专利名称：重掺杂的单晶硅衬底中的氧沉淀的抑制的制作方法
技术领域：
本发明一般涉及外延半导体结构，尤其是用于制造电子部件的外延硅
晶片，还涉及其制备方法。更具体而言，该外延结构包括用N型掺杂剂(N+ ) 或P型掺杂剂(P+)重掺杂的单晶硅衬底以及用N型掺杂剂(N-)轻掺 杂的外延层，其中衬底中的氧沉淀受到抑制。
背景技术：
通常通过直拉(Czochralski)法来制备单晶硅(其是用于制造半导体 电子部件的大多数工艺的起始材料)，其中将单个的籽晶浸入到熔化的硅
中，然后通过拉拔进行生长。由于熔化的硅#:包含在石英坩埚中，因此熔
化的硅会受到各种杂质(其中主要为氧)的污染。这样，在从通过该方法 生长的单晶硅切割下来的晶片中存在过饱和浓度的氧。
在制造电子器件时所典型采用的热处理循环期间，氧沉淀成核中心形 成并最终生长为大的氧团簇或沉淀物。根据其位置，这样的沉淀物可以是 有利的也可以是有害的。当沉淀物位于晶片的有源器件区域中时，其会危 害器件的操作。当沉淀物位于这些区域之外时，氧沉淀物用作金属的吸引 位置。
已经将各种方法用于控制晶片中的氧沉淀物的特性。例如，Falster等 的美国专利No.5,994，761中公开了这样的方法，在快速热退火装置中在晶 片中引入浓度不均匀的空位，由此在随后的氧沉淀物热处理中，氧沉淀物 形成在富空位区中而不形成在贫空位区中。在美国专利No,6，336，968中， Falster公开了这样的方法，其中，通过在含氧的气氛中快速热退火晶片， 或者使晶片緩慢冷却经过空位相对可移动的温度范围，从而制备没有氧沉淀的晶片。
虽然已经证明这些技术是有用的，但目前对于典型的硅晶片而言，包 括重掺杂衬底的外延晶片结构提出有些不同的挑战。例如，重掺杂衬底中 的不受控制的氧沉淀会导致在高温下产生相对大浓度的硅自填隙子
(self-interstitial)(由于其在氧沉淀物生长期间的发射)。相对大浓度的 硅自填隙子反过来又倾向于促进掺杂剂(或其他杂质)从重掺杂的衬底扩 散到较轻掺杂的N器件层，由此会潜在地改变某些功率器件中的关键特性， 例如，雪崩击穿电压。
发明内容
本发明的各种方面涉及一种控制具有重掺杂的衬底的外延硅结构中的 氧沉淀特性的方法以及所产生的结构本身。
因此，简要地，本发明的一个方面为一种外延硅晶片，其包括重掺杂 的硅衬底，所述重掺杂的硅衬底具有小于约5mn.cm的电阻率并且基本上 没有氧沉淀物核。所述晶片还包括具有大于约100mQ.cm的电阻率的N硅 外延层。
本发明的其他目的和特征将在下文中部分地显而易见并部分地指出。
具体实施例方式
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善的氧沉淀特性，由此更大程度地控制掺杂剂(和其他杂质)从重掺杂的
衬底向更轻掺杂的N外延层的扩散。在一个实施例中，在随后的氧沉淀热 处理(例如，使晶片在800。C的温度下退火四小时，然后在1000。C的温度 下退火十六小时)期间，所产生的外延晶片将不形成氧沉淀物。 /.勸M
用于本发明的方法的初始材料为从通过直拉晶体生长法生长的单晶锭 切割下来的单晶硅晶片。该单晶硅晶片具有中心轴；通常垂直于中心轴的 前表面和后表面；周边边缘；以及从中线轴延伸到周边边缘的半径。可以抛光该晶片，或可替代地，研磨且蚀刻该晶片而不抛光。此外，该晶片具 有作为占支配地位的#点缺陷的空位或自填隙子点缺陷。例如，该晶片 可以从中心到边缘受到空位的支配，从中心到边缘受到自填隙子的支配， 或者该晶片可包含受空位支配的材料的中心核，该受空位支配的材料的中 心核被受自填隙子支配的材料的轴对称环所包围。
直拉生长的硅典型地具有在约5xl0"到约9xl0"原子/cn^范围内的氧 浓度(ASTM标准F-121-83 )。因为本发明的方法实质上消除了晶片的氧 沉淀特性(即，即使对晶片进行氧沉淀热处理，该晶片也实质上不发生氧 沉淀)，因此初始的重掺杂硅晶片的氧浓度落在通过直拉法可典型获得的 范围之内的某处或者甚至在该范围之外。
根据单晶硅锭从硅的熔点(约1410°C )经过约750'C到约35(TC的范 围的冷却速率，在单晶硅锭(重掺杂晶片从其切割而成)中会形成氧沉淀 成核中心。对于本发明而言，在初始材料中这些成核中心的存在与否并不 是关键的。然而，优选地，这些中心能够通过本发明的快速热退火热处理 而分解。
该硅晶片是用 一种或多种N型或P型掺杂剂重掺杂的晶片。典型的N 型掺杂剂包括磷和砷。在一个实施例中，掺杂剂为磷。在另一实施例中， 掺杂剂是砷。在又一实施例中，磷和砷二者都被用作掺杂剂。典型的P型 掺杂剂包括硼、铝、和镓。在一个实施例中，掺杂剂为硼。在另一实施例 中，掺杂剂是铝，而在又一实施例中，掺杂剂是镓。在再一实施例中，使 用硼、铝、和镓的任何组合作为掺杂剂。无论掺杂剂如何，总的掺杂剂浓 度要使晶片具有小于约5mQ.cm的电阻率，这样的晶片典型地被称为N+ 或P+晶片。在一个实施例中，掺杂剂浓度足以提供具有小于约3mi2.cm 的电阻率的晶片。在特定实施例中，小于约2mll.cm的电阻率是优选的。 在一个优选实施例中，掺杂剂浓度足以提供具有小于约lmQ.cm的电阻率 的晶片。
上述电阻率值对应于大于约1.24xlO"at/cii^的N型掺杂剂浓度。例如， 重掺杂的晶片的N型掺杂剂的浓度可大于约2.25xlO"at/cm3，例如，大于
7约3.43xl019at/cm3。在一个优选的实施例中，重掺杂的晶片具有浓度大于 约7.36xl019at/cm3的N型掺杂剂。相似地，上述电阻率值对应于大于约 2.1xl0 t/ci^的P型掺杂剂浓度。例如，重掺杂的晶片的P型掺杂剂的 浓度可大于约3.7xl019at/cm3，例如，大于约5.7xl019at/cm3。在一个优选 的实施例中，重掺杂的晶片具有浓度大于约1.2xl0"at/ci^的P型掺杂剂。
对重掺杂的晶片进行热处理步骤以侵:任何预先存在的氧团簇和任何预 先存在的氧化诱导的堆垛层错(OISF)核分解。优选地，在快速热退火装 置(RTA)中实施该热处理步骤，在该RTA中，晶片-皮快速加热到目标 温度，然后在该温度下退火相对短的时间。通常，将晶片快速加热到超过 1150。C的温度，优选地，至少1175。C，典型地，至少约1200。C，在一些实 施例中，晶片被快速加热到约1200。C至1275。C的温度。根据任何预先存在 的缺陷的浓度、类型和尺寸，通常将晶片保持在该温度下至少一秒，典型 地，至少几秒(例如，至少3秒)，以及可能地几十秒(例如，在约10 到约60秒之间，例如，20、 30、 40或50秒)。
可以在多种商业可得的RTA炉中的任何RTA炉中来进行快速热退 火，在该RTA炉中，通过多组高功率灯来分别地加热晶片。快速热退火 炉能够快速加热硅晶片，例如，其能够在数秒内将晶片从室温加热到1200 。C。
一种这样的商业可得的RTA炉为可以从Mattson Technology
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除了分解各种预先存在的氧团簇和OISF核，退火步骤还将增加重掺 杂晶片中的晶格空位的数量密度。到目前为止所获得的信息表明，特定的 与氧相关的缺陷(例如，环OISF)为由高浓度空位的存在所催化的高温 成核的氧团块。此外，在高空位区域中，认为氧聚集在高温下快速发生， 这与低空位浓度的区域相反，该低空位浓度的区域中的特性更类似于缺乏 氧沉淀成核中心的区域。因为氧沉淀特性受空位浓度的影响，因此，在本 发明的方法中控制热处理后的晶片中的空位密度限制或甚至避免了在随后
8的氧沉淀热处理中的氧沉淀。有利地，通过限制从退火温度的冷却速率， 通过在退火气氛中包括足够的氧分压，或通过同时采用这两种方式，可以 控制退火后的晶片中的空位的(数量)密度。 j.控賴冷^呓威
通过控制在其中实施热处理的气氛，可以至少部分地控制退火后的晶 片中的空位浓度。目前所获得的实發汪据表明，大量的氧的存在可以抑制 退火后的晶片中的空位浓度。不用依据任何特定的理论，人们相信，在氧 存在的条件下的快速热退火处理会导致珪表面的氧化，由此用于产生硅自 填隙子的向内通量。自填隙子的该向内通量具有通过在表面处开始然后向
无论机制如何，在一个实施例中，在存在含氧气氛的条件下进行退火 步骤。也就是，在能够使暴露的硅表面氧化的包含氧气(02)、水蒸汽或 含氧化合物气体的气氛中进行退火。该气氛由此可完全由氧构成或由氧化 合物气体构成，或附加地包括非氧化气体，例如，氩。然而，当气氛不完
全是氧时，该气氛优选包含至少约0.001大气压(atm.)或1000个每百万 原子份(ppma)的氧分压。更优选地，在该气氛中的氧分压将至少为约 0.002atm. ( 2000ppma )，更优选0.005atm. ( 5000ppma )，进一步更优选 0.01 atm. ( 10000ppma )。 B. #辦冷#遽卓
本征点缺陷(空位和硅自填隙子)能够扩散穿过单晶硅，其中扩散速
率是温度相关的。因此，本征点缺陷的浓度分布是作为温度的函数而随着 本征点缺陷的扩散率和复合速率改变的。例如，本征点缺陷在快速热退火 步骤中退火晶片的温度附近的温度下相对地可移动，而本征点缺陷在 700。C之下或700。C时对于任何商业实践的时长都实质上不可移动。目前获 得的实验证据表明，在低于约700。C以及可能地低于约800°C、低于900。C 或甚至低于1000。C的温度下，空位的有效扩散速率显箸减緩，因此，对于 任何商业实践的时长而言，都可以认为空位是不可移动的。
因此，在一个实施例中，通过控制晶片的经过其中空位相对可移动的温度范围的冷却速率，至少部分地控制在退火后的晶片中的空位浓度。在 将晶片冷却到低于其中空位相对可移动的温度范围之前，以足以降^f氐冷却 的晶片中的晶格空位的数量密度的时长来进行这样的控制。当退火的晶片 的温度降低经过该范围时，空位扩散到晶片表面并被湮灭，导致空位浓度 分布的改变。该改变的程度取决于退火的晶片在该范围内的温度下,皮保持 的时间长度和温度的量值，较高的温度和较长的扩散时间通常导致扩散增
加。通常，从退火温度到空位实际不可移动的温度(例如，约950°C)的 平均冷却速率优选不大于20。C每秒，更优选不大于约l(TC每秒，进一步更 优选不大于约5。C每秒。
可替代地，可以在高温退火之后将退火的晶片的温度迅速(例如，以 大于约2(TC/秒的速率)降低到低于约1150。C但高于约950。C的温度，然 后保持一段时长，该时长取决于保持温度。例如，为了充分降低空位浓度， 对于在1150。C附近的温度，几秒(例如，至少约2、 3、 4、 6秒或更大) 是足够的，而对于950。C附近的温度，则需要几分钟(例如至少约2、 3、 4、 6分钟或更大)。
一旦将退火的晶片冷却到晶格空位相对可移动的温度范围之外的温 度，冷却速率便不会显著地影响晶片的沉淀特性，因此，冷却速率不再是 严格的关键因素。
便利地，在与实施加热步骤的气氛相同的气氛中实施冷却步骤。合适 的气氛包括；例如；氮化气氛(即，包含氮气(N2)或能够氮化暴露的硅 表面的含氮的化合物气体(例如氨)的气氛)；氧化(含氧)的气氛；非 氧化、非氮化气氛(例如，氩、氦、氖、二氧化碳)；及其组合。
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虽然这里采用的快速热处理会导致少量的氧从晶片的前和后表面的表 面向外扩散，但产生的退火后的晶片具有作为与硅表面的距离的函数的基 本上均匀的填隙子氧浓度。例如，从晶片的中心到晶片的位于硅表面的约 15微米内的区域，更优选地从珪的中心到晶片的位于珪表面的约10微米 内的区域，甚至更优选地从珪的中心到晶片的位于硅表面的约5微米内的区域，最优选地从硅的中心到晶片的位于^面的约3微米内的区域，退 火后的晶片将具有基本上均匀的填隙子氧浓度。在该上下文中，基本上均 匀的氧浓度应意味着氧浓度的变化不大于约50%，优选地不大于约20%, 最优选地不大于约10%。
通过本领域公知的方法在退火后的珪晶片的表面上沉积或生长外延层 到至少约5cm的平均厚度。典型地，通过化学气相沉积实现外延生长，这 是因为该方法是用于在半导体材料上生长外延层的最灵活且成本有效的方 法之一；例如，参见美国专利No.5,789,309。在生长工艺之后或期间进行 对外延层的掺杂。无论掺杂方法如何，所产生的外延层具有的N型掺杂剂 浓度可以为外延层提供至少约lOmQ'cm (例如，至少约lOOmQ'cm)的电 阻率。例如，外延层将典型地具有在约100mQ.cm到约100Q.cm之间的电 阻率。在一个应用中，外延层将具有在约300mn'cm到约10Q'cm之间的 电阻率。
作为表征N掺杂的外延层的替代方式，外延层的掺杂剂浓度典型地小 于约4.8xl018at/cm3，例如，在约4.3xl013at/em3到约7.8xl0"at/cm3之间。 在一个应用中，N型外延层具有在约4.4xl014at/eni3到约1.9xl016at/em3之 间的捧杂剂浓度。
如上所述，用选自例如磷、砷、和锑的一种或多种N型掺杂剂掺杂外 延层。典型地，N型掺杂剂为礴、砷、或磷和砷二者。在一个实施例中， 掺杂剂为磷。在另一实施例中，掺杂剂为砷。在又一实施例中，使用磷和 砷二者作为掺杂剂。
使用外延沉积的 一个优点为，在外延生长期间可以与直接的掺杂剂供 给配合使用现有的外延生长反应器。也就是，为了掺杂沉积的外延层，N 型掺杂剂可以与载体气体混合。
在一个实施例中，结合在上面详述的退火步骤来形成外延层。在该实 施例中，如此形成外延层，以满足退火步骤的持续时间。 一旦完成了退火和外延形成，如上所述地控制冷却气氛、冷却速率、或控制冷却气氛和冷 却速率二者。也就是，在该实施例的一个变体中，在退火和外延层形成之 后的气氛为能够氧化暴露的M面的含氧气氛。具体地，该气氛优选包含
至少约0.001大气压(atm)或1000个每百万原子份(ppma )的氧分压。 更优选地，在该气氛中的氧分压将至少为约0.002atm (2000ppma)，进 一步更优选0.005atm( 5000ppma )，再进一步更优选0.01atm( 10000ppma )。
在该实施例的其他变体中，在控制或不控制冷却气氛的情况下控制晶 片的冷却速率。具体地，控制冷却速率，以便从退火温度到空位实际不可 移动的温度(例如，约950。C)的平均冷却速率优选不大于20。C每秒，更 优选不大于约l(TC每秒，进一步更优选不大于约5。C每秒。可替代地，可 以使温度迅速(例如，以大于约20X:/秒的速率)降低到低于约1150。C但 高于约95(TC的温度，然后4艮据保持温度，保持几秒到几分钟的时长。例 如，对于在1150。C附近的温度，至少约2、 3、 4、 6秒钟或更长M够的， 而对于95(TC附近的温度，则需要至少约2、 3、 4、 6分钟或更长。
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在一个实施例中，在上述退火步骤之前，在高掺杂的衬底的背面上沉 积多晶硅层。多晶硅层的晶粒间界用作摻杂剂的吸收(gettering)位置。 通常，可以通过本领域公知的任何常规方法来沉积多晶硅层。例如，通过 使用硅烷(SH4)气体和砷掺杂的化学气相沉积来沉积多晶硅层，在美国 专利No.5,792，7(H)或5,310,698中有更详细的描述。
根据本发明制造的硅结构可以用于各种技术。例如，本发明的硅结构 适用于制造功率器件，例如，功率二极管、晶闸管，具体地，功率MOSFET 和JFET。该名单决不是限制性的也不是全面的。
当引入本发明或其优选实施例的要素时，冠词"一个"、"一"、"该"、 "所述"旨在表示存在一个或多个要素。术语"包括"、"包含"和"具 有"旨在开放性的，即，表示除所列出的要素外还存在附加的要素。此夕卜， 除非另有明确声明，将重掺杂衬底表示为"N+"或"P+，，应理解为还可以 表示具有通常分别表示为N十+和N+十+或P+十和P+十+的掺杂水平的衬底。鉴于以上说明，可以看出，本发明的几个目的得以实现，并且还获得 了其他有利的结果。
由于可以在上述的产品和方法中做出各种改变而不背离本发明的范 围，因此旨在将包含在上述描述中并通过附图
示出的所有主旨理解为是示 例性的而不是限制性的。
权利要求
1.一种制备外延单晶硅晶片的方法，所述方法包括以下步骤在至少1150℃的温度下退火重掺杂的单晶硅衬底以分解预先存在的氧沉淀物，所述重掺杂的硅衬底为通过直拉法生长的锭的切片，所述重掺杂的硅衬底具有前表面、后表面、以及连接所述前表面和后表面的周边边缘，并具有小于5mΩ·cm的电阻率；在经过快速加热的重掺杂的硅衬底的所述前表面上沉积N硅外延层以形成外延硅晶片，所述外延层包括N型掺杂剂并具有大于约10mΩ·cm的电阻率；以及将所述重掺杂的硅衬底从所述退火温度冷却到室温；其中(i)控制所述退火步骤的气氛，或者(ii)在所述冷却步骤期间控制冷却速率，以在所述重掺杂的单晶硅衬底中设置均匀浓度的空位，所述均匀浓度不足以在氧化沉淀热处理中催化氧沉淀。
2. 根据权利要求l的方法，其中在所述沉积步骤之前实施所述冷却步骤。
3. 根据权利要求2的方法，其中实施所述退火步骤时的气氛包括氧。
4. 根据权利要求3的方法，其中所述气氛包括至少约1000ppma的氧 分压。
5. 根据权利要求2的方法，其中在从所述退火温度到空位实际不可移 动的温度期间所述冷却速率不大于2(TC每秒。
6. 根据权利要求2的方法，其中在从所述退火温度到空位实际不可移 动的温度期间所述冷却速率不大于5。C每秒。
7. 根据权利要求l的方法，其中在相同的设备中实施所述退火步骤和 所述沉积步骤，在所述沉积步骤之后实施所述冷却步骤，并且在从所述退
8. 根据权利要求l的方法，其中在相同的设备中实施所述退火步骤和 所述沉积步骤，在所述沉积步骤之后实施所述冷却步骤，并且在从所述退火温度到空位实际不可移动的温度期间所述冷却速率不大于5°C每秒。
9. 根据权利要求2的方法，其中冷却所述高掺杂的珪衬底包括以大于 20。C每秒的冷却速率从所述退火温度冷却到低于约115(TC但高于约950°C 的温度，然后将所述衬底保持在该温度范围内至少约2秒钟。
10. 根据权利要求9的方法，其中将所述重掺杂的硅衬底冷却到约 950。C的温度，并使其保持在该温度下至少约2分钟。
11. 根据权利要求l的方法，其中所述重掺杂的珪衬底包括N型掺杂剂。
12. 根据权利要求ll的方法，其中所述重掺杂的硅衬底包括选自P、 As、及其组合的掺杂剂。
13. 根据权利要求l的方法，其中所述重掺杂的硅衬底包括P型掺杂剂。
14. 根据权利要求13的方法，其中所述重掺杂的硅村底包括选自B、 Al、 Ga、及其组合的掺杂剂。
15. 根据权利要求1的方法，其中将所述N硅外延层沉积为至少约5cm 的厚度。
16. 根据权利要求1的方法，还包括在所述退火步骤之前在所述重掺 杂的单晶硅村底的所述后表面上沉积多晶硅的层。
17. —种外延珪晶片，包括重掺杂的单晶硅衬底，其是通过直拉法生长的锭的切片且具有前表面、 后表面、以及连接所述前表面和后表面的周边边缘，并具有小于5mQ.cm 的电阻率，而且基本上没有氧沉淀物核；N硅外延层，其位于所述重掺杂的硅衬底的所述前表面上，形成所述 外延硅晶片，所述外延层包括N型掺杂剂并具有大于约10m&cm的电阻 率。
18. 根据权利要求17的晶片，其中所述重掺杂的珪衬底包括N型掺 杂剂。
19. 根据权利要求18的晶片，其中所述重掺杂的硅衬底包括选自P、As、及其组合的掺杂剂。
20. 根据权利要求17的晶片，其中所述重掺杂的硅衬底包括P型掺 杂剂。
21. 根据权利要求20的晶片，其中所述重掺杂的硅衬底包括选自B、 Al、 Ga、及其组合的掺杂剂。
22. 根据权利要求17的晶片，其中所述N硅外延层具有至少约5cm 的厚度。
23. 根据权利要求17的晶片，其中所述外延层具有约lOOmQ.cm到 约lOOn'cm的电阻率。
24. 根据权利要求17的晶片，其中所述重掺杂的硅衬底包括具有基本 上均匀浓度的氧填隙原子的区域，该区域从所述晶片的中心径向延伸到所 述晶片的表面的15微米内的距离。
25. 才艮据权利要求24的晶片，其中所述基本上均匀的区域所具有的氧 填隙原子的浓度具有不大于约50%的变化。
26. 4艮据权利要求24的晶片，其中所述基本上均匀的区域所具有的氧 填隙原子的浓度具有不大于约10%的变化。
全文摘要
本发明一般涉及一种通过分解衬底内存在的氧团簇和沉淀物来抑制外延硅晶片中的氧沉淀的方法，其中该外延硅晶片具有重掺杂的硅衬底和N轻掺杂的硅外延层。此外，还防止了在随后的氧沉淀热处理中形成氧沉淀。
文档编号H01L21/02GK101689504SQ200880022738
公开日2010年3月31日 申请日期2008年6月26日 优先权日2007年6月29日
发明者D·M·李, L·莫伊拉吉, M·拉瓦尼, R·J·法尔斯特, 赵澯来 申请人:Memc电子材料有限公司