一种制备直接醇燃料电池膜电极的方法

文档序号:6892819阅读:180来源:国知局
专利名称:一种制备直接醇燃料电池膜电极的方法
技术领域
本发明涉及制备直接醇燃料电池膜电极的方法。
技术背景燃料电池发电装置能量转换效率高,对环境污染小,可用作未来理想动力电源, 因而受到世界各国科学家的广泛关注,为此,世界各国都投入了大量人力、物力和财 力进行了研究。近十年来,随着便携式电子产品(如手机、掌上电脑、MP3等)的迅猛 发展与普及,用户对高比能量化学电源的要求日益高涨。为了适应各种新型电子产品 对电池高能量密度的需求,从20世纪90年代中期开始,世界各国许多知名公司和 科研机构不断努力试图发展小功率的燃料电池,期望能将其应用于便携式电源,如作 为手机、手提电脑和数码相机等小型电子设备的电源。直接醇燃料电池使用甲醇、甲酸和乙醇等液体作为燃料具有燃料来源丰富、价格 低廉、燃料易于运输和储存、能量密度高和易于微小型化等优点,适合作为便携式电 源,具有十分广阔的应用前景。其中最具代表性的是直接甲醇燃料电池(DMFC)和 直接甲酸燃料电池(DFAFC)。 DMFC和DFAFC各有优缺点。DMFC具有较高的能 量密度,但其功率密度要低于DFAFC。同时,甲醇易透过Nafion膜,导致阴极的混 合电位效应,使电池性能大大降低,而甲酸对质子交换膜的透过率较小,与甲醇相比 要低1至2个数量级。而且,甲醇有毒、易燃,而甲酸无毒、不易燃,存储和运输时 更安全。然而,就这两种电池研制的现状,它们的功率密度还达不到实用化程度,同 时电池的寿命还有待进一步提高。膜电极(MEA)被称之为燃料电池发电的"心脏",其 性能和稳定性的高低直接决定了燃料电池性能的优劣。因此,高性能膜电极的制备对 燃料电池性能的提高和实用化进程的推进至关重要。发明内容本发明的目的就是为了克服和解决现有技术中的问题,提供一种可提高直接醇燃 料电池膜电极性能进而提高燃料电池的功率密度和稳定性的直接醇燃料电池膜电极 制备方法。为实现以上目的,本发明通过以下技术方案实现一种制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,包括以下步骤A、将催 化剂和第一粘结剂分散于分散剂中,得到浆料;B、将浆料在40 100°C加热10分钟 3小时,再超声10分钟 2小时,形成均匀的浆液;C、将浆液涂覆在支撑层上制成 膜电极。其中,所述的催化剂选自Pt-Ru基、Pd基或Pt基的碳载或非负载催化剂。 其中,所述的步骤A中,第一粘结剂为催化剂重量的10% 25%;以催化剂的 重量为基准,按0.025 0.5mLmg'1的量加入分散剂。 其中,所述的分散剂选自异丙醇的水溶液或乙醇。 其中,异丙醇和水的体积比为1:1 3:1。 其中,所述的催化剂粒径为1 10纳米。一种制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,A、将催化剂和第一粘结 剂分散于分散剂中,得到浆料;B、将浆料在40 100。C加热10分钟 3小时,再超 声10分钟 2小时,形成均匀的桨液;C、将浆液涂覆在支撑层上,在100 150°C 空气、氮气或氩气中焙烧0.5 3.5h;然后在125~145°C、 4 8MPa下热压2 5分钟。其中,所述的分散剂选自异丙醇的水溶液或乙醇。其中,所述的第一粘结剂选自聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、聚乙烯醚和Nafion树 脂中的一种或几种。其中,所述的步骤C中,在支撑层上有一扩散层,将浆液涂覆在扩散层或支撑层上。其中,所述的支撑层为碳纸或碳布。其中,所述的扩散层的制备方法为,将碳材料和第二粘结剂超声分散于异丙醇的 水溶液中,按每毫克碳材料加入0.02 3mL异丙醇的水溶液,其中异丙醇和水的体积 比为0.5 3: 1,第二粘结剂为碳材料质量的10 30%,搅拌0.5 4h,形成均匀的 浆液,将浆液均匀地涂覆在支撑层上,经在340 370'C空气、氮气或氩气中高温焙烧 10分钟 3小时,即形成支撑层负载的扩散层。其中,所述的碳材料选自XC-72碳、XC-72R碳、黑珍珠-2000碳、Ketjen碳黑 或碳纳米管。其中,所述的第二粘结剂为聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯和Nafion树脂中的一种或 几种。'其中,所述的支撑层上,碳材料在支撑层上的质量分布为0 2.5mg《m'2。其中,所述的步骤A中,第一粘结剂为催化剂重量的10% 25%;以催化剂的 重量为基准,按O.COS-O.SmL'mg-1的量加入异丙醇的水溶液中,异丙醇和水的体积 比为1:1 3:1。其中,所述的催化剂选自Pt-Ru基、Pd基或Pt基的碳载或非负载催化剂。 其中,所述的催化剂粒径为1 10纳米。 Nafion树脂为杜邦公司产品,可通过商业途径购买获得。本发明中的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,方法简单,易于操作,通过调控 第一粘接剂的聚集状态,显著提高了燃料电池的功率密度和稳定性。本发明制备的 MEA有效地提高了电极的催化活性和效率,提高燃料电池膜电极的催化效率和催化 剂的利用率,有效地提高了电池的性能及其稳定性,降低了电池的极化损失,从而提 高了燃料电池的性能。


图1是直接醇类燃料电池膜电极性能测试装置图, 1.燃料储罐2.阳极集流体3.密封垫圈4.MEA5.密封垫圈6.阴极集流体 7.阴极支撑板;图2是实施例1制得的两个MEA在25'C全被动式操作下的极化曲线和功率密度 曲线的比较图(燃料为2M的甲醇水溶液);图3是实施例1制得的两个MEA在25t:全被动式操作下1小时恒电流放电曲线 的比较图(燃料为2M的甲醇水溶液,放电电流密度为40mAcm-2); 图4是实施例2制得的两个MEA在25'C主动式操作下的极化曲线和功率密度曲 线的比较图(燃料为4M的甲酸水溶液);图5是实施例3制得的两个MEA在25'C主动式操作下的极化曲线和功率密度曲 线的比较图(燃料为4M的甲酸水溶液);图6是实施例4制得的两个MEA在25'C全被动式操作下的极化曲线和功率密度 曲线的比较图(燃料为2M的甲醇水溶液);图7是实施例4制得的两个MEA在25'C全被动式操作下1小时恒电流放电曲线 的比较图(燃料为2M的甲醇水溶液,放电电流密度为40mAcm'2)5 图8是实施例5制得的两个MEA在25'C全被动式操作下的极化曲线和功率密度 曲线的比较图(燃料为2M的甲醇水溶液)。上述附图2、 4、 5、 6、 8中分别存在两条a或b,每条线共用横坐标,每条线使 用的纵坐标由图中箭头所示。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明做进一步说明实施例11. 称取18mg的XC-72碳和40mg质量比浓度为12.4wt.X的聚四氟乙烯乳液分散于 lmL异丙醇的水溶液中,异丙醇和水的体积比为1:1,超声分散2h即可得到均匀 的浆液。2. 各称取25mg铂钌黑置于容器a、 b中,均加入50mg超纯水将所有催化剂润湿后, 加入85mg质量比浓度为5.3wtX的Nafion树脂溶液,然后加入2mL异丙醇和水 的混合液作分散剂,异丙醇和水的体积比为l:l,控温为80。C将b加热2h, a、 b均超声分散2h。3. 取两张面积约为3x3cm2的碳纸作阳极支撑层,碳纸型号为TGP-H-060,憎水性为 Owt^,分别标记为a、b,取步骤1所制得的浆液的一部分均匀的涂覆其上2x2cm2 的区域内,使a、b均增重5mg,再在氮气中经过360'C高温烧结半小时,使分散剂、 聚合物中混有的溶剂和表面活性剂等充分挥发,与此同时聚合物在高温下熔结重 新分布,进入微孔层的缝隙中,构成一种网络通道。4. 在步骤3的基础上,将步骤2所制得的催化剂浆液a、 b分别均匀的涂覆在相应的 微孔层之上,使其均增重30mg,再在氮气中经过105。C下烘干3h,除尽催化层中 残余的分散剂,然后在15(TC, 一个大气压下热处理电极10min。分别切出其中 2X2cii^的区域极为阳极,做好标记。5. 用上述类似的方法制备一个2x4cm2的阴极,用20wt,V僧水性的TGP-H-060作支 撑层,微孔层组成为2mg'cm々XC-72碳和20wt.X的聚四氟乙烯,催化层由Pt载 量为6mg'cn^和20 wt.%Nafion树脂构成。将大块的电极切成两块2x2cm2的小电 极,分别与上述两块阳极配对,和Nafion117电解质膜一起在130°C, 6Mpa下热 压3分钟,即可得到两个膜电极,将其相应的标记为a、 b。6. 用图1所示装置分别将上述膜电极组装成单电池进行性能测试,结果如图2所示, 短时间恒电流放电测试,结果如图3所示。a、 b的最大功率密度分别为21.3mW'cm-2、 33.2mWcm—2。控温80°C加热Pt-Ru催化剂和Nafion树脂的混合浆液 制备的MEA性能明显提高。实施例21. 称取16.1mg的XC-72碳加入容器中,然后加入40mg质量比浓度为12.4wt.X的 聚四氟乙烯乳液和lml异丙醇的水溶液作粘结剂和分散剂,异丙醇和水的体积比 为1:1 3:1,超声分散3h即可得到均匀的浆液。2. 称取80.3mg含Pt60X的Pt/C催化剂,加入100ml超纯水将所有催化剂润湿后, 加入267.3mg质量比浓度为5.3wt、的Nafion树脂溶液,然后加入3mL异丙醇 和水的混合液作分散剂,异丙醇和水的体积比为3:1,控温80OC加热lh,超声分 散3h。3. 取一张面积约为2X4cn^的碳纸,其型号为TGP-H-060,憎水性为20wt.X作复合 阴极的支撑层,将步骤1所制得的浆液分别均'匀的涂覆其上2X4ci^的区域内, 使碳纸分别增重20.0mg。再在氩气中经过37(TC高温烧结半小时,使分散剂、聚 合物中混有的溶剂和表面活性剂等充分挥发,与此同时聚合物在高温下熔结重新 分布,进入微孔层中的缝隙中,构成一种网络通道。4. 阴极催化层的制备将步骤2所制得的催化剂浆液均匀的涂覆在步骤3制备的扩 散层上,在经过IO(TC下烘干3h,除尽催化层中残余的溶剂,然后155'C、 一个 大气压下热处理电极5min。即可得到相应的复合阴极,再截取为两个相同的 2X2cm2阴极。5. 称取两个40mg的含Pd 60%的Pd/C催化剂分别加入容器a和b中,再分别加入 50ml超纯水将所有催化剂润湿后,各加入133.7mg质量比浓度为5.3wt.X的 Nafion树脂溶液,然后加入3mL异丙醇和水的混合液作分散剂,异丙醇和水的体 积比为3:1,控制温度在30'C超声分散3h。再取b在75。C水浴中处理2h。6. 取两张面积约为2X2ci^的碳纸,其型号为TGP-H-060,憎水性为0%,做阳极的 支撑层。将步骤5所制得的a和b催化剂浆液均匀的涂覆在其上,在经过105°C 下烘干3h,除尽催化层中残余的溶剂,然后在15(TC下热处理电极lOrnin。即得 到阳极a和b。 a和b再和步骤4制的阴极分别配对,和Nafionl17电解质膜一起 在130。C、 6MPa下热压3分钟,即可得到两个膜电极,将其相应的标记为a、 b。7. 将上述膜电极组装成单电池进行性能测试。a、 b的最大功率密度分别为14.3mW'cm'2、 44.2 mW《nT2,通过对阳极催化剂浆液的热处理可以较大的提高 MEA的电化学性能。图4为样品测试电化学性能对比的结果。实施例31.称取16.1mg的XC-72碳加入容器中,然后加入40mg质量比浓度为12.4城.%的 聚四氟乙烯乳液和lml异丙醇的水溶液作粘结剂和分散剂,异丙醇和水的体积比 为l:l,超声分散3h即可得到均匀的浆液。2称取两个40.0mg的含Pt60%的Pt/C催化剂分别加入容器a和b中,加入50ml超 纯水将所有催化剂润湿后,加入133.7mg质量比浓度为5.3wt.X的Nafion树脂溶 液,然后加入3mL异丙醇的水溶液作分散剂,异丙醇和水的体积比为1:1,控制 温度在30'C,超声分散3h。取b在75'C水浴中处理2h。3取两张面积约为2X2cn^的碳纸,其型号为TGP-H-060,憎水性为20wt.%,作复 合阴极的支撑层,将步骤1所制得的浆液分别均匀的涂覆其上2X2cr^的区域内, 使两张碳纸分别增重10.0mg。再在空气中经过350'C高温烧结半小时,使分散剂、 聚合物中混有的溶剂和表面活性剂等充分挥发,与此同时聚合物在高温下熔结重 新分布,进入微孔层中的缝隙中,构成一种网络通道。4阴极催化层的制备将步骤2所制得的催化剂浆液a和b均匀的涂覆在步骤3制 备的扩散层上,在空气中经过105t:下烘干3h,除尽催化层中残余的溶剂,然后 在145'C下热处理电极10min。即可得到相应的复合阴极a和b。5称取80.2mg的含Pd60X的Pd/C催化剂分别加入容器,再加入100ml超纯水将所 有催化剂润湿后,各加入267.3mg质量比浓度为5.3wt^的Nafion树脂溶液,然 后加入3mL异丙醇和水的混合液作分散剂,异丙醇和水的体积比为l:l,控制温度 30'C,超声分散3h。6取面积约为2X4ci^的碳纸,其型号为TGP-H-060,憎水性为0%,做阳极的支撑 层。将步骤5所制得的催化剂浆液均匀的涂覆在此碳纸上,在氮气中经过105'C下 烘干3h,除尽催化层中残余的溶剂,然后在150'C、 一个大气压下热处理电极 10min。即为阳极。将此阳极切为2X2cr^的相同的两个,再将步骤4制备的阴极 a和b分别配对,和Nafionl17电解质膜一起在135°C、 6MPa下热压4分钟,即可 得到两个膜电极,将其相应的标记为a、 b。7将上述MEA组装成单电池进行性能测试。a、 b的最大功率密度分别为14.3mWcm—2、 39.1 mWcm—2,通过对阴极催化剂浆液的热处理可以较大的提高膜电 极的电化学性能。图5为样品测试电化学性能对比的结果。实施例41. 称取20mg的XC-72碳和40mg质量比浓度为12.4wt.X的聚四氟乙烯乳液分散于 lmL异丙醇的水溶液中,异丙醇和水的体积比为1:1,超声分散2h即可得到均匀 的浆液。2. 各称取25mg铂钌黑置于容器a、 b中,均加入50mg超纯水将所有催化剂润湿后, 加入85mg质量比浓度为5.3wtA的Nafion树脂溶液,然后加入2mL异丙醇的水 溶液作分散剂,异丙醇和水的体积比为1:1,控温为10(fC将b加热2h, a、 b均 超声分散2h。3. 取两张面积约为3X3ci^的碳纸作阳极支撑层,碳纸型号为TGP-H-060,憎水性 为0 wt.%,分别标记为a、 b,取步骤1所制得的浆液的一部分均匀的涂覆其上 2X2ci^的区域内,使a、 b均增重5mg,再在氩气中经过355'C高温烧结半小时, 使分散剂、聚合物中混有的溶剂和表面活性剂等充分挥发,与此同时聚合物在高 温下熔结重新分布,进入微孔层的缝隙中,构成一种网络通道。4. 在步骤3的基础上,将步骤2所制得的催化剂浆液a、 b分别均匀的涂覆在相应的 微孔层之上,使其均增重30mg,再在氩气中经过105'C下烘干3h,除尽催化层中 残余的分散剂,然后在153°C、 一个大气压下热处理电极10min。分别切出其中 2X2cn^的区域极为阳极,做好标记。5. 用上述类似的方法制备一个2X4cm2的阴极,用20城.%憎水性的TGP-H-060作支 撑层,微孔层组成为2mgcm-2XC-72碳和20 wt.W的聚四氟乙烯,催化层由Pt载量 为6mg'cnf2和20 wt. % Nafion树脂构成。将大块的电极切成两块2X2cm2的小电 极,分别与上述两块阳极配对,和Nafion117电解质膜一起在140'C、 6MPa下热 压2.5分钟,即可得到两个MEA,将其相应的标记为a、 b。6. 用图1所示装置分别将上述MEA组装成单电池进行性能测试(图6)和短时间恒 电流放电测试(图7)。 a、 b的最大功率密度分别为21.3mWcm-2、 33.7mWcm-2。 控温100°C加热Pt-Ru催化剂和Nafion的混合浆液制备的MEA性能明显提高。实施例51. 称取20mg的碳纳米管和35mg质量比浓度为12.4wt.X的聚四氟乙烯乳液分散于 hnL异丙醇的水溶液中,异丙醇和水的体积比为2:1,超声分散2h即可得到均匀 的浆液。2. 各称取28mg铂钌黑置于容器a、b中,均加入100mg超纯水将所有催化剂润湿后, 加入80mg质量比浓度为5.3wt、的Nafion树脂溶液,然后加入2mL异丙醇的水 溶液作分散剂,异丙醇和水的体积比为2:1,控温为70°C将b加热2h, a、 b均超 声分散2h。3. 取两张面积约为3X3ci^的碳纸作阳极支撑层,碳纸型号为TGP-H-060,憎水性 为0 wt.%,分别标记为a、 b,取步骤1所制得的浆液的一部分均匀的涂覆其上 2X2cr^的区域内,使a、 b均增重5mg,再在氩气中经过370'C高温烧结半小时, 使分散剂、聚合物中混有的溶剂和表面活性剂等充分挥发,与此同时聚合物在高 温下熔结重新分布,进入微孔层的缝隙中,构成一种网络通道。4. 在步骤3的基础上,将步骤2所制得的催化剂浆液a、 b分别均匀的涂覆在相应的 微孔层之上,使其均增重30mg,再在氩气中经过100'C下烘干3h,除尽催化层中 残余的分散剂,然后在153'C、 一个大气压下热处理电极10min。分别切出其中 2X2cr^的区域极为阳极,做好标记。5. 用上述类似的方法制备一个2X4cm2的阴极,用20wt.X憎水性的TGP-H-060作支 撑层,微孔层组成为2mgcm-2XC-72碳和20 wt.X的聚四氟乙烯,催化层由Pt载量 为6mg'cnf2和20 wt.% Nafion树脂构成。将大块的电极切成两块2X2cm2的小电 极,分别与上述两块阳极配对,和Nafion117电解质膜一起在在130°C、 6MPa下 热压4分钟,即可得到两个MEA,将其相应的标记为a、 b。6. 用图1所示装置将上述MEA组装成单电池进行性能测试(图8)。 a、 b的最大功 率密度分别为28.1mWcm-2、 32.5mWcnT2。控温70。C加热Pt-Ru催化剂和Nafion 的混合浆液制备的MEA性能明显提高。上述实施例仅用于对本发明进行说明,并不构成对权利要求范围的限制,本领域 技术人员可以想到的其他替代手段,均在本发明权利要求范围。
权利要求
1.一种制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,包括以下步骤A、将催化剂和第一粘结剂分散于分散剂中,得到浆料;B、将浆料在40~100℃加热10分钟~3小时,再超声10分钟~2小时,形成均匀的浆液;C、将浆液涂覆在支撑层上制成膜电极。
2. 根据权利要求1所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的催化剂选 自Pt-Ru基、Pd基或Pt基的碳载或非负载催化剂。
3. 根据权利要求1所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的步骤A 中,第一粘结剂为催化剂重量的10% 25%;以催化剂的重量为基准,按0.025 0.5mL,mg—1的量加入分散剂。
4. 根据权利要求1或所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的分散剂 选自异丙醇的水溶液或乙醇。
5. 根据权利要求4或所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的异丙醇 和水的体积比为1:1 3:1。
6. 根据权利要求1所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的催化剂粒 径为1 10纳米。
7. —种制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,包括以下步骤A、将催化剂和第一粘结剂分散于分散剂中,得到浆料;B、将浆料在40 100°<:加热10分钟 3小时,再 超声10分钟 2小时,形成均匀的浆液;C、将浆液涂覆在支撑层上,在100 150。C空 气、氮气或氩气中焙烧0.5 3.5h;然后在125 145°C、 4 8MPa下热压2 10分钟。
8. 根据权利要求7所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的分散剂选 自异丙醇的水溶液或乙醇。
9. 根据权利要求7所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的第一粘结 剂选自聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、聚乙烯醚和Nafion树脂中的一种或几种。
10. 根据权利要求7所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的步骤C 中,在支撑层上有一扩散层,将浆液涂覆在扩散层或支撑层上。
11. 根据权利要求7或10所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的支 撑层为碳纸或碳布。
12. 根据权利要求7所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的扩散层的 制备方法为,将碳材料和第二粘结剂超声分散于异丙醇的水溶液中,按每毫克碳材料加入 0.02 3mL异丙醇的水溶液,其中异丙醇和水的体积比为1:1 3:1,第二粘结剂为碳材料 质量的10 30%,搅拌0.5 4h,形成均匀的浆液,将浆液均匀地涂覆在支撑层上,经在340 370'C空气、氮气或氩气中高温焙烧10分钟 3小时,即形成支撑层负载的扩散层。
13. 根据权利要求12所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的碳材料 选自XC-72碳、XC-72R碳、黑珍珠-2000碳、Ketjen碳黑或碳纳米管。
14. 根据权利要求12所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的第二粘 结剂为聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯和Nafion树脂中的一种或几种。
15. 根据权利要求12所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的支撑层 上,碳材料在支撑层上的质量分布为0~2.5mg.cm-2。
16. 根据权利要求7所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的步骤A 中,第一粘结剂为催化剂重量的10% 25%;以催化剂的重量为基准,按0.025 0.5mL/mg"的量加入异丙醇的水溶液,异丙醇和水的体积比为1:1 3:1。
17. 根据权利要求7所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的催化剂选 自Pt-Ru基、Pd基或Pt基的碳载或非负载催化剂。
18. 根据权利要求17所述的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,所述的催化剂 粒径为1 10纳米。
全文摘要
本发明公开了一种制备直接醇燃料电池膜电极的方法,其特征在于,包括以下步骤A、将催化剂和第一粘结剂分散于分散剂中,得到浆料;B、将浆料在40~100℃加热10分钟~3小时,再超声10分钟~2小时,形成均匀的浆液;C、将浆液涂覆在支撑层上制成膜电极。本发明中的制备直接醇燃料电池膜电极的方法,方法简单,易于操作,通过调控第一粘接剂的聚集状态,显著提高了燃料电池的功率密度和稳定性。本发明制备的膜电极有效地提高了电极的催化活性和效率,提高燃料电池膜电极的催化效率和催化剂的利用率,有效地提高了电池的性能及其稳定性,降低了电池的极化损失,从而提高了燃料电池的性能。
文档编号H01M4/88GK101267041SQ200810036830
公开日2008年9月17日 申请日期2008年4月29日 优先权日2008年4月29日
发明者夏保佳, 康永印, 曹剑瑜, 翀 杜, 辉 杨, 婷 袁, 邹志青, 黄庆红 申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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