,另一个构成为作为通錄的弹1±变形部49f g于背板43D 的板:Ri-座49a、^^萍性变形部4邻的举性而举I^夹持^f主体43B的夹 持片49e， ^t于絲主体43B安装背板43D时，^i殳i^亥夹持片49e的结合 孔49g卡jh4^f主体43B的前述凸攀48b。因此，背板43D装卸自由地安装 在^主体43B中以用于除去电极针的污染。
所述固定于背板43D的一对电极针34A、 34B,与所ii^ 1实施例的情况 相同结构，^W安装用的J^部34b和圆锥状的前端部34a，进而，所g 端部34b具有^^部34c，并且其上端还具有用于与高电压J^jt装置37电气性 连接的通电部34d。该电极针34A、 34B将所iil^MP 34c压入背板43D的电 极针固定孔49c中并固定，或者，所述安^l的絲部34b的剖面形状为非圆 形，^M"于相同形状的电极针固定孔49c，从而相对于背板43D不f^t糾固 34A、 34B的污染时，抑制了电极针34A、 34B相对背板43D的旋转导致的除 去污染时的作ili^剩氐的问题。为了电极针34A、 34B的更换，有必要另这些 电极州目对背板43D可拔掉。
另夕卜，在所述背板43D安装于转主体43B的状态下，固定于该背板43D 的各电极针34A、 34B嵌合在转主体43B中的电极4H^^孔46、 46内，形成 为电极针的前端部34a以在所述凹部44内凸起的状;^^在^f主体43B中。 另一方面，所述背板43D从錄主体43B中脱离时，电极针34A、 34B的前端 部34a向外面露出以用于通ii^J^去污染物。
jH^卜，对于所述电极套管43的叙i，在对于^f主体43B安装保护罩43C 4L^，将背板43D固定在絲主体43B中'
所述电极M 43从该壳体32的下方装卸自由^_合、固定在所述壳体32 的下面等间隔形成的多个椭圃形电极安装孔47内，为了该固定，形成于壳体32
衬47a的平面形状。而且，在所述电极^f 43和电极安装孔47之间i^: 在将该电极转^A电极安装孑L^^y^斤述可以倾斜的絲47a脱出、JX常 的安^^状态时，电极套管43卡止固定在电极安装孔47内，另一方面，在使电 极* 43对于电极安装孔47在所述^J: 47a的范围内倾斜的状态下，允许电 极^f 43向电极安装孔47内M的卡jb^J。
该卡J^L构可以构成为，在电极套管43的^f主体43B上的所述导引壁 48a中，从图8、图12和图13可知，iSJLh部的卡止凸起48c和其下部的比该 卡止凸起凸出高度小的摩擦凸条48d;另一方面，在所述电极安装孔47的錄 方向的两端部，iM^使电极套管43以对于电极安装孔47在所述余量47a的 范围内倾斜的状;^A时，^/斤述卡止凸起48c通过的,赠47b;并且iU了与 该俩赠47b邻接，且将所述电极套管43^vf电极安装孔47后使其回到沿着 壳体32的^^T向的正常的安装姿态时，弹l!iiik^^触于在^f主体43B的两端 的导引壁48a的外面的摩擦凸条48d的弹性接触片47c。
当^处于倾斜姿态的电极套管43绕其中心旋4H吏其回到正常的安装姿态 时，通过转主体43B两端的导引壁48a的外面的摩擦凸条48d来挤压该举性接触片47c的结果是，该萍性接触片47c举)!i34^触该雜凸条48d ^HMW 状态；为此，电极安装孔47两端的弹I4接触片47c形成为其前端向着所述,赠 47b"H!3'沐朝向相J^目反的方向。另外，所述电极安装孔47两端的萍性接触片 47c位于在回到正常的安装姿态后的^主体43B的两端的卡止凸起48c下方， 并絲卡止于该卡止凸起48c，防止电极絲43的脱出的功能。
进而，为了4"斤述电极絲43安装于电极安装孔47，并且使电极针34A、 34B能够分别连接于在高电压;li^置37中的脉负高电压^jt电路，在与电 极安装孔47内底的各电极针34A、 34B对应的位置上，在装卸电极錄43时 1吏^^态可倾斜的范围内，该i^电气^lk^接于这些高电压先t电路的连接 端子37a的端"^lt 47d;构^U&在电极安装孔47中礼、电极套管43时，通过 ^it些电极针34A、 34B的通电部34d ^A各自的端子槽47d，从而不拘泥于该 电极^f 43的倾斜姿态地，能够对两电极针34A、 34B;^P正负高电压。
因此，将所述电极套管43安^电极安装孔47中时，将电极套管43以相 对于壳体32的"J^方向倾斜的状态嵌合在该安装孔47中之后，使该电极M 43绕中心轴旋转而成为朝向所述M方向的正常的安装姿态，从而M主体 43B两端的卡止凸起48c位于安装孔47两端的弹性<^触片47c上，卡止于该卡 止凸起48c，防止电极套管43脱落。树預电极安装孔47安装电极套管43 时，在背板43D上的喷嘴插入孔49b和^f主体43B中的安装孔45中，插入 在前端具有所述空气吹出口 35的喷嘴部件50，通过该^f部件50从所述空气 吹出口 35向空间部54喷出空气。
另一方面，从电极安装孔47中卸下所述电极絲43时，如^Jt过令所述 电极絲43在电极安装孔47内旋转，相对于壳体32的"j^i^r向倾斜，那么套 管主体43B的两端的卡止凸起48c ttA安装孔47两端的捧性接触片47c脱离， 因此可以卸下电极套管43。
权利要求
1、一种离子发生器，其特征在于，具有具有1个以上电极安装部的壳体；相互并列设置于所述电极安装部的离子发生用的正负电极针；所述电极安装部上在正负两电极针之间的位置上开口的空气吹出口；覆盖该两电极针和空气吹出口的保护罩；以及在该保护罩内侧跨所述两电极针和空气吹出口并扩展的空间部，所述保护罩具有位于所述空气吹出口的前方，向工件喷射从该空气吹出口喷出的空气的空气喷射孔；和在与所述正负电极针对应的位置上分别形成的两个空气流出孔，该两个空气流出孔沿着所述电极针向保护罩的外部排出从所述空气吹出口喷出并在所述空间部扩散的空气。
2、 如权利要求1中记载的离子发生器，其特征在于，所述正负电极针安装 在电极套管上，并通过该电极套管安装在所述壳体的电极安装部上，另外，所 述电极套管具有内包所述正负电极针的前端部的凹部，配设为该凹部内所述空 气吹出口开口的同时，所停保护罩覆盖该空气吹出口和所述两电极针。
3、 如权利要求2中记载的离子发生器，其特征在于，所述空气喷射孑位于与 所述空气吹出口同轴的位置上，并且所述空气流出孔位于与所述电极针同轴的 位置上。
4、 如权利要求3中记载的离子发生器，其特征在于，所述电极顺尖的前端部从所述空气流出孔凸出到保护罩的前面。
5、 如权利要求3或4中记载的离子发生器，其特征在于，所述空气喷射孔的孔径比所述空气流出孔的孔径小。
6、 如权利要求2中记载的离子发生器，其特征在于，目对于所述壳体装卸 自由的包护套管内，装卸自由地安装具备正负电极针的背板，以构成电极套管， 在该包护絲内形成所述凹部，所述背板内安装的电极针的前端部，通过所述 包护套管内的电极针用保持孔，向所述凹部凸出。
7、 如权利要求6中记载的离子发生器，其特征在于，所述空气吹出口形踪 喻觜部件上，该喷嘴部件被插入平面形状为椭圆形的所迷电极絲的中心。
8、 如权利要求7中记载的离子发生器，其特征在于，背板財一对夹持片， 该一对夹持片用于通过夹住包护套管的短径侧，相对于该包护套管固定背板， 该夹持片中的至少一个是通过与背;tSU^的絲部上i5Jl的薄的举性变形部的 举性，举性夹持包护絲而构成的。
9、 dH5U'J^求6至8中^^项记栽的离子^jt器，*#絲于，相对于所 述背板，不負说转、緣卸地安装电极针。
10、 MW决求7记栽的离子^A器，^ft棘于，用于安装设于所述壳 体的所述电核>套管的电极安装孔，是与电;fel套管的平面形状对应的，而且，形可以倾斜的^l:的平面形状；在所述电极套管和电极安装孔之间设置将该电极^f氣\电极安装孔后， >^斤述可以倾斜的^*脱出而^常安装姿态时，在电极絲卡止固定在电极 安装孔内，在使电极^T对于电极安装3L^所述^"f范围内倾斜的状态下，允 i午电^L^f向电^l安^^内的M的卡jL^j。
11、 :ft^，决求10记栽的离子iLi器，^ft絲于，所述卡jh^l构成为， 在电^l套腎的^ii^向的两端部，设至上部的卡止凸^其下部的比该卡止凸 起凸出高度小的摩擦凸务，在所述电极安装孔的"j^i方向的两端部，诏X t使电极^f以对于电极安装孑L^所述^f:范围内倾斜的状,^A时^^斤述卡止凸^t过的,'赠；并且，"&1/^于该#(#，且将电极^f ^A电极安装孑L^使 其回到沿着壳体的")^r向的正常的安装姿态时，与所ii;f擦凸4H^iiib^触 的萍性接触片；该萍法接触片构成为，4狄于倾斜姿态的电极^f旋4^吏其回 到正常的安装状态时，^/斤ii^凸条挤压，从而与该摩擦凸絲性接触；所方位置，衬止于该卡止凸起，从而防止电极^f的脱出，由此能够装卸自由 地固定电极^f。
12、 ^U'决求6或7中记载的离子^器，*#絲于，在安装电极套 管的壳体的电极安装部上，iU连接于壳体内高电压J^装置的正负高电压发 生电路的连接端子，这些连接端"^皮iti^与安装于所述电极安装部的电极套 管的电极4j"^应的位置上。
13、 H5U'涹求6或7中记载的离子处器，*#棘于，所述包护絲 构成为，将^f面形^A近似椭圆形状的錄主体和相同形状的狱軍，通 过它们的^ii^向的滑动^^它们所具有的凸缘部^fub睹，il^卸自由M 结。
全文摘要
本发明提供了一种离子发生器，其具有抑制向电极针上附着灰尘的功能，即使电极针受到污染也能容易清除污染。壳体(2)中安装的电极套管(13)中，安装了正负电极针(4A)、(4B)、空气吹出口(5)和覆盖这些电极针(4A)、(4B)和空气吹出口(5)的保护罩(23)；该保护罩(23)中形成了空气喷射孔(25)和两个空气流出孔(26)，该空气喷射孔(25)同轴状地位于所述空气吹出口(5)的前方，向外部喷射来自该空气吹出口(5)的空气，该两个空气流出孔(26)位于与所述正负电极针(4A)、(4B)同轴状的位置上，经由空气流出用的间隙(27)，环绕该电极针(4A)、(4B)的前端部(4a)的外周围。电极套管可以从壳体取出，并且可以取下安装了电极针的背板，从而容易消除电极针的污染。
文档编号H01T23/00GK101227062SQ20071018009
公开日2008年7月23日 申请日期2007年10月31日 优先权日2006年10月31日
发明者佐藤俊夫, 安岡孝, 铃木智 申请人:Smc株式会社