专利名称：基板表面的封闭装置和有机el面板的制造方法
技术领域：
本发明涉及有机EL (Electro Luminescence 电致发光)面板的制造，尤其涉及在涂覆(设置)了有机EL元件的基板上粘贴片状封闭材料进行封闭的基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法。
背景技术：
有机EL面板是做成在被粘合的2张基板之间纵横排列了多个有机EL元件的结构的部件，但在制造相关的有机EL面板时，以往，这些有机EL元件分别被封闭材料封闭。作为这样的有机EL面板的制造方法的一个以往例，有将有机EL元件从其上下用水湿透过率小的有机薄膜夹住，将这些有机薄膜的从有机EL元件的上下面溢出部分通过热压接来一体化，用相关的有机薄膜将该有机EL元件封闭，将相关的有机EL元件用于有机 EL面板的例子(例如参见专利文献1)。另外，虽与有机EL面板的制造无关，但也提出了在腔内的真空环境气体内将薄膜层叠(粘贴)的技术(例如参见专利文献2)。该专利文献2记载的技术是在基膜上层叠保护薄膜的技术，是将基膜从设置在腔的外侧的供给轧辊送入腔内，另外，也将保护薄膜从设置在腔的外侧的供给轧辊送入腔内的技术，是保护薄膜被加压轧辊加热、加压而被粘合在该基膜上的技术。这里，粘合在基膜上的保护薄膜从设置了开闭自由的闸门的导入口被导入腔内。在先技术文献专利文献专利文献1 日本特开平2-197075号公报专利文献2 日本特开2002_5沈10号公报但是，上述专利文献1记载的技术是按照每个有机EL元件以覆盖其整体的方式进行层叠的技术，由于是像这样在由一个一个的有机薄膜制作层叠的有机EL元件后，用于制作有机LE元件的技术，所以，成为花费工时的作业，且由于相关的层叠加工在大气中进行， 因此，还存在受到周围环境的影响，混入尘埃或受到湿气等的影响，导致EL元件的特性劣化的可能性。与此相对，在上述专利文献2记载的技术中，由于在腔内的真空环境气体内进行层叠加工，所以，与在大气中进行层叠加工的情况相比，能够抑制在层叠时产生薄膜的皱褶、在薄膜(即，保护薄膜)和粘合了它的物品(即，基膜)之间产生气泡，但是，由于这些基膜、保护薄膜从外部被连续地导入腔内，所以，存在从它们的导入口向腔内的空气的泄漏， 导致腔内的真空度的降低，存在湿气、尘埃等也随着该空气的泄漏进入腔内，使粘合了保护薄膜的制品的性能劣化的问题。另外，在上述专利文献2记载的技术中，在保护薄膜的导入口设置开闭自由的闸门，考虑了通过调整它的开闭状态，尽量降低空气向腔内的泄漏的情况，据此，若间门成为接触保护薄膜那样的状态，则会损伤该保护薄膜，给被层叠加工的制品的特性带来不良影响。本发明的目的是解决相关的问题，提供一种能够实施节省作业的工时，谋求生产节拍时间的提高，防止了制品性能的劣化的层叠加工的基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法。
发明内容
为了实现上述第一目的，本发明的特征在于，具备内置了将片状封闭材料向基板上粘贴的薄膜粘合装置的容积大的腔、用于将该基板运入腔的比腔容积小的前室、将在薄膜粘合装置粘贴了片状封闭材料的基板从该腔内排出的比腔容积小的后室，在前室的基板运入口侧和腔侧以及后室的腔侧和基板排出口侧分别设置门阀，且腔内也包括基板被运入 排出时在内，总是被保持为高真空状态，薄膜粘合装置由以规定的间隔运送从前室运入的基板的基板运送构件、将多条夹着片状封闭材料设置了覆膜和基膜的规定宽度的薄膜卷放的薄膜卷放机构部、将覆膜从由薄膜卷放机构部卷放的多条薄膜分别剥落，进行卷绕的覆膜卷绕机构部、从在覆膜卷绕机构部被剥取了覆膜的多条薄膜分别剥取成为由基板运送构件运送的基板的间隔的密封状封闭材料的部分，并在多条薄膜的各自的基膜上形成与基板分别对应的多个密封状封闭材料的基板间处理机构部、按照由基板运送构件从前室运入的每个基板，进行基板的前端部和来自基板间处理机构部的薄膜的与基板对应的密封状封闭材料的前端的定位的校直机构部、将来自校直机构部的多条薄膜的与基板对应的多个密封状封闭材料向由基板运送构件运送的基板粘贴的粘贴机构部、从在来自粘贴机构部的基板上粘贴了片状封闭材料的多条薄膜分别剥取基膜，并进行卷绕的基膜卷绕机构部构成； 基板运送构件将粘贴有在基膜卷绕机构部被剥取了多条薄膜的基膜的多个片状封闭材料的状态下的基板向后室排出。另外，本发明的特征在于，在前室和后室，具备用于使室内从干燥空气状态成为与上述腔内相等的高真空状态的真空泵。再有，本发明的特征在于，基板处理机构部由搭载多个薄膜的表面被处理为非粘接性的工作台、将多个薄膜以其长度方向的规定的间隔向工作台的表面按压的一对按压板、对多个薄膜的由一对按压板按压在工作台的表面的部分之间的上述片状封闭材料在其长度方向按照上述基板的间隔进行切割的半切割用圆盘刀、将多个薄膜的由半切割用圆盘刀切割的部分的上述片状封闭材料从上述基膜剥离的带剥离机构构成。再有，本发明的特征在于，在粘贴机构部和上述基膜卷绕机构部之间设置冷却上述基板的基板冷却机构部。为了实现上述目的，基于本发明的有机EL面板的制造方法的特征在于，包括打开设置在容积小的前室的基板运入口的第一门阀，将框状地涂覆有密封剂且在密封剂的框的内侧设置了多个EL元件的基板运入前室内的运入工序、将基板从基板运入口运入前室且将第一门阀关闭，使前室内成为高真空状态的真空化工序、打开设置在高真空状态的前室和被保持为高真空状态的容积大的腔之间的第二门阀，将基板从前室向腔内运送，在基板向腔运送后，关闭第二门阀的运送工序、在腔内，将片状封闭材料向基板的密封剂的框内粘贴的封闭材料粘贴工序、使容积小的后室内成为高真空状态，打开设置在腔和后室之间的第三门阀，将粘贴有片状封闭材料的基板从腔向后室运送的运送工序、关闭设置在后室的基板排出口的第三门阀，打开第四门阀，使后室内成为大气状态，将后室内的粘贴了片状封闭材料的基板从基板排出口排出的排出工序；封闭材料粘贴工序包括以规定的间隔依次运送从前室运入的基板的工序、将多条夹着片状封闭材料设置了覆膜和基膜的规定宽度的薄膜卷放的工序、从被卷放的多条薄膜分别将覆膜剥落并卷绕的工序、从被剥取了覆膜的多条薄膜分别剥取成为被运送的基板的间隔的密封状封闭材料部分，并在多条薄膜的各自的基膜上形成与基板分别对应的多个密封状封闭材料的工序、按照从前室运入的每个基板， 进行基板的前端部和薄膜的与基板对应的密封状封闭材料的前端的定位的工序、在被运送的基板上粘贴多条薄膜的与基板对应的多个密封状封闭材料的工序、将粘贴了多个密封状封闭材料的基板冷却的工序、从在被冷却的基板上粘贴有片状封闭材料的多条薄膜分别剥取基膜并卷绕的工序。发明效果根据本发明，由于将规定宽度的片状封闭材料在减压(真空)或惰性气体的环境气体内同时运送，并向元件玻璃基板粘合，所以，能够防止尘埃的附着、气泡、皱褶等的产生，还能够由薄膜卷放机构部、覆膜卷绕机构部、基膜卷绕机构部将薄膜的张力保持为一定，能够提高片状封闭材料向元件玻璃基板的粘贴精度、粘贴了片状封闭材料的元件玻璃基板的品质。另外，由于基板在腔的出入中，在比该腔容积小的前室、后室进行减压和大气压的变更，所以，能够总是将容积大的腔内保持为减压或惰性气体的环境气体状态，能够缩短环境气体状态的变更所需的时间，能够谋求生产节拍时间的提高。
图1是表示基于本发明的基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法的一个实施方式的概略结构的图。图2是表示通过本发明所制造的有机EL面板的一个具体例的概略结构图。图3是基于本发明的基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法的概略说明图。图4是表示图1中的薄膜的结构的局部剖视图。图5是表示图1中的封闭材料粘合装置8的一个具体例的整体结构的立体图。图6是将图5中的薄膜卷放机构部和覆膜卷绕机构部放大来表示的结构图。图7是将图5中的基板间处理机构部放大来表示的结构图。图8是有关在图7中的基板间处理机构部形成的片状封闭材料间隔部的说明图。图9是表示图7中的剥取装置从薄膜剥取片状封闭材料间隔部的封闭材料薄膜的动作的图。图10是将图5中的层叠机构部放大来表示的结构图。图11是将图5中的基板冷却机构部和基膜卷绕机构部放大来表示的结构图。
具体实施例方式下面，使用附图，说明本发明的实施方式。图2是表示通过本发明制造的有机EL面板的一个具体例的概略结构图，该图(a)是分解图，该图(b)是将该图(a)的部分A放大来表示的俯视图，该图(c)是该图(b)的分割线B-B上的总剖视图，1是元件玻璃基板，2是封闭玻璃基板，3是密封剂，4是有机EL元件，5是片状封闭材料。图2(a)中，在元件玻璃基板1上，在其表面沿其周边部框状地形成密封剂3 (图 2(b)),在该密封剂3的框的内侧的区域纵横地排列多个有机EL元件4，且这些有机EL元件由片状封闭材料5封闭。在相关的元件玻璃基板1上，从设置了该密封剂3的一侧重叠封闭玻璃基板，并进行加压，由该密封剂3粘合，据此，形成有机EL面板。在图2(b)、(c)中，有机EL元件4虽未被图示出，但是被做成在有机发光层的上下面的一方的面上设置阳极(正极)，在另一方的面上设置了阴极(负极)的结构，这些阳极、阴极与设置在元件玻璃基板1的表面的信号线等连接，在设置在相关的信号线等上的未图示出的绝缘膜上设置有机EL元件4。有机EL元件4为被动型的有机EL元件时，在元件玻璃基板1的表面纵横地铺设扫描线和信号线，该有机EL元件4的阳极与扫描线、阴极与信号线连接。另外，在有机EL元件4为主动矩阵型的有机EL元件时，在元件玻璃基板1 的表面纵横地铺设扫描线和信号线，在这些扫描线和信号线的交叉部设置TFTCThin Film Transistor 薄膜晶体管)等主动元件，TFT的门电极、源电极分别与扫描线、信号线连接， 在其漏电极连接着有机EL元件4的阳极。片状封闭材料5是由环氧树脂等热硬化型的树脂构成的部件，以除有机EL元件4 的阳极、阴极的电极取出线的端子部以外，覆盖有机EL元件4的方式被粘贴并硬化。在封闭玻璃基板5紧贴在该硬化了的片状封闭材料5的状态下，由密封剂3粘合在元件玻璃基板1上。另外，作为构成片状封闭材料5的树脂，未被特别限定，只要是环氧树脂等热塑性、热硬化性的树脂(若加热，则软化，能够加工，但若就这样持续加热，则引起化学反应并硬化的树脂)，则不管树脂的种类。另外，也可以向片状封闭材料5付与干燥剂等其它的功能。图3是基于本发明的基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法的概略说明图，6是滚筒，7是有机EL面板，对与图2对应的部分标注相同的符号，省略重复的说明。在该图中，在元件玻璃基板1上，大致在其表面整体的区域，通过未图示出的前工序，排列安装多个有机EL元件4(图2)，另外，以包围该区域整体的方式，作为液状的结合剂的密封剂3 (图2、涂覆成框状。相关的元件玻璃基板1向腔(未图示出)内运送。在腔内，由多列的片状封闭材料5覆盖该元件玻璃基板1的表面的设置有有机EL 元件4的区域整体，且使各个片状封闭材料5覆盖多列有机EL元件，通过将这些片状封闭材料5用滚筒6在元件玻璃基板1的表面推压并加热，来热压接在该元件玻璃基板1的表面。据此，元件玻璃基板1的表面上的有机EL元件4全部被多个片状封闭材料5覆盖并被封闭。片状封闭材料5以环氧树脂为主成分，像这样通过层叠法被粘贴在元件玻璃基板1 的表面上。这里，在元件玻璃基板1的表面，虽未图示出，但设置着信号线，有机EL元件4的端子部与该信号线连接，但片状封闭材料5以覆盖除该端子部以外的有机EL元件4整个面的方式通过热压接被粘贴。同时进行这些多列的片状封闭材料5的粘贴，谋取粘贴的效率化，另外，为了用片状封闭材料5不会产生气泡地覆盖因相对于有机EL元件4配置的配线等而产生的凹凸部，该片状封闭材料5的粘贴在腔内在真空(减压)过程中或减压下进行。接着，粘贴有片状封闭材料5的元件玻璃基板1从腔内被运出，在该元件玻璃基板 1上通过设置在其表面的液状的密封剂3(图2、粘合封闭玻璃2。而且，通过紫外线等使该密封剂3硬化，据此，得到有机EL面板7。图1是表示基于本发明的基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法的一个实施方式的概略结构的图，8是封闭材料粘合装置，9是腔，10是前室，11是后室，12a 12d 是门阀，13是薄膜，14是薄膜卷放机构部，15是覆膜卷绕机构部，16是基板间处理机构部， 17是薄膜张力测定机构部，18是校直机构部，19是层叠机构部，20是基板冷却机构部，21是基膜卷绕机构部。在该图中，腔9内设置将片状封闭材料5向元件玻璃基板1粘合的封闭材料粘合装置8。而且，在腔9的入口侧设置前室10，在出口侧设置后室11，在腔9、前室10之间设置门阀12b，在腔9、后室11之间设置门阀12c。另外，在前室10的入口设置门阀12a，在后室11的出口设置门阀12d。腔9内平时被保持为被减压的(真空的)环境气体状态或惰性气体的环境气体状态，在未图示出的前工序进行了有机EL元件的安装、密封剂的涂覆等处理的元件玻璃基板 1经前室10被运入腔9内，但是，在从前工序运来该元件玻璃基板1时，腔9的入口侧的门阀12b、出口侧的门阀12c关闭，腔9内处于密封状态，另外，前室10的入口侧的门阀12a打开，该前室10内处于干燥空气的大气状态，在该状态下元件玻璃基板1被运入前室10内。另外，安装有有机EL元件并涂覆了密封材料的元件玻璃基板1被运送的到前室10 的入口为止的路径处于干燥空气的大气状态。若该元件玻璃基板1被运入前室10内，则门阀12a关闭，前室10内成为密闭状态，该室内由设置在其中的真空泵等排出干燥空气，变化为减压或惰性气体的环境气体的状态。而且，若前室10内成为与腔9相同的环境气体下，则腔9的入口侧的门阀12b打开， 元件玻璃基板1被运入腔9内。若该运入完成，则门阀12b关闭，门阀1 打开，前室10等待下一个元件玻璃基板1被运入。在腔9内的封闭材料粘合装置8中，进行片状封闭材料5向被运入的元件玻璃基板1的粘贴作业，若该作业结束，则腔9的出口侧的门阀12c打开。此时，后室11的出口侧的门阀12d处于关闭了的状态，后室11内由于设置在其中的真空泵等，而成为与腔9内相同的高真空的环境气体下，完成了片状封闭材料5的粘贴的元件玻璃基板1从腔9向后室 11内被运送。而且，若该运送完成，则腔9侧的门阀12c关闭，出口侧的门阀12d打开，后室11内成为干燥空气的大气状态，此后，元件玻璃基板1从后室11被运出，向用于封闭玻璃基板2(图2、图幻的粘合等的后工序被运送。从前工序按顺序将进行了有机EL元件的安装、密封剂的涂覆的元件玻璃基板1运送到前室10，分别针对每一个依次进行上述的片状封闭材料5的粘贴处理。 另外，在制造有机EL元件的情况下，为了防止在制造工序中有机EL元件的性能劣化，在减压或惰性气体的环境气体下进行制造。同样，为了防止在片状封闭材料5粘合过程中有机EL元件的性能劣化，将封闭材料粘合装置8设置在腔9内，使该腔9内成为减压或惰性气体的环境气体状态。 在封闭材料粘合装置8中，片状封闭材料5的薄膜13从薄膜卷放机构部14被取出，经覆膜卷绕机构部15、基板间处理机构部16、薄膜张力测定机构部17、校直机构部18被送入层叠机构部19，在该层叠机构部19，片状封闭材料5被粘贴在从前室10运入的元件玻璃基板1上。从薄膜卷放机构部14卷放的薄膜13呈连续的带状，如图4所示，呈在封闭材料薄膜5’的一方的面上可剥取地粘贴了基膜13b，在另一方的面上可剥取地粘贴了覆膜13a的三层构造。该封闭材料薄膜5’如后所述，按照每个元件玻璃基板1在基板间处理机构部16 被区分，形成元件玻璃基板1的片状封闭材料5。另外，含有片状封闭材料5的薄膜13难以具有防湿功能，另外，为了去除吸湿了的片状封闭材料的水分，必须在减压或惰性气体的环境气体的环境下长时间进行将水分去除的处理。因此，在用于在封闭材料粘合装置8进行粘合前的工序中，薄膜13在周围被保持为干燥空气(露天温度=-20°C以下)或惰性气体的环境的房间内移动，另外，将该薄膜13 的像后述那样被区分的片状封闭材料5向元件玻璃基板1粘合的封闭材料粘合装置8也被配置在腔9内的减压或惰性气体环境气体的环境内，薄膜13在片条封闭材料5从薄膜卷放机构部14粘合在元件玻璃基板1上，且被从腔9运出前，位于腔9内。图1中，在覆膜卷绕机构部15，从由薄膜卷放机构部14卷放的薄膜13剥取粘合在封闭材料薄膜5’的上侧的覆膜13a，在基板间处理机构部16，被剥取了覆膜13a的薄膜 13的成为裸露的封闭材料薄膜5’被区分为元件玻璃基板一个的量，成为片状封闭材料5， 上下面以片状封闭材料5朝下的方式被反转，被运送向层叠机构部19。这里，由膜张力测定机构部17测定薄膜13的张力，薄膜13的张力被调整，另外， 由校直机构部19将薄膜13的被区分的片状封闭材料5正确地定位在粘合它的元件玻璃基板1上。这样，进行了位置调整的片状封闭材料5的薄膜13在层叠机构部19，如通过图3 所说明的那样，将片状封闭材料5热压接在元件玻璃基板1的表面，由基板冷却机构部20 冷却因热压接而被加热了的元件玻璃基板1。通过该冷却，片状封闭材料5被牢固地粘贴在元件玻璃基板1的表面。此后，在基膜卷绕机构部21薄膜13的基膜1 被剥取，成为一个一个的粘合了片状封闭材料5的元件玻璃基板1。这样，每次将粘合了片状封闭材料5的元件玻璃基板1向腔9的出口运送时，门阀12c打开，被运送向后室11。另外，这里对一个薄膜13进行了说明，在多个薄膜13被同时同样地处理，像上述那样，将多个片状封闭材料5同时粘贴在元件玻璃基板1上。这样，通过在处于减压或惰性气体的环境气体下的腔9内设置将片状封闭材料5 向元件玻璃基板1粘合的封闭材料粘合装置8，能够防止因设置在元件玻璃基板1的表面的有机EL元件4 (图2)的吸湿而造成的性能劣化，由于片状封闭材料5也在从薄膜卷放机构部14卷放时到被粘贴在元件玻璃基板1上并从腔9向后室11运出前的在粘合作业中，位于处在减压或惰性气体的环境气体下的腔内，所以，水分被排出，也能够防止其浸入，因此，还能够防止片状封闭材料5的吸湿，能够防止因片状封闭材料5的吸湿造成的性能劣化。而且，因为在腔9内，空气、尘埃被排出，另外，还能够防止其浸入，所以，能够极力抑制在粘合有机EL元件4和片状封闭材料5之间产生气泡、浸入尘埃，还能够防止有机EL面板7 (图 3)的性能劣化。另外，在腔9，在其入口侧设置前室10，在其出口侧设置后室11，在来自前工序的元件玻璃基板1被运入处于大气状态的前室10内时，在门阀lh、12b关闭了的状态下，使前室10内从大气状态成为与腔9内相同的环境气体状态，然后，将门阀12b打开，向腔9内运入，再次将该门阀12b关闭，另外，使后室11内从大气状态成为与腔9内相同的环境气体状态，然后，将门阀12c打开，将腔9内的粘贴了片状封闭材料5的元件玻璃基板1向后室 11内运出，此后，将门阀12c关闭，使后室11内成为大气状态，将门阀12d打开，向外部排出，因此，能够将腔9内保持为减压或惰性气体的环境气体的状态，能够使用于维持相关的环境气体的真空泵等构件的工作时间极短，而且，前室10以及后室11能够进行元件玻璃基板1的出入、收纳，并且只要是具有仅门阀12a、12b能够开闭的容量的部件即可，因此，能够做成与腔9内的容积相比充分小到其1/5 1/10倍左右的容积的部件，为此，能够使从大气状态向减压或惰性气体的环境气体的状态变化所需要的时间、其相反的状态变化所需要的时间与在腔9进行相关的状态的变化的情况相比大幅缩短，能够大幅缩短平均每个片状封闭材料向元件玻璃基板的粘合作业时间。另外，虽未图示出，腔9、前室10、后室11被设置在周围被保持为干燥空气或惰性气体的环境气体的状态的场所。图5是表示图1中的封闭材料粘合装置8的一个具体例的整体结构的立体图， 14a 14c、15a、15b、16a、16b、19a、20a、21a、21b是驱动马达，22是剥取装置，23是位置检测器，对与图1对应的部分标注相同的符号，省略重复的说明。在该图中，4条薄膜13从被驱动马达1 Hc驱动的薄膜卷放机构部14被放出，相互平行且以相同的规定的间隔行走。其行走方向如箭头(一)所示，是与元件玻璃基板1的行走方向平行，且与其行走方向相反的方向。另外，这些薄膜13的行走是通过在薄膜卷放机构部14放出这些薄膜13，同时这些薄膜13的覆膜13a(图4)在被驱动马达15a、 15b驱动的覆膜卷绕机构部15被卷绕，且这些薄膜13的基膜1 (图4)在被驱动马达21a、 21b驱动的基膜卷绕机构部21被卷绕来进行的。另外，这些薄膜13如后所述，与来自前室 10的元件玻璃基板1的运入同步地按照图8所示的尺寸1间歇地行走。在覆膜卷绕机构部15被剥取了覆膜13a(图4)的这些薄膜13在基板间处理机构部16如上所述，裸露的片状封闭材料5被区分为元件玻璃基板一个的量，规定长度的片状封闭材料5以呈这些区分的交汇线的方式被剥取。相关的剥取通过被驱动马达16a、16b驱动的剥取装置22进行。在基板间处理机构部16被处理的这些薄膜13在薄膜张力测定机构部17，其行走方向被改变为向下，即，元件玻璃基板1的行走路的方向。此时，由薄膜张力测定机构部17 测定这些薄膜13的合成张力，根据该测定结果，控制薄膜卷放机构部14的驱动马达1 14c，据此，这些薄膜13的张力被调整。来自薄膜张力测定机构部17的薄膜13被送向校直机构部18，为了在层叠机构部 19，薄膜13的片状封闭材料5 —个一个地与元件玻璃基板1的粘合该片状封闭材料5的位置一致，根据由CXD照相机等构成的位置检测器23的检测结果，由校直机构部18进行薄膜 13的宽度方向、长度方向(行走方向)的位置调整。该位置调整是以从前室10(图1)运入的元件玻璃基板1在层叠机构部19的近前的规定的位置停止，但相对于在该位置停止的元件玻璃基板1，薄膜13的片状封闭材料5的先头位置成为规定的位置的方式，使薄膜13在其宽度方向、长度方向移动，进行设定。校直机构部18被设定在当元件玻璃基板1和薄膜13上的向该元件玻璃基板1粘合的片状封闭材料5的位置关系像这样成为了规定的位置关系时，能够检测向下一个元件玻璃基板1粘合的片状封闭材料5的先头位置的位置，据此， 通过调整该先头位置，能够将停止在规定的位置上的元件玻璃基板1和与之粘合的片状封闭材料5的位置关系设定为上述规定的位置关系。这样，若元件玻璃基板1和与之粘合的薄膜13上的片状封闭材料5的位置关系被设定，则在规定的时间，元件玻璃基板1和薄膜13处于停止状态，但是，此时在基板间处理机构部16，薄膜13上的成为封闭材料薄膜5’的下一个区分交汇线的剥取部分位于该位置， 该部分被基板间处理机构部16的剥取装置22剥取。据此，形成下一个片状封闭材料5。此后，薄膜13和元件玻璃基板1以相同的速度行走，被送入通过驱动马达19a来动作的层叠机构部19，薄膜13的片状封闭材料5通过热压接被粘合在该元件玻璃基板1 上。该热压接通过薄膜13的片状封闭材料5和元件玻璃基板1连续地移动来进行，与此同时，下一个元件玻璃基板1从前室10被运入，像上述那样停止在规定的位置。与此同时，在层叠机构部19粘合了薄膜13的片状封闭材料5的元件玻璃基板1也停止，由校直机构部18进行薄膜13的片状封闭材料5的相对于下一个元件玻璃基板1的位置调整、在基板间处理机构部16上的下一个片状封闭材料5的形成，进行片状封闭材料5向下一个元件玻璃基板1的粘合。这样，依次进行片状封闭材料5向从前室10依次运送的元件玻璃基板1的粘合。粘合了薄膜13的片状封闭材料5的元件玻璃基板1在由驱动马达20a驱动的基板冷却机构部20被冷却后，在由驱动马达21a、21b驱动的基膜卷绕机构部21，被剥取薄膜 13的基膜13，成为粘贴了片状封闭材料5的各个元件玻璃基板1，被运送向后室11。但是， 在此期间，薄膜13和元件玻璃基板1伴随着上述的间歇动作，以图8所示的尺寸1间歇地移动。另外，进行上面的动作的封闭材料粘合装置8被设置在腔9内，但薄膜卷放机构部 14的驱动马达1 Hc等各装置的驱动马达被安装在腔9的外侧。图6是将图5中的薄膜卷放机构部14和覆膜卷绕机构部15放大来表示的结构图， 24a 24d是薄膜滚筒，25a 25d是旋转轴，沈是扭矩限制器，27是薄膜张力附加滚筒，28 是夹送滚筒，29a,29b是驱动马达，30a 30d是覆膜卷绕滚筒，31是覆膜剥落滚筒，32是扭矩限制器，对与图5对应的部分标注相同的符号，省略重复的说明。在该图中，在薄膜卷放机构部14，在驱动马达14a的旋转轴2 上，以规定的间隔安装着两个将薄膜13盘绕成滚筒状的薄膜滚筒Mb、Md，在驱动马达14b的旋转轴2 上也以规定的间隔安装两个将薄膜13盘绕成滚筒状的薄膜滚筒Ma、Mc。从这些薄膜滚筒 2 24d分别放出薄膜13，但来自薄膜滚筒2 的薄膜13、来自薄膜滚筒24b的薄膜13、 来自薄膜滚筒2 的薄膜13和来自薄膜滚筒24d的薄膜13按照这个顺序且以上述规定的间隔分别被配置在旋转轴2如、2恥上。这些薄膜滚筒2 24d分别能够从旋转轴2如、2恥拆下，若在薄膜滚筒2 24d上薄膜13基本被放出，则能够与新的薄膜滚筒交换。在驱动马达14c的旋转轴25c上，设置来自薄膜滚筒Ma、Mb、Mc、Md的薄膜分别抵接的薄膜张力附加滚筒27。另外，针对这些薄膜张力附加滚筒27的每一个，夹着与这些薄膜张力附加滚筒27抵接的薄膜13，将四个夹送滚筒观设置在旋转轴25d上。若驱动马达1 Hc旋转，则从薄膜滚筒2 24d向下方向分别放出薄膜13， 这些薄膜I3分别由薄膜张力附加滚筒27和夹送滚筒观以规定的张力拉拽，并移动。此时， 在下方向从薄膜滚筒2 Md向下方向移动的各个薄膜13通过薄膜张力附加滚筒27将其移动方向转换为水平方向。这里，薄膜滚筒2 24d分别可旋转地被安装在旋转轴25a、2^上，在它们的安装部分别设置扭矩限制器26。通过这些扭矩限制器26，薄膜滚筒Ma Md分别随着旋转轴25a、25b的旋转而旋转，薄膜13被放出，与此同时，薄膜滚筒2 24d相对于旋转轴 25a,25b旋转，进行薄膜13的放出张力的调整。这样，从薄膜卷放机构部14放出的四条薄膜13被送向覆膜卷绕机构部15。在覆膜卷绕机构部15，在驱动马达15a的旋转轴29a上以规定的间隔安装着两个覆膜卷绕滚筒30b、30d，在驱动马达1 的旋转轴29b上以规定的间隔安装着两个覆膜卷绕滚筒30a、30c。另外，在旋转轴29c上，以从薄膜卷放机构部14放出的各个薄膜13所抵接的方式分别安装着四个覆膜剥落滚筒31。在这些覆膜剥落滚筒31，从这些薄膜13将覆膜 13a剥落，被剥落的覆膜13a分别在覆膜卷绕滚筒30a 30d被卷绕。这些覆膜剥落滚筒31分别可从旋转轴^a、29b拆下，在薄膜卷放机构部14上的薄膜滚筒2 Md，薄膜13基本被放出，与新的薄膜滚筒交换时，将这些覆膜剥落滚筒31 也分别从旋转轴^a、29b拆下，将未盘绕覆膜13a的新的覆膜剥落滚筒31分别安装在旋转轴^a、29b上，作业人员在将薄膜13分别从薄膜卷放机构部14上的新的薄膜滚筒2 24d拉出，将覆膜13a剥落，安装在覆膜剥落滚筒31上，然后，将这些覆膜13a盘绕在覆膜卷绕滚筒30a 30d上。另外，覆膜卷绕滚筒30a 30d分别可旋转地被安装在旋转轴^a、29b上，在它们的安装部，分别设置扭矩限制器32。覆膜卷绕滚筒30a 30d分别随着旋转轴的旋转而旋转，覆膜13a被卷绕，但是，是由扭矩限制器32附加张力地被卷绕。这样，在覆膜剥落滚筒31覆膜13a被剥落的4条薄膜13如上所述，以规定的间隔平行地被送向基板间处理机构部16(图7)。另外，通过图5所说明的薄膜张力测定机构部17的张力测定结果向薄膜卷放机构部14传输，驱动马达1 Hc的旋转扭矩被调整，另外，也向覆膜卷绕机构部15传输，驱动马达15a、15b的旋转扭矩被调整。图7是将图5中的基板间处理机构部16放大来表示的结构图，33a、3!3b是薄膜按压部件，34是半切割部件，35是剥离轧辊，36是剥离带，37是带放出滚筒，38是带卷绕滚筒， 39a、39b是下垂轧辊，对与图5对应的部分标注相同的符号，省略重复的说明。在该图中，若在基板间处理机构部16，薄膜13从覆膜卷绕机构部15(图6)被送入规定的长度量(薄膜送入长度)，则该薄膜13停止，通过沿与薄膜13的排列方向正交的方向平行地伸延的2张薄膜按压部件33a、33b，这些薄膜13同时被按压进未图示出的平面部。据此，这些薄膜13的薄膜按压部件33a，3 之间的部分被固定。在这些薄膜13的由薄膜按压部件33a，33b按压的按压部分，剥取装置22发挥作用，据此，如上所述，将片状封闭材料5区分的区域的封闭材料薄膜5’被剥取。这里，若与来自前室10(图幻的元件玻璃基板1的运入同步地确定薄膜13上的封闭材料薄膜5’的剥取部分，则薄膜13上的封闭材料薄膜5’的剥取部分的间隔及其长度 (薄膜13的移动方向的长度)以下述方式被确定。S卩，在图8中，现在，若设元件玻璃基板1的运送方向的长度为L，设该元件玻璃基板1上的由片状封闭材料5覆盖的封闭区域40上的元件玻璃基板1的运送方向的长度为 L’，设从前室10运入的元件玻璃基板1的间隔为D，则前后的两个元件玻璃基板1上的封闭区域40的间隔d为d = L-L，+D。该间隔d是薄膜13的封闭材料薄膜5’上的剥取部分的长度。因此，按压部材33a、 3 夹着该剥取部分，将薄膜13固定。另外，该剥取部分的放出的长度(即，薄膜13的薄膜送入长度)1是1 = L，+d = L+D，成为元件玻璃基板的运入的反复长度。返回到图7，剥取装置22具备半切割部件34、剥离带36和剥离轧辊35。半切割部件34能够通过未图示出的驱动构件，在箭头A的方向、其相反的箭头B方向移动，剥离轧辊 35、下垂轧辊39a、39b也能够通过未图示出的驱动构件在箭头A、B方向移动。剥离轧辊35 虽然随着下垂轧辊39a、39b的移动而移动，但还能够在上下方向移动。即，虽未图示出，例如设置搭载了半切割部件34、剥离轧辊35和下垂轧辊39a、39b的能够在箭头A、B方向移动的构件，在该构件上设置对半切割部件34进行旋转驱动的驱动构件，另外，在该构件中， 可上下运动地安装剥离轧辊35。因此，半切割部件34 —面从卷绕滚筒38侧在箭头A方向移动，一面进行向薄膜13 上的封闭材料薄膜5’的长度d(图8)的剥取部分的前后两侧的切入，通过由从该半切割部件34后同样在箭头A方向移动的剥离轧辊35向薄膜13推压的剥离带36，将该薄膜13的封闭材料薄膜5’的由半切割部件34进行切入的切入间的部分从薄膜13剥离。剥离带36 被粘在放出滚筒37和卷绕滚筒38之间，在两个下垂轧辊39a、39b之间向下方下垂，由剥离轧辊35向薄膜13推压。这样，若形成成为4条薄膜13上的片状封闭材料5的间隔的部分(即，图9所示的片状封闭材料间隔部42)，则通过驱动马达16b的驱动，卷绕滚筒38旋转，卷绕剥离带36。 此时，驱动马达16a未被驱动，放出滚筒37不将剥离带36放出。因此，下垂轧辊39a、39b 之间，剥离带36向卷绕滚筒38侧移动，据此，剥离轧辊35被升起，离开薄膜13，此后，驱动马达16a起动，从放出滚筒37以与卷绕滚筒38上的剥离带36的卷绕速度相同的速度放出剥离带36。另外，与此同时，搭载了半切割部件34、剥离轧辊35和下垂轧辊39a、39b的构件在箭头B方向移动，据此，这些半切割部件34、剥离轧辊35和下垂轧辊39a、39b在箭头B 方向移动，直至成为与薄膜13相比的卷绕滚筒38侧。而且，若薄膜按压部件33a、3!3b升起，薄膜13从固定状态被开放，在箭头C方向仅移动上述的长度1，则薄膜按压部件33a、3!3b再次降下，将薄膜13固定，如上所述，通过剥取装置22形成下一个片状封闭材料间隔部42(图9)。通过反复进行上面的动作，以上述的反复长度1依次形成封闭区域40，在每个上依次形成片状封闭材料5。图9是表示图7的剥取装置22从薄膜13剥取片状封闭材料间隔部的封闭材料薄膜5，的动作的图，3^、34b是半切割用圆盘刀，3 是旋转轴，41a、41b是切口，42是片状封闭材料间隔部。在该图中，半切割部件34在与箭头C所示的薄膜13的移动方向平行地配置的旋转轴3 的两端部分别以与图8所示的长度d相等的间隔安装着半切割用圆盘刀34a、34b。 相关的结构的半切割部件34中，通过由未图示出的驱动马达旋转驱动旋转轴34c，半切割用圆盘刀34a、34b—面旋转，一面在与箭头C所示的薄膜13的行走方向(长度方向)正交的箭头A方向移动，据此，在薄膜13的封闭材料薄膜5’上形成深度与其厚度相等的切口 41a、41b。另一方面，剥离轧辊35 —面从半切割部件34的后面将剥离带36推向薄膜13的封闭材料薄膜5’上的由半切割用圆盘刀3^、34b形成的切口 41a、41b之间的部分，一面在箭头A方向移动，据此，封闭材料薄膜5’的切口 41a、41b之间的部分粘接在剥离带36上被剥掉。据此，形成片状封闭材料间隔部42，封闭材料薄膜5’上的片状封闭材料间隔部42之前的部分成为长度L’(图8)的片状封闭材料5。这样，在基板间处理机构部16，在薄膜13上以长度d的间隔依次形成长度L’的片上封闭材料5。图10是将图5中的层叠机构部19放大来表示的结构图，19b、19c是驱动马达，43 是带有宽度方向调整用导向器的轧辊，4 44d是宽度方向调整用马达，4如、4恥是热压接用轧辊，46是基板运送用轧辊，47是运送方向变换轧辊，对与图5对应的部分标注相同的符号，省略重复的说明。该图中，在层叠机构部19，从薄膜张力测定机构部17(图幻在箭头D所示的向下的方向被运送的薄膜13分别由运送方向变换轧辊47变换为沿着元件玻璃基板1的箭头E 所示的运送方向的方向。被变换了方向的这些薄膜13向热压接轧辊45a、^b之间被运送。 通过该方向变换，片状封闭材料5被配置在薄膜13上的元件玻璃基板1侧。在运送方向变换轧辊47的紧邻的前面，针对每个薄膜设置由宽度方向调整用马达4 44d驱动的带有宽度方向调整用导向器的轧辊43。这些带有宽度方向调整用导向器的轧辊43分别在其宽度方向两端部各自设置凸缘部(未图示出)，薄膜13在这些两个凸缘部之间通过。这些宽度方向调整用马达4 44d以及宽度方向调整用轧辊43是成为图5中的校直机构部18的宽度方向的调整构件的部件。另外，在运送方向变换轧辊47和热压接轧辊45a、4 之间，针对每个薄膜13设置位置检测器23 (但这里仅表示了一个)，检测薄膜13的各个宽度方向的错位。根据该检测结果，宽度方向调整用马达4 44d中的针对产生了错位的薄膜13的宽度方向调整用马达44(宽度方向调整用马达4 44d的总称)使相应的带有宽度方向调整用导向器的轧辊43在规定的方向旋转，对该薄膜13的宽度方向的错位进行调整。如上所述，若由校直机构部18 (图5)，按照规定设定薄膜13上的片状封闭材料5 相对于从前室10(图5)运入且正在停止的元件玻璃基板1的位置关系，则该薄膜13被运送，且元件玻璃基板1也以与之相等的速度被基板运送轧辊46运送，在该元件玻璃基板1 的封闭区域40 (图8)重合薄膜13的片状封闭材料5。而且，在相关的状态下，元件玻璃基板1和薄膜13被夹入由驱动马达19b、19c旋转驱动的热压接用轧辊45a、^b之间，进而， 被加热，据此，在元件玻璃基板1的封闭区域40热压接各个薄膜13上的片状封闭材料5。
这样，元件玻璃基板1和在其封闭区域40上被热压接片状封闭材料5的薄膜13 由基板运送轧辊46向下一个冷却工序运送。图11是将图5中的基板冷却机构部20和基膜卷绕机构部21放大来表示的结构图，48a、48b是基板冷却轧辊，49是基膜剥离滚筒，50a 50d是卷绕轧辊，51是扭矩限制器，52是基板运送马达，对与图5、图10对应的部分标注相同的符号，省略重复的说明。在该图中，在基板冷却机构部20，设置两组将由驱动马达20a旋转驱动的基板冷却轧辊48a、48b作为一对的冷却轧辊部，在各个冷却轧辊部，粘合了薄膜13的片状封闭材料5的元件玻璃基板1被夹持在基板冷却轧辊48a、48b，并被运送。而且，这些基板冷却轧辊48a、48b为钢制，呈圆筒状，在其内部导入、排出冷却水，据此，在这些基板冷却轧辊48a、 48b的内部设置冷却构件。通过被由该冷却构件冷却了的基板冷却轧辊48a、48b的表面夹入，薄膜I3和元件玻璃基板1被冷却。在层叠机构部19 (图10)，在以例如100°C将片状封闭材料5加热压接在元件玻璃基板1的封闭区域40的情况下，片状封闭材料5与元件玻璃基板1的封闭区域40结合，但是，此时，该片状封闭材料5和薄膜13的基膜13b的结合性也高，若欲不冷却而剥掉基膜 13a,则存在片状封闭材料5就这样附着在基膜1 上，从元件玻璃基板1的封闭区域40剥下的可能性。因此，在基板冷却机构部20，在薄膜13的片状封闭材料5被加热压接的状态下，将元件玻璃基板1冷却在例如40°C左右，据此，片状封闭材料5向元件玻璃基板1的结合性增加，片状封闭材料5容易被从薄膜13的基膜1 剥下。在基板冷却机构部20被冷却了的该元件玻璃基板1被运送向基膜卷绕机构部21， 由其基膜剥离滚筒49剥离将片状封闭材料5粘合在元件玻璃基板1的封闭区域40的各个薄膜13的基膜13b。从各个薄膜13剥离的基膜1 分别被由驱动马达21a、21b旋转驱动的卷绕轧辊50a 50d卷绕。在这些卷绕轧辊50a 50d上也设置扭矩限制器51，防止产生基膜13b的挠曲。基膜1 被除掉的元件玻璃基板1在这里成为分离了的部件，分别被由基板运送马达52旋转驱动的基板运送用轧辊46运送，从腔8内向后室11(图幻运出。另外，在该实施方式中，以规定的间隔使用了四条规定宽度的薄膜13，但本发明并不局限于此，也可以使用多条薄膜13。符号说明1 元件玻璃基板；5 片状封闭材料；5’ 封闭材料薄膜；8 封闭材料粘合装置； 9 腔；10 前室；11 后室；12a 12d 门阀；13 薄膜；13a 覆膜；13b 基膜；14 薄膜卷放机构部；15 覆膜卷绕机构部；16 基板间处理机构部；17 薄膜张力测定机构部；18 校直机构部；19 层叠机构部；20 基板冷却机构部；21 基膜卷绕机构部；22 剥取装置；2 24d 薄膜滚筒；30a 30d 覆膜卷绕滚筒；31 覆膜剥落滚筒；33a、3!3b 薄膜按压部件； 34 半切割部件；34a,34b 半切割用圆盘刀；35 剥离轧辊；36 剥离带；39a、39b 下垂轧辊；40 封闭区域片状封闭材料间隔部；41a、41b 切口 ；42 片状封闭材料间隔部；43 带有宽度方向调整用导向器的轧辊；妨a、^b 热压接用轧辊；48a、48b 基板冷却轧辊；49 基膜剥离滚筒；50a 50d 卷绕滚筒。
权利要求
1.一种基板表面的封闭装置，其特征在于，具备内置了将片状封闭材料向基板上粘贴的薄膜粘合装置的腔、用于将该基板运入该腔的比该腔容积小的前室、将在该薄膜粘合装置粘贴了该片状封闭材料的该基板从该腔内排出的比该腔容积小的后室，在该前室的基板运入口侧和腔侧以及该后室的腔侧和基板排出口侧分别设置门阀，且该腔内也包括基板被运入·排出时在内，总是被保持为高真空状态， 该薄膜粘合装置由以规定的间隔运送从该前室运入的该基板的基板运送构件、将多条夹着片状封闭材料并设置了覆膜和基膜的规定宽度的薄膜卷放的薄膜卷放机构部、将该覆膜从由该薄膜卷放机构部卷放的该多条薄膜分别剥落，进行卷绕的覆膜卷绕机构部、从在该覆膜卷绕机构部被剥取了该覆膜的该多条薄膜分别剥取成为由该基板运送构件运送的该基板的间隔的该密封状封闭材料的部分，并在该多条薄膜的各自的该基膜上形成与该基板分别对应的多个该密封状封闭材料的基板间处理机构部、按照由该基板运送构件从该前室运入的每个该基板，进行该基板的前端部和来自该基板间处理机构部的该薄膜的与该基板对应的该密封状封闭材料的前端的定位的校直机构部、将来自该校直机构部的该多条薄膜的与该基板对应的多个该密封状封闭材料向由该基板运送构件运送的该基板粘贴的粘贴机构部、从在来自该粘贴机构部的该基板上粘贴了该片状封闭材料的该多条薄膜分别剥取该基膜，并进行卷绕的基膜卷绕机构部构成；该基板运送构件将粘贴有在该基膜卷绕机构部被剥取了该多条薄膜的该基膜的多个片状封闭材料的状态下的该基板向该后室排出。
2.如权利要求1所述的基板表面的封闭装置，其特征在于，在上述前室和上述后室，具备用于使室内从干燥空气状态成为与上述腔内相等的高真空状态的真空泵。
3.如权利要求1或2所述的基板表面的封闭装置，其特征在于， 上述基板处理机构部由搭载上述多个薄膜的表面被处理为非粘接性的工作台、将上述多个薄膜以其长度方向的规定的间隔向该工作台的表面按压的一对按压板、 对上述多个薄膜的由该一对按压板按压在该工作台的表面的部分之间的上述片状封闭材料在其长度方向按照上述基板的间隔进行切割的半切割用圆盘刀、将上述多个薄膜的由该半切割用圆盘刀切割的部分的上述片状封闭材料从上述基膜剥离的带剥离机构构成。
4.如权利要求1、2或3所述的基板表面的封闭装置，其特征在于，在上述粘贴机构部和上述基膜卷绕机构部之间设置冷却上述基板的基板冷却机构部。
5.一种有机EL面板的制造方法，其特征在于， 包括打开设置在容积小的前室的基板运入口的第一门阀，将框状地涂覆有密封剂且在该密封剂的框的内侧设置了多个EL元件的基板运入该前室内的运入工序、将该基板从该基板运入口运入该前室且将该第一门阀关闭，使该前室内成为高真空状态的真空化工序、打开设置在高真空状态的该前室和被保持为高真空状态的容积大的腔之间的第二门阀，将该基板从该前室向该腔内运送，在该基板向该腔运送后，关闭该第二门阀的运送工序、在该腔内，将片状封闭材料向该基板的该密封剂的框内粘贴的封闭材料粘贴工序、 使容积小的后室内成为高真空状态，打开设置在该腔和该后室之间的第三门阀，将粘贴有该片状封闭材料的该基板从该腔向该后室运送的运送工序、关闭设置在该后室的基板排出口的第三门阀，打开第四门阀，使该后室内成为大气状态，将该后室内的粘贴了该片状封闭材料的该基板从该基板排出口排出的排出工序； 该封闭材料粘贴工序包括以规定的间隔依次运送从该前室运入的该基板的工序、将多条夹着该片状封闭材料并设置了覆膜和基膜的规定宽度的薄膜卷放的工序、 从被卷放的该多条薄膜分别将该覆膜剥落并卷绕的工序、从被剥取了该覆膜的该多条薄膜分别剥取成为被运送的该基板的间隔的该密封状封闭材料部分，并在该多条薄膜的各自的该基膜上形成与该基板分别对应的多个该密封状封闭材料的工序、按照从该前室运入的每个该基板，进行该基板的前端部和该薄膜的与该基板对应的该密封状封闭材料的前端的定位的工序、在被运送的该基板上粘贴该多条薄膜的与该基板对应的该多个密封状封闭材料的工序、将粘贴了该多个密封状封闭材料的该基板冷却的工序、从在被冷却的该基板上粘贴有该片状封闭材料的该多条薄膜分别剥取该基膜并卷绕的工序、将粘贴有该片状封闭材料的该基板向该后室排出的工序。
全文摘要
本发明所要解决的技术问题是，能够实现节省作业的工时，谋求生产节拍时间的提高，防止了制品性能的劣化的层叠加工。本发明中，来自薄膜卷放机构部(14)的薄膜滚筒(24a～24d)(图6)的薄膜(13)在覆膜卷绕机构部(15)被剥取其覆膜(13a)(图4)，并被送向基板间处理机构部(16)。在基板间处理机构部(16)，由半切割部件(34)和剥离带(36)(图7)，如图9所示，以规定的间隔按照每个规定的长度剥取薄膜(13)的封闭材料薄膜(5’)(图4)，形成片状封闭材料(5)。被这样处理的薄膜(13)被送向层叠机构部(19)，片状封闭材料(5)被加热压接在来自前室10的基板(1)，在基板冷却机构部(30)被冷却，在基膜卷绕机构部(21)剥取薄膜(13)的基膜(13b)(图4)。
文档编号H01L51/50GK102326449SQ20108000663
公开日2012年1月18日 申请日期2010年2月3日 优先权日2009年2月5日
发明者国弘立人, 太田纯史, 高桥一雄 申请人:夏普株式会社, 株式会社日立工业设备技术