专利名称：制造薄膜光伏电池的生产线的制作方法
技术领域：
本实用新型属于制造薄膜光伏电池的生产线。
背景技术：
薄膜光伏电池，包括CIGS光伏电池可替代单晶硅材料用作太阳能发电，晶 体硅材料作为光伏发电材料价格昂贵，制作难度大，成本高，难以推广使用。 最新的科学显示可以用在玻璃或其他材料的基板上用电子枪蒸镀方法镀数层金 属和非金属薄膜来替代晶体硅材料用作太阳能发电，这种新材料价格低廉，利 于推广使用。用电子枪蒸镀方法镀数层金属薄膜在基板上，要求薄膜必须厚度 均匀，但目前的设备难以达到这样的要求。传统的电子枪蒸镀设备包括一个真 空腔体，真空腔体内下端固定设置若干个电子枪，待镀的基板置于电子枪上端， 完成电子枪蒸镀制膜。这种传统的设备不能保证基板上薄膜厚度的均匀，往往 造成靠近电子枪的基板上薄膜厚，反之，则薄。而薄膜厚度的不均匀使基板光 电转换率大幅下降，质量一致性差，难以在市场上推广使用。目前用电子枪蒸 镀方法镀数层金属薄膜在基板上，是分别在各镀膜腔中加工的，各工序分离， 尤其是在基板进入各镀膜腔前的准备工序过长，使加工速度慢，产量低，加工 的产品质量难于保证，产品使用寿命短。 发明内容
本实用新型的目的是设计一种制造薄膜光伏电池的生产线， 一次可以完成 在基板上的镀膜作业，使各工序彼此连接，有镀膜均匀，加工速度快，成本低， 质量好，产量大，可大幅度提高基板光电转换率，大幅延长其使用寿命的优点。
为此，本实用新型采用在该生产线包括一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次 镀膜装置， 一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置之间设有传送设备， 所述的一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置中包括镀膜腔，镀膜腔内 设有喷涂作业时移动的电子枪和使电子枪移动的摆动装置。上述结构设计达到 了本实用新型的目的。 '
本实用新型一次可以完成在基板上的镀膜作业，使各工序彼此连接，有镀 膜均匀，加工速度快，质量好，成本低，产量大，可大幅度提高基板光电转换 率，大幅延长其使用寿命的优点。
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图l是本实用新型的分布结构示意图
图2是本实用新型镀膜装置的结构示意图 图3是本实用新型镀膜装置的结构示意图 图4是本实用新型的镀膜腔内扫描支架的结构示意图 图5是图4的A—A剖面局部结构示意图 具体实施方案
如图1至图3所示， 一种制造薄膜光伏电池的生产线，主要由镀膜腔6、传送 设备2和激光刻线机11、 12、 15所组成。在该生产线包括一次镀膜装置70、 二次 镀膜装置71和三次镀膜装置72。 一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置 之间设有传送设备，所述的一次镀膜装置、.二次镀膜装置和三次镀膜装置中包 括镀膜腔6，镀膜腔内设有喷涂作业时移动的电子枪7和使电子枪移动的摆动装 置8。
所述的各次镀膜装置依次由装载腔4、缓冲腔5、镀膜腔6、缓冲腔IO、卸载 腔9和激光刻线机所组成，装载腔和卸载腔两端设有阀门3。传送设备为可运输 待镀基板l的装载车，或为可运输待镀基板的滚动传动轮组等传统设备，故不再 累述。
本实用新型从头至尾为传送设备将待镀的基板运送至装载腔4、装载腔阀 门3打开，传送设备将基板送至装载腔内，关闭阀门，装载腔内控温控压设备开 始工作，形成与镀膜腔内相同的温压待镀条件后，打开位于装载腔与缓冲腔5 之间的另一阀门，传送设备将基板送至缓冲腔内，进一步完善形成与镀膜腔内 相同的温压待镀条件后，基板进入镀膜腔内由移动的数个电子枪完成镀一层膜， 再经缓冲腔IO、卸载腔9减压减温后。有一层镀膜的基板再经传送设备送入激光 刻线机ll刻线后，再经传送设备送入二次镀膜装置完成镀二层膜(同一次镀膜过 程,故不再累述)。有二层镀膜的基板再经传送设备送入激光刻线机15刻线后， 基板再经化学浸渡池14浸泡后，形成防护膜后，再经传送设备送入三次镀膜装 置完成基板的三层镀膜(同一次镀膜过程，故不再累述)和刻线后，再经传送设 备送至成品加工设备13 (为传统设备，如焊接、切割机等设备)上，完成成品 加工，成品16再经传送设备传出生产线。
本实用新型不仅仅限于三次镀膜装置，还可依次设多次镀膜装置。 本实用新型的数个电子枪位于摆动装置上，电子枪在移动状态下进行喷镀。 如图4所示，所述的摆动装置由扫描支架、摆盘和传动装置构成 扫描支架83，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于镀膜腔6内，扫描下端连接大带轮813。 扫描支架上端的镀膜腔内设有加热器89，用于保障镀膜腔内的蒸镀温度。位于 镀膜腔内上端两侧的基板框88，用于夹持基板1并受位于镀膜腔外的输送轴811 传动，输送轴由电机带动。
摆盘86，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆盘与扫描支 架通过磁流体812密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮815，摆盘上端设有电子 枪。位于扫描支架的上端两侧的摆盘为两个摆盘，每个摆盘上设一个或数个电 子枪7。
传动装置，包括传动扫描支架的电机820、减速器819、传送轮和传送带814 和传动摆盘的电机85、传送轮84和传送带。传动摆盘的电机、传送轮和传送带 位于扫描支架内。传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮815，每个摆 盘下端各设一组传动摆盘的装置。传动扫描支架的电机通过减速器、传送轮和 传送带带动扫描支架转动。在镀膜腔下端的支架上还设有电子枪电源盒818，其 内的电子枪电源通过电子枪导线817与摆盘上的电子枪连接。支架81用于支撑镀 膜腔。
所述的电子枪的数量为一个或数个，电子枪位于摆盘上端。所述的摆盘可 呈正反90° 180° ，正反90° ，或正反180°范周内转动。所述的扫描支架可 呈正反90° 180° ，正反90° ，或正反18(T范周内转动。所述的位于摆盘上 的电子枪呈十字分布。
镀膜时，传动装置带动扫描支架在直线导轨上横向左右摆动，同时使摆盘 呈正反正反90。 180° ，正反90° ，或正反18(T范周内转动，使其上的数个电 子枪亦移动，电子枪在移动状态下进行喷镀，保证了喷镀膜的均匀性。
显然，所述的摆动装置还可是扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支 架的上端位于镀膜腔内，扫描支架与镀膜腔之间通过磁流体密封装置轴接，扫 描支架下端连接大带轮；传动装置，由传动扫描支架的电机、减速器、传送轮 和传送带传动扫描支架的电机通过减速器、传送轮和传送带带动扫描支架转动。 即去掉摆盘装置及相关的传动装置，多个电子枪直接固定在扫描支架两端，摆 动的扫描支架配合移动的基板亦可达到喷镀膜均匀的目的。故不再累述。
总之，本实用新型一次可以完成在玻璃棊板上的镀膜作业，使各工序彼此连 接，有镀膜均匀，加工速度快，质量好，成本低，产量大，可大幅度提高基板 光电转换率，大幅延长其使用寿命的优点。
权利要求1、一种制造薄膜光伏电池的生产线，主要由镀膜腔、传送设备和激光刻线机所组成，其特征在于在该生产线包括一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置，一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置之间设有传送设备，所述的一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置中包括镀膜腔，镀膜腔内设有喷涂作业时移动的电子枪和使电子枪移动的摆动装置。
2、 按权利要求l所述的制造薄膜光伏电池的生产线，其特征在于所述的各 次镀膜装置依次由装载腔、缓冲腔、镀膜腔、缓冲腔、卸载腔和激光刻线机所 组成，装载腔和卸载腔两端设有阀门。
3、 按权利要求l所述的制造薄膜光伏电池的生产线，其特征在于所述的摆 动装置是扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于镀膜腔内，扫描支 架与镀膜腔之间通过磁流体密封装置轴接，扫描支架下端连接大带轮；摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆盘与扫描支架 通过磁流体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪；传动装置，包括传动扫描支架的电机、减速器、传送轮、传送带和传动摆 盘的电机、传送轮和传送带，传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫描支架 内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮，传动扫描支架的电机通 过减速器、传送轮和传送带带动扫描支架转动。
专利摘要本实用新型属于一种制造薄膜光伏电池的生产线，采用在该生产线包括一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置，一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置之间设有传送设备，所述的一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置中包括镀膜腔，镀膜腔内设有喷涂作业时移动的电子枪和使电子枪移动的摆动装置。本实用新型一次可以完成在基板上的镀膜作业，使各工序彼此连接，有镀膜均匀，加工速度快，质量好，成本低，产量大，可大幅度提高基板光电转换率，大幅延长其使用寿命的优点。
文档编号H01L31/18GK201425944SQ20092010915
公开日2010年3月17日 申请日期2009年6月22日 优先权日2009年6月22日
发明者冯焕培, 军 王, 黎志欣 申请人:北京京运通科技股份有限公司