专利名称：晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及IC晶圆打标装置，尤其是一种设置在打标机上的晶圆方向检測装置。
背景技术：
打标机广泛应用于IC行业的集成电路的表面打标。根据使用要求的不同，IC行业使用的集成电路板有料条、芯片和晶圆三种形式。料条是由若干芯片组合而成的板料，对料条上 的每一芯片打标时，是直接通过输送料条实现自动打标的。芯片是尺寸较小的块粒状料，是 放在轨道托盘中，通过对轨道托盘的输送实现芯片自动打标的。晶圆是直接在其上制作了多块芯片的一块薄薄的圆片，直径约为200 300mm,需要在整块晶圆薄片上对其上的每一块芯 片的背面进行打标。
为了保证送到晶画打标平台上的晶圆方向正确，需要在晶圆送入之前确定一个方向，方 向确定后将由机械手和打标平台记忆下来，机械手将准确把确定了方向的晶圆放到晶圆打标 平台上的确定方位。晶圆方向检测是否准确，直接关系到晶圆打标的质量。目前使用的晶圆 背面打标机的晶圆方向检测较为粗略，只用了一级方向检测，检测方位准确性不高，造成打 标质量不高。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有的方向检溯装置存在的检测准确性低，打标质量不高的不 足，提供一种能够进行髙精度检测的晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置。
本实用新型的技术方案为一种晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置，包括晶圃转盘装 置、方向检測传感器和方向检测系统，晶圆转盘装置上带有一个转盘，方向检測传感器也安 装在品圆转盘装置上，且位于转盘的边缘；方向检测系统包括一个步进电机和一个与歩进电机相联接的摄像头，转盘位于摄像头的下方。
优选的是，所述的方向检测系统包括一个底座，底座上安装有由两个支架杆和一个支架
杆连接板构成的支架，支架的头部连接有安装板，步进电机及与之相连的滚珠丝杆传动装置 设置在安装板上，滚珠丝杆传动的滚珠体部分与滚珠体连接板相连，摄像机与摄像机安装板、 调整板、直角连接板、滚珠体连接板及滚珠丝杆传动依次相连。
优选的是，所述的直角连接板上设置有一个吊装板，吊装板被弯成一个直角， 一端安装 在直角连接板上，另一端与机架顶端的托链的一端相连。
本实用新型的有益效果为由于先后通过方向检测传感器和方向检测系统的双重方向检 测，因此可以保证机械手送到晶圆打标平台上的晶圆方向准确无误，打标质量大大提高。
图1为本实用新型具体，施例与机械手的位置关系图2为本实用新型具体实施例方向检測系统的结构示意图3为本实用新型具体实施例方向检测系统的分解结构示意图。
具体实施方式
如图1至图3所示的本实用新型的具体实施例， 一种晶圆背面打标机的晶圆方向检测装 置，包括晶圆转盘装置15、方向检测传感器16和方向检測系统14，晶画转盘装置15上带有 —个转盘，方向检测传感器16也安装在晶圆转盘装置15上，且位于转盘的边缘；方向检測 系统14包括一个步进电机3和一个与步进电机3相联接的摄像头9，转盘位于摄像头9的下 方。所述的方向检测系统14包括一个底座4，底座4上安装有由两个支架杆1和一个支架杆 连接板2构成的支架，支架的头部连接有安装板ll,步进电机3及与之相连的滚珠丝杆传动 10设置在安装板11上，滚珠丝杆传动10的滚珠体部分,即滚珠丝杆上的螺母,与滚珠体连接 板17相连，摄像机9与摄像机安装板8、调整板7、直角连接板6、滚珠体连接板17及滚珠 丝杆传动10依次相连。所述的直角连接板6上设置有一个吊装板5，吊装板5被弯成一个直 角， 一端安装在直角连接板6上，另一端与机架顶端的托链12的一端相连，当摄像机来回移 动时，其上的相关引线将通过吊装板与托链实现跟踪移动。
工作时，当机械手13得到可以抓取晶圆的命令后，机械手13立即去上料箱装置的晶圆 格子料箱中取出一块晶圆，机械手与晶圆接触的部分设有部分真空吸孔，可将晶圆稳稳吸住，送到与晶圆方向检测装置相关的晶圆转盘装置15的转盘上，转盘带动晶圆转动，当晶圆的方 向检测缺口 (或检测标记)被设置在晶圆转盘装置一侧的检测传感器16检测到后，会立即让 转盘装置15的转盘减速转动并通知方向检测系统14开始工作。
方向检测系统14的步进电机3通过滚珠丝杆传动10带动摄像机9来回移动扫描，以确 定晶圆的准确方向。方向确定后，转盘停止转动；方向检测系统14的摄像机9回到原位，准 备再次对送来的晶圆进行方向检测。之后，机械手13根据方向检测系统14确定的方向从转 盘上抓取晶圆，通过闸门口将晶圆送到晶圆打标平台上，之后退回原处待命。
权利要求1.一种晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置，其特征在于包括晶圆转盘装置(15)、方向检测传感器(16)和方向检测系统(14)，晶圆转盘装置(15)上带有一个转盘，方向检测传感器(16)也安装在晶圆转盘装置(15)上，且位于转盘的边缘；方向检测系统(14)包括一个步进电机(3)和一个与步进电机(3)相联接的摄像头(9)，转盘位于摄像头(9)的下方。
2. 如权利要求1所述的晶画背面打标机的晶画方向检測装置，其特征在于所述的方向检 测系统(14)包括一个底座(4),底座(4)上安装有由两个支架杆(1)和一个支架杆 连接板(2)构成的支架，支架的头部连接有安装板(11),步进电机(3)及与之相连 的滚珠丝杆传动(10)设置在安装板(11)上，滚珠丝杆传动(10)的滚珠体部分，即 滚珠丝杆上的螺母,与滚珠体连接板(17)相连，摄像机(9)与摄像机安装板(8)、调 整板(7)、直角连接板(6)、滚珠体连接板(17)及滚珠丝杆传动(10)依次相连。
3. 如权利要求2所述的晶圆背面打标机的晶圆方向检測装置，其特征在于所述的直角连 接板(6)上设置有一个吊装板(5)，吊装板(5)被弯成一个直角， 一端安装在直角连接板(6)上，另一端与机架顶端的托链(12)的一端相连。
专利摘要本实用新型涉及一种晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置，包括晶圆转盘装置、方向检测传感器和方向检测系统，晶圆转盘装置上带有一个转盘，方向检测传感器也安装在晶圆转盘装置上，且位于转盘的边缘；方向检测系统包括一个步进电机和一个与步进电机相联接的摄像头，转盘位于摄像头的下方。由于先后通过方向检测传感器和方向检测系统的双重方向检测，因此可以保证机械手送到晶圆打标平台上的晶圆方向准确无误，打标质量大大提高。
文档编号H01L21/66GK201075382SQ20072015137
公开日2008年6月18日 申请日期2007年7月12日 优先权日2007年7月12日
发明者冀守恒, 唐召来, 张松岭, 林宜龙, 陈有章 申请人:格兰达技术(深圳)有限公司