专利名称：激光振荡器的制作方法
技术领域：
本发明涉及激光振荡器，尤其涉及其光学元件的安装结构。
背景技术：
图14是表示专利文献1所记载的使用现有的不稳定型共振器的激 光振荡器的构成剖视图。在图中，51、 52分别是凹面状的例如由Cu 构成的全反射镜(曲率半径R产lm )及放大反射镜(曲率半径R2=2m )， 全反射镜51及放大反射镜52按1.5m的共振器长度彼此分开地配设， 为负枝构成的共焦点构成(放大率M-2)。 53、 54分别是安装有全反 射镜51及放大反射镜52的反射镜压盖，55、 56是由与全反射镜51 及放大反射镜52接触并冷却两反射镜51、 52的平板构成的反射镜冷 却板。
57是例如由Cu构成的刮板式反射镜，从不稳定型共振器内摄取 环状的激光束输出。58是例如由ZnSe构成的透射镜，通过使激光束 穿过透射镜58而射向激光振荡器外部。59是激光介质，在例如C02 激光器等的气体激光器的情况下是通过放电等方式激发的气体介质， 在YAG等的固体激光器的情况下是由闪光灯等激发的固体介质。60 是控制激光束直径的光圏，61是覆盖不稳定型共振器周围的框体，62 是在由全反射镜51及放大反射镜52构成的不稳定型共振器内部产生 的激光束，63是通过透射镜58摄取至外部的环状的激光束。
图15是表示记载于图14中的放大反射镜52周边的反射镜的安装 结构的剖视图。在图中，52a、 52b分别表示放大反射镜52的开口直 径、镜径，(52b- 52a)相当于热接触部。64是将安装有放大反射镜 52的反射镜压盖54固定于反射镜冷却板56上的螺栓。65是设置于放 大反射镜52背面的O形密封圏，通过该O形密封圏65推压放大反射镜52，将放大反射镜52压接在反射镜冷却板56上，保证放大反射镜 52与反射镜冷却板56的热接触。再者，图15表示放大反射镜52 (光 学元件)周边的反射镜的安装构成，但全反射镜51 (光学元件)周边 的反射镜的安装构成也与此相同。
接着，对作用进行说明。激光束62在全反射镜51与放大反射镜 52之间往复，在该往复期间通过激光介质59增幅。这样，已被增幅 的激光束62的一部分通过刮板式反射镜57反射，穿过透射镜58摄取 至激光振荡器的外部。摄取出的激光束63，由于不稳定型共振器的构 成为共焦点配置，所以变为平行光束。这种情况下，由于全反射镜51 与放大反射镜52对于激光光线具有若干的吸收率，所以在激光束62 在不稳定型共振器内往复期间，热量被吸收在全反射镜51与放大反射 镜52上。该热量从已经水冷了的反射镜冷却板55、 56的表面的接触 面排放，防止反射镜温度上升。
图16是表示专利文献2中记载的反射镜(光学元件)的安装结构 的要部剖视图。使反射镜82的反射面侧抵接在弯型块83上来安装反 射镜。使用于激光振荡器内部的上述反射镜，要求有振荡的激光波长 的1/10以下的高平面度。通过对弯型块83的与反射镜82接触的接触 面(反射镜安装用平面部)85实施平面度lum以下的超高精度平面 加工，防止按压力引起的反射镜82的仿形变形。再者，81是激光光 线，84是支撑台，86是安装螺钉，87、 88是调节用螺钉，89是冷却 水通路，90是防尘用部件。另外，对于图14的共振器， 一般也对反 射镜冷却板55、 56的反射镜接触面侧实施专利文献2所公开的超高精 度平面加工，降低反射镜的仿形变形。
图17是表示记载于专利文献3的具有曝光装置的光学装置中的透 镜保持结构的分解立体图。用具有3点相对的突起部95的保持部件(压 环)91、 92从两侧夹持透镜97，由此防止透镜97因保持部件(压环) 91、 92而受到仿形变形。不会因保持部件91、 92的变形而在透镜(光 学元件)上作用弯矩。再者，96为镜筒，93、 94为透镜的弯曲面。
专利文献l:日本特开平3-257979号公报(图5、图6)专利文献2:日本特开平8-257782号公报(图1) 专利文献3:日本特开平2002 - 141270号公净艮(图1) 在图14所示的共振器中，由于反射镜压盖53、 54的与反射镜冷 却板55、 56接触的接触面的平面度很差，所以在将反射镜压盖53、 54推靠在反射镜冷却板55、 56上，用螺栓64进行了连结固定时，反 射镜冷却板55、 56会根据反射镜压盖53、 54发生仿形变形，其结果 产生反射镜51、 52会根据反射镜冷却板55、 56而仿形变形的问题。 关于反射镜冷却板55、 56与箧体61的接触面，由于两接触面的平面 度很差，所以也发生相同的现象，在将反射镜冷却板55、 56固定于箧 体上时，反射镜冷却板55、 56会根据箧体61产生仿形变形，从而反 射镜51、 52会发生变形。
为了防止所述变形，如果在反射镜压盖53、 54及反射镜冷却板 55、 56的箧体61侧、反射镜冷却板55、 56的反射镜压盖53、 54侧 及筐体61的接触面上实施超高精度平面加工，则能防止仿形变形，但 超高精度平面加工存在导致非常高的费用的问题，另外，也存在这样 的问题如箧体61那样的较大的部件受加工装置的制约而无法加工。 对于图16所示的反射镜的安装结构，也需要对弯型块83实施超 高精度加工(平面度lum以下)，但存在因超高精度加工机的制约而 无法加工象弯型块83那样的大部件的问题。如果对弯型块83无法超 高精度加工，则反射镜82会因弯型块83引起仿形变形，平面度不满 足许用值。
对于图17所示的光学装置的保持结构，由于透镜97与保持部件 91、 92点接触，所以传热面积非常小，透镜97的冷却性能不够。另 外，在光学元件为ZnSe等比较柔软的材质的情况下，在集中于突起 部95周边的应力的作用下会产生凹曲或者使折射率部分变化，因此， 需要分离光学上有效的区域(例如光束通过的区域)和3点接触的突 起部分，结果光学元件的直径变大，造成成本大幅度提高。
另外，为了保持气密性，在光学元件与保持部件之间设置了 O形 密封圏的情况下，存在光学元件由于3点接触，因O形密封圏压变形
6时产生的反作用力，使光学元件未点接触的部分翘曲的问题。为了减 小这种翘曲，考虑增大元件的厚度，提高光学元件的弯曲刚性，但由 于光学元件非常昂贵，所以造成成本大幅度提高。
发明内容
本发明是为了消除上述的问题点而完成的，目的是在将抵接光学 元件并冷却光学元件的冷却法兰通过法兰压盖与基座夹持并连结固定 时，抑制冷却法兰根据法兰压盖或基座产生仿形变形，高精度地保持 与冷却法兰接触的光学元件的平面度。
本发明涉及的激光振荡器构成如下，将光学元件抵接于冷却法兰 上并冷却所述光学元件，通过法兰压盖与基座夹持所述冷却法兰并固 定所述冷却法兰，所述法兰压盖与所述冷却法兰通过设置于两者中任
何一个上的3个突起而接触，所述3个突起配置于三角形的顶点，所 述冷却法兰与所述基座通过设置于两者中任何一个上的3个突起接 触，所述法兰压盖与所述冷却法兰接触的3点和所述冷却法兰与所迷 基座接触的3点配置于相对的位置，通过连结部件对夹持所述冷却法 兰的所述法兰压盖与所述基座进行连结固定。
根据本发明的激光振荡器，通过以3点接触的结构将光学元件抵 接的并冷却光学元件的冷却法兰用法兰压盖与基座夹持进行连结固 定，抑制在连结固定时冷却法兰根据法兰压盖或基座产生仿形变形， 从而使与冷却法兰接触的光学元件的平面度保持高精度。另外，只要 对光学元件抵接的冷却法兰的面实施高精度加工就能够高精度地保持 光学元件的平面度，且成本很低。
图l是表示本发明实施方式1的激光振荡器的反射镜的安装结构 的剖^L图。
图2是表示各有4点突起的情况的接触状态的说明图。 图3是表示各有3点突起的情况的接触状态的说明图。图4是表示本发明实施方式2的激光振荡器的反射镜的安装结构的剖视图。
图5是表示本发明实施方式3的激光振荡器的反射镜的安装结构的剖视图。
图6是表示本发明实施方式4的激光振荡器的反射镜的安装结构的剖视图。
图7是表示本发明实施方式5的激光振荡器的反射镜的安装结构的剖视图。
图8是表示本发明实施方式6的激光振荡器的反射镜的安装结构的剖视图。
图9是表示本发明实施方式7的激光振荡器的反射镜的安装结构的剖视图。
图10是表示突起的前端面为平面状的情况下在冷却法兰上产生力矩的说明图。
图11是表示突起的前端面为球面状的情况下在冷却法兰上难以产生力矩的说明图。
图12是表示本发明实施方式8的激光振荡器的反射镜的安装结构的剖视图。
图13是表示本发明实施方式9的激光振荡器的反射镜的安装结构的剖视图。
图14是表示使用现有的不稳定型共振器的激光振荡器的构成剖视图。
图15是图14的放大反射镜部的剖视图。图16是表示现有的反射镜的安装结构的要部剖视图。图17是表示具有现有的曝光装置的光学装置中的透镜的保持结构的分解立体图。
符号说明
l-法兰压盖；2-基座；3-反射镜；4-冷却法兰；5 -螺栓；6-法兰压盖的突起；7-0形密封團；8-超高精度平面加工面；9-基座的突起；10-螺旋弹簧；ll-螺栓；12-夹具；13-冷却法兰的法兰压盖侧突起；14-冷却法兰的基座侧突起；15-冷却水路；21 -法兰压盖；22-法兰压盖的突起；23-冷却法兰；24-基座的突起；25-基座；26-0形密封圏；27-O形密封團；28-O形密封圏；29-间隙；30-间隙；31-贯通孔；51 -全反射镜；52-放大反射镜；53-反射镜压盖；54-反射镜压盖；55-反射镜冷却板；56 -反射镜冷却板；57-刮板式反射镜；58-透射镜；59-激光介质；60-光圏；61-筐体；62-激光束；63 -激光束；64-螺栓；65-0形密封圏；81-激光光线；82-反射镜；83-弯型块；84-支撑台；85 -反射镜安装用平面部；86-安装螺栓；87-调节用螺栓；88-调节用螺栓；89-冷却水通路；90-防尘用部件；91-保持部件(压环)；92 -保持部件(压环)；93-弯曲面；94-弯曲面；95-突起部；96-镜筒；97-透镜。
具体实施方式
实施方式1
图l是表示本发明实施方式l的激光振荡器的反射镜的安装结构，其(a)是(b)的B-B剖视图，其(b)是(a)的A-A剖视图。反射镜3与冷却法兰4的面8抵接，冷却法兰4的面8被实施了平面度为lum以下的超高精度加工。冷却法兰4由于是较小的部件，所以不受加工装置的制约，可很容易实现超高精度平面加工。另外，超高精度平面加工只能加工部件最高的面，冷却法兰4的加工面8由于是最高的面，所以可以加工。7是0形密封圏。
冷却法兰4通过向冷却水路15流入水而纟皮冷却。冷却法兰4为了确保热传导性，使用铝材。由于反射镜3 (例如共振反射镜)与冷却法兰4以超高精度平面彼此接触，所以热传递良好，反射镜3能充分冷却。冷却法兰4夹持于法兰压盖1与基座2之间。再者，基座2为激光振荡器的筐体等。在法兰压盖1上加工有螺栓5 (连结部件)的3
9个通过孔，在基座2上加工有螺栓5的3个螺紋孔，通过拧紧3根螺栓5a、 5b、 5c，冷却法兰4被牢固地夹持并固定。由此，反射镜3 (光学元件)经由0形密封圏7由法兰压盖1压接于冷却法兰4上，反射镜3能充分地冷却。
在法兰压盖l上，在与冷却法兰4的接触面侧有3个突起6。即，有突起6a、 6b、 6c。该突起6与冷却法兰4接触。同样，在基座2上，也在与冷却法兰4的接触面侧有3个突起9。即，有突起9a、 9b、 9c。通过该突起9与冷却法兰4接触。另外，突起6的3个突起6a、 6b、6c与突起9的3个突起9a、 9b、 9c配置为分别相对的位置关系(即为突起6a与9a、突起6b与9b、突起6c与9c分别位于与光轴平行的同一直线上的关系)。法兰压盖1与冷却法兰4之间的突起6也可以设置于冷却法兰4侧。冷却法兰4与基座2之间的突起9也可以设置于冷却法兰4侧。
再者，轴向的法兰压盖1与基座2的定位，例如预先在法兰压盖1与基座2的外周面设置画线等标记，通过边观察各标记，边使各突起分别在同一直线上对齐来进行。另外，突起6a、 9a与螺栓5a、突起6b、 9b与螺栓5b、突起6c、 9c与螺栓5c分别配置于冷却法兰的同一半径方向上，以120。间隔配置于3个半径方向上。因此，在实施方式l中，突起6a、 6b、 6c与突起9a、 9b、 9c配置于正三角形的顶点位置。
6个突起6a、 6b、 6c、 9a、 9b、 9c接触的面处在垂直于连结部件即螺栓的拧紧方向的位置关系。这是因为，在与螺栓的拧紧方向不垂直的情况下，通过夹持，冷却法兰4会横向滑动。在实施方式l中，冷却法兰4的法兰压盖1侧的面(突起6a、 6b、 6c接触的面)与基座2侧的面(突起9a、 9b、 9c接触的面)垂直于螺栓拧紧的方向，但不限于此，6个突起6a、 6b、 6c、 9a、 9b、 9c接触的面即使是各自不同的6个面，只要它们相互垂直于螺栓拧紧的方向即可。
螺栓5配置于冷却法兰4的直径即外周的外侧，以使得螺栓5与冷却法兰4不接触。在强力拧入螺栓5时，螺栓5发生些许变形。如果冷却法兰4与螺栓5被固定，则由于螺栓5的变形，冷却法兰4变 形，反射镜3也变形，但在实施方式l的结构中，由于螺栓5与冷却 法兰4不接触，所以即使螺栓5变形，冷却法兰4也不会变形。
接着，说明当用具有3点突起的2个部件夹持冷却法兰，并且彼 此的突起位于相对的位置时，平面度会变好的理由。图2是表示各有 4点突起(4)、 (5)、 (6)、 (7)的情况的接触状态的说明图，其(a) 是主视图，其(b)是从(a)的箭头Q所见的侧视图。为了简单，考 虑突起配置于正方形的顶点的情况。虽然有4点突起，但由于机械加 工误差，4点不一定会都处于同一平面上，所以认为4点中仅3点接 触在一个面上。其(b)表示法兰压盖21的突起22 (4)与基座25的 突起24 (7)未接触冷却法兰23的情况。图中的箭头F及f表示在连 结固定法兰压盖21与基座25时，从突起作用于冷却法兰23上的力。
由于突起配置于正方形的顶点，所以f4与F7大小相同，^^12大小的扭
矩作用于图2的O-O剖面，冷却法兰23会产生变形。
接着，考虑各有3点突起的情况。图3是表示各有3点突起(1)、 (2)、 (3)的情况的接触状态的说明图，其(a)是主视图，其(b)、 (c)是从(a)的箭头P所见的侧视图。为了简单，考虑突起配置于正 三角形的顶点的情况。其(b)表示法兰压盖21与基座25各自3点的 突起22与突起24处于相对的位置的情况。其(c)表示法兰压盖21 的突起22 (1)与基座25的突起24 (1)仅偏移h的情况。如该(c) 那样，突起未处在相对的位置，在突起22 (1)与突起24 (1)的位置 仅偏移比较近的距离h的情况，在冷却法兰23上作用Rxh大小的弯 矩，冷却法兰23会产生变形。这里，由于R与ii的h为比较近的距 离，所以看作大致相同的值。
与此相对，如该图(b)那样，在突起22与突起24位于相对的位
置的情况下，根据作用及反作用法则，R与fp F2与f2、 F3与f3大小
相等、方向相反，因此，F!与&、 F2与f2、 F3与&的合力分别为0, 在冷却法兰23上不会产生弯矩。结果，冷却法兰23不会产生变形， 与冷却法兰23抵接的反射镜的平面度保持高精度。再者，在负荷分布上虽然希望将突起配置于正三角形的顶点，但不限于此，3点突起只 要是不在一条直线上的三角形的顶点即可。
在实施方式l的结构中，实施超高精度平面加工的仅是反射镜3 接触(抵接)的冷却法兰4的l个面，其它的接触面采用通常的机械 加工，因此，成本低。另外，实施超高精度平面加工的冷却法兰4是 较小的部件，因此，不受加工装置制约，容易加工。另外，从设置于 法兰压盖l侧的通过孔，穿过螺栓5进行固定，但也可以在基座2侧 开设通过孔，在法兰压盖l上加工螺紋孔，将螺栓5从基座2侧穿过 而进行固定。而且，取代反射镜3，也可以使用透镜(光学元件)，在 为弯曲反射镜(《》FS ，一)的情况下，弯型块相当于基座。
在实施方式1中，从冷却法兰4的两面通过各自具有3个相对的 突起的部件夹持冷却法兰4，因此，即使进行连结固定，在冷却法兰4 上也不作用弯矩，冷却法兰4的平面度保持高精度。结果，推压(抵 接)于冷却法兰4上的反射镜的平面度也保持高精度。另外，实施昂 贵的超高精度平面加工的面仅为反射镜推压的冷却法兰的1个面即 可，费用变低。另外，由于实施超高精度加工的部件比较小，所以不 受加工装置的制约，可容易地加工。
另外，为了抑制反射镜的变形，如果以分别直接3点接触的结构 推压反射镜两侧固定反射镜，则反射镜的冷却能力降低。在实施方式 1中，以3点接触结构推压冷却法兰的两侧来固定冷却法兰，抑制冷 却法兰的变形。因此，不会减小冷却法兰与反射镜的接触面积，即， 不会降低冷却能力，并可抑制反射镜的变形。
实施方式2
图4表示实施方式2的激光振荡器的反射镜的安装结构，其(a) 是(b)的D-D剖视图，其(b)是(a)的C-C剖视图。再者，各 图相通，相同的符号表示相同或相当的部分。取代实施方式l的O形 密封圏7，经由螺旋弹簧10用法兰压盖l将反射镜3推压于冷却法兰 4上。
另外，在实施方式l中，将螺栓5配置于冷却法兰4的外侧，但在实施方式2中，在冷却法兰4上设置大于螺栓5的直径的较大的贯 通孔31，使螺栓5穿过该贯通孔31。由于螺栓5与冷却法兰4不接触， 所以即使螺栓5变形，冷却法兰4也不会变形，反射镜的平面度保持 高精度。
实施方式3
图5表示实施方式3的激光振荡器的反射镜的安装结构，其(a) 是(b)的F-F剖视图，其(b)是(a)的E-E剖视图。将反射镜 3推压于冷却法兰4上的不是弹性部件，而是用螺栓11将反射镜3推 压于冷却法兰4上。预先在法兰压盖l上加工出螺紋孔，通过拧紧螺 栓ll,将反射镜3推靠于冷却法兰4上。
实施方式4
图6表示实施方式4的激光振荡器的反射镜的安装结构，其(a) 是(b)的H-H剖视图，其(b)是(a)的G-G剖视图。将法兰 压盖1与基座2的连结，不是用螺栓5，而是用夹具12 (连结部件) 夹持。
实施方式5
图7表示实施方式5的激光振荡器的反射镜的安装结构，其(a) 是(b)的J-J剖视图，其(b)是U)的I-I剖视图。将法兰压盖 1与冷却法兰4之间的3个突起13 (13a, 13b， 13c)设置于冷却法兰 4侧。另外，将冷却法兰4与基座2之间的3个突起14 (14a， 14b， 14c)设置于冷却法兰4侧。突起13、 14低于反射镜接触的面8。这 是由于超高精度平面加工只能加工最高的面。
实施方式6
图8表示实施方式6的激光振荡器的反射镜的安装结构，其(a) 是(b )的L - L剖视图，其(b)是(a)的K-K剖视图。在反射镜 3上预先加工出使螺栓11 (lla, llb， llc)穿过的孔，也预先在冷却 法兰4上进行螺紋孔加工。通过柠紧螺栓ll (lla, llb， llc)，将反 射镜3压紧在冷却法兰4上。另外，突起6a与螺栓5a、 lla，突起6b 与螺栓5b、 lib,突起6c与螺栓5c、 llc分别配置于冷却法兰的同一半径方向上，以120度间隔配置于3个半径方向上。实施方式7
图9表示实施方式7的激光振荡器的反射镜的安装结构，其(a)是(b)的N-N剖视图，其(b)是(a)的M-M剖视图。在图9的激光振荡器中，突起的前端面为球面状。图10及图11是说明前端面为平面状和球面状的情况的接触状态的图。突起的前端面为平面状的情况，如图10所示，由于加工误差，法兰压盖21的突起22的前端面、基座25的突起24的前端面与冷却法兰23的平面的平行度会产生
偏移。此时，在F7与f7之间产生最大为接触面前端的直径部分的偏移
13，在冷却法兰上会作用F"l3大小的弯矩。其结果，冷却法兰23及反射镜会产生变形。
与此相对，突起的前端面为球面状的情况，如图ll所示，接触位置一定，在F7与f7之间不会产生偏移。其结果，由于没有产生弯矩，所以冷却法兰23及反射镜的变形的平面度保持高精度。虽突起的前端面为球面状，但球面也可以不是圆球面。也可以是椭圆球面。总之，只要突起的前端是向一点收敛并具有圆度的球面即可。其结果，由于突起的前端与平面(冷却法兰23的平面)的接触面积变小，所以可防止发生从突起作用的弯矩，能使安装的光学元件(反射镜)的平面度保持高精度。
实施方式8
图12表示实施方式8的激光振荡器的反射镜的安装结构，其(a)是(b)的S-S剖视图，其(b)是(a)的R-R剖视图。为了保持激光振荡器内部的气密性，在法兰压盖1与冷却法兰4之间、冷却法兰4与基座2之间分别夹持有O形密封圏26、 27。在该例中，相对O形密封圏26的第一 O形密封圏槽设置于法兰压盖1侧，相对O形密封圏27的第二0形密封圏槽设置于基座2侧。可是，O形密封圏槽也可以设置于冷却法兰4侧。在O形密封圏26的第一0形密封圏槽的周围面(法兰压盖l的面)和与其对置的冷却法兰4的面之间设置间隙29，法兰压盖1与冷却法兰4仅通过突起6接触。在O形密封圏
1427的第二 O形密封圈槽的周围面(基座2的面)和与其对置的冷却法兰4的面之间设置间隙30，冷却法兰4与基座2仅通过突起9接触。在未设置间隙29、 30的情况下，冷却法兰4与法兰压盖1或基座2接触，由于不是3点接触，冷却法兰4会根据法兰压盖1或基座2而发生仿形变形，但通过设置间隙，防止了仿形变形。再者，间隙只要大于法兰压盖1或基座2的微小的变形量即可，为数十微米左右。这对于O形密封圏的线径来说非常小，因此，O形密封圏不会因压力差而从槽中挤出来。
接着，对0形密封圏26、 27的反作用力引起的冷却法兰4的翘曲进行说明。O形密封圏被压变形时产生的反作用力作用于冷却法兰4的整个周围。这是在等分布载荷被施加在两端由突起固定的梁上的状态，在冷却法兰4的突起引起的保持点以外的部分会产生翘曲，从而存在柔软的反射镜3会根据冷却法兰4而发生仿形变形之虞。与此相对，在该结构中，通过增大冷却法兰4的厚度，提高弯曲刚性，防止O形密封圏的反作用力引起的冷却法兰4的翘曲。由于冷却法兰4与光学元件相比是价格便宜的部件，所以即使增大厚度，成本也很低。
实施方式9
图13表示实施方式9的激光振荡器的反射镜的安装结构，其(a)是(b )的U - U剖视图，其(b)是(a)的T-T剖视图。通过进一步改进实施方式8 ，在反射镜3与冷却法兰4之间添加O形密封圏28 ，在反射镜3的侧面制作冷却水流路，直接对反射镜3的侧面进行水冷来提高冷却性能。对于法兰压盖1与冷却法兰4、冷却法兰4与基座2之间的0形密封圏26、 27，与实施方式8相同地i殳置间隙29、 30，防止仿形变形。
1权利要求
1. 一种激光振荡器，将光学元件(3)抵接于冷却法兰(4)上并冷却所述光学元件(3)，通过法兰压盖(1)与基座(2)夹持所述冷却法兰(4)固定所述冷却法兰(4)，其特征在于所述法兰压盖(1)与所述冷却法兰(4)通过设置于两者中任何一个上的3个突起(6)接触，所述3个突起(6)配置于三角形的顶点，所述冷却法兰(4)与所述基座通过设置于两者中任何一个上的3个突起(9)接触，所述法兰压盖(1)与所述冷却法兰(4)通过所述突起(6)接触的3点和所述冷却法兰(4)与所述基座(2)通过所述突起(9)接触的3点配置于相对的位置，通过连结部件(5)对夹持所述冷却法兰(4)的所述法兰压盖(1)与所述基座(2)进行连结固定。
2. 根据权利要求l所述的激光振荡器，其特征在于， 所述光学元件是反射镜(3)或透镜，所述6个突起(6， 9)接触的面，处于垂直于所述连结部件产生 的连结力的方向的位置关系。
3. 根据权利要求1或2所述的激光振荡器，其特征在于， 通过所述法兰压盖(1)将所述光学元件(3)推压于所述冷却法兰(4)上来保持所述光学元件(3)。
4. 根据权利要求1或2所述的激光振荡器，其特征在于， 所述法兰压盖(1)与所述冷却法兰(4)通过所述突起(6)接触的3点配置于正三角形的顶点上。
5. 根据权利要求1或2所述的激光振荡器，其特征在于， 在设置于所述法兰压盖(1)与所述冷却法兰(4)中任何一个上的第一O形密封團槽内设置O形密封圏(26)，通过所述O形密封圏 (26)保持所述法兰压盖(1)与所述冷却法兰(4)的气密性，并且，在所述第一o形密封圏槽的周围面和与所述第一o形密封圏槽的周围面对向的面之间设置间隙(29),并且，在设置于所述冷却法兰(4)与所述基座(2)中任何一个 上的第二O形密封圏槽内设置O形密封圏(27)，通过所述O形密封 圏(27)保持所述冷却法兰(4)与所述基座(2)的气密性，并且， 在所述第二O形密封圏槽的周围面和与所述第二O形密封圏槽的周围 面对向的面之间设置间隙(30)。
6. 根据权利要求1或2所述的激光振荡器，其特征在于， 3个所述突起(6， 9)的前端面为球面状。
7. 根据权利要求1或2所述的激光振荡器，其特征在于， 所述连结部件为螺栓(5)，通过配置于所述冷却法兰(4)外周的外侧的所述螺栓(5)将夹持所述冷却法兰(4)的所述法兰压盖(1) 与所述基座(2)连结起来。
8. 根据权利要求1或2所述的激光振荡器，其特征在于， 所述连结部件为螺栓(5)，在所述冷却法兰(4)上设置大于所述螺栓(5)的直径的贯通孔(31)，通过贯穿所述贯通孔(31)的所述 螺栓(5)将夹持所述冷却法兰(4)的所述法兰压盖(1)与所述基座 (2)连结起来。
全文摘要
本发明提供一种激光振荡器，在将光学元件(3)抵接的并冷却光学元件(3)的冷却法兰(4)，通过法兰压盖(1)与基座(2)夹持进行连结固定时，能抑制冷却法兰(4)根据法兰压盖(1)或基座(2)产生仿形变形，从而使与冷却法兰(4)接触的光学元件(3)的平面度保持高精度。法兰压盖(1)与冷却法兰(4)通过设置于两者中任何一个上的3个突起(6)接触，所述3个突起(6)配置于三角形的顶点上，冷却法兰(4)与基座(2)通过设置于两者中任何一个上的3个突起(9)接触，法兰压盖(1)与冷却法兰(4)通过突起(6)接触的3点和冷却法兰(4)与基座(2)通过突起(9)接触的3点配置于相对的位置，通过连结部件(5)对夹持冷却法兰(4)的法兰压盖(1)与基座(2)进行连结固定。
文档编号H01S3/04GK101483303SQ20081010796
公开日2009年7月15日 申请日期2008年5月21日 优先权日2008年1月10日
发明者杉原和郎, 松本康成, 船冈幸治, 长谷川正彦 申请人:三菱电机株式会社