专利名称：集成探测器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种探测器，尤其涉及一种集成式的探测器，可以应用于光电探
测系统、成分分析系统、医学生化分析仪器、医学酶标分析仪器等领域。
背景技术：
目前，市场上销售的探测器，作用单一，耗时较长，体积较大，使用不便。以医学生 化分析仪器为例，通常需要在340nm、380nm、405nm、492nm、510nm、546nm、578nm、630nm等8 个光谱波段，分别测试血液的吸收光谱。 为此，需要使用单一波段滤光片与探测器组合，分别给出各个波段的探测信号。各 种滤光片被放置在一个片盘中，测试时需要不断进行变换。这使得测试过程耗费时间较长， 同时滤光片盘的体积较大，造成不便。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提高光电探测系统的工作效率和光 电系统调试的便捷性。 为了实现本实用新型的上述目的，本实用新型提供了一种集成探测器，包括透光 基片，所述透光基片的上表面集成有2个以上的滤光片，所述透光基片的下表面粘合有多 元探测器。 根据本实用新型的优选方案，所述透光基片的上表面集成有8个滤光片，且所述8 个滤光片并排平行设置。 根据本实用新型的优选方案，所述多元探测器为CMOS探测器。 根据本实用新型的优选方案，所述多元探测器为硅光电二极管阵列多元探测器。 根据本实用新型的优选方案，在各所述滤光片的下方均配置有衰减膜。 根据本实用新型的优选方案，在各所述滤光片之间均设置有隔离层。根据本实用新型的优选方案，所述集成探测器的外形尺寸为12mmX12mm，受光面积
为lOmmXlOmm。 根据本实用新型的优选方案，所述透光基片由光学玻璃制成。 与现有技术相比，本实用新型所具有的优点和有益效果为 1.可实现同时探测多个通道的光电信号，明显节省测试时间； 2.可省去滤光片盘，縮小探测单元的体积； 3.本实用新型为了解决探测器光谱灵敏度所造成的各个通道信号的差异问题，使 得整个光电系统的调试更为便捷，根据探测器在每个波段的响应灵敏度在每个单元配置衰 减膜，对各个通道的光电信号进行调节，可以使多个波长信号的初始值接近一致，使电路系 统处于良好的工作点，从而达到多路信号都处于接近的水平； 4.本实用新型还可以在每个单元的侧壁要设置隔离层，以便消除各单元之间的信 号串扰。
图1是本实用新型集成探测器优选实施例的分解状态立体示意图； 图2是本实用新型集成探测器优选实施例的组合状态立体示意图。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明。 如图1和图2所示，根据本实用新型优选实施例的集成探测器包括透光基片2 ; 集成在透光基片2上表面的2个以上的滤光片；粘合于透光基片2下表面的多元探测器3。 透光基片2可以为方形、矩形等形状，且透光基片2的材质不受限制，可以在本实 用新型的发明目的范围内进行调整，优选的是，透光基片2由光学玻璃材料制成。 优选的是，在透光基片2的上表面可以集成有8个滤光片1A、1B、1C、1D、1E、1F、1G 和1H，且滤光片1A、1B、1C、1D、1E、1F、1G和1H并排平行设置。通过这种设置，本实用新型可 以实现同时探测8个通道的光电信号，明显可以节省测试时间，同时可省去滤光片盘，縮小 探测单元的体积，因此极大地提高了光电探测系统的工作效率，并提高了光电系统调试的 便捷性。 要注意的是，虽然图1和图2中示出了 8个滤光片，但是本实用新型并不以此为 限，而是可以根据实际情况进行调整，例如，本实用新型的集成探测器可以包括2、3、4、5、6 或者7个滤光片。 多元探测器3的种类不受限制，可以在本实用新型的发明目的范围内进行调整， 优选的是，多元探测器3可以为CMOS探测器或者硅光电二极管阵列多元探测器。在多元探 测器3上形成有多个接线脚6，用于与电路板进行电连接。 为使各波长信号的初始值接近一致，使电路系统处于良好的工作点，优选的是，可 以在各滤光片1的下方根据探测器在每个波段的响应灵敏度配置衰减膜4(图中示出了 8 个衰减膜4)，以对各个通道的光电信号进行调节，从而达到2个以上的光电信号都处于接 近的水平。 为了消除各滤光片l之间的信号串扰，根据优选方案，可以在各滤光片l之间设置 隔离层5。 本实用新型的集成探测器的外形尺寸优选为12mmX12mm，受光面积优选为 lOmmXlOmm。 下文将参照附图对本实用新型的工作原理进行简单描述。 如图1和图2所示，在工作时，准平行光(图未示出)由上至下照射到滤光片1A、 1B、1C、1D、1E、1F、1G和1H上，光线经过滤光片1A、1B、1C、1D、1E、1F、1G和1H后再分别经过 衰减膜4，可以使得8个波长信号的初始值接近一致，使电路系统处于良好的工作点。另外 由于滤光片1A、 1B、 1C、 1D、 1E、 1F、 1G和1H之间均设置隔离层5，从而消除各单元之间的信号 串扰。光线最终到达多元探测器3，将光信号转换为电信号，从而可以通过接线脚6将电信 号输出。 以上所述的仅为本实用新型的较佳可行实施例，所述实施例并非用以限制本实用 新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
权利要求一种集成探测器，包括透光基片，其特征在于，所述透光基片的上表面集成有2个以上的滤光片，所述透光基片的下表面粘合有多元探测器。
2. 根据权利要求1所述的集成探测器，其特征在于，所述透光基片的上表面集成有8个 滤光片，且所述8个滤光片并排平行设置。
3. 根据权利要求1所述的集成探测器，其特征在于，所述多元探测器为CMOS探测器。
4. 根据权利要求1所述的集成探测器，其特征在于，所述多元探测器为硅光电二极管 阵列多元探测器。
5. 根据权利要求1所述的集成探测器，其特征在于，在各所述滤光片的下方均配置有 衰减膜。
6. 根据权利要求1所述的集成探测器，其特征在于，在各所述滤光片之间均设置有隔尚层。
7. 根据权利要求l-6所述的任一种集成探测器，其特征在于，所述集成探测器的外形 尺寸为12mmX12mm，受光面积为lOmmXlOmm。
8. 根据权利要求1-6所述的任一种集成探测器，其特征在于，所述透光基片由光学玻 璃制成。
专利摘要本实用新型提供了一种集成探测器，包括透光基片，所述透光基片的上表面集成有2个以上的滤光片，所述透光基片的下表面粘合有多元探测器。本实用新型可实现同时探测多个通道的光电信号，明显节省测试时间，同时可省去滤光片盘，缩小探测单元的体积。另外，本实用新型还解决了由于探测器光谱灵敏度所造成的各个通道信号的差异问题，使得整个光电系统的调试更为便捷。
文档编号H01L27/144GK201466029SQ200920109468
公开日2010年5月12日 申请日期2009年6月26日 优先权日2009年6月26日
发明者赵福庭 申请人:北京京仪博电光学技术有限责任公司