专利名称：一种风车型划片槽的旋转测试图样的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造中光刻工艺领域，尤其涉及一种风车型划片槽的旋转测试 图样。
背景技术：
在半导体制造中，通常使用光刻技术在硅片上旋涂光刻胶，然后利用光罩进行曝 光显影的工艺进行设计图形向硅片的转移。而实际生产使用的硅片尺寸远大于单个芯片的 尺寸，因此在实际生产中会把芯片整合为一个合适尺寸的基本曝光单元制作光罩，然后进 行反复多次曝光来覆盖整个硅片，最后通过划片切割做好的硅片得到单个芯片。因此一个 最基本的曝光单元会包含设计图形和划片槽两部分。现有的工艺中，划片槽的设计通常为如图3所表示的与主要图形单元一样长度且 具有一定宽度的长方形，然后曝光时通过相邻两曝光单元的交叠产生将来进行划片用的空 间。在实际的曝光过程中，由于光罩平台和曝光平台之间的校准存在差异，有时候会 出现光罩平台相对于曝光平台的旋转，此时曝光图形会产生如图6所表示的相应的旋转， 此时会导致最终形成的划片槽大小产生差异或原本应该在硅片上形成不同曝光单元一直 线排列的准直度不好，导致最终划片无法进行，因此在曝光完成后通常需要做图形是否存 在旋转的检查。现有的划片槽的设计由于划片槽的拼接与划片方向一致，因此通常使用如图4所 表示的游标类型图形进行检测，此时如果发生图形旋转，其造成的图形偏移方向与划片方 向一致，因此可以利用游标是否重合来检查是否有图形旋转。随着半导体生产集成度的提高，现有的划片槽设计由于划片槽内许多检测图形拼 接形成，因此对两个半边宽度有一定的限制，导致最终的宽度无法适应高密度集成所要求 的更小尺寸的划片槽要求，因此一种新型的风车型设计被使用了，其设计如图1和图2所表 示。它和普通的划片槽(见图3和图4)相比，拼接方向发生了 90度旋转，使拼接的区域降 到最低，划片槽内的测试图形不需要进行拼接，可以直接形成，大大降低了对划片槽宽度的 要求，可以产生更小的划片槽以满足高密度集成的需求。但是由于拼接方向发生了 90度旋转，导致图形发生旋转时，其实际偏移方向不再 与拼接方向一致，因此现有的方法无法检测到图形旋转。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种风车型划片槽的旋转测试图样，其能实现风 车型划片槽的硅片曝光过程进行图形旋转检查。为解决上述技术问题，本发明提供一种风车型划片槽的旋转测试图样，所述旋转 测试图样为两个镜像对称且互补的图像。所述旋转测试图样由4个图形A1、A2、B1、B2产生，其中A1，A2产生其中一个图像，Bl，B2产生另一个图像，其中A1和Bl，A2和B2为镜像对称；在图形属性上，Al、B2图形属 性相同，A2、B1图形属性相同，A1、B2与A2、B1图形属性相反。所述Al，A2，Bl, B2为任意的中心对称图形或镜像对称图形。所述A1和A2，B1和B2的关系为中心对称图形或镜像对称图形。所述A1和A2，B1和B2的关系为非中心对称图形或非镜像对称图形，且A1和A2， B1和B2相交。所述中心对称图形或镜像对称图形为圆形、三角形或矩形。所述两个镜像对称且互补的图像分别放置在风车型划片槽的两端。所述两个镜像对称且互补的图像放置在划片槽上的位置必须保证曝光后在无曝 光流程异常的情况下，A1和Bl，A2和B2相交。和现有技术相比，本发明具有以下有益效果因为风车型划片槽的拼接方法与现 存的其他拼接有很大的差异，拼接方法产生了 90度旋转，因此现有的游标法由于检查方向 发生了变化，已经无法检测到图形旋转。使用本发明的旋转测试图样可以适应风车型划片 槽与普通划片槽的拼接方向旋转的特点，对曝光图形是否存在旋转进行检查，检查过程简 单易行，可快速有效地检查出风车型划片槽的硅片曝光过程是否存在图形旋转。
图1是现有风车型划片槽曝光流程示意图；图2是基于游标法的现有风车型划片槽示意图；图3是普通划片槽曝光流程示意图；图4是基于游标法的普通划片槽示意图；图5是本发明使用的旋转测试图样示意图；图6是曝光图形产生旋转时的示意图；图7是本发明旋转检查图形在曝光单元产生旋转时的示意图。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明。本发明利用两个互补图形重叠时产生的视觉差异，利用风车型划片槽曝光后，相 邻曝光单元划片槽互相拼接的特点，使用一组镜像对称且互补的图像分别放置在曝光单元 的不同方向的划片槽上，通过曝光后产生的互相拼接的图像，可以直观的通过显微镜目测 检查是否存在图形旋转。采用本发明的旋转测试图样对风车型划片槽的硅片曝光过程是否存在图形旋转 进行检查，主要包括如下步骤1)产生一组两个镜像对称且互补的图像作为旋转测试图样。如图5所示，该旋转 测试图样由4个图形A1、A2、B1、B2产生，其中Al，A2产生其中一个图像，Bl，B2产生另一 个图像，其中A1和Bl，A2和B2为镜像对称。在图形属性上，Al，B2图形属性相同，A2，B1 图形属性相同，Al，B2与A2，B1图形属性相反。Al，A2，Bl, B2可以为任意的中心对称图形 或镜像对称图形，如圆形，三角形，矩形等(图5以矩形为例)。A1和A2，B1和B2的关系可 以为中心对称图形或镜像对称图形，如圆形，三角形，矩形等(图5以矩形为例)。A1和A2，B1和B2的关系可以为非中心对称图形或非镜像对称图形，但A1和A2，B1和B2必须相交。2)将两个镜像对称且互补的图像(旋转测试图样)分别放置在风车型划片槽的两 端。其中，旋转测试图样放置在划片槽上的位置必须保证曝光后在无曝光流程异常的情况 下，A1和Bl, A2和B2可以相交。3)曝光完成后检查相邻两曝光单元曝光后重合的两个检测图形确定是否存在曝 光单元旋转。该步骤可以使用光学显微镜与正常图形进行对比进行目检，或者可以使用光 学显微镜结合图象探测设备测量A1和Bl，A2和B2之间的距离来进行检查，也可以使用电 子显微镜等设备测量A1和Bl，A2和B2之间的距离来进行检查。如图7所示，按本发明测 试方法，风车型划片槽通过曝光后产生的互相拼接的图像，可以直观地通过显微镜目测检 查，如图7显示该旋转检查图形在曝光单元已产生旋转。
权利要求
一种风车型划片槽的旋转测试图样，其特征是所述旋转测试图样为两个镜像对称且互补的图像。
2.根据权利要求1所述的一种风车型划片槽的旋转测试图样，其特征是所述旋转测 试图样由4个图形A1、A2、B1、B2产生，其中Al，A2产生其中一个图像，Bi，B2产生另一个 图像，其中Al和B1，A2和B2为镜像对称；在图形属性上，A1、B2图形属性相同，A2、B1图形 属性相同，A1、B2与A2、B1图形属性相反。
3.根据权利要求2所述的一种风车型划片槽的旋转测试图样，其特征是所述A1，A2， Bi，B2为任意的中心对称图形或镜像对称图形。
4.根据权利要求2所述的一种风车型划片槽的旋转测试图样，其特征是所述Al和 A2，Bl和B2的关系为中心对称图形或镜像对称图形。
5.根据权利要求2所述的一种风车型划片槽的旋转测试图样，其特征是所述Al和 A2，Bl和B2的关系为非中心对称图形或非镜像对称图形，且Al和A2，Bl和B2相交。
6.根据权利要求3或4所述的一种风车型划片槽的旋转测试图样，其特征是所述中 心对称图形或镜像对称图形为圆形、三角形或矩形。
7.根据权利要求1-5任一项所述的一种风车型划片槽的旋转测试图样，其特征是所 述两个镜像对称且互补的图像分别放置在风车型划片槽的两端。
8.根据权利要求7所述的一种风车型划片槽的旋转测试图样，其特征是所述两个镜 像对称且互补的图像放置在划片槽上的位置必须保证曝光后在无曝光流程异常的情况下， Al禾口 Bi，A2禾口 B2才目交。
全文摘要
本发明公开了一种风车型划片槽的旋转测试图样，其利用风车型划片槽曝光后，相邻曝光单元划片槽互相拼接的特点，使用一组镜像对称且互补的图像作为旋转测试图样分别放置在曝光单元的不同方向的划片槽上，通过曝光后产生的互相拼接的图像，可以直观的通过显微镜目测检查是否存在图形旋转。
文档编号H01L21/66GK101866110SQ200910057079
公开日2010年10月20日 申请日期2009年4月16日 优先权日2009年4月16日
发明者王雷 申请人:上海华虹Nec电子有限公司