专利名称：板状物暂放装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种板状物的暂放装置，特别是一种可调整为批次暂放二板 状物或三板状物的暂放装置。
背景技术：
半导体基板或液晶基板等制造由多数的处理制程或检査制程所组成，在各制程中为了制程的便利， 一般会将多数片的基板收藏于卡匣(cassette)中，以便将卡 匣依次运送至处理装置或检査装置，并藉由基板运送机器人的承载臂自卡匣内逐片 取出基板，进行所需的制程处理或检査处理，其中当基板运送机器人自卡匣内逐片 取出基板且尚未进行进一步处理时，会先将基板暂时放置于一暂存台上，以利用暂 存台上由数个承载架所建构出的承载区域暂时承载基板。随着基板尺寸的改变，基板在卡匣内的配置可为两列或三列配置，因此基板 运送机器人批次取出且运送两片基板或三片基板时，暂存台亦需对应区隔出二承载 区或三承载区；然而在习知的暂存台中，承载架固定于暂存台上，每一暂存台所建 构的承载区大小固定，因此需具备有多台各自具有二承载区或三承载区的暂存台， 以随时依据不同的卡匣做更换，在制程上具有更换繁琐且成本高的缺失。因此若能提出一种在同一暂存台中，可随时调整承载区的大小以批次放置二 板状物或三板状物的板状物暂放装置，即为本实用新型的目标。实用新型内容为了解决上述问题，本实用新型目的之一提出一种板状物暂放装置，藉由一 传动机构调整一对具有多个第一承载爪的第一侧板，及一对具有多个第二、第三承 载爪的第二侧板的位置，使第一、第二侧板可区隔出二承载区或三承载区，进而藉 由第一、第二及第三承载爪批次承载二板状物或三板状物，以具备有简化制程且降 低成本的优点。本实用新型目的之一提供板状物暂放装置，其具有较高的承载强度，将可大幅改善大尺寸基板放置于承载爪上的安全疑虑。为了达到上述目的，本实用新型一实施例的板状物暂放装置包含 一本体， 其内部设置一传动机构；二第一侧板平行且间隔设置并与传动机构连接，二第一侧 板的相对表面分别延设多个间隔排列的第一承载爪；二第二侧板平行设置于二第一 侧板之间，且与传动机构连接，二第二侧板具有彼此面对的二内侧面，及分别与二 第一侧板面对的二外侧面，二内侧面分别延设有相对且偏置排列的多个第二承载 爪，每一第二侧板上形成有多个开槽；以及多个第三承载爪间隔排列设置于二第二 侧板的二外侧面，以与第一承载爪相对；其中，二第二侧板受传动机构驱动进行一 第一作动及一第二作动其中之一，第一作动使二第二侧板相互远离一间隔后停止， 第二作动使二第二侧板彼此位移靠近以并排结合，且每一第二侧板上的每一第二承 载爪分别相互穿设过另一第二侧板上的每一开槽。
图1所示为本实用新型一实施例板状物暂放装置的一作动状态结构示意图。图2所示为本实用新型一实施例板状物暂放装置的另一作动状态结构示意图。图3所示为本实用新型一实施例板状物暂放装置应用于一暂存台示意图。图4所示为本实用新型一实施例板状物暂放装置放置基板的应用示意图。图5所示为本实用新型一实施例板状物暂放装置放置基板的另一应用示意图。主要元件符号说明:10板状物暂放装置12本体14、14，第一侧板16、16，第二侧板161、161'内侧面162、162'外侧面18、18，第一承载爪20、20，第二承载爪22、22，开槽24、24，第三承载爪30、30,第一承载区40 第二承载区50、 50' 第三承载区 60 暂存台 62 基板具体实施方式
图1所示为本实用新型一实施例板状物暂放装置的一作动状态结构示意图， 于本实施例中， 一板状物暂放装置10包括一本体12，其内部设置一传动机构(图 中未示)，较佳者为伺服传动机构或气压传动机构；二第一侧板14、 14'平行间 隔设置位于本体12底面二侧，以及二第二侧板16、 16'平行设置且位于二第一侧 板14、 14'之间，又第一侧板14、 14'及第二侧板16、 16'的顶缘皆与传动机构 连接；其中，二第一侧板14、 14'的相对表面底缘分别水平延设有多个个间隔排 列且相对的第一承载爪18、 18，；每一第二侧板16、 16，具有一内侧面161、 161， 及一外侧面162、 162'，每一内侧面161、 161'面对另一第二侧板16、 16'，每 一外侧面162、 162'则面对相邻的第一侧板14、 14' ， 二内侧面161、 161'的底 缘分别水平延设有相对且偏置排列的多个第二承载爪20、 20'，又第二侧板16、 16，上形成有多个开槽22、 22，，且一第二侧板16、 16，上的每一开槽22、 22， 的位置分别对应另一第二侧板16， 、 16上的第二承载爪20， 、20的位置；同时二 第二侧板16、 16'的二外侧面162、 162'的底缘分别设置有多个间隔排列的第三 承载爪24、 24'，以分别对应第一侧板14、 14'上的第一承载爪18、 18'。接续上述说明，二第一侧板14、 14'受传动机构驱动左右略为位移，而二第 二侧板16、 16'受传动机构驱动进行一第一作动及一第二作动其中之一；当进行 第一作动时，请继续参阅图l， 二第二侧板16、 16'相互远离一间隔，使二第二侧 板16、 16'与其邻近的第一侧板间14、 14'分别构成一第一承载区30、 30'，而 二第二侧板16、 16'间则构成一第二承载区40，进而具有三个可承载的区域；另 一方面，当进行第二作动时，请参阅图2， 二第二侧板16、 16'彼此位移靠近，且 每一第二侧板16、 16'上的第二承载爪20、 20，分别相互穿设过另一第二侧板 16， 、 16上的开槽22， 、 22，使二第二侧板16、 16，并排结合在一起，进而藉由 相互结合的第二侧板16、 16'位于两第一侧板14、 14'的中间位置以区隔出二个 第三承载区50、 50，。其中，如图1所示，当进行第一作动以构成二第一承载区30、 30'及一第二6承载区40时，在每一第一承载区30、 30'中藉由相对应的第一承载爪18、 18'及 第三承载爪24、 24'共同支撑所欲放置的板状物，而在每一第二承载区40中则藉 由相对且偏置排列的第二承载爪20、 20'共同支撑所欲放置的板状物，于一实施 例中，第一、第二承载区30、 30' 、 40中所放置的板状物具有相同尺寸；另一方 面，当进行第二作动以构成二第三承载区50、 50'时，如图2所示，在每一第三 承载区50、 50，中，除了利用相对应的第一承载爪18、 18，及第三承载爪24、 24， 承载板状物之外，亦同时利用由开槽22、 22'穿设出的第二承载爪20、 20'共同 支撑板状物，进而具有较高的承载强度。如图3所示，于一实施例中，本实用新型的板状物暂放装置10与一暂存台60 结合，以供暂时存放由基板运送机器人(图中未示)从一卡匣(图中未示)内取出且批 次运送而来的二基板或三基板，二第一侧板14、 14'及二第二侧板16、 16'的作 动方式将依据卡匣内基板配置的列数选择进行第一作动或第二作动；其中基板可为 液晶面板、太阳能板或其他小尺寸且轻质的板状物。当卡匣内的基板呈三列状态配置且基板运送机器人批次运送三基板时，如图4 所示，传动机构驱动第一侧板14、 14'及第二侧板16、 16'移动以构成三个可承 载的区域(二第一承载区30、 30'与一第二承载区40)，以便藉由每一区的承载 爪各自暂时承载一基板62，其中较佳者，每一基板62的尺寸为12英寸至23英寸； 当卡匣内的基板呈两列状态配置且基板运送机器人批次运送两基板时，如图5所 示，传动机构驱动第一、第二侧板14、 14' 、 16、 16'移动以构成二个可承载的 区域(第三承载区50、 50')，以便藉由每一区的承载爪各自暂时承载一基板62， 其中较佳者，每一基板62的尺寸为23英寸至32英寸。综合上述，本实用新型藉由第一、第二侧板的位移调整，可自由变化为批次 暂放二基板或三基板，以便在不需更换整个暂存台的前提下可随时对应卡匣内的基 板的两列或三列配置设计；将可改善习知技术中当卡匣内的基板的配置不同时，需 整个更换暂存台所造成的更换麻烦且高成本的缺失，具备有简化制程且降低成本的 优点；另一方面，当板状物暂放装置批次暂放二基板时，藉由二第二侧板结合所穿 设过的第二承载爪的辅助，将可大幅提升大尺寸基板放置时的支撑强度，以改善安 全疑虑。以上所述的实施例仅为说明本实用新型的技术思想及特点，其目的在使熟习 此项技艺的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，当不能以之限定本实用新 型的专利范围，即大凡依本实用新型所揭示的精神所作的均等变化或修饰，仍应涵盖在本实用新型的专利范围内。
权利要求1.一种板状物暂放装置，用以存放至少一板状物，其特征在于，该板状物暂放装置包含一本体，其内部设置一传动机构；二第一侧板，平行且间隔设置并与该传动机构连接，二该第一侧板的相对表面分别延设多个间隔排列的第一承载爪；二第二侧板，平行设置于二该第一侧板之间，且与该传动机构连接，二该第二侧板具有彼此面对的二内侧面，及分别与二该第一侧板面对的二外侧面，二该内侧面分别延设有相对且偏置排列的多个第二承载爪，每一该第二侧板上形成多个开槽；以及多个第三承载爪，间隔排列设置于二该第二侧板的二该外侧面，以与该第一承载爪相对，其中二该第二侧板受该传动机构驱动进行一第一作动及一第二作动其中之一，该第一作动使二该第二侧板相互远离一间隔，该第二作动使二该第二侧板彼此位移靠近以并排结合，且每一该第二侧板上的每一该第二承载爪分别相互穿设过另一该第二侧板上的每一该开槽。
2. 如权利要求1所述的板状物暂放装置，其特征在于，进行该第一作动时， 每一该第二侧板与其邻近的该一第一侧板间构成一第一承载区，而二该第二侧板之 间构成一第二承载区。
3. 如权利要求2所述的板状物暂放装置，其特征在于，二该第一承载区与该 第二承载区具有相同的板状物承载尺寸。
4. 如权利要求1所述的板状物暂放装置，其特征在于，进行该第二作动时， 每一该第一侧板与其邻近的该一第二侧板间构成一第三承载区。
5. 如权利要求4所述的板状物暂放装置，其特征在于，二该第三承载区具有 相同的板状物承载尺寸。
6. 如权利要求1所述的板状物暂放装置，其特征在于，二该第二侧板并排结 合的位置位于二该第一侧板之间的中央位置。
7. 如权利要求1所述的板状物暂放装置，其特征在于，该传动机构为一伺服 传动机构或一气压传动机构。
8. 如权利要求1所述的板状物暂放装置，其特征在于，该板状物为液晶面板 或太阳能板。
9. 如权利要求1所述的板状物暂放装置，其特征在于，该板状物的尺寸为12 英寸至32英寸。
专利摘要一种板状物暂放装置，包括一传动机构；二第二侧板设置于二第一侧板间且皆连接至传动机构；二第一侧板的相对表面分别设有多个第一承载爪，二第二侧板的相对内侧面分别设有相对且偏置排列的多个第二承载爪，且每一第二侧板上形成多个开槽，又二第二侧板的外侧面设置有多个第三承载爪；二第二侧板可相互远离一间隔，抑或可彼此位移靠近且每一第二侧板上的第二承载爪分别相互穿设过另一第二侧板上的开槽。藉由第一、第二侧板的移动可建构二承载区或三承载区，以供置放二板状物或三板状物。
文档编号H01L21/677GK201117645SQ20072019341
公开日2008年9月17日 申请日期2007年11月9日 优先权日2007年11月9日
发明者梁敬文 申请人:盟立自动化股份有限公司