涂敷、显影装置及涂敷、显影方法以及存储介质的制作方法

专利名称：涂敷、显影装置及涂敷、显影方法以及存储介质的制作方法
技术领域：
本发明涉及例如对半导体晶圆(wafer)或LCD基板(液晶显示 器用玻璃基板)等基板进行抗蚀剂液的涂敷处理以及曝光后的显影处 理的涂敷、显影装置及涂敷、显影方法以及存储介质。
背景技术：
对半导体器件或LCD基板等基板涂敷抗蚀剂液，并将该抗蚀剂 按规定图案曝光后，进行显影处理，从而在基板上作成所希望的抗蚀 剂图案，这一连串的处理， 一般采用在进行抗蚀剂液的涂敷处理或显 影处理的涂敷、显影装置上连接曝光装置的系统来进行。该系统将以 下功能块排列成一列而构成，该功能块是承载块(carrierblock), 载放收容了构成基板的半导体晶圆(以下称为"晶圆")的晶圆输送 盒(wafer cassette),具备对该晶圆输送盒进行晶圓交接的交接臂； 处理块，对从承载块输送的晶圆进行抗蚀剂液的涂敷处理或显影处 理；以及接口块(interfaceblock)，连接该处理块和曝光装置。
可是，对于形成了抗蚀剂图案的晶圓，进行规定检查例如抗蚀剂 图案的线宽、抗蚀剂图案和基底图案的重叠度、以及显影缺陷等的检 查，仅对判定为合格的晶圆进行下个工序。这时，若采用在涂敷、显 影装置内设置检查模块的联机(in-line)系统则更加便利，因此如图 10所示，本发明人采用在承载块Bl和处理块B3之间隔着具备多个 检查模块11的检查块B2的结构。图中B4是接口块，B5是曝光装置。
在这种系统中，所述晶圆输送盒IO内的晶圆乂人^^载块B1过4全查 块B2而不停地输送至处理块B3，在此进行抗蚀剂液的涂敷处理后， 经由接口块B4输送至曝光装置B5，进行规定曝光处理。然后，曝光后的晶圓在处理块B3中进行显影处理，然后，在检查块B2中进行规 定检查。另一方面，对于不进行检查的晶圆，在处理块B3中进行显 影处理之后，使之过检查块B2而不停地返回到承载块Bl。
这时，例如逐批地预先决定对该批内的晶圓是否进行检查或在进 行检查时该检查的种类。然后例如在进行检查的场合，若承载块Bl 的交接臂(未图示)从晶圓输送盒10内取出晶圆，则从控制涂敷、 显影装置的控制部(未图示)向进行检查的检查模块输出检查预约信 号，在检查模块中对接受检查预约信号的晶圆按接受检查预约信号的 顺序进行检查。
如此在向检查模块11输送晶圆之前，预先向该检查模块11输出 检查预约信号的原因在于容易制作输送程序，此外还有这样的原因， 即，由于检查模块11的准备需要规定时间，所以通过与对晶圆形成 抗蚀剂图案的处理并行进行检查模块的准备，来输送所述处理后的晶 圆至检查块B2时立即进行检查，从而抑制生产量的降低。
可是检查模块11发生故障(trouble)时，对于用该检查模块11 进行检查的预定晶圆，进行旁路输送，直到解除检查模块11的故障， 并恢复。该旁路输送指的是将晶圆暂且输送至设于检查块B2的緩冲 模块12，以取代向该检查模块11的输送，由此输送到该检查模块的 下个输送目的地例如承载块Bl 。
此外，当解除了检查模块11的故障时，将用于确认检查的晶圆 从承载块Bl直接输送至检查块B2，在所述检查模块11中对所述用 于确认检查的晶圆进行检查，进行用于确认该检查模块11是否正常 的确认检查。该用于确认检查的晶圆在结束该检查模块11中的检查 后，再回到承载块B1。
但是，在上述结构中，尽管解除检查模块11的故障，并成为能 够使用的状态，但是还存在不会输送至检查模块11而不能接受检查 的晶圆多的问题。对这一点，借助图ll进行具体说明。图11中横轴 是时间，图11中第1级表示承载块B1中从晶圆输送盒IO取出晶圆的定时和晶圓返回到该晶圆输送盒10的定时。此外，图11中第2级 表示检查模块11中的晶圆的处理状态，第3级表示晶圆对緩沖模块 12的输送状态。
首先对于第l级，以这种场合为例进行说明，即，l批由25块晶 圆设定，将各批A F的晶圓在一个检查模块11中进行检查后，使之 返回到下个输送目的地即承载块B1的场合。各批A-F左端的时刻是 承载块Bl中从该批A ~ F的晶圓输送盒10取出最初晶圆的时刻，各 批A F右端的时刻表示包括检查在内的所有处理结束的该批A~F 的最后晶圆返回到该晶圓输送盒10的定时。即，时刻T1表示批A的 最初晶圆(Al )从晶圆输送盒10被取出的时刻，时刻T4表示批A 的最后晶圆(A25)返回到晶圓输送盒10的时刻。又，在各批A-F 中，从晶圆输送盒IO取出最初晶圆时，从控制部向检查晶圆的预定 的检查模块ll输出检查预约信号。即，批A中，在最初晶圆(Al) 从晶圆输送盒10被取出的时刻Tl输出检查预约信号a。
此外，若对第2级进行说明，则各批A ~ F左端的时刻相当于各 批A ~ F的最初晶圆搬入该检查模块11的时刻，各批A ~ F右端的时 刻相当于该批A ~ F的最后晶圆被从该检查模块11搬出的时刻。例如 时刻T2表示批A的最初晶圆(Al ) ^殳入4企查^t块11的定时，时刻 T4表示批A的最后晶圆(A25)从检查模块11搬出，同时下一批B 的最初晶圆(Bl )搬入该检查模块11的定时。
在此，对于检查模块ll,通过设于检查块B2的输送部件来进行 晶圆交接，该输送部件例如具备2个臂，用一个臂从检查模块11取 出检查后的晶圆(A25 ),接着将保持在另 一臂上的检查前的晶圆(Bl ) 交接到该检查模块ll。因而，在晶圓(A25)取出与晶圆(Bl)交接 之间存在若干时滞(time lag),但是该时间极短，因此在这里为了方 便图示而用相同的时刻来表示。此外，时刻T4相当于第1级中该晶 圆(A25)返回到晶圆输送盒10的时刻，但是从检查模块11被取出 的晶圆(A25 )立即输送至承载块Bl ，因此在该图中为了方便说明用相同的时刻来表示。以下也同样。
此外，时刻T3表示预定使用的检查模块11上发生故障的时刻， 时刻T5表示该检查模块11的故障被解除并且成为能够使用的时刻。 该例中，正在检查批A的晶圆的中途在该检查模块11上发生故障。
可是如已做说明的那样，当批A ~ F的最初晶圓从晶圆输送盒10 被取出时，检查预约信号输出至检查模块11，但是检查模块ll上发 生故障且无法使用的情况下，控制部禁止输出该检查预约信号。因而 在该例中，时刻T3与时刻T5之间检查模块11因故障而处于无法使 用的状态，对于批D和批E，在这发生故障的情况下，最初晶圆从晶 圆输送盒10被取出，因此控制部不输出针对这些批D、 E的检查预约 信号。
然后检查模块11的故障被解除且成为能够使用时，从晶圆输送 盒10给出用于确认;险查的晶圆CW,即使对于该用于检查确认的晶圆 CW,也在从晶圓输送盒10给出时，向检查模块11输出检查预约信 号w。因此检查模块11接受用于确认检查的晶圆CW的检查预约信 号w,作为批C的检查预约信号c之后的序号。
可是，在检查模块11无法使用的时间(从时刻T3到时刻T5的 时间)，这时向该检查模块ll输送的晶圆即在检查模块ll上发生故 障之前已输出检查预约信号的晶圆、该例中为从批A的中途至最后的 晶圆、批B及批C的晶圆，已经处于向检查模块11输送的状态，因 此旁路输送至检查块B2的緩冲模块12，以取代检查模块11。这时该 例中在批C的中途检查模块11的故障被解除，对于批C的全部晶圆 预先输出了检查预约信号c，因此批C的全部晶圆旁路输送至緩冲模 块12。
另一方面，如批D、 E的全部晶圆那样，对于没有输出4企查预约 信号的晶圆，以不进行4企查的晶圆同样处理，进行跳跃(skip )输送。 该跳跃输送指的是如不做检查的晶圆那样输送至该检查模块11的下 个输送目的地，该例中输送至承载块B1 。在此，所述确认用晶圆CW的检查预约信号W是批C的晶圆W
的检查预约信号c之后被接受的，因此确认晶圆W在将批C的晶圆 W旁路输送之后输送至检查模块11，在该检查模块11中进行确认检查。
然后，自该确认用晶圓CW的确iU企查结束之后，再开始该检查 模块11对批的晶圆的检查，但已经决定跳跃输送批D、批E的晶圆 W，因此在该例中，从批F的晶圆输送至检查模块11,在该模块11 中进行检查。
如此，尽管在时刻T5解除了检查模块11的故障，且定时上可从 批C的中途进行检查，但是对于批D、批E会进行跳跃输送，因此如 这些批D、 E的晶圆那样，不能进行检查的晶圆会增多。
此外，进行重叠检查的重叠检查模块中，进行一日一次定期检查 (维护)，在该定期检查过程中不能将晶圆W输送至该重叠检查模块， 自确认用晶圆CW的该重叠检查模块的确认检查进行之后结束定期检 查，因此发生同样的问题。对于这个问题，具体借助图12进行说明。 图12也与已做描述的图11同样地记载，图12中横轴表示时间，图 12中第1级表示承载块B1中晶圆从晶圆输送盒10被取出的定时和晶 圆返回到该晶圆输送盒10的定时。此外，图中第2^示重叠检查模 块中的晶圆的处理状态，第3级表示晶圆对緩冲模块12的输送状态。
该场合，各批A F成为从晶圓输送盒IO取出最初晶圆时，向重 叠检查模块输出检查预约信号。在该例中，时刻T13 ~时刻T15之间 为定期检查时间，该定期检查还包含确认用晶圆CW的该重叠检查模 块的确认才企查时间。
在此，重叠检查模块的定期检查时间内，所述控制部禁止输出对 批的晶圆的检查预约信号，因此在该例中，对于在所述定期检查时间 内从承载块Bl给出的批D、批E的晶圓，不会输出检查预约信号。 然后对于输出了检查预约信号的批A C的晶圓W，在定期检查中预 定向该检查模块输送的晶圆被旁路输送，对于没有输出检查预约信号的批D、批E的晶圆W要进行跳跃输送。
然后，在批C的检查预约信号C之后该重叠检查模块所接受所述
确认用晶圓CW的检查预约信号w,因此在批C的晶圆旁路输送后输 送至该重叠检查模块。因而在批D的跳跃输送过程中输送至该检查模 块而进行确认检查，在该检查结束后从该检查模块搬出的定时结束定 期检查。然后，自该定期检查结束后，再开始重叠检查模块对批的晶 圓的检查，因此在该例中，从批F的晶圆开始在重叠检查模块中进行 检查。
因而在该例中，即使重叠检查模块处于接受确认用晶圆CW的状 态，该确认用晶圆CW也在批C旁路输送后净皮输送，因此发生确认4企 查的开始较慢，相应地会延长定期检查时间的问题，或者不管时刻T15 是否结束重叠检查模块的定期检查，对于批D、批E的晶圆W都会 进行跳跃输送，因此发生不能进行检查的晶圓会变多的问题。
可是在专利文献1中，记载了在输送盒工位(cassette station)和 处理工位之间隔着具备多个检查装置的检查块的结构。这里所记载的 系统，从输送盒工位经由检查工位将晶圓输送至处理工位，使结束处 理的晶圆暂且回到承载工位的托架(carrier)内后，由此进行将晶圆 输送至检查工位进行检查的称为重新起动(restart)控制的输送控制。 但是在该专利文献l中，没有考虑;险查装置上发生故障时或进行;险查 装置的维护时对晶圆的输送控制，4艮据该专利文献1的结构也不能解 决本发明的课题。
专利文献1:日本特开2005 - 175052号^H艮

发明内容
本发明鉴于这些事实构思而成，其目的在于提供这样的技术，即， 在解除了检查模块的故障之后，通过选择向该检查模块能够优先输送 制品用基板和用于确认检查的基板中的哪一个，来提高处理自由度， 同时在进行确认检查的场合也能迅速将制品用基板输送至该检查模块而进行检查的技术。此外，本发明的其它目的是提供缩短检查模块 中定期检查所花的时间且在该定期检查后能够迅速将所述制品用基 板输送至该检查模块而进行检查的技术。
为此本发明提供一种逐批对多块制品用基板进行处理的涂敷、显
影装置，其特征在于具备承载块，载放逐批收容多块制品用基板的 制品用托架，且具有在与所述托架邻接的块之间进行基板交接的交接 部件；处理块，包括多个模块和第一基板输送部件，所述多个模块中 包含用于对从所述承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理 以及对涂敷了抗蚀剂且已曝光的制品用基板进行显影处理的模块，所 述第一基板输送部件对这些模块进行制品用基板的交接；检查块，包 括用于对显影处理的制品用基板按接受检查预约的顺序进行检查的 检查模块和对该检查模块进行基板交接的第二基板输送部件；收容 部，收容用于确认所述检查模块是否正常的用于确认检查的基板；选 择部件，由操作员对发生故障的所述检查模块进行选择，以选择在解 除故障后优先输送所述制品用基板和所述用于确认检查的基板中的 哪一个；以及控制部件，控制所述交接部件及第二基板输送部件，
所述控制部件执行以下步骤当所述制品用基板通过比输送路径 上的所述检查模块超前n (n为1以上的整数)个的基准模块时，对 所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预 约信号的步骤；在所述检查模块发生故障的期间，禁止输出针对所述 制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基 板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的步骤；当该检查模块的 故障解除且所述选择部件选择了制品用基板时，解除针对所述制品用 基板的检查预约信号的输出禁止的步骤；以及当该检查模块的故障被 解除且所述选择部件选择了用于确认检查的基板时，从所述收容部搬 出所述用于确认检查的基板，并输出针对该用于确认才企查的基板的冲企 查预约信号，同时在借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的 确认检查结束后，解除针对所述制品用基板的检查预约信号的输出禁止的步骤。
此外，本发明的另 一发明是一种逐批对多块制品用基板进行处理
的涂敷、显影装置，其特征在于具备承载块，载放逐批收容多块制
品用基板的制品用托架，且具有在与所述托架邻接的块之间进行基板
交接的交接部件；处理块，包括多个模块和第一基板输送部件，所述 多个模块中包含用于对从所述承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂 的涂敷处理以及对涂敷了抗蚀剂且已曝光的制品用基板进行显影处 理的模块，所述第一基板输送部件对这些模块进行制品用基板的交 接；检查块，包括用于对显影处理的制品用基板按接受检查预约的顺 序进行检查的检查模块和对该检查模块进行基板交接的第二基板输 送部件；收容部，收容用于确认所述检查模块是否正常的用于确认检 查的基板；以及控制部件，控制所述交接部件及第二基板输送部件，
所述控制部件执行以下步骤当所述制品用基板通过比输送路径 上的所述检查模块超前n (n为1以上的整数)个的基准模块时，对 所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预 约信号的步骤；在进行所述检查模块的定期检查的期间，禁止输出针 对所述制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制 品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的步骤；在该检查 模块的定期检查结束之前，从所述收容部搬出所述用于确认检查的基 板，并输出针对该用于确认检查的基板的检查预约信号的步骤；以及 在借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查结束后， 解除针对所述制品用基板的检查预约信号的输出禁止的步骤。
在此，所述检查块可构成为设置在承载块与处理块之间。此外， 所述收容部可为收容用于确认检查的基板的托架，且该托架可构成为 载放在所述承载块上。而且，当通过所述基准模块时输出所述检查预 约信号的制品用基板可为该制品用基板所属的批的前头制品用基板。 还有，所述制品用基板通过基准模块的时候可为所述制品用基板搬入 或搬出所述基准模块的时候。还有，本发明的涂敷、显影方法是在处理块对从承载块交接的制 品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理及对已涂敷抗蚀剂且曝光的制品用 基板进行显影处理，并在检查模块对该显影处理的制品用基板进行斗企 查之后返回承载块，并通过用于确认检查的基板进行用于确认所述检 查模块是否正常的确认检查的逐批处理多块制品基板的涂敷、显影方法，其特征在于包含当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n (n 为1以上的整数)个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该 制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的工序；在所述检查模 块对所述制品用基板按检查预约信号的接受顺序进行检查的工序；在 故障解除后，操作员选择向发生故障的所述检查模块优先输送所述制 品用基板和所述用于确认检查的基板中的哪一个的工序；在所述检查 模块发生故障的期间，禁止输出针对制品用基板的检查预约信号，将 向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输 送顺序的模块的工序；当该检查模块的故障被解除且选择制品用基板 作为优先输送的基板时，解除针对制品用基板的检查预约信号的输出 禁止的工序；以及当该检查模块的故障解除且选择用于确认检查的基 板作为优先输送的基板时，输出针对所述用于确认检查的基板的检查 预约信号，将该用于确认检查的基板输送至该检查模块，并在结束借 助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查后，解除针对 制品用基板的检查预约信号的输出禁止的工序。此外，本发明的另一种涂敷、显影方法是在处理块对从承载块交 接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理及对已涂敷抗蚀剂且曝光的 制品用基板进行显影处理，并在检查模块对该显影处理的制品用基板 进行;险查之后返回承载块，并通过用于确认检查的基板进行用于确认 所述检查模块是否正常的确认检查的逐批处理多块制品基板的涂敷、 显影方法，其特征在于包含当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n (n为1以上的整数)个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的工序；在所述检查模 块对所述制品用基板按检查预约信号的接受顺序进行检查的工序；在 进行所述检查模块的定期检查的期间，禁止输出针对制品用基板的检 查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查 模块的下个输送顺序的模块的工序；在结束该4全查模块的定期检查之 前，输出针对所述用于确认检查的基板的检查预约信号，将该用于确 认检查的基板输送至该检查模块的工序；以及在结束借助所述用于确 认检查的基板的所述检查模块的确认检查后，解除针对制品用基板的 检查预约信号的输出禁止。再有，本发明的存储介质是用于对制品用基板涂敷抗蚀剂液并对 涂敷了抗蚀剂液且曝光的制品用基板进行显影处理的涂敷、显影装置 且存放了在计算机上工作的计算机程序的存储介质，其特征在于所 述计算机程序编排步骤，以实施所述涂敷、显影方法。在检查模块发生故障的情况下，能够在该故障解除后选择优先向 该检查模块输送制品用基板和用于确认检查的基板中的哪一个，提高 了处理自由度。此外，优先向所述检查模块输送用于确认检查的基板 的场合，就制品用基板而言禁止输出检查预约信号，因此检查模块优 先接受用于确认检查的基板的检查预约信号。因此，在该检查模块中 迅速实施确认检查，能够在该确认检查之后迅速进行再开始检查的制 品用基板的检查。此外，在其它例中，对检查模块进行定期检查的场合，该定期检 查过程中对各制品用基板而言禁止输出检查预约信号，因此检查模块 优先接受用于确认检查的基板的检查预约信号。因此在该检查模块中 迅速实施借助确认4企查基板的确认4企查，所以缩短了定期#企查时间， 能够在该确认检查之后迅速进行再开始^r查的制品用基板的检查。


图l是表示本发明涂敷、显影装置的一实施方式的平面图。图2是表示所述涂敷、显影装置的外观斜;见图。 图3是表示所述涂敷、显影装置的纵剖侧一见图。 图4是所述涂敷、显影装置的控制部的结构图。 图5是所述涂敷、显影装置中的输送路径图。 图6是所述涂敷、显影装置中的输送路径图。 图7是所述涂敷、显影装置中的输送路径图。 图8是用于说明所述涂敷、显影装置的作用的说明图。 图9是用于说明所述涂敷、显影装置的作用的说明图。 图10是表示传统涂敷、显影装置中的输送路径的概略图。 图ll是是用于说明传统涂敷、显影装置的作用的说明图。 图12是用于说明传统涂敷、显影装置的作用的说明图。
具体实施方式
首先，参照图1的平面图及图2的斜视图，就本发明一实施方式 的涂敷、显影装置2进行说明。该涂敷、显影装置2中，收容用于进 行涂敷、显影处理的制品用基板即晶圓W的制品晶圆用托架C1及收 容用于确认检查的基板即确认用晶圆CW的确认晶圆用托架C2，通 过输送机构(未图示)从涂敷、显影装置2外部搬入搬出。在此，所 述确认用晶圆用托架C2相当于收容部。图中21是载放所述托架Cl 、 C2的承载块。例如在制品晶圆W用托架Cl中密封收容例如25块晶 圆W，每个托架C1中晶圆W的批不同。这里批指的是按处理种类汇 集成组的基板群。所述承载块21中设有载放所述托架Cl、 C2的载置部22、在从 该载置部22看时设于前方壁面的开合部23、和形成经由开合部23从 托架C1、 C2取出晶圆W的交接部 交接臂24。该交接臂24构成 为使臂自由升降、自由向左右、前后移动且绕竖直轴自由旋转，根据 来自后述控制部100的指令进行控制。在所述承载块21背侧，分别由框体将周围包围的检查块40及处 理块51按此顺序连接。例如图3所示，检查块40具备例如2个交 接台TRS1、 TRS2;例如3个4企查才莫块IM1 ~ IM3;在该交接台TRS1、 TRS2、检查模块IM1 ~IM3及后述处理块Sl的交接台TRS3、 TRS4 之间进行晶圆交接的第二基板输送部件即输送臂4;以及使从处理块 S1搬入检查块40的晶圆W暂时滞留的緩冲模块B。所述交接台TRS1 、 TR2例如上下层叠，此外检查模块IM1-IM3也上下层叠。所述输送 臂4具有2个臂，所述臂构成为自由升降、自由向左右、前后移动且 绕竖直轴自由旋转，且根据来自后述控制部100的指令进行控制。所述交接台TRS1载放例如从托架Cl、 C2取出并由此向处理块 Sl给出的晶圓，交接台TRS2载放从检查块40输送至承载块21的晶 圓。此外，该例中，检查模块IM1是检测晶圆上的宏观(macro)缺 陷的宏观检查模块，检查模块IM2是测定晶圓上形成的膜的厚度或图 案的线宽的膜厚/线宽检查模块，检查模块IM3是检测曝光的重叠偏 移即这次形成的图案与基底图案的位置偏差的重叠检查模块。各检查 模块分别具备接受从后述控制部100输出的检查预约信号的预约信号 接受部41、 42、 43,按接受检查预约信号的序号对晶圆(制品用晶圆 W及确认用晶圓CW)进行规定才企查。再有，各检查模块IMl-IM3分别具^f言号收发部44、 45、 46, 当发生一些故障时输出规定警报，并且在解除了该故障时向所述控制 部100输出故障解除信号或可接受确i人检查的信号、定期冲企查结束信 号等，或接收来自控制部IOO的定期检查指令。所述警报通过警报或 灯的点亮、后述控制部IOO对显示画面的显示等来输出。在处理块Sl中，交互地排列设置从跟前侧依次将加热/冷却系统 的处理模块多级化的3个货架模块25A、 25B、 25C和用于进行与后 述液体处理模块的晶圆W交接的2个第一基板输送部件即主臂26A、 26B。所述主臂26A、 26B都具备2个臂，且所述臂构成为自由升降、自由向左右、前后移动且绕竖直轴自由旋转，根据来自后述控制部100的指令进行控制。所述货架模块25A、 25B、 25C及主臂26A、 26B从承载块21侧 看排列成前后一列，各连接部位G上形成未图示的用于输送晶圆的开 口部，晶圆W在处理块S1内，可从一端侧的货架模块25A自由移动 到另一端侧的货架模块25C。此外，从承载块21看，主臂26A、 26B 置于由在前后方向排列的货架模块25A、 25B、 25C侧的一面侧和例 如右侧的液体处理块侧的 一 面侧和构成左侧 一 面的背面部构成的 分区壁所围成为空间内。在利用主臂26A、 26B进行晶圆W的交接的位置上，设有将涂敷 抗蚀剂的涂敷装置(COT)或进行显影处理的显影装置(DEV)等液 体处理装置多级化的液体处理模块28A、 28B。例如图2所示，该液 体处理模块28A、 28B为收容各液体处理装置的处理容器29层叠成多 级例如5级的结构。此外，对于所述货架模块25A、 25B、 25C，除了分配用于进行晶 圓W的交接的交"l妄台(TRS)或在显影处理后用于进行晶圆W的加 热处理的加热模块(LHP)或在涂敷抗蚀剂液前后或进行显影处理之 前用于进行晶圆W的冷却处理的冷却^^莫块(CPL)以外，还分配在涂 敷抗蚀剂液之后进行曝光处理前的晶圆W的加热处理的加热模块 (PAB )或进行曝光处理后的晶圆W的加热处理的加热模块(PEB ) 等，例如上下分配10级。在此，所述交接台TRS3、 TRS4用于在承 载块21与处理块Sl之间进行晶圆W的交接。在处理块S1的货架模块25C的背侧，经由第一接口块S2及第二 接口块S3连接曝光装置S4。所述第一接口块S2具备对所述处理块 Sl的货架模块25C的冷却模块CPL或对加热模块PEB进行晶圓W 的交接的交接臂31;周边曝光装置或緩沖输送盒等多级排列的货架模 块32A和晶圆W的交接台或高精度调温模块等多级配置的货架模块 32B。此外，在所述第二接口块S3中，设有交接臂33,从而第一接口 块S2的货架模块32B或对曝光装置S4的内台34及外台35进行晶圓 W交接。
在此，主臂26A、 26B构成为取出置于交接对象的模块上的晶圓 W，接着将保持的下个晶圆W交接给该模块。然后，主臂26A、 26B 根据预先作成的输送计划表(输送晶圓W的模块的序号)，将置于各 模块的晶圆W逐块地向下个模块转移。这里模块指的是放置晶圆W 的部位，不仅包含所述各种处理模块，而且还包含托架或交接台、緩 冲输送盒。
该涂敷、显影装置2具备例如包含计算机的控制部100，在图4 中示出该结构。图中50为总线，连接了用于进行各种运算的CPU51 及工作存储器52、程序存放部53。所述程序存放部53中存放了编排 命令以实施后述那样的涂敷、显影装置2的作用，即晶圆的处理或晶 圓的交接控制等的例如由软件构成的程序。然后，控制部100读出该 程序，从而控制部100向交接臂24或输送臂4、主臂26A、 26B等输 出指令，控制后述涂敷、显影装置2的作用。此外，该程序以收容在 例如硬盘、小型光盘、磁光盘、存储卡等存储介质的状态被存放。
再有，控制部100上连接主计算机101，该主计算机101设定包 含例如向涂敷、显影装置2输送的每个托架Cl在涂敷、显影处理后 是否进入进行检查的批，或进行检查的场合使用哪个检查模块，或在 使用多个检查模块的场合以什么样的顺序使用等处理的流程(recipe) 信息的识别码，并管理各托架Cl搬入涂敷、显影装置2的定时。在 托架Cl输送至涂敷、显影装置2之前，主计算机101向控制部100 发送与该识别码对应的信号，控制部IOO根据该信号读出程序，通过 读出的程序，控制包括交接臂24或输送臂4等的输送动作在内的一 连串的处理工序。
再者，控制部100中具备用于掌握各批的各晶圆W位于涂敷、 显影装置2内的哪个场所的晶圆监视部54;检查预约信号输出部55;操作员操作的除检查外按钮56;显示部57;确认检查部58;以及臂 控制部59。
所述检查预约信号输出部55是这样的部件，即，在晶圓W通过 比输送路径上预定使用的检查模块超前n (n为1以上的整数)个的 基准模块时，对所述检查模块输出用于对该晶圆W所属的批进行检查 的检查预约信号，或者禁止输出该检查预约信号或解除输出禁止的部 件，当确认用晶圆CW通过比输送路径上预定确认检查的检查模块超 前n (n为1以上的整数)个的检查用基准模块时，对所述检查模块 输出检查预约信号。
这里，晶圆W通过所述基准模块的时候包含晶圆W借助主臂 26A、 26B或输送臂4交接到所述基准模块的时候，或晶圓W从所述 基准模块交接到主臂26A、 26B或输送臂4的时候。此外，确认用晶 圆CW通过所述检查用基准模块的时候包含确认用晶圓CW借助交接 臂24、输送臂4、主臂26A、 26B交接到所述检查用基准模块的时候， 或用于确认检查的晶圓W从所述检查用基准模块交接到交接臂24、 输送臂4、主臂26A、 26B的时候。
此外，如果所述整数n过大，从所述基准模块输送到检查模块的 工序数就会变多，因此一方面延长所述检查模块的准备时间，但所述 整数n却越小时，如后所述，在检查模块的故障解除后可迅速在该检 查模块中进行制品用晶圆W的检查。而且，确认用晶圆CW如后所 述，从承载块21直接输送至检查块40，从所述4企查用基准模块输送 到该检查模块的工序数最少，因此所述整数n优选1以上且10以下， 而且优选向检查模块输送之前对该检查模块输出关于制品用晶圆W 及确认用晶圓CW的检查预约信号，因此所述整数n特别优选1以上 且5以下。
所述除检查外按钮56形成选择部件，例如按压时成为除检查外指 定的状态，如果恢复该除检查外按钮56就会解除除检查外指定。在 此，进行除检查外指定的场合指的是在检查模块的故障被解除后，将确认用晶圓CW优先输送至该检查模块的场合，在进行除检查外指定 的状态下，即使检查模块的故障被解除，也禁止控制部100输出针对
制品用晶圆W的所述检查预约信号。此外，如果使该除检查外按钮56 恢复，就会解除除检查外指定，从而解除针对制品用晶圆W的所述检 查预约信号的输出禁止。不进行所述除检查外指定的场合指的是在解 除检查模块的故障后，向该检查模块优先输送制品用晶圆W的场合。
此外，显示部57中显示来自检查模块的警报信号或故障解除信 号、借助确认用晶圓CW的确认;险查结束的用意等。此外，确认冲企查 部58是进行如下控制的部件，即，在解除了检查模块的故障时，输 出确认用晶圆CW的来自承载块21的给出指令，将确认用晶圆CW 输送至所述检查模块，进行该检查模块的确认检查。所述臂控制部59 是控制交接臂24或输送臂4、主臂26A、 26B、接口臂31、 33的部件。
接着，就本发明的作用，以通过检查模块IM1来对晶圓W进行 规定纟企查的场合为例进行说明。
当检查模块IM中没有发生故障时，按照图5所示的路径输送晶 圓W。首先，如果从外部向承载块21搬入托架Cl，开合部23就会 打开，同时托架C1的盖体被揭开，利用交接臂24取出晶圆W。然后 晶圓W通过交接臂24交接到交接台TRS1 ，并通过检查模块40的输 送臂4输送至交接台TRS3。接着，主臂26A从交接台TRS3接受晶 圆W，然后通过主臂26A及26B，按照冷却模块CPL—涂敷装置COT —加热模块PAB —冷却模块CPL的路径输送，进行了抗蚀剂液涂敷 的晶圓W被送至第一接口块S2。
然后在第一接口块S2内，晶圆W被输送至周边曝光装置或高精 度调温模块，且经由货架模块32B的交接台输送至第二接口块S3。 然后晶圆W借助交接臂33经由曝光装置S4的内台34输送至曝光装 置S4，进行曝光处理。
曝光处理后的晶圓W以外台35 —第二接口块S3 —第一接口块S2 的顺序被输送后，经由交接臂31输送至处理块Sl的货架模块25C的加热模块PEB (未图示)。然后，晶圆W按照冷却模块CPL —显影 装置DEV —加热模块LHP—交接台TRS4的路径被输送，如此在显影 装置中进行规定显影处理，形成规定抗蚀剂图案。
接着，检查块40的输送臂4接受交接台TRS4的晶圆W，输送 至检查块40的规定检查模块，该例中输送至检查模块IM1。该检查 例如对于属于相同的批的制品用晶圆W要进行相同的检查。这时例如 该批的前头晶圓通过所述基准模块时，从检查预约信号输出部55向 该检查模块IM1的预约信号接受部41输出检查预约信号。在该例中 所述基准模块设为所述输送路径中比该检查模块IM1超前1个的模块 即交接台TRS4 ，当主臂26A向该交接台TRS4交接所述前头晶圆W 时输出检查预约信号。
如此，在检查模块IM1中，按接受检查预约信号的顺序对制品用 晶圆W进行规定检查。在此，检查预约信号逐批输出，按接受检查预 约信号的批顺序，沿着批内的晶圆W的序号进行规定检查。如此，进 行;险查的晶圓W输送至该;险查才莫块IM1的下个输送目的地即交接台 TRS2,然后通过交接臂24来返回到例如承载块21的原来的托架C1。
另一方面，在检查模块IM1中发生故障的情况下，晶圆W按图6 所示的路径被输送。这时若在检查模块IM1中发生故障，则从信号收 发部44向控制部100输出警报信号。从而控制部100禁止检查预约 信号输出部55输出针对制品用晶圆的检查预约信号，此外操作员判 断是否要进行除检查外指定，要进行除检查外指定的场合，按压除检 查外按4iL 56。
首先，先对进行除检查外指定的场合进行说明。该场合，禁止控 制部100输出针对制品用晶圆的检查预约信号，因此在该检查预约信 号的输出被禁止的过程中对于前头晶圆通过所述基准模块的批不会 输出检查预约信号。此外，即使在检查模块IM1中已经接受检查预约 信号的晶圆W,也停止向该检查模块IM1的输送，向输送臂4等输出 指令(跳跃输送)，以输送至下个输送目的地，该例中为交接台TRS4。此外，对于禁止检查预约信号的输出的批的晶圆W,也同样地向检查
模块IM1的下个输送目的地即交接台TRS4进行跳跃输送。
另一方面， 一旦解除该冲企查4莫块IM1的故障，从检查模块IM1 的信号收发部44向控制部100输出故障解除信号，基于该故障解除 信号，控制部100的确认检查部58输出确认用晶圆CW的给出指令， 该确认用晶圆CW按例如图7所示的路径被输送。即，交接臂24从 承载块21的托架C2取出确认用晶圆CW，并置于一企查块40的交接 台TRS1上，接着用输送臂4来输送到检查模块IM1。
这时如果通过该输送路径上输送顺序比该4企查一莫块IM1提前1个 的检查用基准模块即交接台TRS1，检查预约信号输出部55向该检查 模块IM1输出该确认用晶圓CW的检查预约信号。该例中，当利用交 接臂24来向交接台TRS1交接所述确认用晶圆CW时，输出检查预约 信号。
在此，被除检查外指定的状态下，如已做的说明，禁止针对制品 用晶圆的检查预约信号的输出，因此检查模块IM1优先接受该确认用 晶圆CW的检查预约信号。因而确认用晶圆CW不等其它批的晶圆W 输送而迅速输送至该检查模块IM1,进行该检查模块IM1的确认检查。 该确认检查指的是通过在该检查模块IM1中对所述确认用晶圆CW进 行规定检查，确认该检查模块IM是否正常的4企查。如此，进行确认 检查的确认用晶圆CW按输送臂4 —交接台TRS2 —交接臂24 —托架 C2的路径被输送，并从;险查块40返回到承载块2。
如此在进行检查模块IM1的确认检查之后，操作员恢复除检查外 按钮56，解除除检查外指定。从而控制部IOO解除针对制品用晶圆W 的检查预约信号的输出禁止，然后，关于前头晶圆输送至基准模块的 批，输出检查预约信号，按照接受检查预约信号的顺序，将制品用晶 圓W依次输送至所述检查模块IM1，进行规定4企查。
另一方面，在不进行除检查外指定的情况下，操作员不会按压除 检查外按钮56，而控制部IOO如已做说明的那样禁止输出针对制品用晶圆的检查预约信号，因此在该检查预约信号的输出被禁止的情况 下，对于前头晶圓通过所述基准模块的批不会输出检查预约信号。此
外，即使在检查模块IM1中已经接受检查预约信号的晶圆W，也停止 向该4企查模块IM1输送，而跳跃输送至下个输送目的地，该例中为交 接台TRS4。此外，对于检查预约信号的输出被禁止的批的晶圆W， 也同样跳跃输送至检查模块IM1的下个输送目的地即交接台TRS4。
然后， 一旦解除检查模块IM1的故障，检查模块IM1就会向控制 部100输出故障解除信号，基于该故障解除信号，控制部100解除检 查预约信号输出部55中制品晶圆W的检查预约信号的输出禁止。从 而，对于在所述故障解除后前头晶圆Wl通过所述基准模块的批，输 出检查预约信号，该批的制品用晶圆按接受检查预约信号的顺序输送 至检查模块IM1，在该检查模块IM1中进行4企查。
以进行除检查外指定的场合为例并借助图8,对本发明的晶圆W 的输送进行具体说明。该图8对应于背景技术中说明的图11，在此对 与图11的不同点进行说明。该图中横轴也表示时间，第1级表示承 载块21中制品用晶圆W从托架C1被取出的定时和所述晶圆W返回 到该托架Cl的定时，第2级表示检查模块IM1中的晶圆的处理状态。
首先第1级中与图11的不同点在于在各批A F中，要输送到 检查模块IM1之前的定时即批的前头晶圆W交接到交接台TRS4(基 准模块)时，向检查模块IM1输出检查预约信号。即，批A中前头晶 圆Al输送到检查模块IM1的时刻T2之前输出检查预约信号a。
此外，对于第2级，与图ll的场合相同，时刻T3表示检查模块 IM1中发生故障的时刻，时刻T5表示该检查模块IM1的故障被解除 且成为能够使用的时刻。在该故障发生的期间从控制部100到检查模 块IM1的检查预约信号的输出被禁止，因此在该时间(时刻T3和时 刻T5之间)对于前头晶圆通过所述交接台TRS4的批B、批C、批D， 不输出检查预约信号。然后操作员按压除检查外按钮56进行除检查 外指定的时刻设为时刻Ta。操作员在确认故障发生的警报后，判断是否进行除检查外指定，因此故障发生与除检查外指定的定时稍错开。
然后在时刻T5故障一旦被解除，就从检查模块IM1向控制部100 输出故障解除信号，基于来自控制部100的确认用晶圆CW的给出指 令，从承载块21给出所述确认用晶圆CW。在该确认用晶圆CW要 输送到检查模块IM1之前，即交接到交接台TRS1 (检查用基准模块) 的时刻T6，控制部100向所述4企查模块IM1输出该确认用晶圆CW 的检查预约信号w。
在此，检查模块IM1的故障发生的情况下，禁止控制部100输出 针对制品用晶圆W的检查预约信号，因此该确认用晶圆的检查预约信 号w在批A的4全查预约信号a之后优先被该一企查才莫块IM1接受。因 此确认用晶圓CW在批A的晶圆W ^皮输送后，不等其它批的输送而 立即输送至检查模块IM1。
另 一方面，对于不会输出检查预约信号的批B ~批D的全部晶圆 以及在发生故障后输送到该检查模块IM1的预定的晶圆，进行跳跃输 送，从处理块Sl直接输送至该检查模块IM1的下个输送目的地即交 接台TRS2。
然后，如果结束借助所述确认用晶圆CW的该;险查才莫块IM1的确 认检查，例如该用意显示于显示部57上，操作员就会再次按压除检 查外按钮56,从而解除除检查外指定。在此，时刻Tb相当于解除除 4企查外指定的时刻。从而控制部100解除对制品用晶圆W的检查预约 信号的输出禁止，关于这以后的前头晶圆通过所述基准模块的批E、 批F，输出检查预约信号。然后这些批E、批F的制品用晶圆W依次 输送至检查模块IMl,而在该检查模块IM1中按接受检查预约信号的 顺序进行;险查。
如此依据本发明，可通过操作员选择是否进行除检查外指定，因 此能够在检查模块IM1的故障被解除后选择优先在检查模块IM1中检 查制品晶圆W还是先输送用于确认检查的晶圆CW,提高了处理自由度。然后，在优先输送确认用晶圆CW的场合，如已做说明的那样，
自发生故障后检查模块IM1以第1的优先顺序接受确认用晶圆CW的 检查预约信号w,因此在解除了检查模块IM的故障后，能够立即将 确认;险查晶圆输送至检查模块IM,进行该;险查模块IM的确认才企查。 因此，能够使该确认检查后再开始的检查模块IM1的开始使用时刻早 于图11所示的传统例。因而，能够将制品用晶圆W迅速输送至检查 模块IM1,在该例中，能够用批E的制品用晶圆W在该检查模块IM1 中进行检查，因此与以往相比，减少不会输送到检查模块IM1而会输 送到下个输送目的地的制品用晶圆W的块数，能够对更多的制品用晶 圆W进行冲企查。
接着对本发明的其它实施方式进行说明。该实施方式中，进4亍重 叠检查的重叠检查模块IM3进行一 日 一次的定期检查(维护)的场合， 进行该定期检查过程中禁止输出针对制品用晶圓W的检查预约信号， 使得优先接受确认用晶圆CW的检查预约信号。
该定期检查是基于1日 一次从主计算机101经由控制部100输出 至该检查模块IM3令它做定期检查的指令来进行的。然后进行该定期 检查的期间，控制部100的检查预约信号输出部55禁止输出针对制 品用晶圆的检查预约信号。另 一方面，检查模块IM3在执行定期检查 的期间以规定定时向控制部100输出可接受确认用检查的信号。基于 该信号，控制部100在确iU企查部58中输出确认用晶圆CW的给出 指令，从承载块21给出确认用晶圆CW，并输送至检查模块IM3。然 后在向交接台TRS1 (检查用基准模块)交接该确认用晶圆CW的定 时，输出该确认用晶圆CW的检查予约信号，实施该检查模块IM3借 助该确认用晶圆CW的确认检查。如此在借助确认用晶圓CW的确认 检查结束的时刻结束定期检查。
若结束定期检查，则从该检查模块IM3向控制部100输出定期检 查结束信号，基于该定期检查结束信号，在控制部100的检查预约信 号输出部55中解除针对制品晶圓的检查预约信号的输出禁止。从而在定期检查结束后对前头晶圆W输送至所述基准模块的批输出检查 预约信号。
这时，在进行该检查模块IM3的定期检查的过程中，即使在该检 查模块IM3已经接受检查预约信号的晶圆W，并且已停止了检查预约 信号的输出的批的晶圆W，也向下个输送目的地即交接台TRS2跳跃 输送。该跳跃输送中，制品用晶圆W越过该检查模块IM3而输送至 下个输送目的地，因此确认用晶圆CW与制品用晶圆W的跳跃输送 并行地输送至该检查才莫块IM3。因此无需等待其它批的输送而立即输 送至检查模块IM3，迅速进行确认检查。
对于该实施方式，借助图9进行更具体的说明。该图9与背景技 术中说明的图12对应，在此对与图12的不同点进行说明。该图中横 轴也表示时间，第1级表示承载块21中从托架Cl取出制品用晶圓W 的定时和制品用晶圆W回到该托架C1的定时，第2级表示检查模块 IM3中的晶圆W的处理状态。
首先第l级中与图12的不同点在于各批A-F中要输送到检查 模块IM3之前，即批的前头晶圆交接到交接台TRS4 (基准模块)的 定时，向重叠检查模块IM3输出检查预约信号。即，批A中，在最初 晶圓Al输送至检查模块IM3的时刻T12之前输出检查预约信号a。
此外，对于第2级，与图12的场合相同，时刻T13表示预定使 用的检查模块IM3的定期检查开始的时刻，时T15'表示定期检查结 束且该检查模块IM3成为能够使用的时刻。然后，在该实施方式中， 在进行检查模块IM3的定期检查的期间，禁止控制部100输出针对制 品用晶圆W的检查预约信号，因此该定期检查中对于前头晶圆输送至 所述基准模块的批B不会输出检查预约信号。然后定期检查进行至某 一程度的定时，从检查模块IM3向控制部100输出可接受确认检查的 信号，基于该信号，控制部100通过确认检查部58给出所述确认用 晶圆CW，并输送至检查模块IM3。该确认用晶圆CW在交接到交接 台TRS1 (检查用基准模块)的定时，从控制部100向检查模块IM3输出检查预约信号W。在该定期检查的期间，如已做说明的那样，禁
止输出制品用晶圓的检查预约信号，因此该检查模块IM3以批A的检 查预约信号a之后的序号优先接受该确认用晶圆CW的检查预约信号 w。因此确认用晶圆CW不等其它批的输送而立即输送到才企查才莫块 IM3,进行确认4企查。
另 一方面，对于停止了检查预约信号的输出的批B的全部晶圓以 及输出了检查预约信号且向检查模块IM3输送的预定的批A的剩下晶 圆进行跳跃输送，直接输送至该检查模块IM3的下个输送目的地即交 接台TRS2。这时如已做说明的那样，确认用晶圆CW与该跳跃输送 并行地输送至检查模块IM3。
若结束借助所述确认检查用晶圆CW的确iU企查，则该确认4企查 结束信号输出至控制部100,结束定期4佥查，控制部100解除针对制 品晶圓的检查预约信号的输出禁止。然后，对于前头晶圆输送至所述 基准模块的批C、批D、批E、批F的晶圆W，向检查模块IM3输出 检查预约信号，在该检查模块IM3中按接受检查预约信号的顺序进行 制品用晶圆W的4企查。
如此，依据本实施方式，使检查预约信号在输送至检查模块IM3 之前输出，且在进行检查模块IM3的定期检查的期间，禁止输出针对 制品晶圓的检查预约信号，并将确认用晶圆CW与制品用晶圓W的 跳跃输送并行地输送至检查模块IM3，进行确认4企查，因此以能够在 该检查模块IM3中接受确认用晶圆CW的定时，能够立即将确认检查 晶圆CW输送至检查模块IM3。因此能够比传统例缩短定期检查时间。 从而与以往相比，减少跳跃输送的制品用晶圓W的块数，能够对更多 的制品用晶圆W进行4企查。
以上，在检查块40中，以检查模块IM1 —检查模块IM2 —检查模 块IM3的路径输送并进行检查的情况下，检查模块IM1中发生故障时， 通过跳跃输送来输送至下个输送目的地即^r查^t块IM2。
此外，收容确认用晶圆CW的收容部并不限于托架C2,例如可由緩沖器等构成，并设于检查块40或处理块S1内。再者，进行除检 查外指定的场合，可在故障发生前进行。例如可以预先在发生故障进 进行除^r查外指定的方式，例如先指定开始处理时，例如与故障发生 同时进行除检查外指定，并设定在借助确认用晶圓CW的检查模块IM 的确认检查结束的阶段解除除检查外指定。
以上说明的本发明的涂敷、显影装置并不限于上述的例子，涂敷 抗蚀剂液的块和进行显影处理的块可为不同结构，并且检查块的位置 也不限于上述的例子。此外，本发明中的基板除了半导体晶圆W夕卜， 还可以是FPD基板等。
权利要求
1.一种逐批对多块制品用基板进行处理的涂敷、显影装置，其特征在于具备承载块，载放逐批收容多块制品用基板的制品用托架，且具有在与所述托架邻接的块之间进行基板交接的交接部件；处理块，包括多个模块和第一基板输送部件，所述多个模块中包含用于对从所述承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理以及对涂敷了抗蚀剂且已曝光的制品用基板进行显影处理的模块，所述第一基板输送部件对这些模块进行制品用基板的交接；检查块，包括用于对显影处理的制品用基板按接受检查预约的顺序进行检查的检查模块和对该检查模块进行基板交接的第二基板输送部件；收容部，收容用于确认所述检查模块是否正常的用于确认检查的基板；选择部件，由操作员对发生故障的所述检查模块进行选择，以选择在解除故障后优先输送所述制品用基板和所述用于确认检查的基板中的哪一个；以及控制部件，控制所述交接部件及第二基板输送部件，所述控制部件执行以下步骤当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n(n为1以上的整数)个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的步骤；在所述检查模块发生故障的期间，禁止输出针对所述制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的步骤；当该检查模块的故障解除且所述选择部件选择了制品用基板时，解除针对所述制品用基板的检查预约信号的输出禁止的步骤；以及当该检查模块的故障被解除且所述选择部件选择了用于确认检查的基板时，从所述收容部搬出所述用于确认检查的基板，并输出针对该用于确认检查的基板的检查预约信号，同时在借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查结束后，解除针对所述制品用基板的检查预约信号的输出禁止的步骤。
2.—种逐批对多块制品用基板进行处理的涂敷、显影装置，其特征在于具备承载块，载放逐批收容多块制品用基板的制品用托架，且具有在 与所述托架邻接的块之间进行基板交接的交接部件；处理块，包括多个模块和第一基板输送部件，所述多个模块中包 含用于对从所述承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理以 及对涂敷了抗蚀剂且已曝光的制品用基板进行显影处理的模块，所述 第 一基板输送部件对这些模块进行制品用基板的交接；检查块，包括用于对显影处理的制品用基板按接受检查预约的顺 序进行检查的检查模块和对该检查模块进行基板交接的第二基板输 送部件；收容部，收容用于确认所述检查模块是否正常的用于确认检查的 基板；以及控制部件，控制所述交接部件及第二基板输送部件， 所述控制部件执行以下步骤当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n (n 为1以上的整数)个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该 制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的步骤；在进行所述检查模块的定期检查的期间，禁止输出针对所述制品 用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输 送至该检查模块的下个输送顺序的模块的步骤；在该检查模块的定期检查结束之前，从所述收容部搬出所述用于 确认检查的基板，并输出针对该用于确认检查的基板的检查预约信号的步骤；以及在借助所述用于确认检查的基板的所述检查才莫块的确认检查结 束后，解除针对所述制品用基板的检查预约信号的输出禁止的步骤。
3. 如权利要求1或2所述的涂敷、显影装置，其特征在于所 述检查块设于承载块和处理块之间。
4. 如权利要求1或2所述的涂敷、显影装置，其特征在于所 述收容部是收容用于确认检查的基板的托架，该托架载放于所述承载 块上。
5. 如权利要求1或2所述的涂敷、显影装置，其特征在于当 通过所述基准模块时，输出了所述检查预约信号的制品用基板是该制 品用基板所属的批的前头制品用基板。
6. 如权利要求1或2所述的涂敷、显影装置，其特征在于所 述制品用基板通过基准模块的时候是所述制品用基板从所述第 一基 板输送部件或第二基板输送部件交接到所述基准模块的时候，或者所 述制品用基板从所述基准模块交接到所述第 一基板输送部件或第二 基板输送部件的时候。
7. —种逐批处理多块制品基板的涂敷、显影方法，在处理块对 从承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理及对已涂敷抗蚀 剂且曝光的制品用基板进行显影处理，并在检查模块对该显影处理的 制品用基板进行检查之后返回承载块，并通过用于确认检查的基板进 行用于确认所述检查模块是否正常的确认检查，其特征在于包含当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n (n 为1以上的整数)个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该 制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的工序；在所述检查模块对所述制品用基板按检查预约信号的接受顺序 进行检查的工序；在故障解除后，操作员选择向发生故障的所述检查模块优先输送 所述制品用基板和所述用于确认检查的基板中的哪一个的工序；在所迷检查模块发生故障的期间，禁止输出针对制品用基板的检 查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的工序；当该检查模块的故障被解除且选择制品用基板作为优先输送的 基板时，解除针对制品用基板的检查预约信号的输出禁止的工序；以 及当该检查模块的故障解除且选择用于确认检查的基板作为优先 输送的基板时，输出针对所述用于确认检查的基板的检查预约信号， 将该用于确认检查的基板输送至该检查模块，并在结束借助所述用于 确认检查的基板的所述检查模块的确认检查后，解除针对制品用基板 的检查预约信号的输出禁止的工序。
8. —种逐批处理多块制品基板的涂敷、显影方法，在处理块对 从承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理及对已涂敷抗蚀 剂且曝光的制品用基板进行显影处理，并在检查模块对该显影处理的 制品用基板进行检查之后返回承载块，并通过用于确认检查的基板进 行用于确认所述检查模块是否正常的确认检查，其特征在于包含当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n (n 为1以上的整数)个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该 制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的工序；在所述检查模块对所述制品用基板按检查预约信号的接受顺序 进行检查的工序；在进行所述检查模块的定期检查的期间，禁止输出针对制品用基 板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至 该检查模块的下个输送顺序的模块的工序；在结束该检查模块的定期检查之前，输出针对所述用于确认;险查 的基板的检查预约信号，将该用于确认检查的基板输送至该检查模块 的工序；以及在结束借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查后，解除针对制品用基板的检查预约信号的输出禁止。
9. 一种存储介质，用于对制品用基板涂敷抗蚀剂液并对抗蚀剂进行显影处理的涂敷、显影装置且存放了在计算机上工作的计算机程序，其特征在于所述计算机程序编排步骤，以实施权利要求7或8所述的涂敷、 显影方法。
全文摘要
本发明提供涂敷、显影装置及涂敷、显影方法以及存储介质。在解除检查模块的故障后，迅速将制品用基板输送至该检查模块并进行检查。当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号。在所述检查模块发生故障的期间，禁止输出针对所述制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块。当该检查模块的故障被解除且将用于确认检查的基板优先输送至检查模块时，输出针对所述用于确认检查的基板的检查预约信号，并输送至所述检查模块，进行该检查模块的确认检查。
文档编号H01L21/00GK101630632SQ20091014536
公开日2010年1月20日 申请日期2009年5月27日 优先权日2008年5月27日
发明者松本武志, 金子知广 申请人:东京毅力科创株式会社