专利名称：基板转送装置的制作方法
技术领域：
本发明是有关于一种基板转送装置，由此来缩短基板被转送的时间，从而当基板 从一上部工作位置被转送至一下部工作位置时或以反方向转送时，基板的制程处理时间亦 会缩短。本发明特别是有关于一种具有简单的旋转托架以转送基板的基板转送装置
背景技术：
通常用于平面显示器(flat panel display，FPD)、半导体晶圆、液晶显示器 (liquid crystal display, IXD)玻璃等的基板，是在经过一系列的制程，例如沉积、蚀刻、
剥离、清洁与清洗后产生。在处理该基板的一系列的这些过程中，基板转送装置会对基板进行转送，且基板 的供给、处理以及将基板自一转送轨道移出将构成一种周期循环。图1至图3是已知基板转送装置的结构示意图。请参考图1至图3，第一基板1与 第二基板2自一上部工作台10传送至一下部工作台20，接着再自下部工作台20传送至上 部工作台10，最后自上部工作台10移出。请参考图1，换句话说，第一基板1是经由上部工作台10的一供给及推送部15所 提供，并在上部工作台10的特定区段以紫外线来对第一基板1进行清洁。当第一基板完成 紫外线清洁后被传送至一供给侧搬运台(lift) 11时，第一基板1会如图2及图3所显示的 降下，并移至下部工作台20，并进行例如以清洁水来清洗等清洗制程。在完成上述制程后，第一基板1会被移送至一移出侧搬运台21，并在上升后经由 上部工作台1的供给及推送部15而由上部工作台10推送出来。然而，在已知的基板转送装置中，当第一基板1被固定在供给侧搬运台11且从上 部工作台10转送至下部工作台20时，正在上部工作台10进行紫外线清洁过程的第二基板 2保持于闲置(idle)状态，且就此装置而言，通过该供给及推送部15来供应另一基板时亦 会被延迟，使此装置的生产性亦可能会降低。
发明内容
技术课题本发明提供一种基板转送装置，由此以减少基板的闲置时间，并缩减转送基板所 需的空间。本发明提供一种基板转送装置，此装置包括一简单的旋转拖架以将基板传送至搬 运台。技术方案本发明的一实施例提供一种基板转送装置，由此将提供至一第一上部位置的一基 板转送至一第二下部位置，再将该基板移入一转送轨道并自该转送轨道移出。此基板转送 装置包括一第一与一第二升降(elevator)单元、多个第一固定板、一第一与一第二转轴、 一第一与一第二旋转马达、一第一旋转托架(support)、多个第一皮带构件、多个第二皮带 构件、多个第二固定板、一第三与一第四转轴、一第三与一第四旋转马达、一第二旋转托架、多个第三皮带构件、多个第四皮带构件以及一第一与一第二叉式搬运台。第一与第二升降 单元各自第一上部位置配置至第二下部位置且分别位于转送轨道的相对应的两侧。第一固 定板固设至一固定结构，这些第一固定板相邻于第一升降单元并沿着一水平方向而等距排 列在第一上部位置。第一转轴与第二转轴平行地穿过各第一固定板的一端且可旋转地被 各第一固定板所支撑。第一旋转马达与第二旋转马达各别地转动第一转轴与第二转轴。第 一旋转托架包括多个第一上部支撑件与多个第一下部支撑件。各第一上部支撑件的一端可 旋转地被各第一固定板所支撑，这些第一上部支撑件配置在同一平面以使其在每个水平位 置支撑该基板。第一下部支撑件配置于第一上部支撑件之下。各第一下部支撑件的一端可 旋转地被各第一固定板所支撑。这些第一下部支撑件配置在向一平面以使其在每个水平位 置支撑该基板，其中各第一下部支撑件的转轴较各第一上部支撑件的转轴更接近第一升降 单元。第一皮带构件连接第一转轴与各第一上部支撑件的转轴。第二皮带构件连接第二转 轴与各第一下部支撑件的转轴。第二固定板固设至固定结构。这些第二固定板相邻于第二 升降单元并沿着水平方向等距排列在第一上部位置。第三转轴与第四转轴平行地穿过各 第二固定板的一端且可旋转地被各第二固定板所支撑。第三旋转马达与第四旋转马达各别 地转动第三转轴与第四转轴。第二旋转托架包括多个第二上部支撑件与多个第二下部支撑 件。各第二上部支撑件的一端可旋转地被各第二固定板所支撑，这些第二上部支撑件配置 在同一平面以使其在每一水平位置支撑该基板。第二下部支撑件配置在第二上部支撑件之 下。各第二下部支撑件的一端可旋转地被各第二固定板所支撑。这些第二下部支撑件配置 在同一平面以使其在每一水平位置支撑该基板，其中各第二下部支撑件的转轴较各第二上 部支撑件的转轴接近第二升降单元。第三皮带构件连接第三转轴与各第二上部支撑件的转 轴。第四皮带构件连接第四转轴与各第二下部支撑件的转轴。第一叉式搬运台与第二叉式 搬运台分别被第一升降单元与第二升降单元所支撑。第一叉式搬运台与第二叉式搬运台沿 一垂直方向移动，并分别以第一升降单元与第二升降单元为中心而旋转。第一叉式搬运台 与第二叉式搬运台在基板被固定于第一旋转托架与第二旋转托架处与在基板被配置于转 送轨道处伸长，其中该转送轨道包括多个旋转杆，其以固定间距配置，以使第一叉式搬运 台与第二叉式搬运台穿越这些旋转杆。在本发明的一实施例中，上述的第一升降单元与第二升降单元各包括多个螺杆 (screw rods)，其被第一旋转马达与第二旋转马达所转动。在本发明一实施例中，上述的第一叉式搬运台与第二叉式搬运台包括一第一滑块 与一第二滑块、一第一升降本体与一第二升降本体、多个第一旋转杆与多个第二旋转杆以 及多个第一延长杆与多个第二延长杆。第一滑块与第二滑块螺接至第一螺杆与第二螺杆并 由此而上升与下降。第一升降本体与第二升降本体固设至第一滑块与第二滑块。各第一旋 转杆与各第二旋转杆的一端可旋转地被第一升降本体与第二升降本体所支撑。各第一延长 杆与各第二延长杆的一端通过一旋转单元而旋转地连接于各第一旋转杆的另一端与各第 二旋转杆的另一端。
在本发明的一实施例中，上述的旋转单元包括一第一滑轮(pulley)与一第二滑 轮、一皮带以及一气缸。第一滑轮与第二滑轮被第一旋转杆与第二旋转杆以预设间距而分 隔且可旋转地支撑着。皮带被第一滑轮与第二滑轮所带动而转动。气缸固设于各第一旋转杆与各第二旋转杆，气缸具有一与皮带连接的杆体，其中第二滑轮的转轴同轴地连接于各 第一延长杆的转轴与各第二延长杆转轴。有益效果本发明的基板转送装置，通过第一搬运台与第二搬运台在第一位置与第二位置之 间上升与下降，多个基板能在此装置中进行转送，而使基板在第一和第二旋转托架上的闲 置时间以及基板转送与制程处理时间都能被缩短。再者，第一与第二上部支撑件以及第一与第二下部支撑件通过第一至第四转轴与 第一至第四皮带构件所带动而旋转，因此基板转送装置的旋转结构能予以简化。另外，第一与第二搬运台能够旋转并延伸，以使基板转送装置能被设置在较狭窄 的空间中。此外，一转送轨道能被驱动至一水平方向或一倾斜角度，以使基板能在水平位置 时稳固地配置在该转送轨道上，而在该基板倾斜地配置在该转送轨道上时能使水平顺地流
出ο图1至图3显示已知的基板转送装置的示意图。图4是依照本发明一实施例的一种基板转送装置的结构示意图。图5是图4的基板转送装置的必要构件的结构示意图。图6是图5的基板转送装置的俯视图。
具体实施例方式图7是图5的基板转送装置的左侧视图。图8是图4的基板转送装置的旋转托架的透视图。图9显示图4的基板转送装置的作动示意图。图IOA至图ION显示本发明一实施例的一种基板转送装置的操作方法的示意图。图11是搬运台的透视图。图12A及图12B在结构上显示处于延伸状态的搬运台。依据本发明的一种基板转送装置是用在一制程的缓冲段，其中基板例如是液晶显 示器的玻璃基板，其在一系列的制程例如沉积、蚀刻、剥离、清洁与清洗中被自动地传送。 换句话说，如同图1所显示的，依据本发明的基板转送装置是用在制程中的某些区段，在这 些区段中基板被从一上位工作部分转送至一下位工作部分或是以相反方向进行转送。这一连串处理基板的制程是由基板转送系统以及基板的提供、处理与将基板从 上位工作部分或下位工作部分移出等步骤而构成一种在最短时间内完成的循环周期。已知的基板转送装置所存在的问题即在于一连串制程所需的时间短于操作一已 知的搬运台所需的时间。然而，根据本发明，搬运台的动作速度得以加快以致搬运台的动作 时间短于制程所需时间，且下一制程所需预备的基板亦能及时地完成准备。再者，根据本发明的基板转送装置，操作上部支撑件与下部支撑件以允许基板 可暂时保持在闲置状态的结构可被简化，且基板转送装置的操作特性也被改进。特别是 此基板转送装置的设计与结构能被简化，且此基板转送装置的操作特性与韩国专利第 10-2007-0141641号先前所揭示的上部/下部支撑件的连结结构比较之下已有改善。以下将针对本发明的基板转送装置予以描述。图4是依据本发明一实施例的一种基板转送装置的结构示意图。图IOA至图ION所显示的是依据本发明一实施例的基板转送装置的操作方法。请参考图4以及图IOA至图 10N, 一提供至一第一位置(上部位置)的基板400通过第一搬运台100与第二搬运台200 而被传送至第二位置(下部位置)的高度，且基板400再被传送至一转送轨道300并从该 转送轨道300被移出。首先，第一与第二升降导轨(guides)配置在转送轨道300的相对两侧，且其自第 一位置分布至第二位置。第一搬运台100与第二搬运台200被第一与第二升降导轨所支撑 以进行上升与下降。在本实施例中，此升降结构例如是炼条、慢跑、时限(timing)皮带、滚 珠螺杆或液压缸。在本实施例中，第一与第二升降导轨分别包括第一螺杆101与第二螺杆201，其分 别被第一马达110与第二马达210所转动。一第一旋转托架130与一第二旋转托架230配置在第一螺杆101与第二螺杆201 之间，且两个基板400通过机械手臂(未显示)而被放置在第一旋转托架130与第二旋转 托架230上，且第一旋转托架130与第二旋转托架230在水平位置与垂直位置进行往复运 动。请参考图4至图8，基板转送装置包括多个第一固定板51，其在一垂直方向上以固 定间隔固定至一固定结构510，并相邻于第一位置上的第一升降单元(以下均指第一螺杆 101)。第一转轴41与第二转轴42皆平行地穿过第一固定板51的一端，并可旋转地被固定 结构510所支撑着。第一旋转马达31与第二旋转马达32各别地转动第一转轴41与第二 转轴42。 第旋转托架130包括多个第一上部支撑件131与多个第一下部支撑件132，各第一 上部支撑件131的一端可旋转地被第一固定板51所支撑，这些第一上部支撑件131配置在 同一平面以使其在每个水平位置支撑基板400。第一下部支撑件132配置在第一上部支撑 件131之下。各第一下部支撑件132的一端可旋转地被第一固定板51所支撑。这些第一 部下支撑件132配置在同一平面以使其在每个水平位置能支撑基板400。如图IOA所显示，第一下部支撑件132的转轴较第一上部支撑件131的转轴接近 第一升降单元。如图IOJ所显示，当第一上部支撑件131与第一下部支撑件132向下旋转时，彼此 互相平行而避免了干涉的情形的发生。第一转轴41的一端与第一上部支撑件131的一端通过多个第一皮带构件61而相 互连接。第二转轴42的一端与第一下部支撑件132的一端则通过多个第二皮带构件71而 相互连接。一滑轮(未显示)耦接于第一与第二转轴41、42以及第一上部/下部支撑件131、 132，第一与第二皮带构件61、71因而得以旋转。同时，根据本发明的基板转送装置更包括多个第二固定板52，其在一垂直方向以 固定间距固定至固定结构510，并相邻于第一位置的第二升降单元(以下均指第二螺杆 201)。第三转轴43与第四转轴44平行地穿过第二固定板52的一端，并可旋转地被固定结 构510所支撑。第三旋转马达33与第四旋转马达34各别地转动第三转轴43与第四转轴 44。第二旋转托架230包括多个第二上部支撑件231与多个第二下部支撑件232。各第二上部支撑件231的一端可旋转地被各第二固定板52所支撑。这些第二上支撑件231 配置在同一平面以使其在每个水平位置支撑该基板400。第二下部支撑件232配置在第二 上部支撑件231之下，各第二下部支撑件232的一端可旋转地被各第二固定板52所支撑。 这些第二下部支撑件232配置在同一平面以使其在每个水平位置支撑该基板400。如图IOA所显示，第二下部支撑件232的转轴较第二上部支撑件231的转轴接近 第二升降单元。如图IOJ所显示，当第二上部支撑件231与第二下部支撑件232均向下旋转时，彼 此平行以避免干涉的情形发生。第三转轴43与各第二上部支撑件231通过多个第三皮带构件62而相互连接。第 四转轴44与各第二下部支撑件232通过多个第四皮带构件72而相互连接。一滑轮(未显示)耦接于第三与第四转轴43、44与第二上部/下部支撑件231、 232，以使第三皮带构件62与第四皮带构件72得以转动。第一搬运台100与第二搬运台200具有相同的结构，因此，此结构将于下文中参考 图4、图9、图IOA及图11而予以说明。第一搬运台100与第二搬运台200分别被第一螺杆101与第二螺杆201所支撑， 其沿着一垂直方向移动，并分别相对于第一螺杆101与第二螺杆201而旋转。第一搬运台 100与第二搬运台200具有叉式结构，并能在基板400固定于第一旋转托架130与第二旋转 托架230处以及基板400配置在转送轨道300处伸长。第一搬运台100与第二搬运台200包括一第一滑块102与一第二滑块202、第一升 降本体103与第二升降本体203、多个第一旋转杆104与多个第二旋转杆204以及多个第一 延长杆105与多个第二延长杆205。第一滑块102与第二滑块202各螺接至第一螺杆101 与第二螺杆201并由此上升及下降。第一升降本体103与第二升降本体203各固接至第一 滑块102与第二滑块202。第一旋转杆104与第二旋转杆204的一端可旋转地被第一升降 本体103与第二升降本体203所支撑，且第一延长杆105与第二延长杆205的一端通过一 旋转单元而可旋转地连接在第一旋转杆104与第二旋转杆204的另一端。请参考图7，转轴107可旋转地被第一升降本体103的一对托架108所支撑，且通 过第一旋转马达106所产生的动力带动而旋转。各第一旋转杆104的前端耦接于转轴107 的两端，以使第一旋转杆104与转轴107能同时转动。请参考图11、图12，该旋转单元包括第一滑轮141与第二滑轮142，其可旋转地被 各第一旋转杆104与各第二旋转杆204所支撑并以预定间距而分隔开来。皮带143被第一 滑轮141与第二滑轮142导引且转动。气缸140固设在各第一旋转杆104上与各第二旋转 杆204上且具有一与皮带143连接的杆体140a。第二滑轮142的转轴分别与各第一延长 杆105与各第二延长杆205同轴地连接在一起，以使第一延长杆105与第二滑轮142以及 第二延长杆205与第二滑轮142能一起转动。转送轨道300包括多个旋转杆301与多个滚轮(rollers) 302。旋转杆301以固 定间距配置着，以使具有叉式结构的第一搬运台100与第二搬运台200能穿越这些旋转杆 301。滚轮302耦接在各个旋转杆301上，且基板400配置在这些滚轮302上。请参考图4与图9，该转送轨道300配置在支架(frame) 310上，且支架310被倾 斜滑块311、312所支撑，其中倾斜滑块311、312固设在支架310的底端，且具有两种不同的倾斜角度以使支架310在其上进行滑移。倾斜滑块311、312通过一倾斜气缸320来带动， 以使支架310能在水平方向中倾斜或倾斜一特定角度。上述基板转送装置的操作步骤将于下述进行说明。请参考图4及图10A，在操作a)中，第一、第二上部/下部支撑件131、231、132与 232配置在第一位置的水平方向上，基板400通过机械手臂而供给至各个第一与第二上部 支撑件131与231以及各个第一与第二下部支撑件132与232并位于各支撑件上。在本实施例中，该转送轨道300维持在水平位置，且第一与第二搬运台100、200被 第一螺杆101与第二螺杆201所水平地支撑着。请参考图10B、图10C、图11与图12B，在操作b)中，第一搬运台100通过第一旋转 马达106带动而旋转至一水平状态，而在第一与第二下部支撑件132、232下方的气缸140 进行作动以旋转延长杆105，且使第一搬运台100能够伸长并维持于水平状态。请参考图10D，在操作c)中，第一螺杆101旋转并将第一搬运台100升起，以使第 一搬运台100直接位于第一下部支撑件132与第二下部支撑件232之下。请参考图10E，第 一下部支撑件132与第二下部支撑件232向下旋转，以使基板400转送至第一搬运台100 并配置在各支撑件上。在本实施例中，第一下部支撑件132与第二下部支撑件232通过第二转轴42与第 四转轴44、第二皮带构件71与第四皮带构件72而向下旋转。再者，第一下部支撑件132与第二下部支撑件232直接配置在第一上部支撑件131 与第二上部支撑件231之下。并同时参考图10A，第一下部支撑件132与第二下部支撑件 232的中心转轴配置在第一上部支撑件131与第二上部支撑件231的中心转轴的旋转区域 外。因此，请参考图10J，第上部支撑件131与第二上部支撑件231以及第一下部支撑 件132与第二下部支撑件232于向下旋转时，彼此之间是平行的。请参考图IOF与图10G，在操作d)中，驱动第一螺杆101，且第一搬运台100降下， 基板400便被配置在转送轨道300上。请参考图IOH与图101，第一延长杆105折迭起来以 使第一搬运台100的长度减短，接着，第一旋转杆104向下旋转。其后，请参考图101，倾斜汽缸320开始作动，以使支架310沿着第一倾斜滑块311 与第二倾斜滑块312而倾斜地移动，因而使转送轨道300处于倾斜状态。在此种情况中，包 括留在基板400上的清洗液的液体便会流下至转送轨道400。接着，该转送轨道300继续旋转且基板400便被转送出该转送轨道300。请参考图10F，在操作e)中，当第一搬运台100进行操作d)时，第二螺杆201旋转 并使第二搬运台200上升，且请参考图IOG与图10H，在第一上部支撑件131与第二上部支 撑件231之下的第二搬运台200的长度增加，以使第二搬运台200维持在一水平位置。第 二搬运台200的延伸长度的操作步骤如同第一搬运台100 —般，在此便予以省略。请参考图101至图10L，在操作f)中，第一上部支撑件131与第二上部支撑件231 向下旋转，使在第一上部支撑件131与第二上部支撑件231上的基板400被转送并配置在 第二搬运台200上。在本实施例中，第一上部支撑件131与第二上部支撑件231的旋转动作与第一下 部支撑件132与第二下部支撑件232的操作步骤相同，在此便予以省略。
请参考图10L，在第二搬运台200降下以使基板400配置在转送轨道300之后，第 二延长杆205通过第二旋转马达206的驱动而旋转并折迭。同时请参考图10M，第二旋转 杆204向下旋转。同时请参考图10N，第二螺杆201旋转以使第二搬运台200上升至第二位置。请参考图10M，基板400配置在转送轨道300上，且由于倾斜气缸320作动并通过 一马达(未显示)带动而使转送轨道300倾斜，因此基板400便被转送出转送轨道300。在操作g)中，当第二搬运台200在操作f)之后降低至第二位置，在操作d)中向 下旋转的第一搬运台100上升，且在操作c)与操作f)中向下旋转的第一与第二上部支撑 件131、231以及第一与第二下部支撑件132、232在水平位置旋转，如同图IOK与图IOL中 所显示。并请参考图10M，新的基板400将会被机械手臂(未显示)供给至第一与第二上部 支撑件131、231以及第一与第二下部支撑件132、232。接着，在第一与第二下部支撑件132、232上的基板400会被转送至第一搬运台 100。如此，图ION便与图IOF属于相同的操作区段，而上述操作a)至操作g)将会再重复 进行一次。基于上述，在本发明的基板转送装置中，基板400通过第一与第二搬运台100、 200，其包括能伸长的第一与第二上部/下部支撑件，而在第一位置与第二位置之间移动而 进行转送。因此多个基板能在此狭窄的空间中同时进行水平方向与垂直方向的转送。特别是，第一与第二下部支撑件132、232直接配置在第一与第二上部支撑件131、 231之下。如图IOA所显示，第一与第二下部支撑件132、232的中心转轴配置在第一与第 二上部支撑件131、231的中心转轴的旋转区域外。请参考图10J，第一与第二上部支撑件 131、231以及第一与第二下部支撑件132、232如图IOJ所显示的彼此平行地向下旋转，因而 此基板转送装置能设置在较为狭窄的空间，而不同于本案的前申请案中所揭示的基板转送 装置，其第一与第二上部支撑件131、231以及第一与第二下部支撑件132、232彼此交错且 需要较大的空间。再者，第一与第二上部支撑件131、231以及第一与第二下部支撑件132、232通过 第一至第四转轴41 44以及第一至第四皮带构件61、62、71与72所带动而旋转，因此本 发明的基板转送装置的旋转结构能予以简化。
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权利要求
1. 一种基板转送装置，由此将提供至一第一上部位置的一基板转送至一第二下部位 置，再将该基板移入至一转送轨道且自该转送轨道移出，该基板转送装置包括一第一升降单元与一第二升降单元，其各自该第一上部位置配置至该第二下部位置且 位于该转送轨道(300)的相面对的两侧；多个第一固定板(51)，固设至一固定结构，所述第一固定板相邻于该第一升降单元并 沿着水平方向而等距排列在该第一上部位置；一第一转轴Gl)与一第二转轴(42)，平行地穿过各该第一固定板(51)的一端且可旋 转地被各该第一固定板(51)所支撑着；一第一旋转马达(31)与一第二旋转马达(32)，其各别地转动该第一转轴与该第 二转轴(42)；一第一旋转托架，包括多个第一上部支撑件(131)，各该第一上部支撑件(131)的一端可旋转地被各该第一 固定板(51)所支撑，所述第一上部支撑件(131)配置在同一平面以使其在每个水平位置支 撑该基板；以及多个第一下部支撑件(132)，配置于所述第一上部支撑件(131)之下，各该第一下部支 撑件(132)的一端可旋转地被各该第一固定板(51)所支撑，所述第一下部支撑件(132)配 置在同一平面以使其在每个水平位置支撑该基板，其中各该第一下部支撑件(13 的转轴 较各该第一上部支撑件(131)的转轴更接近该第一升降单元；多个第一皮带构件(61)，连接该第一转轴Gl)与各该第一上部支撑件(131)的转轴； 多个第二皮带构件(71)，连接该第二转轴0 与各该第一下部支撑件(13 的转轴； 多个第二固定板(52)，固设至该固定结构，所述第二固定板(52)相邻于该第二升降单 元并沿着一水平方向而等距排列在该第一上部位置；一第三转轴与一第四转轴(44)，平行地穿过各该第二固定板(5 的一端且可旋 转地被各该第二固定板(5 所支撑着；一第三旋转马达(3 与一第四旋转马达(34)，各别地转动该第三转轴与该第四 转轴(44)；一第二旋转托架030)，包括多个第二上部支撑件031)，各该第二上部支撑件031)的一端可旋转地被各该第二 固定板(5 所支撑，所述第二上部支撑件(231)配置在同一平面以使其在每一水平位置支 撑该基板；多个第二下部支撑件032)，配置在所述第二上部支撑件(231)之下，各该第二下部支 撑件(23 的一端可旋转地被各该第二固定板(5 所支撑，所述第二下部支撑件(232)配 置在同一平面以使其在每一水平位置支撑该基板，其中各该第二下部支撑件032)的转轴 较各该第二上部支撑件031)的转轴更接近该第二升降单元；多个第三皮带构件(62)，连接该第三转轴与各该第二上部支撑件031)的转轴； 多个第四皮带构件(72)，连接该第四转轴04)与各该第二下部支撑件032)的转轴；以及一第一叉式搬运台(100)与一第二叉式搬运台000)，分别被该第一升降单元与该第 二升降单元所支撑，该第一叉式搬运台(100)与该第二叉式搬运台(200)沿一垂直方向移动，并分别以该第一升降单元与该第二升降单元为中心而旋转，该第一叉式搬运台(100) 与该第二叉式搬运O00)台在该基板被固定于该第一旋转托架(130)与该第二旋转托架 (230)处与在该基板被配置于该转送轨道(300)处伸长，其中该转送轨道(300)包括多个旋 转杆(301)，其以固定间距配置，以使该第一叉式搬运台(100)与该第二叉式搬运台(200) 穿越所述旋转杆。
2.根据权利要求1所述的基板转送装置，其中该第一升降单元与该第二升降单元各包 括多个螺杆(101，201)，所述螺杆(101，201)分别被该第一旋转马达(110)与该第二旋转马 达(210)所转动。
3.根据权利要求2所述的基板转送装置，其中该第一叉式搬运台(100)与该第二叉式 搬运台(200)包括一第一滑块(10 与一第二滑块002)，螺接至该第一螺杆与该第二螺杆并由此上升 与下降；一第一升降本体(10 与一第二升降本体003)，分别固设至该第一滑块与该第二滑块；多个第一旋转杆(104)与多个第二旋转杆004)，各该第一旋转杆(104)与各该第二旋 转杆Q04)的一端可旋转地被该第一升降本体与该第二升降本体所支撑；以及多个第一延长杆(10 与多个第二延长杆O05)，各该第一延长杆(10 与各该第二延 长杆(20 的一端通过一旋转单元而可旋转地连接于各该第一旋转杆(104)的另一端与各 该第二旋转杆O04)的另一端。
4.根据权利要求3所述的基板转送装置，其中该旋转单元包括一第一滑轮(141)与一第二滑轮(142)，被该第一旋转杆(104)与第二旋转杆(204)以 预设间距分隔并可旋转地支撑着；一皮带(143)，被该第一滑轮(141)与该第二滑轮(14 所带动而转动；以及一气缸(140)，固设于各该第一旋转杆(104)与各该第二旋转杆004)，该气缸(140) 具有一与该皮带(14 连接的杆体(140a)，其中该第二滑轮(14 的转轴同轴地连接于各 该第一延长杆(10 的转轴与各该第二延长杆O05)的转轴。
全文摘要
与常规基板转送装置有关的问题是，当第一基板(1)安装在供给侧搬运台(11)且由上部工作台(10)转送至下部工作台(20)时，已进行了紫外线清洁过程的第二基板(2)以闲置状态保留在上部工作台(10)上，如图2所示，使通过该供给及推送部(15)来供应另一基板时被延迟，生产性下降。本发明包括基板转送装置，其中供给至第一(上部)位置之基板转送至第二(下部)位置，然后移动至转送轨道且自该转送轨道移出；该基板转送装置构成为使第一与第二上部旋转支撑件以及第一与第二下部旋转支撑件在其互相垂直地隔开的状态下旋转。
文档编号H01L21/68GK102113108SQ200980126390
公开日2011年6月29日 申请日期2009年7月9日 优先权日2008年7月11日
发明者申东赫 申请人:茵钠泰克股份有限公司