专利名称：树形GaN基LED芯片电极的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种树形GaN基LED芯片电极，有利于改善芯片 散热不均和提升芯片的光电特性，属于LED芯片技术领域。
背景技术：
LED以其自身具有发光效率高、耗电量小、寿命长、发热量低、体 积小、环保节能等诸多优点，己具有广泛的应用市场，如汽车、背光 源、交通灯、大屏幕显示、军事等领域。并随着半导体和材料技术的 不断发展与成熟，LED有望成为新型的第四代固态照明光源。而GaN 及其化合物是继Ge、 Si和GaAs、 InP之后重要的第三代半导体材料系， 基于GaN基LED的发展被公认为光电子科学技术进步中的重大成就， 且是发展固态照明、实现人类照明革命的关键性光源，具有广泛的应 用前景。
目前GaN基LED在实际生产中采用的外延片主要是以蓝宝石为衬 底，而蓝宝石为绝缘体，所以，必须通过刻蚀器件表面来形成负电极。 用这种工艺制作成的LED不可避免地存在电流的横向扩展，从而极易 产生电流聚集效应，这将导致LED发光、发热不均匀，使用寿命下降 等问题。尤其是对于大功率的LED，由于其尺寸较大，电流聚集效应 更加明显。因此，优化GaN基LED的电极形状，可以减小电流聚集效 应，改善电流扩展分布，使其电流分布更为均匀，减少器件的串联电 阻，进而减少焦耳热的产生，对提高GaN基LED的光电性能具有重要 作用。
厦门大学在公开号为CN1870313的实用新型专利申请中提供一种 树叶脉络形大功率氮化镓基发光二极管芯片的P、 N电极，其在P型
3GaN的表面生长一层透明导电层，在透明导电层上淀积P型电极，在 沟槽内淀积N型电极，N型电极沿芯片的对角线分布成树叶脉络的形 状，还包括与之垂直的两个平行N型电极，P型电极环绕在芯片的边 缘，并有触角伸出，夹在两个平行的N型电极之间。该技术方案在垂 直于对角线且相互平行的N型电极N2和N3之间的电流分布相对比较 均匀，但在其余区域电流分布的均匀性比较差。因为在其余区域垂直 于对角线且相互平行的N型电极N2和N3到环绕在芯片直角边缘的P 型电极之间的距离差别比较大，电流分布非常不均匀，且该区域大小 约占芯片的二分之一，说明此树叶脉络形大功率氮化镓基发光二极管 芯片的P、 N电极的电流扩展特性还是不够理想。 发明内容
本实用新型的目的是提供一种树形GaN基LED芯片电极，目的在 于克服上述树叶脉络形大功率氮化镓基发光二极管芯片依然存在的垂 直于对角线且相互平行的N型电极N2和N3到环绕在芯片直角边缘的 P型电极之间的距离差别比较大，电流分布非常不均匀，电流扩展特 性还是不够理想的不足，实现有利于提高电流分布的均匀性，增加芯 片的光提取效率，改善芯片的散热不均等问题，从而提升芯片的光电 特性。
本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的， 一种树形GaN基 LED芯片电极，包括P型电极和N型电极，对GaN外延片进行台面刻 蚀，形成P型GaK台面和N型GaN沟槽，在P型GaK表面生长一层导 电薄膜，再在导电薄膜上淀积P型电极，或者直接在P型GaN表面淀 积P型电极，在沟槽内淀积N型电极，其特征是，P型电极的P型焊 盘和N型电极的N型焊盘分别设置在芯片一对角线的两顶角部位，自 P型焊盘的条形电极沿芯片对角线呈树形分布，自N型焊盘的条形电 极沿芯片四周边缘，并有条形电极伸向芯片内部。
本实用新型由于结合了环形电极和条形电极的优点，P型和N型电极相互交叉平行排布，两电极之间的传输距离相等，电流得到均匀地 扩散分布，提高了芯片的出光效率，同时也有助于改善芯片的电流电 压特性和散热等问题，可以从整体上提升芯片的光电性能。
图1为本实用新型P型、N型电极分布结构示意图中，P表示P型电极，N表示N型电极，l表示P型GaN台面，2 表示N型GaN沟槽，Nl、 N2、 N3表示N型电极的条形电极，其中N1、 N3表示环绕芯片边缘的条形电极，N2表示伸向芯片内部的条形电极， Pl、 P2、 P3表示P型电极的条形电极，其中Pl、 P2表示平行于芯片 边缘的条形电极，P3表示沿芯片对角线向的条形电极。
具体实施方式
结合附图和实施例进一步说明本实用新型，如图1所示，本实用 新型衬底为蓝宝石绝缘体，包括P型电极和N型电极，首先对GaN基 外延片进行台面刻蚀，形成P型GaN台面1和N型GaN沟槽2，再在P 型GaK表面直接淀积P型电极，其主要包括沿对角线分布的条形电极 P3，以及与之相连且平行于芯片边缘的两个指形电极Pl和P2，并沿 对角线呈对称分布，共有五个条形电极，整体呈树形分布。N型电极 淀积在比其宽度略宽的N型GaN沟槽2中，主要包括环绕在芯片的边 缘的条形电极N1和N3，并有平行于芯片边缘的条形电极N2伸向芯片 内部，关于芯片对角线呈对称分布，共有六个条形电极。这样P型和 N型电极相互交叉平行排列，不仅縮短电流的传输距离，且不同电极 之间距离相等，增加了电流分布的均匀性，提高了载流子的复合效率， 增加了光的提取，减少了转化为内部热能的损耗，提高了芯片的出光 效率，改善了芯片的光电特性。本实用新型亦可在P型GaN表面生长 一层导电薄膜，再在导电薄膜上淀积P型电极；本实用新型P型电极 和N型电极的形状亦可互换，N型电极淀积在相应形状的沟槽内。
权利要求1、一种树形GaN基LED芯片电极，包括P型电极和N型电极，对GaN外延片进行台面刻蚀，形成P型GaN台面和N型GaN沟槽，在P型GaN表面生长一层导电薄膜，再在导电薄膜上淀积P型电极，或者直接在P型GaN表面淀积P型电极，在沟槽内淀积N型电极，其特征是，P型电极的P型焊盘和N型电极的N型焊盘分别设置在芯片一对角线的两顶角部位，自P型焊盘的条形电极沿芯片对角线呈树形分布，自N型焊盘的条形电极沿芯片四周边缘，并有条形电极伸向芯片内部。
2、 根据权利要求l所述的树形GaN基LED芯片电极，其特征是， 所述P型条形电极沿芯片对角线呈树形分布，包括沿对角线的条形电 极，以及与之相连、呈对称分布的且平行于芯片边缘的不少于两条条形 电极。
3、 根据权利要求1所述的树形GaN基LED芯片电极，其特征是， 所述N型条形电极包括沿芯片边缘的边缘电极及与一侧边缘电极相连、 且平行于另 一侧边缘电极伸向芯片内部的条形电极。
4、 根据权利要求1所述的树形GaN基LED芯片电极，其特征是， P型电极和N型电极的形状亦可互换，N型电极淀积在相应形状的沟槽 内。
专利摘要本实用新型涉及一种树形GaN基LED芯片电极，属于LED芯片技术领域，主要特点是P型电极的P型焊盘和N型电极的N型焊盘分别设置在芯片一对角线的两顶角部位，自P型焊盘的条形电极沿芯片对角线呈树形分布，自N型焊盘的条形电极沿芯片四周边缘，并有条形电极伸向芯片内部，本实用新型结合了环形电极和条形电极的优点，P型和N型电极相互交叉平行排列，不仅缩短电流的传输距离，且不同电极之间距离相等，增加了电流分布的均匀性，提高了载流子的复合效率，增加了光的提取，减少了转化为内部热能的损耗，提高了芯片的出光效率，改善了芯片的光电特性。
文档编号H01L33/00GK201266611SQ20082003940
公开日2009年7月1日 申请日期2008年8月21日 优先权日2008年8月21日
发明者张俊兵, 曾祥华 申请人:扬州大学