专利名称：集成双纵向沟道soi ldmos器件单元的制作方法
技术领域：
本发明属于微电子技术领域，涉及一种集成双纵向沟道(DVC) SOI (绝缘层上半导 体)LDMOS (横向双注入金属-氧化物-半导体场效应晶体管)器件单元。
背景技术：
SOI LDMOS器件由于其较高的集成度、较高的工作频率和温度、较强的抗辐照能 力、极小的寄生效应、较低的成本以及较高的可靠性，作为无触点高频功率电子开关或功率 放大器、驱动器在智能电力电子、高温环境电力电子、空间电力电子、交通工具电力电子和 射频通信等领域具有广泛应用。集成纵向沟道SOI nLDMOS是在SOI衬底的n_型顶层半导 体上形成场氧化层；在近源极侧刻蚀成一个深槽并在槽壁上生长一纵向薄栅氧化层，然后 在槽中覆盖重η掺杂的低阻多晶硅并引出栅极金属引线；在临近纵向栅氧化层的顶层半导 体上表面采用ρ—、η+两次离子注入形成短沟道nMOSFET，附加p+离子注入掺杂实现p-well 欧姆接触，由n+、p+区引出源极金属引线；在近漏极端通过离子注入形成η缓冲区，在该掺杂 区刻槽进行η+离子注入形成漏极区并引出金属漏极；在阱区下面自纵向氧化层与顶层半导 体界面开始到缓冲区的边界的顶层半导体部分为漂移区。该SOI LDMOS器件导通时，其导 电沟道处于纵向栅氧化层与顶层半导体界面的硅侧表面，且为纵向沟道，漂移区与阱区形 成的ρη结反向耗尽区使得电流在该区域的路径变窄，器件通态电阻较大，通态压降较高， 通态电流较小，而通态功耗高，器件工作效率低，易发热，不利于提高器件和系统可靠性、节 省能源与保护环境。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种具有双纵向导电沟道、台阶式 体漏极的SOI LDMOS器件单元，通过引入一条新的导电沟道显著改善集成纵向沟道SOI LDMOS器件通态性能，提高器件的可靠性。本发明包括半导体衬底、隐埋氧化层、轻掺杂漂移区。隐埋氧化层覆盖在半导体衬 底上，轻掺杂漂移区设置在隐埋氧化层上。轻掺杂漂移区的一侧设置有LDMOS的缓冲区，另 一侧设置有第一低阻多晶硅栅，第一低阻多晶硅栅与轻掺杂漂移区之间设置有纵向栅氧化层。轻掺杂漂移区顶部设置有阱区和槽氧区，所述的阱区为异性较重掺杂半导体区， 槽氧区为氧化层，阱区的一侧紧邻纵向栅氧化层设置，另一侧紧邻槽氧区设置；阱区内设置 有第一源极、第二源极和欧姆接触区，其中欧姆接触区设置在阱区中部，第一源极和第二源 极分设在欧姆接触区的两侧，第一源极的一侧与纵向栅氧化层相接、另一侧与欧姆接触区 相接，第二源极的一侧与欧姆接触区相接；槽氧区的中部嵌入第二低阻多晶硅栅，第二低阻 多晶硅栅一侧的槽氧区为第一槽氧区、另一侧的槽氧区为第二槽氧区，第二源极的另一侧 与第一槽氧区相接。LDMOS的缓冲区的一侧紧邻轻掺杂漂移区的侧边设置，另一侧与台阶式漏极区相接；第一低阻多晶硅栅、纵向栅氧化层、轻掺杂漂移区、LDMOS的缓冲区以及台阶式漏极区 的底部均与隐埋氧化层相接。第一低阻多晶硅栅的顶部全部、纵向栅氧化层的顶部全部以 及第一源极顶部的一部分覆盖有第一场氧化层，第二源极顶部的一部分、第一槽氧区的顶 部全部以及第二低阻多晶硅栅顶部靠近第一槽氧区的一部分覆盖有第二场氧化层，轻掺杂 漂移区的顶部、LDMOS的缓冲区的顶部、台阶式漏极区顶部的一部分、第二槽氧区的顶部全 部以及第二低阻多晶硅栅顶部靠近第二槽氧区的一部分覆盖有第三场氧化层；第一源极顶 部的其余部分、第二源极顶部的其余部分以及欧姆接触区的顶部覆盖金属层作为源极；台 阶式漏极区其余部分的顶部表面上覆盖金属层作为漏极；在第一低阻多晶硅栅的表面和第 二低阻多晶硅栅其余部分的顶部表面覆盖金属层，并通过金属互连线相连作为栅电极。本发明在集成纵向沟道SOI LDMOS阱区与漂移区间刻蚀一浅槽，并在其内设置氧 化层和多晶硅栅，在阱区与浅槽侧设置另一个源极形成了集成双纵向沟道SOI LDMOS器件 单元。该器件在导通时，将有两条纵向导电沟道，且避免了阱区与漂移区间的纵向反向pn 结形成的耗尽层，扩展了器件的导电电流路径，提高了通态电流，降低通态电阻和通态压 降，从而降低了通态功耗，改善器件的耐高温特性；同时由于增加了一栅极，栅极电压对器 件的通态电流的作用变大，即器件的跨导得到了提高。另一方面，器件在截态时，浅槽能够 消除漂移区与阱区表面峰值电场，适当的优化槽氧厚度可以提高器件的耐压。
图1为本发明的结构示意图； 图2为图1的俯视图3为图1的A-A截面示意图； 图4为图1的B-B截面示意图。
具体实施例方式如图1、2、3和4所示，一种集成纵向双沟道SOI nLDMOS器件单元包括半导体衬 底(1)，半导体衬底(1)上覆盖有隐埋氧化层O)，隐埋氧化层( 上设置有轻掺杂漂移区 (14)。轻掺杂漂移区(14)的一侧设置成一个同型较重掺杂半导体区作为LDMOS的缓冲区 (16)，另一侧设置有N型重掺杂的第一低阻多晶硅栅(3)，第一低阻多晶硅栅(3)与轻掺杂 漂移区(14)之间设置有纵向栅氧化层G)。在轻掺杂漂移区(14)顶部设置有阱区( 和槽氧区，阱区( 为异性较重掺杂半 导体区，槽氧区为氧化层，阱区(5)的一侧紧邻纵向栅氧化层(4)设置，另一侧紧邻槽氧区 设置；阱区(5)内设置有第一源极(6)、第二源极(11)和欧姆接触区(10)，第一源极(6)和 第二源极(U)为异型重掺杂形成，欧姆接触区(10)设置在阱区(5)中部，第一源极(6)和 第二源极(11)分设在欧姆接触区(10)的两侧，第一源极(6)的一侧与纵向栅氧化层(4) 相接、另一侧与欧姆接触区(10)相接，第二源极(11)的一侧与欧姆接触区(10)相接；槽氧 区的中部嵌入N型重掺杂的第二低阻多晶硅栅(12)，第二低阻多晶硅栅(1 一侧的槽氧区 为第一槽氧区(13-1)、另一侧的槽氧区为第二槽氧区(13-2)，第二源极(11)的另一侧与第 一槽氧区(13-1)相接。LDMOS的缓冲区(16)的一侧紧邻轻掺杂漂移区(14)的侧边设置，另一侧与台阶式漏极区(17)相接；第一低阻多晶硅栅(3)、纵向栅氧化层0)、轻掺杂漂移区(14)、LDM0S 的缓冲区(16)以及台阶式漏极区(17)的底部均与隐埋氧化层(2)相接。第一低阻多晶硅栅(3)的顶部全部、纵向栅氧化层的顶部全部以及第一源极 (6)顶部的一部分覆盖有第一场氧化层(8-1)，第二源极(11)顶部的一部分、第一槽氧区 (13-1)的顶部全部以及第二低阻多晶硅栅(1 顶部靠近第一槽氧区(13-1)的一部分覆盖 有第二场氧化层(8-2)，轻掺杂漂移区(14)的顶部、LDMOS的缓冲区(16)的顶部、台阶式漏 极区(17)顶部的一部分、第二槽氧区(13- 的顶部全部以及第二低阻多晶硅栅(1 顶部 靠近第二槽氧区(13- 的一部分覆盖有第三场氧化层(8-3)；第一源极(6)顶部的其余部 分、第二源极(U)顶部的其余部分以及欧姆接触区(10)的顶部覆盖金属层作为源极(9)； 台阶式漏极区(17)其余部分的顶部表面上覆盖金属层作为漏极(1 ；在第一低阻多晶硅 栅(3)的表面和第二低阻多晶硅栅(1 其余部分的顶部表面覆盖金属层，并通过金属互连 线相连作为栅电极(7)。将图1 4中的η和ρ对换则可以得到集成纵向双沟道SOI pLDMOS器件单元结构。
权利要求
1.集成双纵向沟道SOI LDMOS器件单元，包括半导体衬底(1)、隐埋氧化层O)、轻掺杂 漂移区(14)，隐埋氧化层( 覆盖在半导体衬底(1)上，轻掺杂漂移区(14)设置在隐埋氧 化层( 上，其特征在于轻掺杂漂移区(14)的一侧设置有LDMOS的缓冲区(16)，另一侧 设置有第一低阻多晶硅栅(3)，第一低阻多晶硅栅(3)与轻掺杂漂移区(14)之间设置有纵 向栅氧化层⑷；在轻掺杂漂移区(14)顶部设置有阱区( 和槽氧区，所述的阱区( 为异性较重掺杂 半导体区，槽氧区为氧化层，阱区(5)的一侧紧邻纵向栅氧化层(4)设置，另一侧紧邻槽氧 区设置；阱区(5)内设置有第一源极(6)、第二源极(11)和欧姆接触区(10)，所述的第一源 极(6)和第二源极(11)为异型重掺杂形成，欧姆接触区(10)设置在阱区(5)中部，第一源 极(6)和第二源极(11)分设在欧姆接触区(10)的两侧，第一源极(6)的一侧与纵向栅氧 化层(4)相接、另一侧与欧姆接触区(10)相接，第二源极(11)的一侧与欧姆接触区(10) 相接；槽氧区的中部嵌入第二低阻多晶硅栅(12)，第二低阻多晶硅栅(1 一侧的槽氧区为 第一槽氧区(13-1)、另一侧的槽氧区为第二槽氧区(13-2)，第二源极(11)的另一侧与第一 槽氧区(13-1)相接；LDMOS的缓冲区(16)的一侧紧邻轻掺杂漂移区(14)的侧边设置，另一侧与台阶式漏极 区(17)相接；第一低阻多晶硅栅(3)、纵向栅氧化层0)、轻掺杂漂移区(14)、LDM0S的缓冲 区(16)以及台阶式漏极区(17)的底部均与隐埋氧化层(2)相接；第一低阻多晶硅栅(3) 的顶部全部、纵向栅氧化层的顶部全部以及第一源极(6)顶部的一部分覆盖有第一场 氧化层(8-1)，第二源极(11)顶部的一部分、第一槽氧区(13-1)的顶部全部以及第二低阻 多晶硅栅(1 顶部靠近第一槽氧区(13-1)的一部分覆盖有第二场氧化层(8-2)，轻掺杂漂 移区(14)的顶部、LDMOS的缓冲区(16)的顶部、台阶式漏极区(17)顶部的一部分、第二槽 氧区(13- 的顶部全部以及第二低阻多晶硅栅(1 顶部靠近第二槽氧区(13- 的一部 分覆盖有第三场氧化层(8-3)；第一源极(6)顶部的其余部分、第二源极(11)顶部的其余 部分以及欧姆接触区(10)的顶部覆盖金属层作为源极(9)；台阶式漏极区(17)其余部分 的顶部表面上覆盖金属层作为漏极(15)；在第一低阻多晶硅栅(3)的表面和第二低阻多晶 硅栅(12)其余部分的顶部表面覆盖金属层，并通过金属互连线相连作为栅电极(7)。
全文摘要
本发明涉及一种集成双纵向沟道SOI LDMOS器件单元。现有产品限制了器件结构与电学特性的改善。本发明中隐埋氧化层将半导体基片分为半导体衬底和轻掺杂漂移区，轻掺杂漂移区两侧分别设置LDMOS的缓冲区和第一低阻多晶硅栅，第一低阻多晶硅栅与轻掺杂漂移区之间设置有纵向栅氧化层。在轻掺杂漂移区顶部设置有阱区和槽氧区，阱区内设置有两个源极和欧姆接触区，槽氧区内嵌入第二低阻多晶硅栅。器件上部设置有三个场氧化层以及金属层。本发明在阱区与漂移区间引入浅槽栅，增加一条纵向导电沟道，提高了器件的跨导和通态电流，降低了通态电阻和通态压降，从而降低了通态功耗，改善了器件的耐高温特性和耐压性能，提高了器件的可靠性。
文档编号H01L29/78GK102097482SQ20101061714
公开日2011年6月15日 申请日期2010年12月31日 优先权日2010年12月31日
发明者张海鹏, 李 浩, 许生根, 陈波 申请人:杭州电子科技大学