专利名称：Eeprom中调节隔离结构高度的方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体集成电路制造工艺，特别是涉及一种EEPROM的制造工艺。
背景技术：
一些半导体器件，例如EEPR0M，包括不同电压的器件实现各种功能。工作电压较 低(如5V)的逻辑器件主要运用于外围电路以及输入输出端口，又称为低压器件。工作电 压较高(如大于12V)的高压器件运用于存储模块，提供实现擦、写操作的高压。如何集成 低压器件与高压器件，特别是如何调节低压器件区与高压器件区的隔离结构高度是工艺集 成的难点。对于上述半导体器件，例如EEPR0M，通常高压器件的大部分区域要求较厚的栅氧 化层，而低压器件要求较薄的栅氧化层。其制造工艺通常为第1步，在整个器件的高压区和低压区都生长一层较厚的栅氧化层，其厚度适合 高压器件，称为高压栅氧化层；第2步，用阻挡层(如光刻胶)保护高压区，然后采用湿法腐蚀工艺去除低压区的 栅氧化层；第3步，在器件的低压区生长一层较薄的栅氧化层，其厚度适合低压器件，称为低 压栅氧化层；此时由于高压区被阻挡层所保护，不会生长栅氧化层；第4步，去除高压区的阻挡层。上述方法第2步中，湿法腐蚀工艺同时会作用于低压区的隔离结构。所述隔离结 构通常为二氧化硅，以场氧隔离(LOCOS)或浅槽隔离(STI)工艺制造。这样经过上述4步 制造器件的高压区和低压区的栅氧化层之后，低压区的隔离结构高度将明显比高压区的隔 离结构要低。器件在高压区和低压区的不同的隔离结构高度对于整个器件是不利的，隔离 结构过高，会造成多晶刻蚀残留的危险；隔离结构过低，会导致整个器件漏电。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种EEPROM中调节隔离结构高度的方法，可 以保持EEPROM器件的高压区和低压区的隔离结构为同一高度。为解决上述技术问题，本发明EEPROM中调节隔离结构高度的方法，包括如下步 骤第1步，在EEPROM的高压区和低压区都生长一层高压栅氧化层；第2步，在硅片表面旋涂光刻胶，曝光、显影后仅暴露出EEPROM的高压区的隧穿窗 口和隔离结构，采用湿法腐蚀工艺去除掉所述暴露区域的部分二氧化硅，去除硅片表面的 光刻胶；第3步，在EEPROM的高压区和低压区都淀积一层多晶硅；第4步，采用光刻和刻蚀工艺去除EEPROM低压区的多晶硅和高压栅氧化层；第5步，在EEPROM的低压区生长一层低压栅氧化层。
对于EEPROM而言，利用掩膜版对隧穿窗口(即隧穿氧化层)进行刻蚀为现有步 骤，本发明巧妙地将这一步骤加以利用，使其不仅对隧穿窗口进行刻蚀，而且对高压区的隔 离结构进行刻蚀，相当于在这一步中降低了高压区的隔离结构的高度。这样高压区的隔离 结构高度就与低压区的隔离结构高度一致，有利于整个EEPROM器件的形貌改进，从而提高 数据保持特性。本发明所述方法
图1 图5是本发明所述方法的各步骤示意图。图中附图标记说明10为高压区硅衬底；11为高压区隔离结构；20为低压区硅衬底；21为低压区隔离 结构；30为高压栅氧化层；30a为隧穿氧化层；40为光刻胶；50为多晶硅；60为低压栅氧化层。
具体实施例方式本发明EEPROM中调节隔离结构高度的方法包括如下步骤EEPROM分为高压区和低压区两部分，其中高压区用于制造高压器件，低压区用于 制造低压器件。第1步，请参阅图1，高压区的硅衬底10中具有隔离结构11，低压区的硅衬底20 中具有隔离结构21，隔离结构11、21为采用场氧隔离或浅槽隔离制造的介质材料，优选为 二氧化硅。此时隔离结构11、21具有大致相同的高度。在EEPROM的高压区和低压区都生长一层高压栅氧化层30，其厚度适合高压器件 的大部分区域。第2步，请参阅图2，在硅片表面旋涂光刻胶40，曝光、显影后光刻胶40仅暴露出 EEPROM的高压区的隧穿窗口和隔离结构11。采用湿法腐蚀工艺去除掉所述暴露区域的部 分二氧化硅，即去除掉所述隧穿窗口中的部分高压栅氧化层30，同时去除掉部分的所述隔 离结构11。最后去除硅片表面的光刻胶40。其中对隧穿窗口的高压栅氧化层进行刻蚀，是为了形成EEPROM高压区的存储晶 体管的隧穿氧化层30a，隧穿氧化层30a的厚度小于高压栅氧化层30的厚度。电子和/或 空穴将穿越隧穿氧化层30a，实现EEPROM的写入或擦除。此时高压区的隔离结构11被部分刻蚀，因此其高度低于低压区的隔离结构21。第3步，请参阅图3，在EEPROM的高压区和低压区都淀积一层多晶硅50，这一层多 晶硅50作为EEPROM的浮栅的刻蚀材料。第4步，请参阅图4，采用光刻和刻蚀工艺去除EEPROM低压区的多晶硅50和高压 栅氧化层30。例如先在硅片表面旋涂光刻胶，曝光、显影后暴露出EEPROM的低压区，而高压区 则仍被光刻胶所覆盖。接着采用干法等离子体刻蚀工艺去除低压区的多晶硅50，再采用湿 法腐蚀工艺去除低压区的高压栅氧化层30。最后去除覆盖在高压区多晶硅50上方的光刻 胶。这一步中，由于湿法腐蚀工艺同时作用于低压区的隔离结构21，因此低压区的隔离结构21也被部分刻蚀而导致高度降低。高压区的隔离结构11与低压区的隔离结构21 因此具有了大致相同的高度。第5步，请参阅图5，在EEPROM的低压区生长一层低压栅氧化层60。此时由于高 压区仍为多晶硅50所覆盖，因此高压区不会生长二氧化硅。综上所述，本发明公开了一种EEPROM中调节隔离结构高度的方法，利用了现有的 对隧穿窗口进行刻蚀的步骤，使其同时对高压区的隔离结构11进行刻蚀，从而降低了高压 区的隔离结构11的高度。这样高压区的隔离结构11便与第4步后低压区的隔离结构21 具有大致相同的高度。其中各方法、步骤、工艺仅为示意，在不违反本发明思想的前提下，本领域一般技 术人员可以做等同替换，则仍属于本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种EEPROM中调节隔离结构高度的方法，其特征是，包括如下步骤第1步，在EEPROM的高压区和低压区都生长一层高压栅氧化层；第2步，在硅片表面旋涂光刻胶，曝光、显影后仅暴露出EEPROM的高压区的隧穿窗口和 隔离结构，采用湿法腐蚀工艺去除掉所述暴露区域的部分二氧化硅，去除硅片表面的光刻 胶；第3步，在EEPROM的高压区和低压区都淀积一层多晶硅；第4步，采用光刻和刻蚀工艺去除EEPROM低压区的多晶硅和高压栅氧化层；第5步，在EEPROM的低压区生长一层低压栅氧化层。
2.根据权利要求1所述的EEPROM中调节隔离结构高度的方法，其特征是，所述高压区 的隔离结构和低压区的隔离结构均为二氧化硅材料。
3.根据权利要求1所述的EEPROM中调节隔离结构高度的方法，其特征是，所述方法第 4步中，先在硅片表面旋涂光刻胶，曝光、显影后暴露出EEPROM的低压区，而高压区则仍被 光刻胶所覆盖；接着采用干法等离子体刻蚀工艺去除低压区的多晶硅；再采用湿法腐蚀工 艺去除低压区的高压栅氧化层；最后去除覆盖在高压区多晶硅上方的光刻胶。
4.根据权利要求3所述的EEPROM中调节隔离结构高度的方法，其特征是，所述方法第 4步中，湿法腐蚀工艺同时作用于低压区的隔离结构，使低压区的隔离结构也被部分刻蚀而 导致高度降低。
全文摘要
本发明公开了一种EEPROM中调节隔离结构高度的方法，包括如下步骤第1步，在EEPROM的高压区和低压区都生长一层高压栅氧化层；第2步，在硅片表面旋涂光刻胶，曝光、显影后仅暴露出EEPROM的高压区的隧穿窗口和隔离结构，采用湿法腐蚀工艺去除掉所述暴露区域的部分二氧化硅，去除硅片表面的光刻胶；第3步，在EEPROM的高压区和低压区都淀积一层多晶硅；第4步，采用光刻和刻蚀工艺去除EEPROM低压区的多晶硅和高压栅氧化层；第5步，在EEPROM的低压区生长一层低压栅氧化层。本发明使高压区的隔离结构便与低压区的隔离结构具有大致相同的高度。
文档编号H01L21/762GK102130064SQ20101002728
公开日2011年7月20日 申请日期2010年1月18日 优先权日2010年1月18日
发明者陈广龙, 陈昊瑜 申请人:上海华虹Nec电子有限公司