专利名称：纯水定时控制装置的制作方法
技术领域：
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纯水定时控制装置
技术领域：
本实用新型是关于一种定时控制装置，特别是关于一种半导体制程中控制 纯水管道导通与关断的纯水定时控制装置。
背景技术：
在半导体芯片的制造过程中，通常要经过多次形成氧化膜，然后蚀刻去除 氧化膜的步骤。为在芯片制造过程中保证硅片的清洁、无杂质，需要对硅片进 行多次清洗以去除掉蚀刻后残留在硅片上的氧化膜等一些杂质。通常地，采用 高纯度无杂质的纯水来清洗半导体硅片。
在早期的硅片清洗机中，控制纯水的通断依靠的是手动开关，需要人工参 与控制，因而流水冲洗时间无法精确标准化，有时会出现操作人员不在现场而 导致纯水无控制地一直流溢，造成大量纯水浪费的现象。
为精确控制纯水的冲洗时间，现有的纯水清洗机开始采用自动化定时操作 控制。目前广泛使用的纯水定时控制方式是采用触摸屏加可编程逻辑控制器
(PLC)的控制。通过触摸屏实现人机对话，设定时间或者设定其他参数，再由 PLC将输入的命令转化成电信号的控制命令，实现对电磁阀、气动阀的控制， 从而实现自动化作业。此类控制逻辑中，计时功能由PLC编程实现。
然而此种自动控制的方法因采用了触摸屏及PLC控制而导致成本较高。在 安装完成之后需要编定触摸屏的搡作界面以及其按钮定义，另外还要编写PLC 的控制时序，加上调试的时间，整个安装调试过程比较耗时。而且对自动控制 的PLC编程，需要专门的PLC编程人员按要求进行编程，不同的PLC需要不 同的编程软件和专业人员，调试起来比较复杂。
有鉴于此，确有必要提出一种新的自动控制的技术方案以克服现有技术的 缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种操作筒便，结构筒单，成本较低的纯水定 时控制装置。
为达成前述目的，本实用新型提供一种纯水定时控制装置，其包括控制电 路、由控制电路控制的气压管道以及由气压管道内的气体驱动的控制纯水管道 导通和关断的气动阀，其中控制电路包括主回路及计时驱动回路。主回路包括 电源、常开开关、常闭开关、继电器以及计时器，计时器包括两个输入端与两 个输出端，计时器的输出端与电源、常开开关、常闭开关及继电器相互串联。 计时驱动回路连接于主回路的计时器的两个输入端，其包括电源、常开开关、 常闭开关以及计时器，其中计时器的输出端与电源、常开开关、常闭开关串联， 计时器的输出端两端并联设置有一个与常开开关联动的联动开关。
与现有技术相比，本实用新型纯水定时控制装置，按下常开开关，则联动 开关闭合，计时驱动回路通电，计时驱动回路加在计时器的输入端，计时器开 始计时，主回路通电，继电器控制电磁阀导通并驱动气动阀打开纯水管道，计 时结束则计时器输出端断开，主回路断电，电^f兹阀关闭，气动阀关断纯水管道。 本实用新型定时控制装置操作简便，结构简单，成本较低。
附图为本实用新型的定时控制装置的示意图。
具体实施方式
如图所示，本实用新型的定时控制装置1可用于半导体制程中自动定时控
制纯水管道2的导通与关断。
如图所示，半导体清洗设备包括一条输送纯水的纯水管道2，并在纯水管道 2的一端设置有一个手动的开关阀3，用于手动控制纯水管道2的导通与关断。
本实用新型纯水定时控制装置1包括设置于纯水管道2另一端的一个气动 阀4,与该气动阀4连接有一条气压管道5，气体经由气压管道5的输送至气动 阀4，以驱动气动阀4的打开。在正常工作中，手动的开关阀3处于打开状态， 由气动阀4自动控制纯水管道2的导通与关断，紧急情况下可以关闭手动开关阀3 ，切断纯水管道2的供水。
本实用新型纯水定时控制装置1还包括控制电路，用于控制驱动气动阀4 的气压管道5的气体的流通。
该控制电路包括主回路10及计时驱动回路20。
主回路10包括电源12、常开开关13、常闭开关14、继电器(未标号)以 及计时器16。其中继电器包括继电器线圈151、电磁阔152及常开触点153。计 时器16包括两个输入端161、 162以及两个l俞出端163、 164，在计时器16的输 入端161、 162未输入电压时，计时器16的输出端163、 164之间断开，整个计 时器16相当于断开的开关；在计时器16的输入端161、 162输入电压时，计时 器16的输出端163、 164导通，整个计时器16相当于闭合的开关。
主回路10中电源12、常开开关13、常闭开关13、继电器线圈151以及计 时器的输出端163、 164相互串联。其中继电器的常开触点153并联于常开开关 13的两端。
计时驱动回路20连接于主回路10计时器16的输入端161、 162，其包括电 源12、常开开关13、常闭开关14、计时器16、与常开开关13并联的继电器常 开触点153以及一个与常开开关13联动的联动开关17。在本实施方式中，为节 约成本，电源12、常开开关13、常闭开关14、计时器16以及继电器常开触点 153是由计时驱动回路20与主回路IO共用的。在其他实施方式中，亦可在主回 路IO与计时驱动回路中使用分立的电源、常开开关、常闭开关、计时器及继电 器常开触点等元件。计时驱动回路20中的电源12、常开开关13、常闭开关14 以及计时器16的输出端163、 164相互串联，联动开关17并联在计时器16的 输出端163、 164的两端。
在未工作时，计时器16的两个输出端163、 164之间为断开，计时驱动回 路20不导通，主回路10不导通，则继电器线圈151不通电，继电器的电》兹阀 152不动作，则前述气压管道5闭合，无气压驱动气动阀4,气动阀4关闭，纯 水管道2不流通。
工作时，按一下常开开关13，则计时驱动回路20的联动开关17闭合，此 时计时驱动回路20通过电源12、常开开关13、常闭开关14、联动开关17组成的回路给计时器16的输入端161、 162加载电压，计时器16开始计时，同时计 时器16的两个输出端163、 164导通，则主回路10导通，继电器线圈151得电， 继电器的电磁阀152吸合，气压管道5导通，气体通过气压管道5传输至气动 阀4，将气动阀4打开，纯水通过纯水管道2流出。
在主回路10导通，继电器线圈151得电时，继电器常开触点153吸合，由 于该常开触点153并联于常开开关13两端，则即使松开常开开关13，由于常开 触点153吸合，主回路10仍可维持导通，形成自锁功能。同样的，计时驱动回 路20中，在卡^开常开开关13后，联动开关17也断开，j旦，由于常开触点153 吸合，而此时计时器16的输出端163、 164导通，则计时驱动回路20通过电源 12、常开触点153、常闭开关14以及计时器输出端163、 164组成的回路继续《会 计时器16输入端161、 162供电。
在计时器16计时结束之后，则计时器16的输出端163、 164断开，计时驱 动回路20断开，同时主回i 各10也断电，则继电器线圏151失电，电^兹阀152 断开，气压管道5关闭，气动阀4关闭，则自动关断纯水管道2。
在意外情况下，若需要在计时过程中关断纯水管道2,可以按下常闭开关 14，则计时驱动回^各20断开，计时器16 4!r入端161、 162断电，计时器16停 止计数并归零，主电路ll同时断电，继电器线圈151失电，电磁阀152断开， 气压管道5关闭，气动阀4关闭，自动关断纯水管道2。
本实用新型纯水定时控制装置，成本低廉，整体装配时方便快捷，而且不 需要专门的PLC编程人员，调试简单。
权利要求1、一种纯水定时控制装置，其包括控制电路、由控制电路控制的气压管道以及由气压管道内的气体驱动的控制纯水管道导通和关断的气动阀，其特征在于控制电路包括主回路及计时驱动回路，主回路包括电源、常开开关、常闭开关、继电器以及计时器，计时器包括两个输入端与两个输出端，计时器的输出端与电源、常开开关、常闭开关及继电器相互串联；计时驱动回路连接于主回路的计时器的两个输入端，其包括电源、常开开关、常闭开关以及计时器，其中计时器的输出端与电源、常开开关、常闭开关串联，计时器的输出端两端并联设置有一个与常开开关联动的联动开关。
2、 如权利要求1所述的纯水定时控制装置，其特征在于主电路与计时驱 动回路共用同一个电源、常开开关、常闭开关以及计时器。
3、 如权利要求1所述的纯水定时控制装置，其特征在于继电器包括继电 器线圈、电^f兹阀以及常开触点，继电器线圈得电时电^f兹阀吸合，同时常开触点 闭合。
4、 如权利要求3所述的纯水定时控制装置，其特征在于继电器的常开触 点与前述常开开关并if关。
5、 如权利要求3所述的纯水定时控制装置，其特征在于继电器的线圈得 电，电-兹阀吸合，气压管道导通。
专利摘要一种纯水定时控制装置，其包括控制电路及由控制电路驱动的气动阀，控制电路包括主回路及计时驱动回路。主回路包括电源、常开开关、常闭开关、继电器以及计时器，计时器包括两个输入端与两个输出端，计时器的输出端与电源、常开开关、常闭开关及继电器相互串联。计时驱动回路连接于主回路的计时器的两个输入端，其包括相互串联的电源、常开开关、常闭开关、计时器以及并联于计时器两端的与常开开关联动的联动开关。工作时，按下常开开关，计时器开始计时，主回路通电，继电器控制电磁阀导通并驱动气动阀打开纯水管道，计时结束则主回路断电，电磁阀关闭，气动阀关断纯水管道。本实用新型定时控制装置操作简便，结构简单，成本较低。
文档编号H01H7/00GK201392743SQ20092003988
公开日2010年1月27日 申请日期2009年4月28日 优先权日2009年4月28日
发明者倪长春, 李广中 申请人:无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司