专利名称：晶粒重新配置的封装结构中使用对准标志的制作方法
技术领域：
本发明是有关于一种半导体的封装方法，特别是有关于由在圆片背而 形成对准标志以迸行晶粒重新配置的封装方法。
背景技术：
半导体技术已经发展的相当的迅速，因此微型化的半导体晶粒(Dice) 必须具有多样化的功能的需求，使得半导体晶粒必须要在很小的区域中配 置更多的输入/输出垫(I/Opads)，因而使得金属接脚(pins)的密度也快速的 提高了。因此，早期的导线架封装技术已经不适合高密度的金属接脚；故 发展出一种球数组(Ball Grid Array: BGA)的封装技术，球数组封装除了有 比导线架封装更高密度的优点外，其锡球也比较不容易损害与变形。
随着3C产品的流行，例如行动电话(Cell Phone)、个人数字助理 (PDA)或是iPod等，都必须要将许多复杂的系统芯片放入一个非常小的 空间中，因此为解决此一问题，一种称为「圆片级封装(wafer level package; WLP)」的封装技术已经发展出来，其可以在切割圆片成为一颗颗的晶粒 之前，就先对圆片进行封装。美国第5，323,051号专利即揭露了这种「圆 片级封装」技术。然而，这种「圆片级封装」技术随着晶粒主动面上的焊 垫(pads)数目的增加，使得焊垫(pads)之间距过小，除了会导致讯号耦合或 讯号干扰的问题外，也会因为焊垫间距过小而造成封装的可靠度降低等问 题。因此，当晶粒再更进一步的缩小后，使得前述的封装技术都无法满足。
为解决此一问题，美国第7,196,408号专利已揭露了一种将完成半导 体工艺的圆片，经过测试及切割后，将测试结果为良好的晶粒(good die)重新放置于另一个基板的上，然后再进行封装工艺，如此，使得这些被重 新放置的晶粒间具有较宽之间距，故可以将晶粒上的焊垫适当的分配，例
如使用横向延伸(fan out)技术，因此可以有效解决因间距过小，除了会
导致讯号耦合或讯号干扰的问题。
然而，为使半导体芯片能够有较小及较薄的封装结构，在进行圆片切
割前，会先对圆片进行薄化处理，例如以背磨(backside lapping)方式将 圆片薄化至2~20mil，然后再切割成一颗颗的晶粒。此一经过薄化处理的 晶粒，经过重新配置在另一基板上，再以注模方式将复数个晶粒形成一封 胶体；由于晶粒很薄，使得封胶体也是非常的薄，故当封胶体脱离基板的 后，封胶体本身的应力会使得封胶体产生翘曲，增加后续进行切割工艺的困难。
另外，在圆片切割之后，要将晶粒重新配置在另一个尺寸较原来基板 的尺寸还大基板时，由于需要经由取放装置(pick & place)将晶粒吸起， 然后将晶粒翻转后，以覆晶方式将晶粒的主动面贴附于基板上，而在取放 装置将晶粒翻转的过程中，容易会产生倾斜(tilt)而造成位移，例如倾 斜超过5微米，故会使得晶粒无法对准，进而使得后续植球工艺中也无法 对准，而造成封装结构的可靠度降低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶粒重新配置的封装结构中使用对准标 志的制作方法。
为实现上述目的，本发明提供一种利用圆片对准标志的晶粒重新配置 的封装结构及其方法，来将复数个晶粒重新进行配置并进行封装的方法。 本发明在圆片切割之前先形成对准标志，然后由对准标志进行晶粒重新配 置的封装方法，使得在植球的工艺中可以对准之外，封胶体本身可以克服 应力而会使得封胶体在脱离基板后，保持平整，可有效提高制造的良率及可靠度。
本发明提供的晶粒重新配置的封装方法，包括
提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒； 形成复数个对准标志在该圆片每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；
切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主 动面上配置复数个悍垫；
贴附该些晶粒至一基板上，且该基板上配置有一黏着层，将每一该晶 粒的该主动面以覆晶方式配置在该基板的该黏着层上；
形成一高分子材料层在该基板及部份该些晶粒上；
覆盖一模具装置，用以平坦化该高分子材料层，使得该高分子材料层
填满在该些晶粒之间且包覆住每一该些晶粒；
脱离该模具装置，用以曝露出该高分子材料层的一上表面；及 脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该些晶粒的该主动面，以形成
一封胶体。
本发明提供的晶粒重新配置的封装方法，还包括
提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒；
形成复数个对准标志在该圆片每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；
切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主
动面上配置复数个焊垫；
贴附该些晶粒至一基板上，且该基板上配置有一黏着层，将每一该晶 粒的该主动面以覆晶方式配置在该基板的该黏着层上；
形成一高分子材料层在该基板及部份该些晶粒上；
覆盖一模具装置，用以平坦化该高分子材料层，使得该高分子材料层 填满在该些晶粒之间且包覆住每一该些晶粒；
脱离该模具装置，用以曝露出该高分子材料层的一上表面；
脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面上的该些焊垫，以形成一封胶体；
形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该 些焊垫电性连接；
形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及每一该金属线段并曝露 出每一该金属线段的另一端；
形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及
切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每-该些晶粒的五个面均由该高分子材料层所包覆。
本发明提供的晶粒重新配置的封装方法，还包括
提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒； 形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；
切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主 动面上配置复数个焊垫；
贴附该些晶粒至一基板上，且该基板上配置有一黏着层，将每一该晶 粒的该主动面以覆晶方式配置在该基板的该黏着层上；
形成一高分子材料层在该基板及部份该些晶粒上；
覆盖一模具装置，并使该模具装置与每一该晶粒的一下表面接触，用 以平坦化该高分子材料层，使得该高分子材料层填满在该些晶粒之间；
脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料层及每一该晶粒的该下表
面；
脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该些晶粒的该主动面上的该些 焊垫，以形成一封胶体；
形成复数条扇出的金属线段，该金属线段的一端与该些晶粒上的该些 焊垫电性连接；
形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及每一该金属线段并曝露出该每一个金属线段的另一端；
形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及
切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每一-该晶粒的四个面由该高分子材料层所包覆。
本发明提供的晶粒重新配置的封装方法，还包括
提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒； 形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的x-y方向上；
切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主
动面上配置复数个焊垫；
提供一黏着层，固接于一基板上，该黏着层上配置有复数个凸出肋； 贴附该些晶粒至该基板上，将每一该晶粒的该主动面以覆晶方式贴附
在该黏着层上，且该些晶粒之间是以该些凸出肋间隔； 形成一高分子材料层在该黏着层及部份该些晶粒上； 覆盖一模具装置在该高分子材料层上，以平坦化该高分子材料层，使
得该高分子材料层充满在该些晶粒之间并包覆住每一该晶粒； 脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料层的一表面； 脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面及曝露出由
该些凸出肋所构成的复数条渠道于该高分子材料层的该表面上，以形成--
封胶体；
形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该 些焊垫电性连接；
形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及每一该金属线段并曝露 出该每一个金属线段的另一端；
形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每一 该晶粒的五个面系由该高分子材料层所包覆。
本发明提供的晶粒重新配置的封装方法，还包括
提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒；
形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；
切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主
动面上配置复数个焊垫；
提供一黏着层，固接于一基板上，该黏着层上配置有复数个凸出肋； 贴附该些晶粒至该黏着层上，系将每一该晶粒的该主动面以覆晶方式
贴附在该黏着层上，且该些晶粒之间系以该些凸出肋间隔； 形成一高分子材料层在该黏着层及部份该些晶粒上； 覆盖一模具装置在该高分子材料层上，并使该模具装置与每一该晶粒
的下表面接触，以平坦化该高分子材料层，使得该高分子材料层充满在该
些晶粒之间；
脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料层的一表面； 脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面及曝露出由
该些凸出肋所构成的复数条渠道于该高分子材料层的该表面上，以形成一
封胶体；
形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该 些焊垫电性连接；
形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及该每一该金属线段并曝 露出每一该金属线段的另一端；
形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及
切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每一 该晶粒的四个面由该高分子材料层所包覆。本发明提供的晶粒重新配置的封装方法，还包括
提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒； 形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的XX-Y方向上；
切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该i
动面上配置复数个焊垫；
贴附该些晶粒至一基板上，且该基板上配置有一黏着层，将每一该晶
粒的该主动面以覆晶方式贴附在该基板的该黏着层上；
形成一高分子材料层在该基板及部份该些晶粒上；
覆盖一配置有复数个凸出肋的模具装置在该高分子材料层上，以平圯 化该高分子材料层，使得该高分子材料层填满在该些晶粒之间并包覆住每 一该晶粒；
脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料层的一表面，并形成由该些 凸出肋所构成的复数条渠道在该曝露的高分子材料层的该表面上；
脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面的该些焊 垫，以形成一封胶体；
形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该 些焊垫电性连接；
形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的该主动面及每一该金属线段并曝 露出每一该金属线段的另一端；
形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及
切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每--该晶粒的五个面由该高分子材料层所包覆。
本发明提供的晶粒重新配置的封装方法，还包括
提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒; 形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主 动面上配置复数个焊垫；
贴附该些晶粒至一基板上，且该基板上配置有一黏着层，将每一该晶 粒的该主动面以覆晶方式贴附在该基板的该黏着层上；
形成一高分子材料层在该基板及部份该些晶粒上；
覆盖一配置有复数个凸出肋的模具装置在该高分子材料层上，并使该 模具装置与每一该晶粒的下表面接触，以平坦化该高分子材料层，使得该 高分子材料层填满在该些晶粒之间；
脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料层的一表面，并形成由该些
凸出肋所构成的复数条渠道在该曝露的高分子材料层的该表面上；
脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面的该些悍
垫，以形成一封胶体；
形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的复 数个焊垫电性连接；
形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及每一该金属线段并曝露 出每一该金属线段的另一端；
形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及
切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每一 该晶粒的四个面系由该高分子材料层所包覆。
本发明提供的晶粒重新配置的封装方法，还包括
提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒; 形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；
切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主 动面上配置复数个焊垫；
提供一黏着层，固接于一基板上，该黏着层上配置有复数个第一凸出肋；
贴附该些晶粒在该黏着层上，将每一该晶粒的该主动面以覆晶方式贴 附在该黏着层的上，且该些晶粒之间是以该些第一凸出肋间隔； 形成一高分子材料层在该黏着层及部份该晶粒上；
覆盖一配置有复数个第二凸出肋的模具装置在该高分子材料层之上， 以平坦化该高分子材料层，使得该高分子材料层填满于该些晶粒之间并包
覆每一该些晶粒；
脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料的一第一表面，并形成复数
条第一渠道在曝露的该第一表面上；
脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面的该些焊垫 及曝露出该高分子材料层的一第二表面，以形成一封胶体，其中该第二表 面上具有复数条第二渠道；
形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该 些焊垫电性连接；
形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及每一该金属线段并曝露 出每一该金属线段的另一端；
形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及
切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每一 该晶粒的五个面由该高分子材料层所包覆。
本发明提供的晶粒重新配置的封装结构，包括
一晶粒，具有一主动面及一下表面，于该主动面上配置有复数个焊垫 且于该下表面配置复数个对准标志；
一封胶体，用以包覆该晶粒的五个面且曝露出该晶粒的该主动面上的 该些焊垫；
复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该些焊垫电性连接；
一保护层，用以覆盖该晶粒的该主动面及每一该金属线段并曝露出每 一该金属线段的另一端；及
复数个电性连接组件，设置于该些扇出的金属线段的另一端上与该些 焊垫形成电性连接。
本发明提供的晶粒重新配置的封装结构，还包括-
一晶粒，具有一主动面及一下表面，于该主动面上配置有复数个焊垫 且于该下表面配置复数个对准标志；
一封胶体，用以包覆该晶粒的四个面且曝露出该晶粒的该主动面上的 该些焊垫及该晶粒的该下表面；
复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该些焊 垫电性连接；
一保护层，用以覆盖该晶粒的该主动面及每一该金属线段并曝露出每 一该金属线段的另一端；及
复数个电性连接组件，设置于该些金属线段的另一端上与该些焊垫形 成电性连接。
本发明在进行圆片切割之前，在圆片的背面先形成对准标志(alignment mark)并配合晶粒重新配置的封装方法，其可以有效地解决植球时无法对 准以及封胶体产生翘曲的问题。
图l是公知技术的示意图2A至图2B是根据本发明所揭露的在具有对准标志的圆片的正面 及背面的封装结构的俯视图3A至图3C是根据本发明所揭露的利用圆片对准标志的晶粒重新 配置的封装结构的 一 实施例的剖视图；图4A至图4B是根据本发明所揭露的利用圆片对准标志的晶粒重新 配置的封装结构的另一实施例的剖视图5A至图5C是根据本发明所揭露的利用圆片对准标志的晶粒重新 配置的封装结构的又一实施例的剖视图6A至图6B是根据本发明所揭露的利用圆片对准标志的晶粒重新 配置的封装结构的再一实施例的剖视图7A至图7C是根据本发明所揭露的利用圆片对准标志的晶粒重新 配置的封装结构的又一实施例的剖视图8A至图8B是根据本发明所揭露的利用圆片对准标志的晶粒重新 配置的封装结构的再一实施例的剖视图9A至图9B是根据本发明所揭露的利用圆片对准标志的晶粒重新 配置的封装结构的再一实施例的剖视图10A至图10B是根据本发明所揭露的利用圆片对准标志的晶粒重 新配置的封装结构的再一实施例的剖视图；及
图11是根据本发明所揭露的利用圆片对准标志的晶粒重新配置的晶
粒的立体示意图。
附图中主要组件符号说明
10圆片
10A主动面
10B背面
100基板
102对准标志
110晶粒
111焊垫
120金属线段
130电性连接组件200黏着层
220渠道 400高分子材料层 500模具装置 510凸出肋 520渠道
具体实施例方式
为使对本发明的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，配合 实施例详细说明如下。
本发明的晶粒重新配置的封装方法，其可以将12吋圆片所切割出来 的晶粒重新配置于8吋圆片的基板上，如此可以有效运用8吋圆片的即有 的封装设备，而无需重新设立12吋圆片的封装设备，可以降低12吋圆片 的封装成本。
本发明的晶粒重新配置的封装方法，使得进行封装的芯片都是"已知 是功能正常的芯片"(Known good die)，可以节省封装材料，故也可以降 低工艺的成本。
根据以上所述，本发明提供的晶粒重新配置的封装方法的封装结构， 包括 一晶粒，具有一主动面及一下表面，于主动面上配置有复数个焊垫， 及在晶粒的下表面的X-Y方向上具有一对对准标志(alignmentmark); —高 分子材料层，用以包覆住晶粒的五个面且曝露出晶粒的主动面；以及复数 个电性连接组件，系根据在晶粒的下表面的对准标志与复数个焊垫形成电 性连接。
根据以上的封装结构，本发明提供一种晶粒重新配置的封装方法，包 括:提供一圆片，具有一上表面及一背面；形成复数个对准标志在圆片的背 面的X-Y方向上；切割圆片，以形成复数个晶粒且每一晶粒具有一主动面及一下表面，且于主动面上配置有复数个焊垫及在下表面的X-Y方向上具 有一对对准标志；贴附复数个晶粒至基板上，每一晶粒是利用覆晶方式将 主动面配置在基板上；形成一高分子材料层在基板以及部份的每一晶粒 上；覆盖一模具装置，用以平坦化高分子材料层，使得高分子材料层填满 在复数个晶粒之间且包覆住每一晶粒；脱离模具装置，用以曝露出高分子 材料层的一上表面；及脱离基板及黏着层，以曝露出每一颗晶粒的主动面
上的复数个焊垫，以形成一封胶体。
本发明的晶粒重新配置的封装结构，包括 一晶粒，具有一主动面及
一下表面，于主动面上配置有复数个焊垫，及在晶粒的下表面的x-y方向
上具有至少一对对准标志；一高分子材料层，用以包覆住晶粒的五个面且
曝露出晶粒的主动面上的复数个焊垫；及复数个电性连接组件，与复数个
焊垫形成电性连接。
本发明在此所探讨的方向为一种晶粒重新配置的封装方法，将复数颗 晶粒重新配置于另一基板上，然后进行封装的方法。为了能彻底地了解本 发明，将在下列的描述中提出详尽的步骤及其组成。显然地，本发明的施 行并未限定芯片堆栈的方式的技术人员所熟悉的特殊细节。另一方面，众 所周知的芯片形成方式以及芯片薄化等后段工艺的详细步骤并未描述于 细节中，以避免造成本发明不必要的限制。然而，对于本发明的较佳实施 例，则会详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本发明还可以广泛地 施行在其它的实施例中，且本发明的范围不受限定，其以申请的权利要求 范围为准。
在现代的半导体封装工艺中，均是将一个已经完成前段工艺(Front End Process)的圆片(wafer),先在圆片的正面形成一薄的绝缘层(例如 形成一Si02层)，然后再先进行薄化处理(Thi皿ingProcess),例如将芯片 的厚度研磨至2 20mil之间；然后，进行圆片的切割(sawingprocess)以 形成一颗颗的晶粒110;然后，使用取放装置(pick and place)将一颗颗的晶粒逐一放置于另一个基板100上，如图1所示。很明显地，基板IOO 上的晶粒间隔区域比晶粒110大，因此，可以使得这些被重新放置的晶粒 110间具有较宽之间距，故可以将晶粒110上的焊垫适当的分配。此外，
本实施例所使用的封装方法，可以将12吋圆片所切割出来的晶粒110重 新配置于8吋圆片的基板上，如此可以有效运用8吋圆片的即有的封装设 备，而无需重新设立12吋圆片的封装设备，可以降低12吋圆片的封装成 本。然后要强调的是，本发明的实施例并未限定使用8吋圆片大小的基板，
其只要能提供承载的功能者，例如玻璃、石英、陶瓷、电路板或金属薄 板(metal foil)等，均可作为本实施例的基板100,因此基板100的形状 也未加以限制。
首先，图2A及图2B，表示具有对准标志的圆片的俯视图。如图2A 所示，表示在圆片10的上表面10A形成有复数个晶粒110，且在圆片10 的每一个晶粒110的背面10B的X-Y方向上，设置有复数个对准标志 (alignment mark) 102，如图2B所示。由先前陈述得知，当圆片10经切割 的后形成复数个晶粒110，再重新配置至另一基板100时，由于新的基板 100之间的晶粒间隔区域比晶粒110大，因此在取放晶粒110的过程中， 容易产生偏移，而在后续封装工艺的植球步骤(ballmount)会无法对准，而 造成封装结构的可靠度降低。因此在本具体实施例中，在圆片10未进行 切割的前先将圆片的背面10B朝上，然后在圆片10的背面10B且在每一 晶粒的背面的X-Y方向形成复数个对准标志102。接着进行圆片切割步骤， 并使每一颗晶粒110的背面朝上；再接着，使用取放装置(未于图中显示) 将每一颗晶粒110吸起并放置于基板100上；由于，每一颗晶粒110的背 面上均已配置有对准标志02，因此，取放装置可以直接辨识出每一颗晶 粒IIO其主动面上的焊垫111位置；当取放装置要将晶粒IIO放置于基板 上时，可以再由基板上的参考点(未于图中显示)来计算出晶粒110的相 对位置，再加上取放装置不需要将晶粒110翻转，因此可以将晶粒110精确地放置于基板100上。故当复数个晶粒110重新配置在新的基板100上 时，就不会因为无法对准而且准确度以及可靠度的问题。在此，形成对准
标志102的方式可以利用光蚀刻(photo-etching)工艺，在圆片10的背面10B 的X-Y方向上形成复数个对准标志102，且其形状可以为任意几何形状， 而在一较佳实施例中，此一几何形状为十字的标志。另外，形成对准标志 102的方式还包括利用激光巻标(lasermark)工艺，在圆片10的背面10B形 成复数个对准标志102。
紧接着，请参考图3A，是本发明相对图1的AA线段的剖面示意图。 如图3A所示，首先，在基板100上配置有一黏着层200,此黏着层200 为一具有弹性的黏着材料，例如硅橡胶(silicone rubber)、硅树脂(silicone resin)、弹性PU、多？L PU、丙烯酸橡胶(acrylic rubber)或晶粒切割胶等。 接着，使用取放装置(未显示于图中)将背面朝上且配置有复数个对准标 志102的晶粒110逐一吸起并贴附至基板100上的黏着层200，其中晶粒 110是以主动面上的焊垫111与基板100上的黏着层200连接；接着，于 基板100及部份晶粒110上涂布高分子材料层400，并且使用一模具装置 500将高分子材料层400压平，使得高分子材料层400形成一平坦化的表 面，并且使得高分子材料层400填满于晶粒110之间，并且包覆每一颗晶 粒110;此高分子材料层400的材料可以为硅胶、环氧树脂、丙烯酸 (acrylic )、或苯环丁烯(BCB)等材料。
接着，可以选择性地对平坦化的高分子材料层400进行一烘烤程序， 以使高分子材料层400固化。再接着，进行脱模程序，将模具装置500与 固化后的高分子材料层400分离，以裸露出平坦化的高分子材料层400的 表面；然后，使用切割刀(未显示于图中)在高分子材料层400的表面上 形成复数条切割道410，如图3B所示，其中，每一切割道410的深度为 0.5密尔(mil)至l密尔，而切割道410的宽度则为5微米至25微米。在 一较佳实施例中，此切割道410可以是相互垂直交错，并且可以作为实际切割晶粒时的参考线。
最后，将高分子材料层400与黏着层200分离，例如将高分子材料层
400与基板100 —起置入具有去离子水的槽中，使高分子材料层400与黏 着层200分离，以形成一个封胶体；此封胶体包覆每一颗晶粒110，并丄j. 只曝露出每一颗晶粒110的主动面上的复数个焊垫111。由于封胶体的相 对于晶粒110的主动面的下表面上有复数条切割道410,因此，当高分子 材料层400与基板100剥离后，封胶体上的应力会被这些切割道410所形 成的区域所抵消，故可有效地解决封胶体翘曲的问题。
由于每一晶粒110的背面均已配置有复数个对准标志102，因此，在 晶粒110已经准确地放置于基板100上，可以计算出每一晶粒110上的焊 垫111位置，故可以将每一晶粒上的焊垫lll曝露出来；接着，再使用传 统的重布线工艺(Redistribution Layer; RDL)于晶粒110的复数个焊垫 lll上形成复数个扇出(fan out)的金属线段120;接着，以半导体工艺于 金属线段120上形成一保护层140并于每一个金属线段120的另一端上形 成复数个开口 (opening)。最后，再于每一开口上形成复数个导电组件130， 以便作为晶粒110对外电性连接的接点，其中，此电性连接组件130可以 是金属凸块(metalbump)或是锡球(solderball)，如图3C所示。然后，即可 对封胶体进行最后的切割，以形成一颗颗完成封装工艺的晶粒。很明显地， 在本实施例中的每一颗晶粒110的5个面都被高分子材料层400所包覆， 仅有晶粒110的主动面曝露出来。同时，也由对准标志102的配置，使得 金属线段120及导电组件130均可精确地与焊垫111连接，可使完成封装 的晶粒110的可靠度提高。
此外，本发明接着揭露另一个具体实施例，是在基板100及部份晶粒 110上涂布适量的高分子材料层400，在此，所涂布的高分子材料层400 的量少于图3B所涂布的量，同样地使用一模具装置500将高分子材料层 400压平，在此要强调，在本实施例中，模具装置500与晶粒110的背面是接触在一起的，因此当高分子材料层400所形成一平坦化的表面后，会 使得高分子材料层400仅填满于晶粒110之间而曝露出晶粒110的背面，
如图4A所示。
接着，可以选择性地对平坦化的高分子材料层400进行一烘烤程序， 以使高分子材料层400固化。再接着，进行脱模程序，将模具装置500与 固化后的高分子材料层400分离，以裸露出在晶粒110之间具平坦化的高 分子材料层400的表面以及裸露出每一个晶粒110的下表面。然后，使用 切割刀(未显示于图中)在高分子材料层400的表面上形成复数条切割道 410。其中，每一切割道410的深度为0.5密尔(mil)至1密尔，而切割 道410的宽度则为5微米至25微米。在一较佳实施例中，此切割道410 可以是相互垂直交错，并且可以作为实际切割晶粒时的参考线。
最后，将高分子材料层400与黏着层200分离，例如将高分子材料层 400与基板100 —起置入具有去离子水的槽中，使高分子材料层400与黏 着层200分离，形成一个封胶体；此封胶体包覆每一颗晶粒110，并且曝 露出每一晶粒110的主动面，如图4B所示。由于封胶体的相对于晶粒110 的主动面的下表面上有复数条切割道410，因此当高分子材料层400与基 板100剥离后，封胶体上的应力会被这些切割道410所形成的区域所抵消， 故可有效地解决封胶体翘曲的问题。此外，由于晶粒IIO己经准确地放置 于基板上，故可以计算出每一晶粒110上的焊垫lll位置，接着，再使用 传统的重布线工艺(RedistributionLayer; RDL)于晶粒110的复数个焊垫 lll上形成复数个扇出(fan out)的金属线段120，其中每一金属线段120 的一端与焊垫lll电性连接；接着，以半导体工艺于金属线段120上形成 一保护层140并于每一个金属线段120的另一端上形成复数个开口 (opening)。最后，再于每一开口上形成复数个导电组件130，以便作为 晶粒110对外电性连接的接点，其中，此电性连接组件130可以是金属凸 块(metalbump)或是锡球(solderball)，如图3C所示。然后，即可对封装体进行最后的切割，以形成一颗颗完成封装工艺的晶粒。因此，经由本实施 例所完成封装的晶粒110的可靠度可以有效地提高。
在上述的实施例中，形成平坦化的高分子材料400的方式可以选择使
用注模方式(molding process)来形成。此时，可将一模具装置500覆盖 至基板100上，并且使模具装置500与晶粒110间保持一空间，因此可以 将高分子材料层400，例如环氧树脂模封材料(Epoxy Molding Compound; EMC)，注入模具装置500与晶粒110的空间中，使得高分子材料层400 形成一平坦化的表面并且使得高分子材料层400填满于晶粒110之间并包 覆每一晶粒110，如图3C所示；此外，亦可将模具装置500与晶粒110 的背面接触在一起，以使得晶粒110的背面未被高分子材料层400包覆， 如图4B所示。由于，使用注模方式来包覆每一颗晶粒110之后，其制造 过程与前述方式相同，故不再赘述。
接下来，请参考图5A，是本发明的晶粒重新配置封装方法的另一实 施例。如图5A所示，在基板100上配置有一黏着层200，此黏着层200 为一具有弹性的黏着材料，同时，于黏着层200上再形成复数个凸出肋
(ribs) 210。在一较佳实施例，此复数个凸出肋210是以相互垂直交错的 方式形成；而此黏着层200可以是硅橡胶(siliconembber)、硅树脂(silicone resin)、弹性PU、多孔PU、丙烯酸橡胶(acrylic rubber)或晶粒切割胶等 材料所形成；而凸出肋210则可以是硅橡胶(silicone rubber)、硅树脂
(silicone resin)、弹性PU、多孔PU、丙烯酸橡胶(acrylic rubber)、polyimide 或晶粒切割胶等材料所形成。接着，使用取放装置(未显示于图中)将背 面朝上且配置有复数个对准标志102的晶粒110逐一吸起并贴附至基板 100上的黏着层200，其中晶粒110是以主动面上的焊垫111与基板上的 黏着层200连接；接着，于基板IOO及部份晶粒110上涂布高分子材料层 400，并且使用一模具装置500将高分子材料层400压平，使得高分子材 料层400形成一平坦化的表面并且使得高分子材料层400充满于晶粒110之间并包覆每一晶粒110;此高分子材料层400可以为硅胶、环氧树脂、
丙烯酸(acrylic)、或苯环丁烯(BCB)等材料。
此外，高分子材料层400也可以选择使用注模方式(molding process) 来形成。同样地，将模具装置500覆盖至基板100上，并且使模具装置500 与晶粒110间保持一空间，因此可以将高分子材料层400，例如环氧树脂 模封材料(Epoxy Molding Compound; EMC)，注入模具装置500与晶粒110 的空间中，使得高分子材料层400形成一平坦化的表面并且使得高分子材 料层400填满于晶粒110之间并包覆每一晶粒110。
接着，在完成高分子材料层400的程序后，可以选择性地对平坦化的 高分子材料层400进行一烘烤程序，以使高分子材料层400固化。再接着， 进行脱模程序，将模具装置500与固化后的高分子材料层400分离，以裸 露出平坦化的高分子材料层400的表面，如图5B所示。最后，将高分子 材料层400与黏着层200分离，例如将高分子材料层400与基板100 —起 放入去离子水的槽中，使高分子材料层400与黏着层200分离，形成一个 封胶体；此封胶体包覆每一颗晶粒110，并且曝露出每一晶粒110的主动 面以及由复数条凸出肋210所形成的渠道220于高分子材料表面上，如图 5C所示。由于封胶体的高分子材料层400与基板100剥离后，封胶体上 的应力会被复数条渠道220所抵消，故可有效地解决封胶体翘曲的问题。 同样地，由于晶粒110已经准确地放置于基板上，故可以计算出每一晶粒 110上的焊垫111位置，接着，再使用传统的重布线工艺(Redistribution Layer; RDL)于晶粒110的复数个焊垫111上形成复数个扇出(fan out) 的金属线段120;接着，以半导体工艺于金属线段120上形成一保护层140 并于每一个金属线段120的另一端上形成复数个开口 (opening)。最后， 再于每一开口上形成复数个导电组件130，以便作为晶粒110对外电性连 接的接点，其中，此电性连接组件130可以是金属凸块(metal bump)或是 锡球(solder ball)，如图5C所示。然后，即可对封装体进行最后的切割，以形成一颗颗完成封装工艺的晶粒。很明显地，在本实施例中的每一颗晶
粒110的5个面都被高分子材料层400所包覆每一颗晶粒110，仅有晶粒 110的主动面曝露出来。
很明显地，本实施例也可以选择性以注模方式形成如图6A与如图6B 所示，由于其形成的过程与图4A及图4B相同，故不再赘述。
接下来，请参考图7A，是本发明的晶粒重新配置封装方法的再一实 施例。如图7A所示，在基板100上配置有一黏着层200，此黏着层200 为一具有弹性的黏着材料，而此黏着层200可以是硅橡胶(silicone rubber )、 硅树脂(silicone resin)、弹性PU、多孔PU、丙烯酸橡胶(acrylic rubber) 或晶粒切割胶等材料所形成。接着，使用取放装置(未显示于图中)将背 面朝上且配置有复数个对准标志102的晶粒110逐一吸起并贴附至基板 100上的黏着层200，其中晶粒110是以主动面上的焊垫111与基板上的 黏着层200连接；接着，于基板100及部份晶粒110上涂布高分子材料层 400，并且使用一个具有复数个凸出肋510的模具装置500将高分子材料 层400压平，使得高分子材料层400充满于晶粒110之间并包覆每一晶粒 110;此高分子材料层400可以为硅胶、环氧树脂、丙烯酸(aciylic)、或 苯环丁烯(BCB)等材料。
此外，高分子材料层400也可以选择使用注模方式(molding process) 来形成图5B所示的结果，即将一个具有复数个凸出肋510的模具装置500 覆盖至基板100上，并且使具有复数个凸出肋510的模具装置500与晶粒 110间保持一空间，因此可以将高分子材料层400，例如环氧树脂模封材 料(Epoxy Molding Compound; EMC)，注入具有复数个凸出肋510的模具 装置500与晶粒110的空间中，使得高分子材料层400填满于晶粒110之 间并包覆每一晶粒110。
接着，在完成高分子材料层400的程序后，可以选择性地对平坦化的 高分子材料层400进行一烘烤程序，以使高分子材料层400固化。再接着，进行脱模程序，将具有复数条凸出肋510的模具装置500与固化后的高分
子材料层400分离，在高分子材料层400的表面上裸露出由复数条凸出肋 510所形成的渠道520。最后，将高分子材料层400与黏着层200分离， 例如将高分子材料层400与基板100 —起放入去离子水的槽中，使高分子 材料层400与黏着层200分离，形成一个封胶体。此封胶体包覆每一晶粒 110，并且曝露出每一晶粒110的主动面，而在晶粒110的背面的高分子 材料表面上则有复数条渠道520，如图7C所示。由于封胶体的高分子材 料层400与基板100剥离后，封胶体上的应力会被复数渠道520所抵消， 故可有效地解决封胶体翘曲的问题。
由于晶粒110已经准确地放置于基板100上，故可以计算出每一晶粒 110上的焊垫111位置，接着，再使用传统的重布线工艺(Redistribution Layer; RDL)于晶粒110的复数个焊垫111上形成复数个扇出(fan out) 的金属线段120;接着，以半导体工艺于金属线段120上形成一保护层140 并于每一个金属线段120的另一端上形成复数个开口 (叩ening)。最后， 再于每一开口上形成复数个导电组件130，以便作为晶粒IIO对外电性连 接的接点，其中，此电性连接组件130可以是金属凸块(metal bump)或是 锡球(solder ball),如图7C所示。然后，即可对封装体进行最后的切割， 以形成一颗颗完成封装工艺的晶粒。很明显地，在本实施例中的每一颗晶 粒110的5个面都被高分子材料层400所包覆，仅有晶粒110的主动面曝 露出来。同时，也由对准标志102的配置，使得金属线段120及导电组件 130均可精确地与焊垫111连接，可使完成封装的晶粒110的可靠度提高。
此外，亦可将模具装置500与晶粒110的背面接触在一起，以使得高 分子材料层400仅填满于晶粒110之间而晶粒110的背面则未被高分子材 料层400包覆，如图8A所示。由于晶粒110己经准确地放置于基板100 上，故可以计算出每一晶粒110上的焊垫111位置，接着，再使用传统的 重布线工艺(RedistributionLayer; RDL)于晶粒110的复数个焊垫111上形成复数个扇出(fan out)的金属线段120;接着，以半导体工艺于金属 线段120上形成一保护层140并于每一个金属线段120的另一端上形成复 数个开口 (opening)。最后，再于每一开口上形成复数个导电组件130， 以便作为晶粒110对外电性连接的接点，其中，此电性连接组件130可以 是金属凸块(metalbump)或是锡球(solderball)，如图8B所示。然后，即可 对封装体进行最后的切割，以形成一颗颗完成封装工艺的晶粒。故可使完 成封装的晶粒110的可靠度提高。
在此要强调的是，在本实施例进行注模的过程中，使用具有复数个凸 出肋510的模具装置500覆盖至基板100上，因为当模流注入后，由于大 气压力的原因，会在凸出肋510的每一个封闭的角落上形成气室，使得模 流无法注入，而形成近似圆弧形的钝角115结构，如图8B所示。
接下来，请参考图9A，是本发明的晶粒重新配置封装方法的再一实 施例。如图9A所示，是将图5A与图7A的实施例合并使用，而其形成的 过程不再赘述。很明显地，本实施例可以在高分子材料层400的正面与背 面均形成复数条渠道210/510，故封胶体上的应力会被复数条渠道220/520 所抵消，故可有效地解决封胶体翘曲的问题。同样地，由于晶粒110已经 准确地放置于基板上，故可以计算出每一晶粒110上的焊垫111位置，接 着，再使用传统的重布线工艺(Redistribution Layer; RDL)于晶粒110 的复数个焊垫111上形成复数个扇出(fan out)的金属线段120;接着， 以半导体工艺于金属线段120上形成一保护层140并于每一个金属线段 120的另一端上形成复数个开口 (叩ening)。最后，再于每一开口上形成 复数个导电组件130，以便作为晶粒110对外电性连接的接点，其中，此 电性连接组件130可以是金属凸块(metal bump)或是锡球(solder ball)。然 后，即可对封胶体进行最后的切割，以形成一颗颗完成封装工艺的晶粒， 如图9B所示。很明显地，在本实施例中的每一颗晶粒110的5个面都被 高分子材料层400所包覆，仅有晶粒110的主动面曝露出来。同时，也由对准标志102的配置，使得金属线段120及导电组件130均可精确地与焊
垫111连接，可使完成封装的晶粒110的可靠度提高。
此外，亦可将模具装置500与晶粒110的背面接触在一起，如图10A 所示，以使得高分子材料层400仅填满于晶粒110之间而晶粒110的背面 则未被高分子材料层400包覆。由于晶粒110已经准确地放置于基板上， 故可以计算出每一晶粒110上的焊垫111位置，接着，再使用传统的重布 线工艺(RedistributionLayer; RDL)于晶粒110的复数个焊垫111上形成 复数个扇出(fan out)的金属线段120，其中每一金属线段120的一端与 焊垫111电性连接，并且再于金属线段120的另一端上形成复数个导电组 件130，如图10B所示，故可使完成封装的晶粒110的可靠度提高。
图11表示根据上述利用圆片对准标志的晶粒重新配置的封装方法， 经切割之后所得到的完成封装的晶粒的剖面示意图。在图11中，其晶粒 110的下表面具有一对对准标志102，并且在晶粒110的主动面具有复数 个电性连接组件(未在图中表示)，这些电性连接组件可由在晶粒110背面 的对准标志102而准确的形成在晶粒110的焊垫(未在图中表示)上，以增 加封装结构的可靠性。
虽然本发明以上述较佳实施例描述，然其并非用以限定本发明，本领 域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰， 因此本发明的保护范围须视本发明所申请的权利要求范围所界定的为准。
权利要求
1、一种晶粒重新配置的封装方法，包括提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒；形成复数个对准标志在该圆片每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主动面上配置复数个焊垫；贴附该些晶粒至一基板上，且该基板上配置有一黏着层，将每一该晶粒的该主动面以覆晶方式配置在该基板的该黏着层上；形成一高分子材料层在该基板及部份该些晶粒上；覆盖一模具装置，用以平坦化该高分子材料层，使得该高分子材料层填满在该些晶粒之间且包覆住每一该些晶粒；脱离该模具装置，用以曝露出该高分子材料层的一上表面；及脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该些晶粒的该主动面，以形成一封胶体。
2、 一种晶粒重新配置的封装方法，包括提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒;形成复数个对准标志在该圆片每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主 动面上配置复数个焊垫；贴附该些晶粒至一基板上，且该基板上配置有一黏着层，将每一该晶 粒的该主动面以覆晶方式配置在该基板的该黏着层上；形成一高分子材料层在该基板及部份该些晶粒上；覆盖一模具装置，用以平坦化该高分子材料层，使得该高分子材料层 填满在该些晶粒之间且包覆住每一该些晶粒；脱离该模具装置，用以曝露出该高分子材料层的一上表面；脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面上的该些焊 垫，以形成一封胶体；形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该 些焊垫电性连接；形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及每一该金属线段并曝露 出每一该金属线段的另一端；形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每一 该些晶粒的五个面均由该高分子材料层所包覆。
3、 一种晶粒重新配置的封装方法，包括提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒； 形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主 动面上配置复数个焊垫；贴附该些晶粒至一基板上，且该基板上配置有一黏着层，将每一该晶 粒的该主动面以覆晶方式配置在该基板的该黏着层上；形成一高分子材料层在该基板及部份该些晶粒上；覆盖一模具装置，并使该模具装置与每一该晶粒的一下表面接触，用 以平坦化该高分子材料层，使得该高分子材料层填满在该些晶粒之间；脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料层及每一该晶粒的该下表面；脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该些晶粒的该主动面上的该些 焊垫，以形成一封胶体；形成复数条扇出的金属线段，该金属线段的一端与该些晶粒上的该些 焊垫电性连接；形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及每一该金属线段并曝露 出该每一个金属线段的另一端；形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每- 该晶粒的四个面由该高分子材料层所包覆。
4、 一种晶粒重新配置的封装方法，包括提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒；形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的X-y方向上；切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主动面上配置复数个焊垫；提供一黏着层，固接于一基板上，该黏着层上配置有复数个凸出肋； 贴附该些晶粒至该基板上，将每一该晶粒的该主动面以覆晶方式贴附在该黏着层上，且该些晶粒之间是以该些凸出肋间隔； 形成一高分子材料层在该黏着层及部份该些晶粒上； 覆盖一模具装置在该高分子材料层上，以平坦化该高分子材料层，使得该高分子材料层充满在该些晶粒之间并包覆住每一该晶粒； 脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料层的一表面； 脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面及曝露出由该些凸出肋所构成的复数条渠道于该高分子材料层的该表面上，以形成一封胶体；形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该 些焊垫电性连接；形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及每一该金属线段并曝露 出该每一个金属线段的另一端；形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另一端电性连接；及切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每一 该晶粒的五个面系由该高分子材料层所包覆。
5、 一种晶粒重新配置的封装方法，包括提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒;形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主动面上配置复数个焊垫；提供一黏着层，固接于一基板上，该黏着层上配置有复数个凸出肋； 贴附该些晶粒至该黏着层上，系将每一该晶粒的该主动面以覆晶方式贴附在该黏着层上，且该些晶粒之间系以该些凸出肋间隔； 形成一高分子材料层在该黏着层及部份该些晶粒上； 覆盖一模具装置在该高分子材料层上，并使该模具装置与每一该晶粒的下表面接触，以平坦化该高分子材料层，使得该高分子材料层充满在该些晶粒之间；脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料层的一表面； 脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面及曝露出由该些凸出肋所构成的复数条渠道于该高分子材料层的该表面上，以形成一封胶体；形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该 些焊垫电性连接；形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及该每一该金属线段并曝 露出每一该金属线段的另一端；形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每一该晶粒的四个面由该高分子材料层所包覆。
6、 一种晶粒重新配置的封装方法，包括提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒； 形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的XX-Y方向上；切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主 动面上配置复数个焊垫；贴附该些晶粒至一基板上，且该基板上配置有一黏着层，将每一该晶 粒的该主动面以覆晶方式贴附在该基板的该黏着层上；形成一高分子材料层在该基板及部份该些晶粒上；覆盖一配置有复数个凸出肋的模具装置在该高分子材料层上，以平坦 化该高分子材料层，使得该高分子材料层填满在该些晶粒之间并包覆住每 一该晶粒；脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料层的一表面，并形成由该些 凸出肋所构成的复数条渠道在该曝露的高分子材料层的该表面上；脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面的该些焊 垫，以形成一封胶体；形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该 些焊垫电性连接；形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的该主动面及每一该金属线段并嚼 露出每一该金属线段的另一端；形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每一 该晶粒的五个面由该高分子材料层所包覆。
7、 一种晶粒重新配置的封装方法，包括提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒;形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主动面上配置复数个焊垫；贴附该些晶粒至一基板上，且该基板上配置有一黏着层，将每一该品粒的该主动面以覆晶方式贴附在该基板的该黏着层上； 形成一高分子材料层在该基板及部份该些晶粒上；覆盖一配置有复数个凸出肋的模具装置在该高分子材料层上，并使该 模具装置与每一该晶粒的下表面接触，以平坦化该高分子材料层，使得该 高分子材料层填满在该些晶粒之间；脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料层的一表面，并形成由该些 凸出肋所构成的复数条渠道在该曝露的高分子材料层的该表面上；脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面的该些焊 垫，以形成一封胶体；形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的复 数个焊垫电性连接；形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及每一该金属线段并曝露 出每一该金属线段的另一端；形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每一 该晶粒的四个面系由该高分子材料层所包覆。
8、 一种晶粒重新配置的封装方法，包括提供一圆片，具有一上表面及一背面，且该圆片上配置有复数个晶粒; 形成复数个对准标志在该圆片的每一该晶粒的该背面的X-Y方向上；切割该圆片，以形成复数个晶粒且每一该晶粒具有一主动面并于该主 动面上配置复数个焊垫；提供一黏着层，固接于一基板上，该黏着层上配置有复数个第一凸出肋；贴附该些晶粒在该黏着层上，将每一该晶粒的该主动面以覆晶方式贴 附在该黏着层的上，且该些晶粒之间是以该些第一凸出肋间隔； 形成一高分子材料层在该黏着层及部份该晶粒上；覆盖一配置有复数个第二凸出肋的模具装置在该高分子材料层之上，以平坦化该高分子材料层，使得该高分子材料层填满于该些晶粒之间并包 覆每一该些晶粒；脱离该模具装置，以曝露出该高分子材料的一第一表面，并形成复数 条第一渠道在曝露的该第一表面上；脱离该基板及该黏着层，以曝露出每一该晶粒的该主动面的该些焊垫 及曝露出该高分子材料层的一第二表面，以形成一封胶体，其中该第二表 面上具有复数条第二渠道；形成复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该 些焊垫电性连接；形成一保护层，以覆盖每一该晶粒的主动面及每一该金属线段并曝露 出每一该金属线段的另一端；形成复数个电性连接组件，将该些电性连接组件与该些金属线段的另 一端电性连接；及切割该封胶体，以形成复数个各自独立的完成封装的晶粒，其中每一 该晶粒的五个面由该高分子材料层所包覆。
9、 一种晶粒重新配置的封装结构，包括一晶粒，具有一主动面及一下表面，于该主动面上配置有复数个焊垫且于该下表面配置复数个对准标志；一封胶体，用以包覆该晶粒的五个面且曝露出该晶粒的该主动面上的 该些焊垫；复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该些焊 垫电性连接；一保护层，用以覆盖该晶粒的该主动面及每一该金属线段并曝露出每一该金属线段的另一端；及复数个电性连接组件，设置于该些扇出的金属线段的另一端上与该些 焊垫形成电性连接。
10、 一种晶粒重新配置的封装结构，包括一晶粒，具有一主动面及一下表面，于该主动面上配置有复数个焊垫且于该下表面配置复数个对准标志；一封胶体，用以包覆该晶粒的四个面且曝露出该晶粒的该主动面上的 该些焊垫及该晶粒的该下表面；复数条扇出的金属线段，该些金属线段的一端与该些晶粒上的该些'席 垫电性连接；一保护层，用以覆盖该晶粒的该主动面及每一该金属线段并曝露出每 一该金属线段的另一端；及复数个电性连接组件，设置于该些金属线段的另一端上与该些焊垫形 成电性连接。
全文摘要
一种在晶粒重新配置的封装结构中使用对准标志的制作方法，包括提供圆片并形成复数个对准标志在圆片背面的x-y方向上；切割圆片，以形成复数个晶粒且每一颗晶粒的主动面上配置有复数个焊垫以及在下表面的x-y方向上配置有对准标志；贴附复数个晶粒至基板上，并在基板以及部分的晶粒上涂布高分子材料层；以模具装置进行一封胶工艺以包覆住每一颗晶粒；在脱离模具装置及基板后，可形成一封胶体。
文档编号H01L23/31GK101436554SQ20071018870
公开日2009年5月20日 申请日期2007年11月15日 优先权日2007年11月15日
发明者傅文勇 申请人:南茂科技股份有限公司;百慕达南茂科技股份有限公司