一种ZnO基透明薄膜晶体管阵列的制备方法

专利名称：一种ZnO基透明薄膜晶体管阵列的制备方法
技术领域：
本发明属于平板显示(FPD)技术领域，涉及一种ZnO基透明薄膜晶体 管阵列的制备方法，采用该方法制备的Zn0基透明薄膜晶体管阵列在可见光 波段的透过率高，为开发高性能的平板显示阵列提供了一种新的途径。
背景技术：
随着信息时代的到来，有源驱动平板显示技术应用日趋广泛，其中最典 型的代表是薄膜晶体管驱动的液晶显示器(TFT-LCD)和薄膜晶体管驱动的 有机发光二极管显示器(TFT-0LED)，薄膜晶体管作为一种开关元件对提高 显示器件的性能起到至关重要的作用。为了实现低功耗、快响应速度、工艺 稳定的显示器件，以非晶硅、多晶硅和有机半导体为沟道层的薄膜晶体管被 广泛研究。但是，非晶硅薄膜晶体管迁移率低，且有很强的光电效应，影响 液晶像素的电荷存贮特性。多晶硅薄膜晶体管制备工艺复杂、成本高，同时 硅基薄膜晶体管在可见光波段不透明，限制了显示单元开口率的提高。而有 机半导体薄膜晶体管(0TFT)难以克服低寿命、低迁移率等缺点。
氧化锌(ZnO)是一种近年来被广泛研究的宽禁带化合物半导体，在白 光二极管、紫外探测器、气敏传感器、声表面波器件中有重要的应用。该材 料具有生长温度低、较高的电子迁移率、易于刻蚀、对衬底要求不高等优点。 最近有人报道了以Zn0基材料为沟道层的薄膜晶体管，并显示出优异的电光 性质。若使用Zn0基TFT作为有源矩阵驱动的开关元件将有以下明显优势
1) Zn0基薄膜具有较高的电子迁移率，可以提高显示器的响应速度， 满足高清晰、大容量终端显示的要求；
2) 可以制备可见光范围有较高透过率的全透明薄膜晶体管，提高液晶显
示器的开口率，使显示器屏幕更清晰明亮并降低能耗；
3) Zn0基薄膜的生长温度低、对衬底要求不高。这些都可以降低显示 器的成本，并为柔性显示器件开辟新的途径。

发明内容
本发明的目的在于，提供一种Zn0基透明薄膜晶体管阵列的制备方法， 该方法采取了四次光刻剥离技术的制备过程，分别在衬底上制备了栅极、ZnO 基沟道层、绝缘层和源、漏电极，同时采用在高纯氧气中退火处理的方法来 改善ZnO基薄膜的电学性质。
为了实现上述任务，本发明采取如下的技术解决方案
一种制备透明ZnO基TFT阵列的方法，其特征在于包括下列步骤
步骤一，以普通玻璃或石英作为衬底，在衬底上光刻栅极图形，然后用 磁控溅射沉积ITO、 ZnO:Al或ZnO:Ga等透明导电薄膜，取出样品在丙酮溶 液中超声数分钟，将剩余光刻胶剥离即形成栅极；
步骤二，在ITO栅极上面二次套刻绝缘层图形，用磁控溅射生长Si02、 Al203薄膜或用化学气相沉积法制备SiNx等绝缘层，同样在丙酮中超声将多 余光刻胶部分剥离；
步骤三，再次在绝缘层薄膜上光刻沟道层图形，用磁控溅射生长Zn0 基薄膜，然后在丙酮中超声去掉多余光刻胶；
步骤四，将Zn0基薄膜在500 'C氧气氛围中退火处理1 h，以提高其电 学性能。
步骤五，在沟道层图形上套刻源、漏电极图形，源漏电极采用磁控溅射 法制备，材料可选用IT0、 ZnO:Al或Zn(hGa等透明导电薄膜，然后经过丙 酮超声处理后即得到透明Zn0基TFT阵列。
本发明的方法可以制备出ZnO基透明薄膜晶体管阵列，该制备过程完全 和现有的微电子工艺相兼容，整个制备过程在低温下完成，为开发高性能的
平板显示阵列提供了一种新的途径。


图1是透明ZnO-TFT的截面结构示意图； 图2为显微镜下拍摄的单个透明ZnO-TFT的实物图片；' 图3为制备在石英玻璃衬底上的透明ZnO-TFT阵列的实物图片； 图4为透明ZnO-TFT的输出特性曲线； 图5是透明ZnO-TFT的转移特性曲线； 图6是透明ZnO-TFT的透射光谱； 以下结合附图对本发明作进一步的详细说明。
具体实施例方式
本发明是采用四次光刻剥离工艺和磁控溅射技术制备ZnO基透明薄膜 晶体管阵列，参见图l，透明薄膜晶体管是一种场效应开关器件，具体结构
包括衬底，衬底上有栅极、绝缘层、沟道层薄膜、源极和漏极，其中，如果 衬底和每层薄膜都采用透明材料就可以制备透明的ZnO基薄膜TFT阵列，栅 极和源、漏电极一般用透明导电的ITO、 ZnO:Al或ZnO:Ga等薄膜，绝缘层 可以采用Si02、八1203等介电薄膜。
以下是发明人给出的具体实施例 实施例1:
本实施例是制备ZnO沟道层透明薄膜晶体管阵列，具体的实施步骤为
1、 在普通玻璃或石英衬底上光刻栅极图形，然后用磁控溅射生长ITO
透明导电薄膜，取出样品在丙酮溶液中超声数分钟形成栅极图形，栅极薄膜 厚度为200 nm左右；
2、 在ITO栅极上面二次套刻绝缘层图形，用磁控溅射生长Si02薄膜作 为绝缘层，并在丙酮中超声将多余光刻胶部分剥离；
3、 在绝缘层薄膜上套刻沟道层图形，并磁控溅射生长ZnO薄膜，然后 在丙酮中超声去掉多余光刻胶；
4、 将样品在500 'C氧气氛围中退火处理1 h;
5、 在ZnO沟道层上套刻源、漏电极图形，并用磁控溅射沉积ITO薄膜 作为接触电极，然后经过丙酮超声处理后即得到透明ZnO-TFT阵列。
实验表明，本实施例在高纯氧气中对ZnO薄膜进行退火处理，能够提高 ZnO-TFT的电学性质。
申请人对制备的透明ZnO-TFT的电学性质进行了测试，发现该晶体管具 有很好的场控电流作用和夹断特性。工作在N沟道增强模式，电流开关比约 为10\阈值电压为-0.7 V，电子的场迁移率达到15.6 cm2 V—11 (图4、 图5)。 实施例2:
本实施例与实施例1所不同的是，将步骤1和步骤5中的ITO薄膜换为 ZnO:Al或ZnO:Ga等透明导电薄膜，同样可制备透明ZnO-TFT阵列。 实施例3:
本实施例与实施例1所不同的是，将步骤2中的Si(V薄膜换为Hf02、 Al203或YA等透明的绝缘层薄膜，其它均同实施例1。
实施例4:
本实施例与实施例1所不同的是，将步骤1中的ZnO耙材换成Zn-Mg-0、 Zn-Sn-O或Zn-In-O耙材，其它均同实施例1。
权利要求
1.一种透明ZnO基TFT阵列的制备方法，其特征在于包括下列步骤步骤一，以普通玻璃或石英作为衬底，在衬底上光刻栅极图形，然后用磁控溅射沉积ITO、ZnO:Al或ZnO:Ga透明导电薄膜，在丙酮溶液中超声将剩余光刻胶剥离，形成晶体管的栅极，；步骤二，在晶体管的栅极上面二次套刻绝缘层图形，用磁控溅射生长SiO2、Al2O3薄膜或用化学气相沉积法制备SiNX绝缘层，在丙酮中超声将多余光刻胶部分剥离，形成薄膜晶体管的绝缘层；步骤三，再次在晶体管的绝缘层薄膜上光刻沟道层图形，用磁控溅射生长ZnO薄膜、ZnMgO薄膜、Zn-Sn-O薄膜、或Zn-In-O薄膜，然后在丙酮中超声去掉多余光刻胶，形成薄膜晶体管的沟道层；步骤四，将ZnO基薄膜在500℃氧气氛围中退火处理1h；步骤五，在沟道层图形上套刻源漏电极图形，源漏电极采用磁控溅射法制备，材料选用ITO、ZnO:Al或ZnO:Ga透明导电薄膜，然后经过丙酮超声处理后即得到透明ZnO基TFT阵列。
全文摘要
本发明公开了一种制备透明ZnO基薄膜晶体管阵列的方法，该方法采用四次剥离工艺的制备过程，用射频磁控溅射技术生长ZnO基薄膜并在氧气中对ZnO基薄膜进行退火处理以提高其电学性质。该薄膜晶体管阵列采用ITO、ZnO:Al或ZnO:Ga等透明导电薄膜作为栅、源、漏电极，用SiO₂、Al₂O₃、SiN_X等薄膜作为绝缘层。实验得到ZnO基薄膜晶体管阵列在可见光波段的透过率达到85％，为开发高性能的平板显示阵列提供了一种新的途径。
文档编号H01L21/70GK101183667SQ20071018856
公开日2008年5月21日 申请日期2007年12月11日 优先权日2007年12月11日
发明者洵 侯, 杰 张, 张新安, 张景文 申请人:西安交通大学