专利名称：等离子刻蚀机的高压线圈固定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及等离子刻蚀设备，尤其涉及等离子刻蚀机的高压线圈固定装置。
技术背景太阳能是一种辐射能，它必须借助于能量转换器才能变换为电能。这个把太阳能 转换为电能的能量转换器，就是人们俗称的太阳能电池。P-N结是晶体硅太阳能电池的核心 部分，没有P-N结，便不能产生光电流，也就不能成为太阳能电池。扩散是硅片制作P-N结 的一种方式，然而在扩散过程中，硅片周边表面也有扩散层形成。硅片周边表面的扩散层会 使电池上下电极形成短路环，必须将其去除。周边上存在任何微小的局部短路，都会使电池 并联电阻下降，以致成为废品。去除周边扩散层的方法即为刻蚀，刻蚀效果的好坏，直接影 响成品电池的漏电流大小，刻蚀是影响电池功率和品质的重要因素。目前，已有的刻蚀方法有两种，等离子体刻蚀和激光刻蚀。等离子体边缘电绝缘刻 蚀是将扩散后的硅片压成整齐的一叠，用专用夹具固定在聚四氟乙烯片中间，使每个硅片 漏出边缘以外，然后一起放入等离子体刻蚀机，利用等离子体刻蚀机里的氟离子对硅片边 缘进行化学腐蚀，除去边缘的扩散层，达到绝缘刻蚀的目的。目前，在太阳能电池制造工艺 中，等离子刻蚀机是太阳能电池生产中的关键设备之一。在等离子体刻蚀过程中，太阳能电 池片在石英反应管内，由于工艺气体在经过射频(RF)电源所设定功率经由高压线圈提供 的电场，解离出部分气体及等量的带正负电荷粒子组成的等离子体，产生辉光放电现象。高 压线圈在石英反应管中的安装是否稳定可靠不仅直接影响到石英反应管的使用寿命，而且 影响到等离子刻蚀机的刻蚀质量。在现有的刻蚀机中，高压线圈的固定装置如图1、图2所 示，它包括高压线圈1、线圈骨架2和尼龙扎带3，所述线圈骨架2由底座21和两根对称分 布的光滑立柱22组成，两根光滑立柱22对称地固定在底座21上，高压线圈1用尼龙扎带 3固定在线圈骨架2的光滑立柱22上，这样的固定结构，线圈骨架2的刚度不高，尤其是两 根光滑立柱22之间的刚度更低，高压线圈1用尼龙扎带3固定在线圈骨架2的光滑立柱22 上不仅会变形，而且等离子刻蚀机在刻蚀过程中要不断地释放出高压辉光，尼龙扎带3长 期在高压辉光照射环境中很容易老化，通常使用6 8个月尼龙扎带3就会出现脆化断裂 现象，导致高压线圈1脱离线圈骨架2，出现这一现象不仅直接影响石英反应管内的磁场强 度和分布均勻性，而且高压线圈1在脱离线圈骨架2的过程中会碰撞石英反应管，严重时会 导致石英反应管破损，导致等离子刻蚀机无法正常工作
实用新型内容
为了克服现有等离子刻蚀机由于高压线圈固定不可靠而带来的不足，本实用新型 提供了一种等离子刻蚀机的高压线圈固定装置。采用这种结构的高压线圈固定装置，能使 高压线圈得以稳固地固定，避免了因高压线圈松动损坏石英反应管的事故发生，从而延长 了石英反应管的使用寿命，提高了等离子刻蚀机的使用可靠性。本实用新型所采用的技术方案是[0006]所述等离子刻蚀机的高压线圈固定装置，包括高压线圈和线圈骨架，其特征是所 述线圈骨架包括底端连接环、带槽立柱和顶端连接环，在底端连接环和顶端连接环之间均 勻地设有三根以上带槽立柱，在每根带槽立柱上等间距地设有容线槽，高压线圈的绕组内 圈压贴在带槽立柱上的容线槽中，在带槽立柱的外侧设有条状压板，在条状压板上设有与 高压线圈相对应的压线槽，条状压板与带槽立柱之间由螺钉固定连接成一体。进一步，在底端连接环和顶端连接环之间均勻地设有3根带槽立柱。 进一步，所述线圈骨架和条状压板的材质为耐高温抗光辐射的材料。更进一步，所述耐高温抗光辐射的材料为陶瓷或胶木。由于本实用新型采用了刚度较好的线圈骨架与条状压板来固定高压线圈，高压线 圈的绕组置于带槽立柱的容线槽中，并由条状压板上的压线槽压紧，且带槽立柱与条状压 板之间用螺钉来固定，在使用过程中，高压线圈既不会变形，也不会脱离线圈骨架，石英反 应管内的磁场强度不仅稳定，而且分布均勻；条状压板与带槽立柱均采用耐高温抗光辐射 的材料，这样就延长了整个高压线圈固定装置的使用寿命，从根本上消除了高压线圈的绕 组脱离线圈骨架而发生撞击石英反应管的事故，石英反应管不会因撞击而破损，保证了石 英反应管的正常使用寿命，从而提高了等离子刻蚀机的使用可靠性，节约了生产成本。它克 服了现有高压线圈固定装置中用尼龙扎带固定线圈存在的缺点。
图1和图2是现有高压线圈的固定装置结构示意图；其中，图2是图1的俯视图；图3和图4是本实用新型的结构示意图；其中，图4是图3的A-A剖视图；图5是本实用新型中线圈骨架和条状压板的结构示意图。图中1_高压线圈；2-线圈骨架；21-底座；22-光滑立柱；23-底端连接环；24-带 槽立柱；25-顶端连接环；26-容线槽；3-尼龙扎带；4-条状压板；41-压线槽；5-螺钉。
具体实施方式
以下结合附图详细说明本实用新型的具体方式所述等离子刻蚀机的高压线圈固定装置，如图3 图5所示，它包括高压线圈1和 线圈骨架2，所述线圈骨架2包括底端连接环23、带槽立柱24和顶端连接环25，在底端连接 环23和顶端连接环25之间均勻地设有三根带槽立柱24，在每根带槽立柱24上等间距地设 有容线槽26，高压线圈1的绕组内圈压贴在带槽立柱24上的容线槽26中，在带槽立柱24 的外侧设有条状压板4，在条状压板4上设有与高压线圈1相对应的压线槽41，条状压板4 与带槽立柱24之间由螺钉5固定连接成一体，所述线圈骨架2和条状压板4的材质为陶瓷 或胶木。
权利要求一种等离子刻蚀机的高压线圈固定装置，包括高压线圈(1)和线圈骨架(2)，其特征是所述线圈骨架(2)包括底端连接环(23)、带槽立柱(24)和顶端连接环(25)，在底端连接环(23)和顶端连接环(25)之间均匀地设有三根以上带槽立柱(24)，在每根带槽立柱(24)上等间距地设有容线槽(26)，高压线圈(1)的绕组内圈压贴在带槽立柱(24)上的容线槽(26)中，在带槽立柱(24)的外侧设有条状压板(4)，在条状压板(4)上设有与高压线圈(1)相对应的压线槽(41)，条状压板(4)与带槽立柱(24)之间由螺钉(5)固定连接成一体。
2.根据权利要求1所述等离子刻蚀机的高压线圈固定装置，其特征是在底端连接环 (23)和顶端连接环(25)之间均勻地设有三根带槽立柱(24)。
3.根据权利要求1所述等离子刻蚀机的高压线圈固定装置，其特征是所述线圈骨架 (2)和条状压板⑷的材质为耐高温抗光辐射的材料。
4.根据权利要求3所述等离子刻蚀机的高压线圈固定装置，其特征是所述耐高温抗 光辐射的材料为陶瓷或胶木。
专利摘要一种离子刻蚀机的高压线圈固定装置，其线圈骨架包括底端连接环、带槽立柱和顶端连接环，在底端连接环和顶端连接环之间均匀地设有三根以上带槽立柱，在每根带槽立柱上等间距地设有容线槽，在带槽立柱的外侧设有条状压板，在条状压板上设有与高压线圈相对应的压线槽，条状压板与带槽立柱之间由螺钉固定连接成一体。由于采用了刚度较好的线圈骨架与条状压板来固定高压线圈，高压线圈既不会变形，也不会脱离线圈骨架，能从根本上消除高压线圈的绕组脱离线圈骨架而发生撞击石英反应管的事故，保证了石英反应管的正常使用寿命，提高了等离子刻蚀机的使用可靠性，节约了生产成本。
文档编号H01L31/18GK201623173SQ201020119448
公开日2010年11月3日 申请日期2010年2月26日 优先权日2010年2月26日
发明者朱国平 申请人:常州亿晶光电科技有限公司