专利名称：电极引入机构的制作方法
技术领域：
本发明是与太阳能板生产设备有关，特别是有关于一种电极 引入机构。
背景技术：
已知太阳能板生产设备，其内部只具有一固定式电极， 一次
只能制作单一片太阳能板(photovoltaic panel),具有产能不 佳的问题；再者，若要在单一太阳能板生产设备设有多数固定式 电极，将会妨碍基板的置入而并不适用。换言之，如果需要同时 制作多片太阳能板，则需要备有多数太阳能板生产设备，以达到 同时制作多片太阳能板的目的。
然而，太阳能板生产设备的价格昂贵，若以上述方式制作太 阳能板将大幅提高设备成本，具有不符合经济效益的缺点。
综上所述，现有太阳能板生产设备受限于电极结构的限制而 产能有限，具有上述缺点而有待改进。
发明内容
4本发明的主要目的在于提供一种电极引入机构，其能够适用 于同时生产多片太阳能板的生产设备，其相较于现有技术，具有 适用性较佳以及提高产能的特色。
为达成上述目的，本发明所提供一种电极引入机构，装设于 一真空腔设备，其特征在于，该电极引入机构包含有
二导杆，设于该真空腔设备且相互平行；
一支架，具有对应该二导杆数量的贯孔，所述贯孔分别供该 二导杆穿设；
一电极装置，设于该支架且具有一电极部；以及
一驱动装置，具有一本体以及一设于该本体的驱动杆；该本
体设于该真空腔设备；该驱动杆受该本体驱动且末段设于该支 架；该支架受该驱动杆带动而沿该二导杆轴向位移，该电极部受 该支架带动而往该真空腔设备内部位移。 其中该电极部为夹式结构。
其中该电极装置还可界定出一伸缩段介于该真空腔设备以 及该支架之间，该伸縮段的长度因应该支架的位移量而变化。 其中该伸縮段为真空套管，该电极部穿设于该真空套管。 其中该伸縮段为波纹管结构。 其中该电极装置具有一连结该电极部的电线。 其中该电极部为射频电极。
其中该驱动装置是选自气压缸、液压缸、马达以及手动装置 其中一种。其中该驱动装置还包含有一设于该驱动杆末段的缓冲装置，
以缓冲来自该支架的惯性力。
其中该缓冲装置选自弹簧以及泄压阀其中一种。
由此，本发明所提供电极引入机构通过上述结构，其能够适
用于同时生产多片太阳能板的生产设备，进而改善太阳能板生产
设备的产能；其相较于现有技术，具有适用性较佳以及提高产能
的特色。
为了详细说明本发明的结构、特征及功效所在，以下列举较 佳实施例并配合
如后，其中
图1为本发明第一较佳实施例的结构示意图，主要揭示电极
部未伸出的状态。
图2为本发明第一较佳实施例的动作示意图，主要揭示电极
部未连接电极插座的状态。
图3为本发明第一较佳实施例的动作示意图，主要揭示电极
部伸出后的状态。
图4为本发明第一较佳实施例的结构示意图，主要揭示电极
部连接电极插座的状态。
主要元件符号说明
1 :真空腔设备2:穿孔
3:基板
4:电极插座
10:电极引入机构
20:导杆
30:支架
32:贯孔
40:电极装置
42:电极部
44:电线
46:伸缩段
50:驱动装置
52:本体
54:驱动杆
56:缓冲装置
具体实施例方式
请参阅图1及图2 ，本发明第一较佳实施例所提供的电极引 入机构1 0 ，是装设于一真空腔设备1 ，该电极引入机构1 0包 含有二导杆2 0、 一支架3 0、 一电极装置4 0以及一驱动装 置5 0 。
各该导杆2 0顶部是垂直地锁固于于该真空腔设备1的外部且该二导杆2 0相互平行；其中，该而导杆2 0的数量仅为举 例说明，可依使用上的需要增加数量，并非用来做为限制条件。
该支架3 0具有二对应该二导杆2 0数量的贯孔3 2 ，所述 贯孔3 2分别供该二导杆2 0穿设；用以限制该支架3 0只能沿 该二导杆2 0位移。
该电极装置4 Q设于该支架3 0且具有一电极部4 2以及 一连结该电极部4 2的电线4 4 ，该电极部4 2是为射频电极 (radio frequency electrode; RF electrode) 且为夹式结构； 该电线4 4用以提供该电极部4 2电压。该电极部4 2所提供的 电压的射频频率范围是在1 MHz至1 OGHz之间；其中，射频频 率范围较佳者是在1 0 MHz至3 GHz之间，例如1 3 . 5 6 MHz 、 4 0.6 8 MHz以及7 0 MHz ;本实施例中，该电极部4 2的射 频频率范围主要在于说明该电极部4 2的使用情形，并非做为限 制条件。该真空腔设备1的外部具有一穿孔2 ，以供该电极部4 2穿过而连接一装载有一基板3的电极插座4。该电极装置4 0 中段界定出一伸縮段4 6是介于该真空腔设备1以及该支架3 0之间，该电极部4 2穿设于该伸缩段4 6 ;该伸缩段4 6的长 度是因应该支架3 0的位移量而伸缩变化；其中，该伸縮段4 6 是为真空套管且为波纹管结构。
该驱动装置5 Q是具有一本体5 2 、一设于该本体5 2的驱 动杆5 4以及一缓冲装置5 6 ;该驱动装置5 0是选自气压缸、 液压缸、马达以及手动装置其中一种，本实施例中，该驱动装置
85 0选以气压缸为例。该本体5 2是为且设于该真空腔设备1 ，
该驱动杆5 4受该本体5 2驱动且末段穿设于该支架3 0 ;该支 架3 Q受该驱动杆5 4带动而沿该等导杆2 0轴向位移，该电极 部4 2受该支架3 0带动而往该真空腔设备1内部位移；该缓冲 装置5 6设于该驱动杆5 4末段，用以缓冲来自该支架3 0的惯 性力；该缓冲装置5 6是选自弹簧以及泄压阀其中一种。本实施 例中，该缓冲装置5 6是选自以弹簧为例；该缓冲装置5 6底端 推抵该于该驱动杆54末段，顶端推抵该支架3 0。
经由上述结构，当基板3尚未送入该真空腔设备1 ，该驱动 装置5 0的驱动杆5 4呈收纳状态，该电极部4 2移至行程最低 点，用以利于输送基板进入该真空腔设备1 。再请配合参阅图3 及图4 ，当基板送入该真空腔设备1后，该驱动杆5 4受该本体 5 2驱动而带动该支架3 Q向上位移至行程最低点；该电极部4 2会往该真空腔设备1内部位移而电性连接该电极插座4 ，以利 于进行后续加工作业。当该基板3加工作业结束而欲自该真空腔 设备1内移出，该驱动装置5 0的驱动杆5 4会向上位移而复归 至收纳状态，该电极部4 2移至行程最低点，以利于取出该基板 3 。
由此，本发明所提供的该电极引入机构1O通过上述结构， 其能够适用于同时生产多片太阳能板的生产设备而达到生产多 片太阳能板的目的，进而改善太阳能板生产设备的产能；其相较 于现有技术，具有适用性较佳的特色。本发明于前揭实施例中所揭露的构成元件，仅为举例说明， 并非用来限制本案的范围，其它等效元件的替代或变化，亦应为 本案的权利要求范围所涵盖。
权利要求
1、一种电极引入机构，装设于一真空腔设备，其特征在于，该电极引入机构包含有二导杆，设于该真空腔设备且相互平行；一支架，具有对应该二导杆数量的贯孔，所述贯孔分别供该二导杆穿设；一电极装置，设于该支架且具有一电极部；以及一驱动装置，具有一本体以及一设于该本体的驱动杆；该本体设于该真空腔设备；该驱动杆受该本体驱动且末段设于该支架；该支架受该驱动杆带动而沿该二导杆轴向位移，该电极部受该支架带动而往该真空腔设备内部位移。
2 、依据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，其中该电极部为夹式结构。
3 、依据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，其中该电极装置还可界定出一伸縮段介于该真空腔设备以及该支架之间，该伸縮段的长度因应该支架的位移量而变化。
4 、依据权利要求3所述的电极引入机构，其特征在于，其中该伸缩段为真空套管，该电极部穿设于该真空套管。
5 、依据权利要求4所述的电极引入机构，其特征在于，其中该伸缩段为波纹管结构。
6 、依据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，其中该电极装置具有一连结该电极部的电线。
7 、依据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，其中该电极部为射频电极。
8 、依据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，其中该驱动装置是选自气压缸、液压缸、马达以及手动装置其中一种。
9 、依据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，其中该驱动装置还包含有一设于该驱动杆末段的缓冲装置，以缓冲来自该支架的惯性力。
10、依据权利要求9所述的电极引入机构，其特征在于，其中该缓冲装置选自弹簧以及泄压阀其中一种。
全文摘要
一种电极引入机构，是装设于一真空腔设备，该电极引入机构包含有二导杆，设于该真空腔设备且相互平行；一支架，具有对应该二导杆数量的贯孔，所述贯孔分别供该二导杆穿设；一电极装置，设于该支架且具有一电极部；一驱动装置，是具有一本体以及一设于该本体的驱动杆；该本体设于该真空腔设备；该驱动杆受该本体驱动且末段设于该支架；该支架受该驱动杆带动而沿该二导杆轴向位移，该电极部受该支架带动而往该真空腔设备内部位移。
文档编号H01L31/18GK101540347SQ20081008710
公开日2009年9月23日 申请日期2008年3月19日 优先权日2008年3月19日
发明者何建立, 叶公旭, 杨正安, 黄明鸿 申请人:东捷科技股份有限公司