专利名称：氙气供给装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及离子注入装置，尤其涉及该装置中的氙气供给装置。
技术背景离子注入装置包括离子源系统、真空系统、控制系统和电源等部分。离子束加工的原理是在真空条件下，把氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)等惰性气体，通过离 子源电离而产生的离子束经过加速、聚焦后，射到晶圆表面。请参阅图1，是离子注入装置中氙气供给装置的结构示意图。氛气供给装置 包括氤气瓶、计量器、反应腔以及粗泵依次串联。成气瓶给反应腔提供'氣气， 计量器用于测量氙气的流量，反应腔提供了一个真空环境，粗泵用于抽空反应 腔内的气体。在实际操作中，氙气瓶需要每隔二三个月就要更换一次，每次都需要停止 离子注入装置的运作，换掉旧的氙气瓶，并需要通过粗泵将氙气瓶与计量器之 间的残留气体抽净，以避免反应腔内的灯丝被氧化，最后再换上新的氙气瓶。 粗泵通过反应腔和计量器抽残留气体，而计量器的流量很小，所以将残留气体 抽干净需要两三个小时，就意味着离子注入装置需要停止运行两三个小时，这 会降低生产效率。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种改进的氙气供给装置，其可以有效缩短更 换氛气瓶的时间。为实现上述目的，本实用新型提供一种氙气供给装置，其中，该装置包括 氙气瓶、计量器、反应腔以及粗泵；氙气瓶、计量器、反应腔依次串联，粗泵 连接到氣气瓶和计量器之间的管路上。在粗泵和氙气瓶之间的管路上还设置一个控制该管路之间的通断的阀门。所述粗泵与反应腔相连接。与现有技术相比，本实用新型装置的粗泵可以直接抽取氙气瓶和计量器之 间管路的气体，将有效缩短更换氙气瓶的时间，有效提高了生产效率。
通过以下对本实用新型的一实施例结合其附图的描述，可以进一步.理解其实用新型的目的、具体结构特征和优点。其中，附图为 图1为现有技术中氙气供给装置的结构示意图。 图2为本实用新型中氙气供给装置的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型提供一种改进的氙气供给装置，该装置包括依次串联的氛气瓶 1、计量器3及反应腔5。该装置还包括一个粗泵7，该粗泵7通过两条管路71 和73分别连接到反应腔5以及氙气瓶1和计量器3之间的管路上。在粗泵7和 氙气瓶l之间的管路上，还可以加装一个阀门9，用于控制管路73之间的通断。当需要更换氙气瓶1的时候，首先停止整个离子注入装置(未图示)的运 作，然后打开阀门9，控制粗泵7开始工作，粗泵7直接将氣气瓶1和计量器3 之间管路残留的气体抽空，然后再更换上新的氙气瓶。粗泵7直接抽取残留气 体只需要不到半个小时，所以整个更换氙气瓶1的过程只需要半个小时左右， 大大缩短了更换时间，有效提高了生产效率。本实用新型采用反应腔5连接的一个粗泵7抽取氛气瓶1和计量器3之间 管路的气体。在本实用新型其他实施例中，也可以单独设置一个泵专门抽取氣 气瓶1和计量器3之间管路的气体。
权利要求1、一种氙气供给装置，其特征在于该装置包括氙气瓶、计量器、反应腔以及粗泵；氙气瓶、计量器、反应腔依次串联，粗泵连接到氙气瓶和计量器之间的管路上。
2、 如权利要求1所述的一种氙气供给装置，其特征在于在粗泵和氛气瓶之间 的管路上还设置一个控制该管路之间的通断的阀门。
3、 如权利要求1所述的一种氙气供给装置，其特征在于所述粗泵与反应腔相 连接。
专利摘要本实用新型提供一种氙气供给装置，其中，该装置包括氙气瓶、计量器、反应腔以及粗泵；氙气瓶、计量器、反应腔依次串联，粗泵连接到氙气瓶和计量器之间的管路上。在粗泵和氙气瓶之间的管路上还设置一个控制该管路之间的通断的阀门。与现有技术相比，本实用新型装置的粗泵可以直接抽取氙气瓶和计量器之间管路的气体，将有效缩短更换氙气瓶的时间，有效提高了生产效率。
文档编号H01L21/02GK201112325SQ20072007381
公开日2008年9月10日 申请日期2007年8月20日 优先权日2007年8月20日
发明者黄家明 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司