专利名称：基片盒传输载台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于承载和定位的载台，更具体地涉及一种用于对装载基片
的基片盒进行承载和定位的基片盒传输载台。
背景技术：
随着平板显示技术的不断成熟，平板显示的尺寸越做越大，平板显示的效果日趋 赶上阴极射线管显示器。技术的改革则会拉动市场的活跃性，市面上越来越多的消费者选 择了能耗更低、占地更小的平板电视。消费需求则进一步促进了生产，因此要求生产平板显 示的厂家不断的提高生产的效率以满足市场的需要。 通常，诸如PDP (等离子显示面板)、TFT-LCD (薄膜晶体管液晶显示器)或者 0LED (有机发光显示器)等平面显示装置上使用的显示板，这种显示板是使用玻璃或者石 英制成的基片。 在制造工艺上，玻璃基片需要经过很多的工艺步骤，相应的玻璃基片就需要存储
及搬运，进一步地说基片需要一种所述基片盒来完成存储和搬运，同时也需要一种支撑、固 定和移动基片盒的载台。 现有技术的用于承载与定位所述基片盒传输载台，主要是通过定位和承载两个步 骤来完，首先是将所述基片盒放入到载台上，再利用定位装置顶住所述基片盒，迫使所述基 片盒与相应的定位块接触，从而在载台上完成所述基片盒的承载、定位。现有的还有利用复 杂的检测机构来判断所述基片盒的位置，如3D测量机台。 目前，大部分平板显示器的生产厂商均采用机械手的手臂进行基片的装载与卸 载，而在此过程中所述基片盒定位不准确，支撑不稳定将导致机械手无法准确判断基片的 位置，进一步导致机械手执行上的错误，基片载入载出出现问题。不稳定的工作台也极易导 致基片从所述基片盒上脱落。 由于所述基片盒的支撑、定位是否准确可靠，将直接影响基片是否会从所述基片 盒内跌落，也会影响基片和所述基片盒的传输效率和质量。 因此，急需一种结构简单、运行平稳的对基片盒进行承载和定位的基片盒传输载 台，使其能有效的防止基片从基片盒内跌落，并能大幅度的提高基片传输效率和质量。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种结构简单、运行平稳的对基片盒进行承载和定位 的基片盒传输载台，所述基片盒传输载台能有效的防止基片从基片盒内跌落，并能大幅度 的提高基片传输效率和质量。 为了实现上述目的，本实用新型的技术方案为提供一种基片盒传输载台，所述基 片盒传输载台适用于对基片盒进行承载和定位，所述基片盒传输载台包括固定座，所述固 定座用于支撑基片盒，所述固定座包括底板、第一侧板、第二侧板、第一支撑板及第二支撑 板，所述底板呈水平放置，所述第一侧板和所述第二侧板的下端面分别与所述底板连接，且所述第一侧板和所述第二侧板相互平行，所述第一支撑板的下表面与所述第一侧板的上端 面连接，所述第二支撑板的下表面与所述第二侧板的上端面连接，所述第一支撑板与所述 第二支撑板位于同一平面且分别与所述底板平行，其中，还包括检测单元，所述检测单元包 括光电传感器、传感器支架、传感器反射板、传感器挡板、悬挂轴及控制装置，所述传感器支 架安装于所述第二支撑板的下表面上，所述传感器反射板安装于所述第二支撑板上，所述 光电传感器设置于所述传感器反射板正下方并与所述控制装置电连接，所述第二支撑板上 开设有通槽，所述传感器挡板具有沿相反方向延伸的第一弯折部和第二弯折部，传感器挡 板呈倾斜地贯穿所述通槽，所述第一弯折部的弯折处搭载于所述悬挂轴上，所述悬挂轴连 接于所述第二支撑板上，所述第一弯折部斜向上地突出所述通槽的上端，所述第二弯折部 斜向下地突出所述通槽的下端并邻近所述光电传感器与所述传感器反射板形成的光通路。 较佳地，在所述第二支撑板的上表面上沿所述通槽的中心开设沉槽，所述悬挂轴 连接于所述沉槽内。具体地，还包括两个固定块，所述固定块具有凹槽，所述固定块对称的 安装于所述沉槽内，所述悬挂轴的两端对应的固定于所述固定块的凹槽内。设置所述沉槽 是为了更好的安装所述固定块，所述固定块对称的安装于所述沉槽内，且所述固定块具有 凹槽，所述悬挂轴的两端对应的固定于所述固定块的凹槽内，并可以自由的在所述凹槽内 旋转一个角度。 较佳地，所述基片盒传输载台还包括升降装置，所述升降装置包括垂直升降机构、 底座、无油衬套及导杆，所述第一支撑板和所述第二支撑板上分别开设有通孔，所述无油衬 套安装于所述通孔内，所述导杆滑动地穿过所述无油衬套并与所述底座固定连接，所述垂 直升降机构与所述底座固定连接并与所述控制装置电连接，所述垂直升降机构的输出轴与 所述固定座固定连接。通过设置所述垂直升降机构与所述导杆，使得本实用新型基片盒传 输载台在竖直方向上的升降运动，被定限定在垂直方向上，不会出现水平方向上的摆动，并 且所述无油衬套具有不易变形、能长期保持柔韧性及抵抗反复摩擦能力强的特点，而且还 具有有自润滑性、具有有利于降低能耗的特点，起到节约能源的作用，此外还能吸收吵声， 尽可能地避免给工作环境带来吵声污染。 较佳地，所述基片盒传输载台还抱弹簧，所述弹簧的一端与所述传感器挡板的第 二弯折部抵触，所述弹簧的另一端与所述第二侧板抵触。设置所述弹簧使得所述第一支撑 板及所述第二支撑板上没有承载基片盒时，保证了所述传感器挡板的所述第一弯折部能够 斜向上地突出所述通槽的上端，所述第二弯折部能够斜向下地突出所述通槽的下端并邻近 所述光电传感器与所述传感器反射板形成的光通路。 较佳地，所述传感器挡板呈Z字形，所述传感器挡板包括上板、中板及下板，所述 中板的上端与所述上板连接形成第一弯折部，所述中板的下端与所述下板连接形成第二弯 折部。将所述传感器挡板设计呈Z字形，结构简单，在所述第一支撑板及所述第二支撑板上 没有承载基片盒时，容易使得所述第二弯折部能够斜向下地突出所述通槽的下端并邻近所 述光电传感器与所述传感器反射板形成的光通路；在所述第一支撑板及所述第二支撑板上 承载有基片盒时，所述第二弯折部能够斜向下地突出所述通槽的下端并且逆时钟的旋转一 个角度遮住所述光电传感器与所述传感器反射板形成的光通路。 较佳地，所述下板的重量大于所述上板的重量。如此设置的目的在于保证了所述 传感器挡板的所述第一弯折部能够斜向上地突出所述通槽的上端，所述第二弯折部能够斜
5向下地突出所述通槽的下端并邻近所述光电传感器与所述传感器反射板形成的光通路。 较佳地，所述基片盒传输载台还包括定位块，所述定位块具有相互垂直的第一定 位块和第二定位块，所述定位块水平的安装于所述第一支撑板和第二支撑板的上表面上并 形成矩形空腔。所述矩形空腔用于定位基片盒，具体地，所述定位块还开设呈圆弧状的让位 槽，所述让位槽位于所述第一定位块和第二定位块连接处。设置所述让位槽有利于保护基 片盒的边角不受到磕碰，具体地，所述第一定位块的内侧面具有第一定位面和第一让位面， 所述第一定位面与所述底板垂直，所述第一让位面位于所述第一定位面上，所述第一让位 面与所述第一定位面呈钝角且连接处呈圆角，所述第二定位块的内侧面具有第二定位面和 第二让位面，所述第二定位面与所述底板垂直，所述第二让位面位于所述第二定位面上，所 述第二让位面与所述第二定位面呈钝角且连接处呈圆角。设置让位面则保障了基片盒在置 入所述固定座进行承载和定位的过程中，不会碰撞所述定位块，造成对基片盒的损害，加快 了操作的效率和提高了安全性。 与现有技术相比，本实用新型基片盒传输载台括检测单元，所述检测单元包括光 电传感器、传感器支架、传感器反射板、传感器挡板、悬挂轴及控制装置，所述传感器支架安 装于所述第二支撑板的下表面上，所述传感器反射板安装于所述第二支撑板上，所述光电 传感器设置于所述传感器反射板正下方并与所述控制装置电连接，所述第二支撑板上开设 有通槽，所述传感器挡板具有沿相反方向延伸的第一弯折部和第二弯折部，传感器挡板呈 倾斜地贯穿所述通槽，所述第一弯折部的弯折处搭载于所述悬挂轴上，所述悬挂轴连接于 所述第二支撑板上，所述第一弯折部斜向上地突出所述通槽的上端，所述第二弯折部斜向 下地突出所述通槽的下端并邻近所述光电传感器与所述传感器反射板的形成的光通路。当 基片盒置入安装于所述固定座上的固定块形成的矩形空腔内进行承载和定位时，基片盒则 向下压所述传感器挡板的所述第一弯折部，所述传感器挡板会绕所述悬挂轴逆时针旋转一 定的角度，所述通槽则对所述传感器挡板进行限位，使其只能绕所述悬挂轴旋转而不能脱 离所述悬挂轴，所述传感器挡板的所述第二弯折部则挡住由设置于所述第二支撑板下表面 的所述所述光电传感器射出的光线，因此所述光电传感器射出的光线不能射到所述传感器 反射板上，被所述控制装置判断所述固定座上有承载基片盒。当所述基片盒从所述固定块 形成的矩形空腔内卸载后，所述传感器挡板顺时针旋转一定的角度，所述传感器传感器挡 板的所述第二弯折部则避开由设置于所述第二支撑板下表面上的所述光电传感器射出的 光线，光线能够射到所述传感器反射板，被所述控制装置判断所述固定座上没有承载基片 通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本 实用新型的实施例。
图1是本实用新型基片盒传输载台的结构示意图。 图2是本实用新型基片盒传输载台拆除升降装置的结构示意图。 图3是本实用新型基片盒传输载台拆除升降装置的另一个角度的结构示意图。 图4是本实用新型基片盒传输载台的检测单元的分解示意图。 图5是本实用新型基片盒传输载台的定位块的结构示意图。[0024] 图6是本实用新型基片盒传输载台的传感器挡板的一个实施例的示意图。 图7是本实用新型基片盒传输载台的传感器挡板的另一个实施例的示意图。 图8是本实用新型基片盒传输载台的传感器挡板的又一个实施例的示意图。 图9是本实用新型基片盒传输载台未承载基片盒时的光电传感器与传感器反射 板形成的光通路的原理结构示意图。 图10是本实用新型基片盒传输载台正在承载还未完全置入的基片盒时的光电传 感器与传感器反射板形成的光通路的原理结构示意图。 图11是本实用新型基片盒传输载台承载对完全置入的基片盒时的光电传感器与 传感器反射板的形成的光通路的原理结构示意图。
具体实施方式现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。如上所述，如图l及图2所示，本实用新型提供的基片盒传输载台100，用于对基片盒5 进行承载和定位，所述基片盒传输载台100包括固定座100a，所述固定座100a用于支撑所 述基片5，所述固定座100a包括底板13、第一侧板12、第二侧板12a、第一支撑板1及第二 支撑板la，所述底板13呈水平放置，所述第一侧板12和所述第二侧板12a的下端面分别与 所述底板13连接，且所述第一侧板12和所述第二侧板12a相互平行，所述第一支撑板1的 下表面与所述第一侧板12的上端面连接，所述第二支撑板la的下表面与所述第二侧板12a 的上端面连接，所述第一支撑板1与所述第二支撑板la位于同一平面且分别与所述底板13 平行，其中，如图3、图4及图9所示，还包括检测单元100b，所述检测单元100b包括光电传 感器41、传感器支架34、传感器反射板35、传感器挡板33、悬挂轴32及控制装置(图中未 示)，所述传感器支架34安装于所述第二支撑板12a的下表面上，所述传感器反射板35安 装于所述第二支撑板上la，所述光电传感器41设置于所述传感器反射板35正下方并与所 述控制装置电连接，所述第二支撑板12a上开设有通槽39，所述传感器挡板33具有沿相反 方向延伸的第一弯折部33a和第二弯折部33b，传感器挡板33呈倾斜地贯穿所述通槽39， 所述第一弯折部33a的弯折处33c搭载于所述悬挂轴32上，所述悬挂轴32连接于所述第二 支撑板la上，所述第一弯折部33a斜向上地突出所述通槽39的上端，所述第二弯折部33b 斜向下地突出所述通槽39的下端并邻近所述光电传感器41与所述传感器反射板35的形 成的光通路。具体地，在所述第二支撑板la的上表面上沿所述通槽39的中心开设沉槽38， 所述悬挂轴32连接于所述沉槽38内。具体地，还包括两个固定块31，所述固定块31具有 凹槽31a，所述固定块31对称的安装于所述沉槽38内，所述悬挂轴32的两端对应的固定于 所述固定块31的凹槽31a内。设置所述沉槽38是为了更好的安装所述固定块32，所述固 定块31对称的安装于所述沉槽38内，且所述固定块31具有凹槽31a，所述悬挂轴32的两 端对应的固定于所述固定块31的凹槽31a内，并可以自由的在所述凹槽31内旋转一个角 度。 较佳者，如图1 、图2所示，还包括升降装置(图中未示)，所述升降装置包括垂直 升降机构(图中未示)、底座18、无油衬套15及导杆16，所述第一支撑板1和所述第二支撑 板la上分别开设有通孔20，所述无油衬套15安装于所述通孔20内，所述导杆16滑动地穿 过所述无油衬套15并与所述底座18固定连接，所述垂直升降机构与所述底座18固定连接
7并与所述控制装置电连接，所述垂直升降机构的输出轴17与所述固定座100a固定连接。通 过设置所述垂直升降机构与所述导杆16，使得本实用新型基片盒传输载台100在竖直方向 上的升降运动，被定限定在垂直方向上，不会出现水平方向上的摆动，并且所述无油衬套15 具有不易变形、能长期保持柔韧性及抵抗反复摩擦能力强的特点，而且还具有有自润滑性、 具有有利于降低能耗的特点，起到节约能源的作用，此外还能吸收吵声，尽可能地避免给工 作环境带来吵声污染。 较佳者，如图4所示，还抱弹簧36，所述弹簧36的一端与所述传感器挡板33的第 二弯折部33b抵触，所述弹簧36的另一端与所述第二侧板12a抵触。设置所述弹簧36使 得所述第一支撑板1及所述第二支撑板la上没有承载所述基片5时，保证了所述传感器挡 板33的所述第一弯折部33a能够斜向上地突出所述通槽39的上端，所述第二弯折部33b能 够斜向下地突出所述通槽39的下端并邻近所述光电传感器41与所述传感器反射板35形 成的光通路。 较佳者，所述传感器挡板33呈Z字形，所述传感器挡板33包括上板、中板及下板， 所述中板的上端与所述上板连接形成第一弯折部33a，所述中板的下端与所述下板连接形 成第二弯折部33b。将所述传感器挡板33设计呈Z字形，结构简单，在所述第一支撑板1及 所述第二支撑板la上没有承载所述基片5时，容易使得所述第二弯折部33 b能够斜向下 地突出所述通槽39的下端并邻近所述光电传感器41与所述传感器反射板35形成的光通 路；在所述第一支撑板1及所述第二支撑板la上承载有所述基片5时，所述第二弯折部33b 能够斜向下地突出所述通槽39的下端并且逆时钟的旋转一个角度遮住所述光电传感器41 与所述传感器反射板35形成的光通路。 如图6所示，如6展示了本实用新型传感器挡板33的一个实施例。在本实施例中， 所述传感器挡板33包括上板331a、中板331b和下板331c，所述上板331a、所述中板331b 及所述下板331c —体成型。所述下板331c是为一矩形，所述中板331b上开有孔3310及 3311。还包括如图4所示的弹簧36，所述弹簧36用于控制所述传感器形挡板33的旋转， 其一端抵触于中板331b的孔3310及3311内，另一端抵触于所述第二侧板12a上。所述基 片5置入所述固定座100a上，具体地，所述基片5放置于所述第一支撑板1及所述第二支 撑板la的上表面上，所述基片盒5在竖直方向上的是由所述第一支撑板1及所述第二支撑 板la进行定位、支撑，而在水平方向上，则由四个所述定位块4进行定位，当所述基片盒5 完全放置于所述固定座100a上时，由于所述基片盒5向下压所述传感器挡板33，因此所述 弹簧36拉伸到最大位置。同时所述传感器形挡板33的下板331c完全挡住设置于所述固 定座100a下部的所述光电传感器41发射出的光线。所述控制装置过分析处理光电传感器 41的信号，进而判定所述基片盒5已经完全放置到载台上，完成所述基片盒5的置入检测。 具体地，所述基片盒5接触到所述传感器挡板33的一瞬间，所述传感器形挡板33就随着所 述基片盒5的垂直运动而做逆时针旋转运动，同时所述下板331c也是逐渐的遮挡光电传感 器41发射的光线。当所述基片盒5被完全卸载时，所述传感器形挡板33将由弹簧36的拉 力而绕悬挂轴32旋转一定的角度，同时所述传感器挡板33的所述下板331c会完全避开设 置于所述固定座100a正下部的光电传感器41发射出的光线。所述控制装置过分析处理光 电传感器41的信号，进而判定所述基片盒5已经完全从载台上卸载，完成所述基片盒5的 卸载检测。[0035] 如图7所示，如7展示了本实用新型传感器挡板的另一个实施例。在本实施例中， 所述传感器挡板33包括上板332a、中板332b和下板332c，所述上板332a、所述中板332b 及所述下板332c —体成型。本实施例与图6所示的实施例不同之处在于所述下板332c是 为一楔形而非矩形；所述传感器挡板33上没有开孔，没有设置弹簧36，但是也同样的实现 了 Z形挡板33的旋转。当所述基片盒5置入所述固定座100a时，所述传感器挡板33受到 所述基片盒5的压力逆时针旋转，挡住所述光电传感器41发射的光线，在此过程中没有弹 簧36的拉力；当所述基片盒5卸载时，所述传感器挡板33受到下板332c较大的重力而自 动的绕所述悬挂轴32旋转一定角度。余下部分工作原理与图6所示实施例相同，在此不再 赘述。 如图8所示，如8展示了本实用新型传感器挡板的另一个实施例。在本实施例中， 所述传感器挡板33的包括上板333a、中板333b和下板333c，所述上板333a、所述中板333b 及所述下板333C —体成型，本实施例增加了重块334，所述重块334可以是一个也可以是多 个，最佳的是一至两个。所述重块334通过焊接或者螺钉与下板333c连接。当所述基片盒 5置入所述固定座100a时，所述传感器挡板33受到所述基片盒5的压力逆时针旋转，挡住 所述传感器发射的光线；当所述基片盒5卸载时，所述传感器挡板33受到所述下板333c及 所述重块334较大的重力而自动的绕轴32旋转一定角度。余下部分工作原理与图6所示 实施例相同，在此不再赘述。 如图9所示，展示了本实用新型所述基片盒传输载台100a未承载所述基片5时的 光电传感器41与传感器反射板35形成的光通路的原理结构示意图。在本实施例中，所述 基片5没有放置于所述第一支撑板1及所述第二支撑板la的上表面上，所述光电传感器41 边缘上的光线40刚好与所述传感器挡板33的所述下板33b相切而刚好能够发射到所述传 感器发射板35，因此所述光电传感器41发射出来的光线全部能射到所述传感器发射板35， 所述控制装置通过分析处理光电传感器41的信号强度很强而且处于稳定状态，进而判定 没有置入所述基片5置入所述固定座100a。 如图10所示，展示了本实用新型所述基片盒传输载台100a正在承载还未完全置 入的所述基片盒5时的光电传感器41与传感器反射板35形成的光通路的原理结构示意 图。在本实施例中，基片盒5正在置入所述第一支撑板1及所述第二支撑板la的上表面上， 所述传感器挡板33的所述下板33b逆时针旋转，挡住了部分从所述光电传感器41发射出 的光线40，而其余部分的光线40仍然能够发射到所述传感器发射板35，相切而刚好能够发 射到所述传感器发射板35，所述控制装置通过分析处理光电传感器41的信号强度比较弱， 而且处于正在不断变弱的状态，进而判定正在有基片盒5置入所述固定座100a上。 如图11所示，展示了本实用新型所述基片盒传输载台100a承载对完全置入的基 片盒5时的光电传感器41与传感器反射板35的形成的光通路的原理结构示意图。在本实 施例中，基片盒5已经完全置入所述第一支撑板1及所述第二支撑板la的上表面上，所述 传感器挡板33的所述下板33b完全挡住了从所述光电传感器41发出的光线40，所述控制 装置通过分析处理光电传感器41的信号强度为零，进而判定基片盒5已经置入所述固定座 100a上。 较佳者，如图5所示，还包括定位块4，所述定位块4具有相互垂直的第一定位块 423和第二定位块443，所述定位块4水平的安装于所述第一支撑板1和第二支撑板la的
9上表面上并形成矩形空腔。所述矩形空腔用于定位基片盒5，具体地，所述定位块4还开设 呈圆弧状的让位槽430，所述让位槽430位于所述第一定位块423和第二定位块443连接 处。设置所述让位槽430有利于保护基片盒5的边角不受到磕碰，具体地，所述第一定位块 423的内侧面具有第一定位面422和第一让位面421，所述第一定位面422与所述底板13 垂直，所述第一让位面421位于所述第一定位面422上，所述第一让位面421与所述第一定 位面422呈钝角且连接处421a呈圆角，所述第二定位块443的内侧面具有第二定位面442 和第二让位面441 ，所述第二定位面442与所述底板13垂直，所述第二让位面441位于所述 第二定位面442上，所述第二让位面441与所述第二定位面442呈钝角且连接处441a呈圆 角。在所述第一定位块423与所述第二定位块443上设置第一让位面421a与所述第二让 位面441a则保障了基片盒5在置入所述固定座100a进行承载和定位的过程中，不会碰撞 所述定位块4，造成对基片盒5的损害，加快了操作的效率和提高了安全性。 与现有技术相比，本实用新型所述基片盒传输载台100包括检测单元100b，所述 检测单元100b包括光电传感器41、传感器支架34、传感器反射板35、传感器挡板33、悬挂 轴32及控制装置，所述传感器支架34安装于所述第二支撑板12a的下表面上，所述传感器 反射板35安装于所述第二支撑板上la，所述光电传感器41设置于所述传感器反射板35正 下方并与所述控制装置电连接，所述第二支撑板12a上开设有通槽39，所述传感器挡板33 具有沿相反方向延伸的第一弯折部33a和第二弯折部33b，传感器挡板33呈倾斜地贯穿所 述通槽39，所述第一弯折部33 a的弯折处33c搭载于所述悬挂轴32上，所述悬挂轴32连 接于所述第二支撑板la上，所述第一弯折部33a斜向上地突出所述通槽39的上端，所述第 二弯折部33b斜向下地突出所述通槽39的下端并邻近所述光电传感器41与所述传感器反 射板35的形成的光通路。当基片盒5置入安装于所述固定座13上的固定块4形成的矩形 空腔内进行承载和定位时，基片盒5则向下压所述传感器挡板33的所述第一弯折部33a，所 述传感器挡板33a绕所述悬挂轴32逆时针旋转一定的角度，所述通槽39则对所述传感器 挡板33进行限位，使其只能绕所述悬挂轴32旋转而不能脱离所述悬挂轴32，所述传感器挡 板33的所述第二弯折部33b则挡住由设置于所述第二支撑板la下表面的所述光电传感器 41射出的光线，因此所述光电传感器41射出的光线不能射到所述传感器反射板35上，被所 述控制装置判断所述固定座100a上有承载基片盒5。当基片盒5从所述固定块4形成的 矩形空腔内卸载后，所述传感器挡板33顺时针旋转一定的角度，所述传感器传感器挡板33 的所述第二弯折部33b则避开由设置于所述第二支撑板la下表面上的所述光电传感器41 射出的光线，光线能够射到所述传感器反射板35上，被所述控制装置判断所述固定座100a 上没有承载基片盒5。 以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭 示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。
权利要求一种基片盒传输载台，适用于对基片盒进行承载和定位，所述基片盒传输载台包括固定座，所述固定座用于支撑基片盒，所述固定座包括底板、第一侧板、第二侧板、第一支撑板及第二支撑板，所述底板呈水平放置，所述第一侧板和所述第二侧板的下端面分别与所述底板连接，且所述第一侧板和所述第二侧板相互平行，所述第一支撑板的下表面与所述第一侧板的上端面连接，所述第二支撑板的下表面与所述第二侧板的上端面连接，所述第一支撑板与所述第二支撑板位于同一平面且分别与所述底板平行，其特征在于还包括检测单元，所述检测单元包括光电传感器、传感器支架、传感器反射板、传感器挡板、悬挂轴及控制装置，所述传感器支架安装于所述第二支撑板的下表面上，所述传感器反射板安装于所述第二支撑板上，所述光电传感器设置于所述传感器反射板正下方并与所述控制装置电连接，所述第二支撑板上开设有通槽，所述传感器挡板具有沿相反方向延伸的第一弯折部和第二弯折部，传感器挡板呈倾斜地贯穿所述通槽，所述第一弯折部的弯折处搭载于所述悬挂轴上，所述悬挂轴连接于所述第二支撑板上，所述第一弯折部斜向上地突出所述通槽的上端，所述第二弯折部斜向下地突出所述通槽的下端并邻近所述光电传感器与所述传感器反射板形成的光通路。
2. 如权利要求1所述的基片盒传输载台，其特征在于在所述第二支撑板的上表面上 沿所述通槽的中心开设沉槽，所述悬挂轴连接于所述沉槽内。
3. 如权利要求2所述的基片盒传输载台，其特征在于还包括两个固定块，所述固定块 具有凹槽，所述固定块对称的安装于所述沉槽内，所述悬挂轴的两端对应的固定于所述固 定块的凹槽内。
4. 如权利要求l所述的基片盒传输载台，其特征在于还包括升降装置，所述升降装置 包括垂直升降机构、底座、无油衬套及导杆，所述第一支撑板和所述第二支撑板上分别开设 有通孔，所述无油衬套安装于所述通孔内，所述导杆滑动地穿过所述无油衬套并与所述底 座固定连接，所述垂直升降机构与所述底座固定连接并与所述控制装置电连接，所述垂直 升降机构的输出轴与所述固定座固定连接。
5. 如权利要求1所述的基片盒传输载台，其特征在于还抱弹簧，所述弹簧的一端与所 述传感器挡板的第二弯折部抵触，所述弹簧的另一端与所述第二侧板抵触。
6. 如权利要求1所述的基片盒传输载台，其特征在于所述传感器挡板呈Z字形，所述 传感器挡板包括上板、中板及下板，所述中板的上端与所述上板连接形成第一弯折部，所述 中板的下端与所述下板连接形成第二弯折部。
7. 如权利要求6所述的基片盒传输载台，其特征在于所述下板的重量大于所述上板 的重量。
8. 如权利要求1所述的基片盒传输载台，其特征在于还包括定位块，所述定位块具有 相互垂直的第一定位块和第二定位块，所述定位块水平的安装于所述第一支撑板和第二支 撑板的上表面上并形成矩形空腔。
9. 如权利要求8所述的基片盒传输载台，其特征在于所述定位块还开设呈圆弧状的 让位槽，所述让位槽位于所述第一定位块和第二定位块连接处。
10. 如权利要求9所述的基片盒传输载台，其特征在于所述第一定位块的内侧面具有 第一定位面和第一让位面，所述第一定位面与所述底板垂直，所述第一让位面位于所述第 一定位面上，所述第一让位面与所述第一定位面呈钝角且连接处呈圆角，所述第二定位块的内侧面具有第二定位面和第二让位面，所述第二定位面与所述底板垂直，所述第二让位 面位于所述第二定位面上，所述第二让位面与所述第二定位面呈钝角且连接处呈圆角。
专利摘要本实用新型公开了一种基片盒传输载台，其中，还包括检测单元，检测单元包括光电传感器、传感器支架、传感器反射板、传感器挡板、悬挂轴及控制装置，传感器支架安装于第二支撑板上，传感器反射板安装于第二支撑板上，光电传感器设置于传感器反射板正下方并与控制装置电连接，第二支撑板上开设有通槽，传感器挡板具有沿相反方向延伸的第一弯折部和第二弯折部，传感器挡板呈倾斜地贯穿通槽，第一弯折部的弯折处搭载于悬挂轴上，悬挂轴连接于第二支撑板上，第一弯折部斜向上地突出通槽的上端，第二弯折部斜向下地突出通槽的下端并邻近光电传感器与传感器反射板的形成的光通路。本实用新型能有效的防止基片从基片盒内跌落，并能大幅度的提高基片传输效率和质量。
文档编号H01L21/677GK201514936SQ20092019399
公开日2010年6月23日 申请日期2009年9月3日 优先权日2009年9月3日
发明者刘惠森, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良, 郭业祥 申请人:东莞宏威数码机械有限公司