真空处理装置、图表显示方法

专利名称：真空处理装置、图表显示方法
技术领域：
本发明涉及真空处理装置的技术领域，特别是涉及使用真空处理装置的批量生产技术。
背景技术：
真空处理技术有溅射方法、CVD方法、蒸镀方法等的成膜技术、或蚀刻技术、表面改性技术、杂质注入技术、真空干燥技术等，被用在很广的领域中。在利用真空处理技术来批量生产相同品种的产品的情况下，虽然对相同规格的处理对象物进行相同的真空处理，但在质量上产生偏差。在确认产生质量的偏差的原因的情况或以偏差不会产生不合格品的方式对制造工序进行管理的情况下，对动作中的真空处理装置的状态进行测定，在批次间进行对测定结果的比较、验证。特别是，在要在批次间或真空处理装置间定量地确认真空处理装置内的设备的动作电流量、温度、压力等的物理量之差异的情况，在制造工序中对各种的物理量进行测定， 存储好测定值，利用检查装置对测定值进行图表化，进行其形状的比较。然而，真空处理装置内的测定对象的设备会增加，此外，作为测定的项目的物理量的种类也会增加，难以对大量的测定值进行图表化并进行比较。<第一发明>
特别是，虽然对测定值的重要部分进行图表化并进行比较很重要，但从大量的测定数据中提取想看的部分的操作烦杂，也难以对提取数据彼此进行比较。<第二发明>
此外，能利用目视确认来比较装置数据最近变得重要起来，但在对针对多个真空处理的测定值进行图表化时，虽然当使多个图表重合而能进行比较时，可视性得到提高，但对测定时刻或测定值进行操作并使其重合却非常麻烦。<第三发明>
进而此外，以往在要在批次间或真空处理装置间定量地确认真空处理装置内的设备的动作电流量、温度、压力等之差异的情况下，在制造工序中进行测定并将测定值存储起来， 利用检查装置对测定值进行图表化，进行其形状的比较，但是真空处理装置内的测定对象的设备会增加，此外，作为测定的项目的物理量的种类也会增加，难以对大量的测定值进行图表化并进行比较。专利文献1 日本特开2009-80844号公报。

发明内容
发明要解决的课题
本发明的课题是提供一种解决上述现有技术的问题的技术，本发明中的第一发明，其目的在于，提供一种能从多种大量的测定值中简单、正确地提取出想看的部分，并能按提取的每个测定值来进行图表化并进行比较的技术。此外，根据本发明中的第二发明，其目的在于，提供一种使多种大量的测定值简单、正确重合并进行比较的技术。此外，根据本发明中的第三发明，能简单、正确地对多种大量的测定值进行比较。如上所述，本发明在于提供一种能简单且正确地进行真空处理的分析的技术。用于解决课题的方案
为了解决上述课题，在本发明的第一发明中，一种真空处理装置，其具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，其中，在所述存储装置中存储有数据分析程序，所述数据分析程序被构成为当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成第一次图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，将显示的所述第一次图表线的所述测定时刻之一作为提取起点时刻，提取所述第一次图表线的所述测定值中的所述测定时刻在所述提取起点时刻以后的所述测定值，将所述起点开始时刻作为所述基准时刻，根据提取的所述测定值和所述测定时刻，在所述X-Y坐标上显示第二次图表线。此外，本发明的第一发明中，是如下这样的真空处理装置所述数据分析程序根据所述测定值，生成多个所述第一次图表线，并将其显示于所述显示装置，将一个所述一次图表的所述测定值之一作为该所述第一次图表线的所述提取起点时刻，求取其他的所述第一次图表线的所述提取起点时刻，根据显示的所述第一次图表线，生成所述第二次图表线，并将其显示于所述显示装置。此外，本发明的第一发明中，是如下这样的真空处理装置所述数据分析程序使得显示的所述第二次图表线中的被选择的所述第二次图表线在所述显示装置上与所述X轴平行地进行移动。此外，本发明的第一发明中，是如下这样的真空处理装置所述数据分析程序将与移动后的所述第二次图表线的所述测定值对应的所述X轴上换算时刻，修正移动后的所述第二次图表线的所述X轴上的移动量。此外，本发明的第一发明中，是如下这样的真空处理装置从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号， 所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中，所述数据分析程序使得进行如下工作求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴，以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述X 轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，能将所希望的所述动作开始时刻或者所述动作停止时刻指定为所述提取起点时刻。
此外，本发明的第一发明中，是如下这样的真空处理装置所述数据分析程序将所述时间图的、比所述起点提取时刻晚的时刻的所述动作开始时刻或者所述动作停止时刻指定为提取终点时刻，提取与所述提取起点时刻和所述提取终点时刻之间的所述测定时刻对应的所述测定值，生成所述第二次图表线。 此外，本发明的第一发明中，一种图表显示方法，其是将存储于真空处理装置的存储装置中的测定值的图表线显示于显示装置的图表显示方法，所述真空处理装置具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，在所述图表显示方法中， 当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻， 将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成第一次图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，将显示的所述第一次图表线的所述测定时刻之一作为提取起点时刻，提取所述第一次图表线的所述测定值中的所述测定时刻在所述提取起点时刻以后的所述测定值，将所述起点开始时刻作为所述基准时刻，根据提取的所述测定值和所述测定时刻，在所述X-Y坐标上显示第二次图表线。此外，本发明的第一发明中，是如下这样的图表显示方法所述数据分析程序根据所述测定值生成多个所述第一次图表线，并将其显示于所述显示装置，将一个所述一次图表的所述测定值之一作为该所述第一次图表线的所述提取起点时刻，求取其他的所述第一次图表线的所述提取起点时刻，根据显示的所述第一次图表线，生成所述第二次图表线，并将其显示于所述显示装置。此外，本发明的第一发明中，是如下这样的图表显示方法选择显示的所述第二次图表线中的所希望的图表线，被选择的所述第二次图表线在所述显示装置上与所述X轴平行地进行移动。此外，本发明的第一发明中，是如下这样的图表显示方法将与移动后的所述第二次图表线的所述测定值对应的所述X轴上换算时刻，修正移动后的所述第二次图表线的所述X轴上的移动量。此外，本发明的第一发明中，是如下这样的图表显示方法从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号， 所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中，在所述图表显示方法中，求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴，以使得与所述Y轴平行的一直线与所述χ轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述χ轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，能将所希望的所述动作开始时刻或者所述动作停止时刻指定为所述提取起点时刻。此外，本发明的第一发明中，是如下这样的图表显示方法将所述时间图的、比所述起点提取时刻晚的时刻的所述动作开始时刻或者所述动作停止时刻指定为提取终点时刻，提取与所述提取起点时刻和所述提取终点时刻之间的所述测定时刻对应的所述测定值，生成所述第二次图表线。此外，本发明的第二发明中，一种真空处理装置，其具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与所述测定值的测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，将使规定片数的所述处理对象物连续地进行相同的所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储在所述存储装置中，其中，在所述存储装置中存储有数据分析程序，所述数据分析程序被构成为当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X 轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置， 根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，当显示的所述图表线中的任一个所述图表线被选择时，属于被选择的所述图表线的所述批次的其他显示的所述图表线也一同被选择，被选择的所述图表线能在所述X-Y坐标上在所述X轴延伸的方向上一同进行相同距离的移动。此外，本发明的第二发明中，是如下这样的真空处理装置从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号， 所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中，所述数据分析程序使得进行如下工作当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，在所述显示装置上， 在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴，所述时间轴上的规定位置作为所述基准时刻，以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，与被选择的所述图表线属于相同的所述批次的所述时间图，与被选择的所述图表线一同，与所述时间轴平行地在相同方向上进行相同距离的移动。此外，本发明的第二发明中，一种真空处理装置，其具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，所述真空处理装置将连续进行真空处理的规定片数的基板作为一个批次，将连续对规定片数的所述处理对象物进行相同的所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储于所述存储装置中， 将包含使进行所述真空处理的装置动作的动作信号和使所述动作停止的停止信号的控制信号，与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起， 与所述真空处理相对应地存储在所述存储装置中，其中，在所述存储装置中存储有数据分析程序，所述数据分析程序被构成为当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述 Y轴上的位置，生成多个图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴，以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上， 利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，当对显示的所述时间图中的任一个所述时间图进行选择时，属于被选择的所述时间图所属的所述批次的其他显示的所述时间图也一同被选择，被选择的所述时间图能在所述时间轴上在所述时间轴延伸的方向上一同在相同方向上进行相同距离的移动，并被构成为与被选择的所述时间图属于相同的所述批次的所述图表线，与被选择的所述时间图一同在相同方向上进行相同距离的移动。此外，本发明的第二发明中，是如下这样的真空处理装置，即，其构成为根据移动后的所述图表线的所述测定值的所述X轴的位置，对所述X轴上换算时刻进行再计算，从显示于所述显示装置上的多个所述图表线中选择二个以上的所述图表线作为第一选择组，当所述X轴上的所述X轴换算时刻被指示为第一时刻时，将作为所述第一选择组的各所述图表线的与所述X轴上换算时刻中的离所述第一时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第一测定值，作为各所述图表线的每一个的第一测定值，在所述显示装置上，按被选择的所述图表的每一个来显示所述第一测定值，显示所述第一测定值彼此之差。此外，本发明的第二发明中，是如下这样的真空处理装置，S卩，其构成为从显示于所述显示装置上的所述第一选择组以外的多个所述图表线中选择第二选择组的图表线，当所述X轴上的所述X轴换算时刻被指示为第二时刻时，将作为所述第二选择组的各所述图表线的与所述X轴上换算时刻中的离所述第二时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第二测定值，作为各所述图表线的每一个的第二测定值，使所述显示装置显示所述第一测定值与所述第二测定值之差。此外，本发明的第二发明中，是如下这样的真空处理装置，S卩，其构成为在所述显示装置显示与所述Y轴平行的第一、第二主测量线，将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第一
18时刻，将所述第二选择组的各所述图表线与所述第二主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第二时刻，所述第一、第二主测量线的位置构成为能够进行变更，当所述第一、第二主测量线的位置变更时，所述第一、第二时刻分别变更为变更后的所述第一、第二主测量线所示的所述X轴上换算时刻。此外，本发明的第二发明中，一种图表显示方法，其是将存储于真空处理装置的存储装置中的测定值的图表线显示于显示装置的图表显示方法，所述真空处理装置具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与所述测定值的测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，所述真空处理装置将连续对规定片数的所述处理对象物进行所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储于所述存储装置中，在所述图表显示方法中，当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将 X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成图表线，并将其与所述 X-Y坐标一起显示于显示装置上，当以能选择显示的所述图表线中的所希望的图表线的方式选择任一个所述图表线时，属于被选择的所述图表线的所述批次的其他显示的所述图表线也一同被选择，被选择的所述图表线能在所述X-Y坐标上在所述X轴延伸的方向上一同进行相同距离的移动。此外，本发明的第二发明中，是如下这样的图表显示方法从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号， 所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中，当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴，所述时间轴上的规定位置作为所述基准时刻，以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，与被选择的所述图表线属于相同的所述批次的所述时间图，与被选择的所述图表线一同，与所述时间轴平行地在相同方向上进行相同距离的移动。此外，本发明的第二发明中，一种图表显示方法，其是将存储于真空处理装置的存储装置中的测定值的图表线显示于显示装置的图表显示方法，所述真空处理装置具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，所述真空处理装置将连续进行真空处理的规定片数的基板作为一个批次，将连续对规定片数的所述处理对象物进行相同的所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储于所述存储装置中，将包含使进行所述真空处理的装置动作的动作信号和使所述动作停止的停止信号的控制信号，与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作停止的动作停止时刻一起，与所述真空处理相对应地存储在所述存储装置中，在所述图表显示方法中，被构成为当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成多个图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴，以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，当对显示的所述时间图中的任一个所述时间图进行选择时，属于被选择的所述时间图所属的所述批次的其他显示的所述时间图也一同被选择，被选择的所述时间图能在所述时间轴上在所述时间轴延伸的方向上一同在相同方向上进行相同距离的移动，与被选择的所述时间图属于相同的所述批次的所述图表线，与被选择的所述时间图一同在相同方向上进行相同距离的移动。此外，本发明的第二发明中，是如下这样的图表显示方法根据移动后的所述图表线的所述测定值的所述X轴的位置，对所述X轴上换算时刻进行再计算，从显示于所述显示装置上的多个所述图表线中选择二个以上的所述图表线作为第一选择组，当所述X轴上的所述X轴换算时刻被指示为第一时刻时，将作为所述第一选择组的各所述图表线的与所述 X轴上换算时刻中的离所述第一时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第一测定值，作为各所述图表线的每一个的第一测定值，在所述显示装置上，按被选择的所述图表的每一个来显示所述第一测定值，显示所述第一测定值彼此之差。此外，本发明的第二发明中，是如下这样的图表显示方法从显示于所述显示装置上的所述第一选择组以外的多个所述图表线中，选择第二选择组的图表线，当所述X轴上的所述X轴换算时刻被指示为第二时刻时，将作为所述第二选择组的各所述图表线的与所述X轴上换算时刻中的离所述第二时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第二测定值，作为各所述图表线的每一个的第二测定值，使所述显示装置显示所述第一测定值与所述第二测定值之差。此外，本发明的第二发明中，是如下这样的图表显示方法在所述显示装置上显示与所述Y轴平行的第一、第二主测量线，将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第一时刻，将所述第二选择组的各所述图表线与所述第二主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第二时刻，所述第一、第二主测量线的位置构成为能够进行变更， 当所述第一、第二主测量线的位置变更时，所述第一、第二时刻分别变更为变更后的所述第
2一、第二主测量线所示的所述X轴上换算时刻。此外，本发明的第三发明中，一种真空处理装置，其具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，所述真空处理装置将连续进行真空处理的规定片数的基板作为一个批次，将连续对规定片数的所述处理对象物进行相同的所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储于所述存储装置中， 将包含使进行所述真空处理的装置动作的动作信号和使所述动作停止的停止信号的控制信号，与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作停止的动作停止时刻一起，与所述真空处理相对应地存储在所述存储装置中，其中，在所述存储装置中存储有数据分析程序， 所述数据分析程序使得进行如下工作当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y 轴上的位置，生成多个图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，当从显示于所述显示装置上的多个所述图表线中选择二个以上的所述图表线作为第一选择组，在所述显示装置上显示与所述Y轴平行的第一主测量线时，将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻作为各所述图表的每一个的第一时刻，将作为所述第一选择组的各所述图表线的与所述X轴上换算时刻中的离所述第一时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第一测定值，作为各所述图表线的每一个的第一测定值，在所述显示装置上，按被选择的所述图表的每一个来显示所述第一测定值，并显示所述第一测定值彼此之差的值。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的真空处理装置，S卩，其构成为除了所述第一时刻之外还指示所述X轴上包含的所述X轴上换算时刻的范围内的第二时刻，按所述第一选择组的所述图表的每一个，将所述X轴上换算时刻离所述第二时刻最近的所述测定值特别指定为第二测定值，一个所述图表的所述第一测定值与其他所述图表的所述第二测定值之差的值和所述第二测定值一起显示于所述显示装置上。 此外，本发明的第三发明中，是如下这样的真空处理装置能选择显示的多个所述图表中的二个以上的所述图表，从被选择的所述图表中包含的测定值中，特别指定出所述
第一、第二测定值。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的真空处理装置不同的所述图表间的所述第二测定值彼此之差的值也显示于所述显示装置上。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的真空处理装置所述第一时刻和所述第二时刻显示于所述显示装置上。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的真空处理装置作为所述第一时刻与所述第二时刻之差的时间显示于所述显示装置上。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的真空处理装置，即，其构成为当除了所述第一主测量线之外还在所述显示装置上显示与所述Y轴平行的第二主测量线时，将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第一时刻，将所述第二选择组的各所述图表线与所述第二主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第二时刻，当对所述第一、 第二主测量线的位置进行变更时，所述第一、第二时刻分别变更为变更了位置后的所述第一、第二主测量线的所述X轴上换算时刻。此外，本发明的第三发明中，一种真空处理装置，其中，从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号，所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中，所述数据分析程序构成为求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴，以使得与所述Y轴平行的一直线与所述χ轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述χ轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的真空处理装置，S卩，其构成为在所述 X-Y坐标上显示所述图表线，该图表线是根据利用显示的所述时间图的所述控制信号进行的所述真空处理中所测定的所述测定值而生成的。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的真空处理装置，即，其构成为在所述第一、第二主测量线的延长线上分别显示与所述控制信号的显示交叉的第三、第四主测量线， 当所述第一、第二主测量线的位置变更时，所述第三、第四主测量线移动到变更了位置后的所述第一、第二主测量线的延长线上的位置，当所述第三、第四主测量线的位置变更时，所述第一、第二主测量线分别移动到变更了位置后的所述第三、第四主测量线的延长线上的位置。此外，本发明的第三发明中，一种图表显示方法，其是将存储于真空处理装置的存储装置中的测定值的图表线显示于显示装置的图表显示方法，所述真空处理装置具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，所述真空处理装置将连续进行真空处理的规定片数的基板作为一个批次，将连续对规定片数的所述处理对象物进行相同的所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储于所述存储装置中，将包含使进行所述真空处理的装置动作的动作信号和使所述动作停止的停止信号的控制信号，与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作停止的动作停止时刻一起，与所述真空处理相对应地存储在所述存储装置中，在所述图表显示方法中，从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成多个图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，从显示于所述显示装置上的多个所述图表线中选择二个以上的所述图表线作为第一选择组，在所述显示装置上显示与所述Y轴平行的第一主测量线， 将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻作为各所述图表的每一个的第一时刻，将作为所述第一选择组的各所述图表线的与所述X轴上换算时刻中的离所述第一时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第一测定值， 作为各所述图表线的每一个的第一测定值，在所述显示装置上，按被选择的所述图表的每一个来显示所述第一测定值，并显示所述第一测定值彼此之差的值。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的图表显示方法，S卩，其构成为除了所述第一时刻之外还指示所述X轴上包含的所述X轴上换算时刻的范围内的第二时刻，按所述第一选择组的所述图表的每一个，将所述X轴上换算时刻离所述第二时刻最近的所述测定值特别指定为第二测定值，一个所述图表的所述第一测定值与其他所述图表的所述第二测定值之差的值和所述第二测定值一起显示于所述显示装置上。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的图表显示方法能选择显示的多个所述图表中的二个以上的所述图表，从被选择的所述图表中包含的测定值中，特别指定出所述
第一、第二测定值。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的图表显示方法不同的所述图表间的所述第二测定值彼此之差的值也显示于所述显示装置上。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的图表显示方法所述第一时刻和所述第二时刻显示于所述显示装置上。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的图表显示方法作为所述第一时刻与所述第二时刻之差的时间显示于所述显示装置上。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的图表显示方法当除了所述第一主测量线之外还在所述显示装置显示与所述Y轴平行的第二主测量线时，将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第一时刻，将所述第二选择组的各所述图表线与所述第二主测量线的交点的所述X 轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第二时刻，当对所述第一、第二主测量线的位置进行变更时，所述第一、第二时刻分别变更为变更了位置后的所述第一、第二主测量线的所述X轴上换算时刻。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的图表显示方法从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号， 所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中，所述数据分析程序使得进行如下工作求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴，以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述X 轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的图表显示方法在所述X-Y坐标上显示所述图表线，该图表线是根据利用显示的所述时间图的所述控制信号进行的所述真空处理中所测定的所述测定值而生成的。此外，本发明的第三发明中，是如下这样的图表显示方法，S卩，其构成为在所述第一、第二主测量线的延长线上，分别显示与所述控制信号的显示交叉的第三、第四主测量线，当所述第一、第二主测量线的位置变更时，所述第三、第四主测量线移动到变更了位置后的所述第一、第二主测量线的延长线上的位置，当所述第三、第四主测量线的位置变更时，所述第一、第二主测量线分别移动到变更了位置后的所述第三、第四主测量线的延长线上的位置。发明效果 <第一发明>
由于本发明中的第一发明能提取进行了真空处理的测定值的所希望的部分并将其进行图表化，所以能容易进行真空处理间的比较分析。由于能基于控制信号或动作状态信号进行提取，所以易于使比较的图表数据的操作的时刻一致。此外，第一发明由于能一边在画面上观察一边进行提取，所以能看见控制信号、动作状态信号中的噪声，能防止由噪声引起的错误的提取。此外，第一发明由于能使根据提取的测定值的图表的所希望的部分移动，所以能使峰位置等位于相同的X坐标，能正确地使图表重合来进行分析。<第二发明>
第二发明由于能使测定值的图表简单地重合来进行比较，所以能易于进行真空处理的分析。由于通过使控制信号或动作状态信号的折线一致，从而能使真空处理的测定值的图表重合，所以能进行基于控制信号或动作状态信号的比较。由于能使因噪声而杂乱的图表起点一致，所以比较会变得正确。由于能一边观察控制信号或动作状态信号的折线或图表的形状一边进行图表的移动，所以修正很简单。<第三发明>
在第三发明中，由于能简单地比较真空处理彼此的处理内容，所以能进行真空处理的分析。此外，由于能比较批次间的真空处理，所以能按每个真空处理来研究进行了真空处理的处理对象物的特性。


图1是用于说明本发明中的第一发明的真空处理装置的框图。图2是用于说明第一发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(1)。图3是用于说明第一发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(2)。图4是用于说明第一发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(3)。图5是用于说明第一发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(4)。图6是用于说明第一发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(5)。图7是用于说明第一发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(6)。
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图8是用于说明第二发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(1)。图9是用于说明第二发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(2)。图10是用于说明第二发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(3)。图11是用于说明第二发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(4)。图12是用于说明第二发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(5)。图13是用于说明第三发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(1)。图14是用于说明第三发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(2)。图15是用于说明第三发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(3)。图16是用于说明第三发明的真空处理的分析方法的显示装置的画面(4)。附图标记说明
1……真空处理装置；11……真空槽；15……处理对象物；20……真空处理部；21…… 控制部；23,24……处理设备组；31 38……处理设备；40……计算机；42……运算装置； 43……存储装置；44……显示装置；46……输入装置；131……X-Y坐标；132……第一次图
表线；134U34aU34b......第二次图表线；141......时间轴；144a、144b......时间图；201......
第一主测量线；202……第二主测量线；203……第一辅助测量线；204……第二辅助测量线；231……X-Y坐标；241……时间轴；301……第一主测量线；302……第二主测量线； 303……第三主测量线；304……第四主测量线；331……X-Y坐标；332……图表；334……时间图；341……时间轴。
具体实施例方式图1的附图标记1是本发明中的第一发明的真空处理装置的一个例子，具有真空处理部20和控制部21。真空处理部20具有真空槽11、分别进行配置于真空槽11的内部的处理对象物的真空处理的配置于真空槽11的内部的处理设备组23、以及配置于外部的处理设备组对。在此，处理对象物是基板。处理设备组23、对是进行作为处理对象物的基板的真空处理的装置，真空槽11内部的处理设备组23包含配置于真空槽11的底面的作为蒸镀源的处理设备34、对作为蒸镀源的处理设备34照射电子线的作为EB枪的处理设备33、配置于作为蒸镀源的处理设备 34的上方的作为保持装置的处理设备31、以及配置于保持装置的处理设备31的内部的作为加热器的处理设备32。此外，在真空槽11外部的处理设备组M具有多个处理设备，在此，包含作为蒸镀用电源的处理设备35、作为真空排气系统的处理设备36、作为气体导入系统的处理设备 37、作为加热器用电源的处理设备38。控制部21配置于真空槽11的外部。图1的附图标记15是作为处理对象物的基板，使成膜面朝向作为蒸镀源的处理设备；34并被保持装置的处理设备31保持。真空排气系统的处理设备36和气体导入系统的处理设备37连接于真空槽11，能使真空排气系统的处理设备36动作并对真空槽11的内部进行真空排气。此外，能使气体导入系统的处理设备37动作并从气体导入系统的处理设备37向真空槽11的内部导入反应性气体等气体。加热器用电源的处理设备38和蒸镀用电源的处理设备35分别连接于加热器的处理设备32和EB枪的处理设备33，分别从加热器用电源的处理设备38和蒸镀用电源的处理设备35对加热器的处理设备32和EB枪的处理设备33提供电力。加热器的处理设备32因提供的电力而发热，使保持装置的处理设备31升温并在真空环境中对基板15进行加热。EB枪的处理设备33利用被提供的电力而对蒸镀源的处理设备34照射电子束，对配置于蒸镀源的处理设备34内的蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料的蒸气释放到真空槽11内的真空环境中。该蒸气在真空环境或反应气体环境中到达基板15，在其成膜面形成薄膜。在处理设备组23、24中还包含检测温度、压力的传感器、根据传感器检测并输出的信号来进行温度测定、压力测定等的物理量的测定的测定装置，此外，还包含配置于加热器用电源的处理设备38或蒸镀用电源的处理设备35等处理设备的内部并对电流、电压等的物理量进行测定的测定装置。测定的真空槽11内的压力、基板15的温度、气体导入量、向作为加热器的处理设备32流动的电流量、对EB枪的处理设备33提供的电力等的测定值，被对应于作为测定的时刻的测定时刻，并从处理设备组23J4输出到控制部21。在控制部21中配置有序列发生器41和计算机40，从处理设备组23J4输入的测定值和测定时刻经由序列发生器41输入到计算机40中。计算机40具有运算装置42、存储装置43、显示装置44和输入装置46，输入到计算机40的测定值和测定时刻存储在存储装置43中。输入装置46作为一个例子是键盘。真空处理例如是前处理、薄膜形成、蚀刻处理分别为一次的真空处理，在一个真空槽11内，对多个成膜对象物(基板15) —片一片或者多片多片地反复连续地进行相同种类的真空处理，基板15按连续进行真空处理的每一规定片数，而属于相同的批次。测定值被存储起来的文件名称以做成可知测定值所属的批次、获得测定值的种类、测定值的处理设备、真空处理的内容的方式存储在存储装置43中。批次利用编号来区别。一片基板15的一真空处理的测定值以恒定的时间间隔而连续，其测定值附加文件名称地存储起来。在文件名称中包含批次编号、批次名称等能区别批次的显示，此外，以即使在一个批次内也能区别不同的真空处理的方式还包含真空处理编号等能区别真空处理的显示。因此，测定值根据其文件名称而与批次和真空处理对应起来。也可以是，即使多个真空处理的测定值利用一文件名称进行存储，也能根据其文件名称的测定值来提取所希望的真空处理的测定值。在存储装置43中存储有进行测定值的图表化和分析的数据分析程序，在序列发生器41中存储有使真空处理部20动作的顺序。序列发生器41对处理设备组23J4输出一边控制各项处理设备31 38(包含传感器)一边使其动作并进行真空处理的控制信号。在该控制信号中至少包含对处理设备 31 38指示动作的开始的动作信号和对处理设备31 38指示动作的停止的停止信号。 控制信号输出到处理设备组M所包含的处理设备23、24中包含的处理设备31 38，并且还输出到计算机40。
处理设备31 38根据控制信号使动作开始或者结束，作为动作中的信号和动作停止的信号的任一信号的动作状态信号、变更了动作的状态的变更时刻，从处理设备31 38中，经由序列发生器41输出到计算机40，并存储在存储装置43中。动作状态信号中的从动作停止向动作中的变更为动作开始，表示动作开始的时刻的变更时刻为动作开始时刻，从动作中向动作停止的变更为动作停止，表示动作停止的时刻的变更时刻为动作停止时刻。控制信号还附加利用控制信号进行的真空处理的批次编号或真空处理编号等，与批次和真空处理对应起来，指示动作开始的信号的时刻成为动作开始时刻，指示动作的停止的时刻成为动作停止时刻，作为指示动作的开始或者停止的控制信号，一起存储在存储装置43中。在该真空处理装置1中，在真空槽11内基板15被处理后搬出，并搬入未处理的基板，在真空槽11内连续地进行真空处理，这样，进行多个批次的基板的真空处理。在存储装置43中存储有多个批次的真空处理的测定值、与测定值对应的测定时亥|J、对该真空处理进行控制的控制信号、处理设备31 38的动作状态信号、以及与动作状态信号对应的变更时刻。在变更时刻中包含动作开始时刻和动作停止时刻。在对多个真空处理的测定结果进行比较并进行分析时，计算机40按照对测定值进行图表化的数据分析程序来动作。生成测定值的批次编号、基板15的编号、真空处理的种类、测定值的种类，记载在测定值的文件名称中，利用文件名称，运算装置42能获得所希望的测定值以及测定时刻、 与该测定值关联的动作状态信号以及变更时刻。运算装置42能从存储装置43中将它们读入更高速的存储器等中。另外，进行分析并进行比较的不同的基板的测定值是，相同的处理设备31 38或者传感器装置、测定装置的相同种类的物理量，测定时刻的间隔在一真空处理中是恒定的。 此外，在真空处理与真空处理之间也进行测定，其测定时刻的间隔也是与真空处理中相同的恒定值。根据控制信号的文件的名称或动作状态信号的文件的名称，可知控制信号或动作状态信号的与批次、基板、真空处理的对应关系、或与测定值的关系。接下来，说明本发明中的第一发明的实施例。<第一发明的实施例>
图2的附图标记100示出了连接到计算机40的显示装置44的画面。也可以是利用 LAN等手段与计算机40互相通信的其他计算机的显示装置的画面。在画面100中，为了对图表化的候补的测定值和与该测定值对应的控制信号或者动作状态信号进行特别指定，而设有测定值特别指定栏110和信号特别指定栏120，以能对应地目视确认出测定值的变化和控制信号或者动作状态信号的变化的方式，区分为显示测定值的图表的图表显示区域130和显示控制信号或者动作状态信号的时间图(timing chart)显示区域140。利用信号特别指定栏120，对控制信号进行特别指定，在时间图显示区域140中， 能对动作信号和停止信号进行区别，以可知动作开始时刻和停止时刻的位置的方式对控制信号进行显示。
测定值以例如基板一片的由一个传感器得出的以等时间间隔连续的多个测定值被附加一个文件名称来进行存储，利用测定值的文件名称151，能对批次、真空处理的种类、 测定值的种类(例如电流值、电压、压力等)进行特别指定。在测定值特别指定栏110，设有纵向一列地显示成为图表的显示的候补的各测定值的文件名称151 (名称1 6)的名称显示列111。此外，在测定值特别指定栏110，设有用于指示成为图表显示的候补的测定值中的实际进行图表显示的测定值的显示指示列114。在画面100上显示为图表的一部分的X-Y坐标，具有左侧和右侧的二条Y轴，能使测定值与左侧的Y轴的刻度或右侧的Y轴的刻度的任一者相对应。为了与任一Y轴相对应， 在测定值特别指定栏110，设有用于选择Y轴的Y轴指示列115，此外，在测定值特别指定栏 110，设有指示后面叙述的主测量线的显示的测量指示列113。当在显示指示列114纵向一列地显示的复选框(check box)154中进行复选时，附加了复选的测定值在图表显示区域130呈曲线进行显示，利用曲线和X轴、Y轴对图表进行显不。此时，通过对在Y轴指示列115分别纵向一列地显示的左侧的Y轴的复选框156 和右侧的Y轴的复选框155的任一方附加复选，从而选择使测定值对应的Y轴在左还是在右。通过对在测量指示列113纵向一列地配置的复选框153附加一条用的标记或者二条用的标记，从而对所希望的主测量线进行显示。此外，在测定值特别指定栏110，设有用于指示图表的颜色的颜色指示列112，通过对在颜色指示列112纵向一列地显示的颜色样本152的颜色进行变更，从而能对显示的图表的颜色进行变更。以使得各列111 114的复选框等的显示内容易于看出显示内容与测定值的文件名称151的对应的方式，将显示内容与文件名称151以相同的高度进行显示。对于信号特别指定栏120也是，除了 Y轴指示列115以外，与测定值特别指定栏 110是相同的，设有名称显示列121、颜色指示列122、测量指示列123和显示指示列124。在由测量指示列123指示的主测量线与控制信号的时间图(折线)的交点的控制信号，表示控制信号所指示的处理设备31 38的动作中的情况下，表示高的值显示于画面 100上，在是停止中的情况下，显示表示低的数值。也可以不是表示高、低的数值，而是对动作和停止进行区别的图形等的其他显示。在图中，附图标记161表示能特别指定批次、真空处理的控制信号的名称(名称 11 16)，附图标记162表示颜色样本，附图标记163、164表示复选框。使用测定值特别指定栏110和信号特别指定栏120的复选框153 156、163、164， 对复选进行记载，从显示候补的测定值中，选择实际进行图表化并显示的测定值。在存储装置42中，将由大量的测定值构成的一系列的测定值做成一个文件来进行存储，选择其中的所希望的文件，如图3所示那样，在图表显示区域130，显示由根据被选择的文件中的测定值生成的曲线构成的第一次图表线132。该第一次图表线132与X-Y坐标131 —同显示来进行图表显示。在时间图显示区域140，显示成根据与显示的测定值对应的控制信号，动作信号和停止信号由高度不同的横线段构成的时间图142，与时间轴141 一同显示。动作信号的横线段显示在比停止信号的横线段高一定高度的位置。时间轴141在画面100上位于X-Y坐标 131的X轴的正下方，与X轴平行。即使在该第一发明和后面叙述的第二、第三发明中，也可以是，不是将控制信号， 而是将动作状态信号做成在动作中和在停止中高度的不同的横线段而制成折线，并在画面 100显示成时间图。对第一 第三发明的时刻进行说明。与测定值对应的测定时刻和控制信号的动作开始时刻、动作停止时刻是，以一天为M小时并以上午零时为起点的时刻，进而，是还包含公历以及月、日期的时刻。因此，即使是在M小时中同一数值的时刻，若公历、月或者日期中的一个不同，也判断为不同的时刻。对于基板不同的相同的真空处理，分别设定作为不同时刻的基准时刻，即使在本例和后面叙述的各例中，也是与成为显示候补的测定值对应地将测定时刻变换成作为从设定的基准时刻起的经过时间的X轴上换算时刻。利用该变换，即使是包含于不同文件中的不同测定时刻的测定值，从相互不同的基准时刻起的经过时间为相同的值的测定值也成为具有相同的X轴上换算时刻的测定值。进行图表显示的测定值的测定时刻换算为X轴上换算时刻，与测定值对应起来存储于存储器或存储装置43中。对基准时刻，能使用对进行了测定图表显示的测定值的真空处理的处理设备组M 或处理设备组23进行控制的控制信号中所包含的动作开始时刻或动作停止时刻等。在此，对基准时刻，采用进行了图表显示的测定值的真空处理的控制信号中所包含的最初的动作开始时刻，在画面100上，以显示预先设定的个数的组的动作信号和停止信号的方式，决定显示第一次图表线132和时间图142的时间范围。在这种情况下，X轴的每个单位长度的时间，从键盘输入或者根据读入的测定值的时间等来进行计算，测定值的X坐标利用基准时刻的X轴上的位置和X轴的每个单位长度的时间，根据与测定值对应的X轴上换算时刻，求取各测定点的X轴上的位置。在此，设X轴与被选择的左侧Y轴的交点为X-Y坐标的原点，基准时刻的位置设为与原点相比更靠右侧的X轴上的规定位置。相同的处理设备31 38以恒定的相同的时间间隔进行测定，因此，测定时刻间的间隔成为恒定时间。该测定时间的间隔只要是相同的处理设备31 38的测定值，则即使真空处理不同，也会成为相同的时间。因此，当将能成为多个文件的测定值的测定时刻的时刻作为各文件的基准时刻来计算X轴上换算时刻并对测定值进行显示时，对一个X轴上换算时刻，对应有多个测定值。在左右的Y轴中，由Y轴指示列115指定的Y轴上的每个单位长度的值和Y轴上的规定位置的基准点的值由输入装置46输入，或者，根据测定值的大小进行计算以求取适当的值，设定为基准点的值。在此，虽然设X轴与被选择的Y轴的交点为基准点，但并不限定于此。因此，利用Y轴的基准点的测定值的值和Y轴上的每个单位长度的测定值的大小， 作为被选择的Y轴上的各测定值的位置的Y坐标根据各测定值的大小来求取。这样，通过求取显示的测定值的X坐标和Y坐标，并用曲线、线段连结由XY坐标表示的测定值的位置，显示出一条线(曲线或者折线)，从而进行图表化。还能利用最小二乘法等生成曲线的方法，求取不通过测定值的XY坐标的曲线，进行图表化。图3将对显示指示列114内的复选框IM附加了复选的文件的测定值显示为第一次图表线132。接下来，对时间图显示区域140的显示进行说明。动作开始时刻和动作停止时刻将与测定值相同的基准时刻作为基准，换算成作为从基准时刻起的时间轴141上的时间的时间轴上换算时刻。时间轴141的原点是X-Y坐标131的左侧的Y轴的延长线与时间轴141交叉的点， 时间轴141上的基准时刻的位置通过X轴上的基准时刻，是相对于X轴垂直的直线与时间轴141交叉的点。预先决定时间轴的每个单位长度的时间，因此，动作开始时刻和动作停止时刻成为与这些时间轴上换算时刻的值相应的时间轴141上的位置。在本例中，时间轴的每个单位长度的时间与X轴的每个单位长度的时间是相同的，因此，与X轴和时间轴141垂直交叉的直线，通过相同的值的X轴上换算时刻和时间轴上换算时刻。控制信号中包含的动作信号和停止信号由与时间轴141平行且高度不同的横线段来进行显示，在对动作开始时刻进行了换算后的时间轴上时刻中，利用一个停止信号的终点与下一动作信号的起点之间、一个动作信号的终点和下一停止信号的起点由垂直的纵线段进行连结而形成的时间图142来显示控制信号。纵线段位于对动作开始时刻或者动作停止时刻进行了换算后的时间轴上的时刻。 在显示动作状态信号的情况下，将动作变更时刻换算为时间轴上的时刻的位置是显示纵线段的位置。在本例中，如图3所示那样，在图表显示区域130和时间图显示区域140，分别显示一条第一次图表线132和与该第一次图表线132的测定值对应的控制信号的时间图142。在针对各测定值的控制信号中包含多个动作开始时刻，在这些开始时刻中，各文件中的特定的处理装置的最初的开始时刻成为基准时刻。在控制信号的时间图142中还包含多个停止时刻，由于动作信号的横线和停止信号的横线的高度不同，所以与各开始时刻和各停止时刻相对应地在第一次图表线132中可看见凹凸。对第一次图表线132中的这些凹凸的一部分进行选择，为了进行放大并与其他测定值进行比较，对第一次图表线132的一部分进行特别指定，提取构成该部分的测定值。当提取重要的部分时，能利用提取的部分的比较来清楚真空处理的不同。开始从第一次图表线132的测定值的提取的提取起点和使提取结束的提取终点， 能通过使鼠标指示器指到画面上显示的第一次图表线132上的所希望位置并点击，从而进行指定。此外，能通过利用输入装置46输入X轴上换算时刻、时间轴上换算时刻，将输入的 X轴上换算时刻、时间轴上换算时刻倒算为测定时刻，成为提取起点时刻和提取终点时刻。此外，也能通过使鼠标指示器指到X轴上的任意点并点击，从而进行指定。在此，在与控制信号对应存储的多个开始时刻和停止时刻中，在按时刻顺序排列时，将作为基准时刻之后的开始时刻的从基准时刻起所希望个数的开始时刻作为提取起点时刻，利用输入装置46输入从提取起点起的经过时间，对提取终点时刻进行指定。
在时间图142中，将从低转为高的位置的垂直线称为上升沿，将从高转为低的垂直线称为下降沿，在图3中，将表示控制信号中的开始时刻的垂直线显示为上升沿148，将表示停止时刻的垂直线显示为下降沿149。为了从第一次图表线132中提取作为第一次图表线132的一部分的凸状部分133， 将第5个上升沿148指定为提取起点，提取作为提取起点的测定时刻的提取起点时刻以后的测定点。 在本例中，利用输入装置46对计算机40输入经过时间，将从提取起点时刻起经过输入的经过时间的时刻作为提取终点时刻，在提取起点时刻与提取终点时刻之间的范围， 提取包含对应的测定时刻的测定值。为了较大地显示由提取的测定值形成的图表，将提取所使用的提取起点时刻作为基准时刻，使基准时刻配置于X轴的规定位置，根据测定时间，对作为从基准时刻起的经过时间的X轴上换算时刻进行再计算。还对X轴的每个单位长度的时间进行再设定，利用进行与提取的测定值对应的再计算而求取的X轴上换算时刻，求取作为提取的测定值的X轴上的位置的X坐标。还利用使用了自动的计算或者输入装置46的输入，对Y轴上的每个单位长度的测定值的大小也进行再设定，此外，当对Y轴与X轴交叉的交点位置的测定值也进行再设定时，对提取的测定值的X轴、Y轴上的位置进行再计算。当与将第一次图表线132显示于画面100上时相比，使Y轴上的每个单位长度的测定值的大小变小，使X轴上的每个单位长度的时间的长度变短时，如图4所示那样，连结测定值而显示于画面100上的第二次图表线134比第一次图表线132更放大，其结果是，由第二次图表线Π4和X轴Y轴构成的图表显示也被放大。时间轴141的基准时刻也被作为提取起点时刻，时间轴141的每个单位长度的时间变更为与将第二次图表线134显示于画面100时的、X轴的每个单位长度的时间相同的值。由此，对位于提取起点时刻与提取终点时刻之间的开始时刻和停止时刻的时间轴上时刻进行再计算，求取开始时刻和停止时刻的时间轴上的位置，显示一部分被放大的由折线构成的时间图144。第二次图表线134与时间图144之间的相对位置关系和第一次图表线 132与时间图142之间的相对位置关系是相同的。在按不同的真空处理的每一个来提取测定值的一部分并在真空处理间比较所提取的测定值的情况下，按多个真空处理的每一个来读入大量的测定值，在各真空处理间以相同的基准设定提取起点时刻和提取终点时刻，按多个真空处理的每一个在测定值中，提取测定时刻位于提取起点时刻与提取终点时刻之间的部分，如图5所示那样，多个(在此为二个)第二次图表线i;34a、134b显示于相同的X-Y坐标131上。在图5中，在时间轴141上，利用与所提取的测定值对应的部分的控制信号，显示由折线构成的多个时间图lMa、144b。在此显示的时间图144a、144b与显示的第二次图表线134a、134b相对应，在多个时间图lMa、144b的控制信号中的一个控制信号中，将作为从停止信号变为动作信号的控制信号的上升沿的开始时刻作为基准时刻来提取测定值，但是在其他控制信号中，控制信号中所包含的噪声147的上升沿被作为基准时刻而提取了测定值。因此，与这些控制信号对应的第二次图表线134a、134b在画面100上不重合。
在该数据分析程序中，能在图表显示区域130，显示与X轴垂直(与Y轴平行)的多个(在本例中为二条)主测量线，此外，还能在时间图显示区域140，显示与时间轴141垂直的多个(在本例中为二条)辅助测量线。在分别显示主测量线和辅助测量线的情况下，对测量指示列113、123的复选框 153、163附加标记。在本例中，主测量线和辅助测量线构成为一条一条或者二条二条地进行显示，在本例中，如图6所示那样，以分别通过第二次图表线134a、134b的峰位置的方式，显示第一、 第二主测量线101、102。此外，在本例中，在时间图显示区域140，在与第一、第二主测量线101、102所在的 X轴上换算时刻相同时刻的时间轴上，第一、第二辅助测量线103、104分别与时间轴垂直地进行显示。第一、第二主测量线101、102和第一、第二辅助测量线103、104均能输入时刻、移动时间，或能通过利用鼠标或光标进行运动来实现移动。在使第一、第二主测量线101、102移动的情况下，移动目的地的X轴上换算时刻需要是能与测定值对应的时刻。在为了移动而输入的X轴上换算时刻或由鼠标指示的移动目的地的X轴上换算时刻不是能与进行图表显示的测定值中对应的时刻的情况下，在进行图表显示的测定值中，离作为移动目的地的X轴上换算时刻最近且有对应的测定值的X轴上换算时刻成为移动目的地，第一、第二主测量线101、102当移动到该时刻时，第一、第二主测量线101、102通过测定值。第一、第二辅助测量线103、104分别移动到作为与第一、第二主测量线101、102移动后的X轴上换算时刻相同的时刻的时间轴上换算时刻。也可以不是使第一、第二主测量线101、102移动以追随第一、第二辅助测量线 103、104，而是相反地，也能通过使第一、第二辅助测量线103、104移动，从而使第一、第二主测量线101、102分别移动到与移动后的第一、第二辅助测量线103、104的时间轴上换算时刻相同时刻的X轴上换算时刻。在利用第一、第二辅助测量线103、104的移动而使第一、第二主测量线101、102移动时，在测定值与第一、第二主测量线101、102的移动目的地的X轴上换算时刻相对应的情况下，第一、第二主测量线101、102移动到该X轴上换算时刻，第一、第二辅助测量线103、 104移动到与该X轴上换算时刻相同时刻的时间轴上换算时刻。在利用第一、第二辅助测量线103、104的移动而使第一、第二主测量线101、102移动时，在第一、第二主测量线101、102的移动目的地的X轴上换算时刻不是测定值能存在的时刻的情况下，在进行图表显示的测定值中，将离作为移动目的地的X轴上换算时刻最近且对应有测定值的X轴上换算时刻作为移动目的地，第一或者第二主测量线101、102、第一或者第二辅助测量线103、104分别移动到该X轴上换算时刻和与其相同时刻的时间轴上换算时刻。将第一、第二主测量线101、102所在的X轴上换算时刻作为第一、第二时刻，在显示的第二次图表线的测定值中，当将与第一、第二时刻对应的测定值分别称为第一、第二测定值时，第一、第二时刻以可知其位置的方式在画面100上显示表示时刻的数值和作为第一、第二时刻间之差的时间差。
此外，第一、第二测定值与对第一、第二主测量线101、102和第二次图表线13如、 134b的交点进行区别的记号Pl P4 —同显示于画面100上，对不同的第二次图表线13如、 134b间的第一测定值彼此之差和第二测定值彼此之差也进行显示，进而，还在画面100上显示相同的第二次图表线134a、134b的测定值中的、第一测定值与第二测定值之差。在第一测定值具有三个以上的情况下，能显示相邻接的第一测定值彼此之差。对于第二测定值也是，在具有三个以上的情况下，能显示相邻接的第二测定值彼此之差。接下来，当对第二次图表线134a、134b的移动进行说明时，在本发明中的第一发明中，在显示的多个第二次图表线13^、134b中，构成为能选择一以上的所希望个数的第二次图表线IMa、134b进行移动，利用来自鼠标、键盘的输入等在画面100上进行点击等来选择所希望的第二次图表线13如、134b，并且能利用从输入装置46输入移动时间、或者移动目的地的X轴上换算时刻的输入、由鼠标的指示器作出的指示等手段，使所选择的所希望的第二次图表线134a、134b与X轴平行移动。如上所述，测定值的测定时间为等间隔的，因此，与测定值对应的X轴上换算时刻也成为等间隔。对与一个第二次图表线13 或者134b中的一个测定值对应的X轴上换算时刻，还对应了其他第二次图表线13 或者134b中的测定值，第二次图表线134a、134b的移动量以相邻接的X轴上换算时刻间的时间为单位时间，并被设为单位时间的整数倍。被指定为第二次图表线134a、134b的移动量的移动时间、根据被指定为移动目的地的X轴上换算时刻求取的移动时间，通过四舍五入、进位、小数舍去等而变换为单位时间的整数倍的移动时间，各测定点的X轴上换算时刻基于变换后的移动时间进行变更，其测定值的第二次图表线134a、134b也基于移动后的X轴上换算时刻而被改写。此时，与被选择的第二次图表线134a、134b相关的控制信号，例如，进行被选择的第二次图表线134a、134b的真空处理的控制信号，与开始时刻和停止时刻的时间轴上变换时刻变更为X轴上换算时刻的移动时间进行相同时间的变更，时间图144a、144b也与第二次图表线134a、134b的移动时间以相同时间、相同方向与时间轴141平行地进行移动。也可以对显示于时间图显示区域140的时间图144a、144b的所希望的部分进行选择，利用由来自输入装置46的输入引起的移动、由移动目的地的X轴上换算时刻的指定引起的移动、鼠标的指示器的移动所附带的移动、光标的移动所附带的移动等与第二次图表线134a、134b的移动时相同的移动手段来实现移动，并使与移动的控制信号相关的测定值的第二次图表线13如、134b，例如，在选择的时间图144a、144b的控制信号所控制的真空处理时测定的测定值的第二次图表线13^、134b，一同进行移动。在这种情况下也是，当以相邻接的测定值的X轴上换算时刻间的时间为单位时间时，移动量为单位时间的整数倍，输入的时间、移动目的地的时间轴上换算时刻与上述相同地利用四舍五入、进位、小数舍去等而变换为作为单位时间的整数倍的移动时间，移动的控制信号的时间轴上变换时刻、移动的测定值的X轴上换算时刻基于变换后的移动时间进行计算并显示出来。在图6中第一、第二主测量线101、102分别配置于第二次图表线i;34a、134b的峰位置。因此，未重合的二个第二次图表线134a、134b的峰的时间差在画面100中显示为第一、第二主测量线101、102之间的时间差，由于若显示于移动后的画面100的时间差为零则峰就配置于相同的X轴上换算时刻，所以能选择一方的第二次图表线13 或者134b，并以使其重合的方式输入附加符号而显示的时间差。此外，当将第一、第二辅助测量线103、104配置于时间轴141上的开始时刻的位置，使画面100上显示时间图144a、144b的开始时刻的时间差时，能使第二次图表线13 或者134b移动并使开始时刻位于相同的时间轴上换算时刻。图7是进行移动以使第二次图表线134a、134b重合的状态的画面100。与移动后的第二次图表线13 或者134b的测定值对应的X轴上换算时刻修正移动的时间的量。在第一或者第二主测量线101、102、第二次图表线134a、134b移动后，在画面100
中显示移动后的第一、第二时刻、第一、第二测定值、它们之差。另外，第一、第二测定值成为测定时刻与修改后的X轴上换算时刻相等的测定值。 因此，指定的第一次图表线132的第一测定值之差成为未移动的第一次图表线132的第一测定值与移动后的第一次图表线132的第一测定值之差。另外，在多个第一次图表线显示于画面100上的情况下，在这些第一次图表线中， 选择一个第一次图表线，当包含于一个第一次图表线中的一个测定时刻成为一个第一次图表线的提取起点时刻时，该提取起点时刻的X轴上换算时刻，按其他第一次图表线的每一个而与其他第一次图表线中包含的测定时刻的X轴上换算时刻一个一个地相等。因此，只要在其他第一次图表线中，将与一个第一次图表线的提取起点时刻的X轴上换算时刻对应的测定值的测定时刻作为提取起点时刻即可。<第二发明的实施例>
本发明除了上述第一发明中说明的内容之外，还具有如下述说明的第二发明的内容。当对第二发明进行说明时，图8的附图标记200表示连接于计算机40的显示装置 44的画面。也可以是利用LAN等手段与计算机40进行互相通信的其他计算机的显示装置的画面。在该画面200中，进行根据第二发明的动作的显示，与上述第一发明的画面100相同地，为了特别指定出进行图表显示的测定值和与该测定值对应的控制信号，而设有测定值特别指定栏210和信号特别指定栏220。此外，在画面200中，以能对应地目视确认出测定值的变化和控制信号的变化的方式，区分为显示测定值的图表的图表显示区域230和显示控制信号的时间图显示区域 2400在时间图显示区域240中，以能区别动作信号和停止信号并可知开始时刻和停止时刻的位置的方式显示控制信号。测定值与第一发明相同地，基板15 —片的测定值被附加文件名称251后存储于存储装置43中。测定值的种类(例如，电流值、电压、压力等)、批次、真空处理的种类能根据文件名称而进行特别指定。在测定值特别指定栏210，设有纵向一列地显示进行了读入的各测定值的文件名称251 (名称1 6)的名称显示列211。此外，在测定值特别指定栏210，设有用于指示进行了读入的测定值中的进行图表显示的测定值的显示指示列214。与上述的画面100相同地，显示的X-Y坐标具有左侧和右侧的二条Y轴，能使测定
34值与左侧的Y轴的刻度或右侧的Y轴的刻度的任一者对应地来显示图表，在测定值特别指定栏210，设有用于选择Y轴的Y轴指示列215，此外，还设有指示主测量线的显示的测量指示列213。当对在显示指示列214纵向一列地显示的复选框2M进行复选时，附加了复选的测定值在图表显示区域230显示为曲线，通过对在Y轴指示列215分别纵向一列地显示的左侧的Y轴的复选框256和右侧的Y轴的复选框255的任一方附加复选，从而选择与测定值对应的Y轴在左还是在右，通过对在测量指示列213纵向一列地配置的复选框253附加一条用的标记或者二条用的标记，从而能显示一条或者二条的主测量线。此外，在测定值特别指定栏210，设有用于指示图表的颜色的颜色指示列212，通过对在颜色指示列212纵向一列地显示的颜色样本252的颜色进行变更，从而能对显示的图表的颜色进行变更。以使得各列211 214的复选框等的显示内容易于看出显示内容与测定值的文件名称251的对应的方式，将显示内容和文件名称251以相同的高度进行显示。对于信号特别指定栏220也是，除了 Y轴指示列215以外，与测定值特别指定栏 210是相同的，设有名称显示列221、颜色指示列222、测量指示列223和显示指示列224。由测量指示列223指示的主测量线与控制信号的时间图(折线)的交点，将交点所在的部分的控制信号是动作信号还是停止信号的信号状态，利用表示高的数值或表示低的数值而显示于画面200上。也可以代替表示高的数值和表示低的数值，而以记号、图形等其他方法表示信号状态。在图中，附图标记261表示能特别指定批次、真空处理的控制信号的名称(“名称 11” “名称16”)，附图标记262表示颜色样本，附图标记沈3、264表示复选框。当使用测定值特别指定栏210和信号特别指定栏220的复选框253 256J63、 264，记载复选并对显示的测定值进行选择时，如图9所示那样，在图表显示区域230，显示根据被选择的测定值而制成的多个图表线232。该图表线232作为按每个真空处理而不同的曲线显示于X-Y坐标231上。在时间图显示区域M0，由根据控制信号而制成的折线构成的时间图234与时间轴241 —同进行显示。时间轴241在画面200上位于X-Y坐标231的X轴的正下方，与X 轴平行。在本例中也是，进行图表显示的测定值是属于不同批次的基板的测定值，将从对获得测定值的真空处理进行控制的控制信号中包含的最初的动作停止变更为动作中的变更时刻设定为基准时刻。X轴的每个单位长度的时间、Y轴的每个单位长度的测定值的大小、各测定值的X 轴上换算时刻、X-Y坐标的原点、基准时刻的位置、时间轴上换算时刻等、X-Y坐标、曲线、开始时刻、停止时刻、时间图的显示方法，在本第二发明和后面叙述的第三发明中均为如上所述那样，求取各测定值的X坐标和Y坐标，能将一基板的测定值利用最小二乘法等以一条图表线进行显示，或能将测定值的坐标值的点用线段连结来显示为图表线。此外，即使在本第二发明和后面叙述的第三发明中也是与第一发明相同的，测定值是表示处理设备31 38、传感器装置输出的测定结果的值。如图9所示那样，当对利用对显示指示列214的复选框254的复选而显示的文件名称进行指示时，将被指示的文件名称的测定值显示为图表线232。在此，图表线232为5
^^ ο如图9所示那样，在图表显示区域230和时间图显示区域M0，分别显示多个图表线232和多个时间图234，在针对各测定值的控制信号中的最初的开始时刻作为基准时刻的图表线232中，可看到图表线232的峰位置位于左方的山形状的图表线23 和位于右方的山形状的图表线232b。在本发明的数据分析程序中，能在图表显示区域230中，显示与X轴垂直的多个 (在本例中为二条)主测量线，此外，还能在时间图显示区域MO中，显示与时间轴241垂直的多个(在本例中为二条)辅助测量线。在分别显示主测量线和辅助测量线的情况下，对测量指示列213、223的复选框 253、263附加标记。在本例中，计算机40构成为二条二条地显示主测量线和辅助测量线，在图10中， 配置成第一主测量线201通过左方的山形状的图表线23 的峰、第二主测量线202通过右方的山形状的图表线232b的峰。主测量线和辅助测量线输入X轴上换算时刻、时间轴上换算时刻，能移动到输入的X轴上换算时刻、时间轴上换算时刻，或用鼠标等进行点击而移动与鼠标的移动量对应的距离。第一主测量线201所在的X轴上换算时刻和第一辅助测量线203所在的时间轴上换算时刻变得相等，此外，第二主测量线202所在的X轴上换算时刻和第二辅助测量线204 所在的时间轴上换算时刻也变得相等。在使第一、第二主测量线201、202移动的情况下，在测量指示列213附加标记而被选择的测定值中，在没有与为了移动而输入的X轴上换算时刻、由鼠标的移动引起的移动目的地的X轴上换算时刻相对应的测定值的情况下，在被由标记选择的测定值中，将第一、 第二主测量线201、202移动到离输入的X轴上换算时刻最近且与测定值对应的X轴上换算时刻。第一、第二辅助测量线203、204移动到作为与第一、第二主测量线201、202移动后的X轴上换算时刻相同的时刻的时间轴上换算时刻。相反地，当移动第一、第二辅助测量线203、204时，第一主测量线201移动到与移动后的第一、第二辅助测量线203、204的时间轴上换算时刻相同的时刻的X轴上换算时刻。此时，在测定值对应于第一、第二主测量线201、202的移动目的地的X轴上换算时刻的情况下，第一、第二主测量线201、202移动到该X轴上换算时刻，第一、第二辅助测量线 203,204移动到与该X轴上换算时刻相同时刻的时间轴上换算时刻。另一方面，在测定值未对应于移动目的地的X轴上换算时刻的情况下，在被由测量指示列213的标记选择的测定值中，选择离移动目的地的X轴上换算时刻最近且对应于测定值的X轴上换算时刻，第一或者第二主测量线201、202和第一或者第二辅助测量线 203,204分别移动到该X轴上换算时刻和与其相同时刻的时间轴上换算时刻。此外，在测量指示列213中附加了标记而被选择的测定值中，当将第一、第二主测量线201、202所在的X轴上换算时刻称为第一、第二时刻，将与第一、第二时刻对应的测定值称为第一、第二测定值时，第一、第二时刻可知位置，与第一、第二时刻间的时间一起作为图10的“计算值1”显示于画面200中，第一、第二测定值与对第一、第二主测量线201、202 与图表线232的交点进行区别的记号“P1” “P4”一起显示于画面200中。本发明是，构成为在显示的多个图表线232中，选择一个以上的所希望个数的图表线232，将所选择的一个以上的图表线232作为一个选择组，能使一个选择组中包含的图表线232 —同移动，将选择并移动的X轴上的距离作为时间从键盘进行输入，或者，进行在图表线232中指定的测定点所在的X轴上换算时刻的输入，或利用鼠标来选择所希望个数并与鼠标的指示器一起移动，或者，在选择了所希望个数之后，利用与键盘的特定键的按下时间对应移动等的移动方法，能使被选择的所希望个数的图表线232与X轴平行移动。当将选择的二个以上的图表线作为第一选择组、将其他选择的二个以上的图表线作为第二选择组时，第一测定值是，与和主测量线交叉的第一选择组中的各图表线的、离交叉的点的X轴上换算时刻最近的X轴上换算时刻相对应的测定值，第二测定值是，与和主测量线交叉的第二选择组中的各图表线的、离交叉的点的X轴上换算时刻最近的X轴上换算时刻相对应的测定值，按每个图表线来设定第一、第二测定值。第一、第二测定值也可以利用输入装置46进行输入。另外，如上所述，测定值的测定时间为等间隔的，因此，与测定值对应的X轴上换算时刻也为等间隔的。其他图表线232中的测定值也与一个图表线232中的一个测定值所对应的X轴上换算时刻相对应，图表线232的移动量以相邻接的X轴上换算时刻间的时间为单位时间，并被设为单位时间的整数倍。因此，被指定为图表线232的移动量的移动时间、根据被指定为移动目的地的X轴上换算时刻求取的移动时间，通过四舍五入、进位、小数舍去等而变换为单位时间的整数倍的移动时间，各测定点的X轴上换算时刻基于变换后的移动时间进行变更，其测定值的图表线232也基于移动后的X轴上换算时刻而被改写。此时，与被选择的图表线232相关的控制信号，例如，进行被选择的图表线232的真空处理的控制信号，与开始时刻和停止时刻的时间轴上变换时刻变更X轴上换算时刻的移动时间进行相同时间的变更，时间图241也与图表线232的移动时间以相同时间、同方向与时间轴241平行地进行移动。也可以对显示于时间图显示区域MO的时间图241中的所希望的部分进行选择， 利用键盘的输入、移动目的地的X轴上换算时刻的指定、与鼠标的指示器的移动一起进行移动、光标的移动等与使图表线232移动时相同的手段来实现移动，并使与移动的控制信号相关的测定值的图表线232，例如，在选择的时间图234的控制信号所控制的真空处理时测定的测定值的图表线232，一同进行移动。在这种情况下也是，当以相邻接的测定值的X轴上换算时刻间的时间为单位时间时，移动量为单位时间的整数倍，输入的时间、移动目的地的时间轴上换算时刻与上述相同地利用四舍五入、进位、小数舍去等而变换为作为单位时间的整数倍的移动时间，移动的控制信号的时间轴上变换时刻、移动的测定值的X轴上换算时刻基于变换后移动时间进行计算并显示出来。第一时刻与第二时刻之差为左方的山形状的图表线23 的峰位置与右方的山形状的图表线232b的峰位置的时间差，利用鼠标等来选择一方的山形状的图表线23 或者 232b，当以使与另一方的山形状23 或者232b的图表线之间的峰位置的时间差为零的方式进行移动时，各图表线232的峰位置如图11所示那样重合，能对各图表线23h、232b的形状、高度简单地进行比较。此外，时间图234中将动作信号在上、停止信号在下来进行了描绘，在时间图显示区域240中，在时间图234中可知，有动作信号的上升沿281的时刻为基准时刻的形状23 和控制信号中包含的噪声的上升沿282被误认为动作信号且成为基准信号的形状234b。虽然各图表线232将与各图表线232对应的控制信号中包含的最初的动作信号的时间轴上换算时刻作为了基准时刻，但是也可以以使被误认的形状234b的正确的上升沿 283移动到基准时刻的位置的方式，使时间图234移动，并使对应的图表线232 —同移动进行重合。由于移动图表线232并将与测定值对应的X轴上换算时刻修正了移动量，所以在画面200中显示的第一、第二测定值成为测定时刻与修正后的X轴上换算时刻相等的测定值。因此，被指定的图表线232的第一测定值之差成为未移动的图表线232的第一测定值与移动后的图表线232的第一测定值之差。图12是各图表线232的峰一致的状态，通过使第一、第二主测量线201、202移动到一致后的图表线232上，从而能显示想要观察的位置的X轴上换算时刻、第一、第二测定值。<第三发明的实施例>
本发明除了上述第一、第二发明中说明的内容之外，还具有如下述说明的第三发明的内容。图13的附图标记300表示连接于计算机40的显示装置44的画面。也可以是利用LAN等手段与计算机40进行互相通信的其他计算机的显示装置的画面。在画面300中也是与第一、第二发明的画面100、200相同地，为了特别指定出进行图表显示的测定值和与该测定值对应的控制信号，而设有测定值特别指定栏310和信号特别指定栏320，以能对应地目视确认出测定值的变化和控制信号的变化的方式，区分为显示测定值的图表的图表显示区域330和显示控制信号的时间图显示区域340。在时间图显示区域340中，以能区别动作信号和停止信号并可知开始时刻和停止时刻的位置的方式显示控制信号。测定值的内容如上所述，在该画面300中，在测定值特别指定栏310设有名称显示列311，其中，纵向一列地显示以图表显示为对象的测定值的文件名称351 (名称1 5)。此外，在测定值特别指定栏310，设有用于对进行图表显示的测定值进行指示的显示指示列314。与上述的画面100、200相同地，显示的X-Y坐标具有左侧和右侧的二条Y轴，能使测定值与左侧的Y轴的刻度或右侧的Y轴的刻度的任一者对应地来显示图表，在测定值特别指定栏310，设有用于选择Y轴的Y轴指示列315，此外，还设有进行后面叙述的主测量线的显示的指示的测量指示列313。当对在显示指示列314纵向一列地显示的复选框3M进行复选时，附加了复选的测定值在图表显示区域330进行图表显示，通过对在Y轴指示列315分别纵向一列地显示的左侧的Y轴的复选框356和右侧的Y轴的复选框355的任一方附加复选，从而选择与测定值对应的Y轴在左还是在右，通过对在测量指示列313纵向一列地配置的复选框353附加一条用的标记或者二条用的标记，从而显示所希望的主测量线。此外，在测定值特别指定栏310，设有用于指示图表的颜色的颜色指示列312，通过对在颜色指示列312纵向一列地显示的颜色样本352的颜色进行变更，从而能对显示的图表的颜色进行变更。以使得各列311 314的复选框等的显示内容易于看出显示内容与测定值的名称 351的对应的方式，将显示内容和文件名称351以相同的高度进行显示。对于信号特别指定栏320也是，除了 Y轴指示列315以外，与测定值特别指定栏 310是相同的，设有名称显示列321、颜色指示列322、测量指示列323和显示指示列324。由测量指示列323指示的主测量线与控制信号的时间图(折线)的交点的信号状态的显示如上所述。在图中，附图标记361表示控制信号的名称，附图标记362表示颜色样本，附图标记363、364表示复选框。在第一 第三发明中，能利用显示于名称显示列121、221、321的控制信号的名称，对输出控制信号的批次、控制信号所控制的真空处理进行特别指定。使用测定值特别指定栏310和信号特别指定栏320的复选框353 356、363、364， 记载复选以对将测定值显示为图表线的文件名进行选择，如图14所示那样，在图表显示区域330，显示根据被选择的文件名的测定值而制成的图表332。该图表332按不同基板的测定值的每一个而分别地在X-Y坐标331上与X-Y坐标331 —同显示。在时间图显示区域340，根据控制信号制成的时间图334与时间轴341 —同显示。 与上述例相同地，时间轴341在画面300上位于X-Y坐标331的X轴的正下方，与X轴平行。此外，在左右的Y轴中的由Y轴指示列315指定的Y轴上的每个单位时间的值和 X轴与被指示的Y轴的交点(左侧Y轴与X轴的交点为X-Y坐标331的原点)的值，被输入或者根据测定值的大小来进行求取。在本例中也是，如图14所示那样，利用对显示指示列314的复选框354的复选而被指示的测定值显示为图表线332，其控制信号显示为时间图334。开始时刻和停止时刻是与其时间轴上换算时刻的值相应的时间轴341上的位置。在该数据分析程序中，能在图表显示区域330，显示与X轴垂直的一条或者二条以上(在本例中为二条)的主测量线(第一、第二主测量线)。此外，还能在时间图显示区域340 中，显示与时间轴341垂直的一条或者二条以上(在本例中为二条)的辅助测量线(第三、第四主测量线)。在显示一条主测量线和一条辅助测量线的情况下，对测量指示列313、323的一个或者多个复选框353、363附加一条显示用的标记。图15为其状态，在测定值特别指定栏310和信号特别指定栏320中，分别对二个复选框353、363附加一条用的标记。当附加一条用的标记时，在图表显示区域330的预先设定的位置显示第一主测量线301。此时，在时间图显示区域340中，在与第一主测量线301 所在的X轴上换算时刻相同的时刻的时间轴上换算时刻，显示第一辅助测量线303。在此，在从基准时刻的位置离开了预先设定的距离的X轴上换算时刻和时间轴上换算时刻的位置，分别显示第一主测量线301和第一辅助测量线303。在附加一条用的标记而被选择的测定值中，在有与显示第一主测量线301的位置的X轴上换算时刻对应的测定值的情况下，该测定值为交点，将其与用于利用附加数字来区别表示交点的“P”的附图标记“P1”、“P2” 一起显示于图表显示区域330。在没有与显示第一主测量线301的位置的X轴上换算时刻对应的测定值的情况下，在由一条用的标记而被选择的测定值中，第一主测量线301移动到离第一主测量线301 的X轴上换算时刻最近且与测定值对应的X轴上换算时刻。第一辅助测量线303也移动到作为与第一主测量线301移动后的X轴上换算时刻相同的时刻的时间轴上换算时刻。而且，与移动后的X轴上换算时刻对应的测定值如上述那样与用于区别交点的记号“P1”、“P2” 一起显示于图表显示区域330。此时，在对多个复选框353附加一条用的标记并选择多个文件名的情况下，当将被选择的文件名的图表线作为第一选择组时，在第一选择郡中的图表线中的测定值中，与第一主测量线301的X轴上换算时刻对应的测定值按每个图表线而不同，计算不同图表线中的、与第一主测量线301的X轴上换算时刻对应的测定值彼此之差，与差是哪个图表332 的值彼此之差一起显示于画面300 (“计算值1”)。此外，以可知第一辅助测量线303与时间图334的交点是动作信号还是停止信号的信号状态的方式，将能区别交点是动作信号或者停止信号的值或者记号与用于区别交点的记号“P1”、“P2” 一起显示于画面300。第一主测量线301、第一辅助测量线303、以及后面叙述的第二主测量线302、第二辅助测量线304能输入时刻，或能通过利用鼠标、光标的运动来实现移动。在使第一主测量线301移动的情况下，将第一辅助测量线303移动到与移动后的第一主测量线301的X轴上换算时刻相同时刻的时间轴上换算时刻，相反地，当使第一辅助测量线303移动时，将第一主测量线301移动到与移动后的第一辅助测量线303的时间轴上换算时刻相同时刻的X轴上换算时刻。此时，在测定值与第一主测量线301的移动目的地的X轴上换算时刻相对应的情况下，第一主测量线301移动到该X轴上换算时刻，第一辅助测量线303移动到与该X轴上换算时刻相同时刻的时间轴上换算时刻，显示的测定值与显示的测定值彼此之差变更为使用了移动后的测定值的值。在测定值不对应于移动目的地的X轴上换算时刻的情况下，在由测量指示列313 的标记而被选择的测定值中，选择离移动目的地的X轴上换算时刻最近且与测定值对应的 X轴上换算时刻，第一主测量线301和第一辅助测量线303分别移动到该X轴上换算时刻和与其相同时刻的时间轴上换算时刻，成为使用了移动后的测定值和移动后的交点的信号状态的显示。通过利用时刻的输入、画面上的使用鼠标等的移动来使第一辅助测量线303移动，从而也能使第一主测量线301连动地移动。在测定值不对应于与移动目的地的时间轴上换算时刻相同时刻的X轴上换算时刻的情况下，在由测量指示列313的标记而被选择的测定值中，选择离与移动目的地的时间轴上换算时刻相同时刻的X轴上换算时刻最近且与测定值对应的X轴上换算时刻，对第一主测量线301进行移动。将第一辅助测量线303移动到与移动的X轴上换算时刻相同时刻的时间轴上换算时刻。测定值、差的显示对使用了移动后的测定值的值进行显示。接下来，测量指示列313、323的复选框353、363在未附加标记的状态中，构成为能最初附加一条用的标记，接下来，在附加了一条用的标记时，能将其改写为二条用的标记。 利用图15、图16的标记的颜色进行显示。当附加二条用的标记时，除了第一主测量线301和第一辅助测量线303之外，如图 16所示那样，还将第二主测量线302和第二辅助测量线304分别显示于X-Y坐标331上和时间轴341上的预先设定的位置。对于第二主测量线302和第二辅助测量线304也是，与第一主测量线301和第一辅助测量线303相同地第二主测量线302能位于与测定值对应的X轴上换算时刻，在测定值不对应于移动目的地的X轴上换算时刻的情况下，按与第一主测量线301相同的顺序，移动到与测定值对应的X轴上换算时刻，将第二辅助测量线304移动到与该X轴上换算时刻相同时刻的时间轴上时刻。此外，对于第二主测量线302和第二辅助测量线304也是，与第一主测量线301和第一辅助测量线303相同地能变更位置，移动可以是时刻输入，也可以是由鼠标、光标等引起的移动。当将第一主测量线301所在的X轴上换算时间设为第一时刻、将第二主测量线302 所在的时刻设为第二时刻时，在画面300中与第一时刻和第二时刻一起，还显示作为第一时刻与第二时刻之差的时间。此外，将与被选择的测定值中的第一时刻对应的测定值设为第一测定值，求取各图表332间的第一测定值彼此之差并进行显示，此外，当将与第二时刻对应的测定值设为第二测定值时，求取各图表332间的第二测定值彼此之差并进行显示，进而，将作为附加了二条用的标记的图表332中的测定值的、一个图表332的第一测定值与第二测定值之差，按被附加了二条用的标记的测定值的图表332的每一个进行显示。在图16中是“计算值2” 的栏。在第一测定值或者第二测定值中包含多个测定值的情况下，也能求取第一测定值的平均值或者第二测定值的平均值，并求取平均值彼此之差或者平均值与第一或者第二测定值之差。各差的值可以包含正负符号，也可以由绝对值来表示。通过在图表332彼此之间对一条图表332的第一测定值与第二测定值之差进行比较，从而可知描绘了各图表332的真空处理的状态之差，利用对进行了真空处理的基板15 的特性进行测定的结果的比较和真空处理的比较，可知装置的状态的变化等。特别是，当将处理设备组23、24中包含的处理设备31 38的动作开始的时刻作为基准时刻，对多个真空处理分别求取第一、第二时刻之间的差并进行比较时，能对与成为比较对象的测定值有关的处理设备31 38的处理内容进行比较。
权利要求
1.一种真空处理装置，其具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，其中，在所述存储装置中存储有数据分析程序，所述数据分析程序被构成为当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成第一次图表线， 并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，将显示的所述第一次图表线的所述测定时刻之一作为提取起点时刻，提取所述第一次图表线的所述测定值中的所述测定时刻在所述提取起点时刻以后的所述测定值，将所述起点开始时刻作为所述基准时刻，根据提取的所述测定值和所述测定时刻，在所述X-Y坐标上显示第二次图表线。
2.根据权利要求1所述的真空处理装置，其中，所述数据分析程序根据所述测定值，生成多个所述第一次图表线，并将其显示于所述显示装置，将一个所述一次图表的所述测定值之一作为该所述第一次图表线的所述提取起点时刻，求取其他的所述第一次图表线的所述提取起点时刻，根据显示的所述第一次图表线，生成所述第二次图表线，并将其显示于所述显示装置。
3.根据权利要求2所述的真空处理装置，其中，所述数据分析程序使得显示的所述第二次图表线中的被选择的所述第二次图表线在所述显示装置上与所述X轴平行地进行移动。
4.根据权利要求3所述的真空处理装置，其中，所述数据分析程序将与移动后的所述第二次图表线的所述测定值对应的所述X轴上换算时刻，修正移动后的所述第二次图表线的所述X轴上的移动量。
5.根据权利要求1至权利要求4的任一项所述的真空处理装置，其中，从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号，所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中，所述数据分析程序使得进行如下工作求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴，以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述 X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，能将所希望的所述动作开始时刻或者所述动作停止时刻指定为所述提取起点时刻。
6.根据权利要求5所述的真空处理装置，其中，所述数据分析程序将所述时间图的、比所述起点提取时刻晚的时刻的所述动作开始时刻或者所述动作停止时刻指定为提取终点时刻，提取与所述提取起点时刻和所述提取终点时刻之间的所述测定时刻对应的所述测定值，生成所述第二次图表线。
7.一种图表显示方法，其是将存储于真空处理装置的存储装置中的测定值的图表线显示于显示装置的图表显示方法，所述真空处理装置具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，在所述图表显示方法中，当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成第一次图表线， 并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，将显示的所述第一次图表线的所述测定时刻之一作为提取起点时刻，提取所述第一次图表线的所述测定值中的所述测定时刻在所述提取起点时刻以后的所述测定值，将所述起点开始时刻作为所述基准时刻，根据提取的所述测定值和所述测定时刻，在所述X-Y坐标上显示第二次图表线。
8.根据权利要求7所述的图表显示方法，其中，所述数据分析程序根据所述测定值生成多个所述第一次图表线，并将其显示于所述显示装置，将一个所述一次图表的所述测定值之一作为该所述第一次图表线的所述提取起点时刻，求取其他的所述第一次图表线的所述提取起点时刻，根据显示的所述第一次图表线，生成所述第二次图表线，并将其显示于所述显示装置。
9.根据权利要求8所述的图表显示方法，其中，选择显示的所述第二次图表线中的所希望的图表线，被选择的所述第二次图表线在所述显示装置上与所述X轴平行地进行移动。
10.根据权利要求9所述的图表显示方法，其中，将与移动后的所述第二次图表线的所述测定值对应的所述X轴上换算时刻，修正移动后的所述第二次图表线的所述X轴上的移动量。
11.根据权利要求7至权利要求10的任一项所述的图表显示方法，其中，从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号，所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中， 在所述图表显示方法中求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴， 以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述 X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，能将所希望的所述动作开始时刻或者所述动作停止时刻指定为所述提取起点时刻。
12.根据权利要求11所述的图表显示方法，其中，将所述时间图的、比所述起点提取时刻晚的时刻的所述动作开始时刻或者所述动作停止时刻指定为提取终点时刻，提取与所述提取起点时刻和所述提取终点时刻之间的所述测定时刻对应的所述测定值，生成所述第二次图表线。
13.一种真空处理装置，其具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与所述测定值的测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，将使规定片数的所述处理对象物连续地进行相同的所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储在所述存储装置中，其中，在所述存储装置中存储有数据分析程序， 所述数据分析程序被构成为当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，当显示的所述图表线中的任一个所述图表线被选择时，属于被选择的所述图表线的所述批次的其他显示的所述图表线也一同被选择，被选择的所述图表线能在所述X-Y坐标上在所述χ轴延伸的方向上一同进行相同距离的移动。
14.根据权利要求13所述的真空处理装置，其中，从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号，所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中，所述数据分析程序使得进行如下工作当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴， 所述时间轴上的规定位置作为所述基准时刻，以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述 X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，与被选择的所述图表线属于相同的所述批次的所述时间图，与被选择的所述图表线一同，与所述时间轴平行地在相同方向上进行相同距离的移动。
15. 一种真空处理装置，其具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，将连续进行真空处理的规定片数的基板作为一个批次，将连续对规定片数的所述处理对象物进行相同的所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储于所述存储装置中，将包含使进行所述真空处理的装置动作的动作信号和使所述动作停止的停止信号的控制信号，与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作停止的动作停止时刻一起，与所述真空处理相对应地存储在所述存储装置中，其中， 在所述存储装置中存储有数据分析程序， 所述数据分析程序被构成为当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成多个图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴， 以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述 X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，当对显示的所述时间图中的任一个所述时间图进行选择时，属于被选择的所述时间图所属的所述批次的其他显示的所述时间图也一同被选择，被选择的所述时间图能在所述时间轴上在所述时间轴延伸的方向上一同在相同方向上进行相同距离的移动，并被构成为与被选择的所述时间图属于相同的所述批次的所述图表线，与被选择的所述时间图一同在相同方向上进行相同距离的移动。
16.根据权利要求13至权利要求15的任一项所述的真空处理装置，其中，构成为 根据移动后的所述图表线的所述测定值的所述X轴的位置，对所述X轴上换算时刻进行再计算，从显示于所述显示装置上的多个所述图表线中选择二个以上的所述图表线作为第一选择组，当所述X轴上的所述X轴换算时刻被指示为第一时刻时，将作为所述第一选择组的各所述图表线的与所述X轴上换算时刻中的离所述第一时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第一测定值，作为各所述图表线的每一个的第一测定值，在所述显示装置上，按被选择的所述图表的每一个来显示所述第一测定值， 显示所述第一测定值彼此之差。
17.根据权利要求16所述的真空处理装置，其中，构成为从显示于所述显示装置上的所述第一选择组以外的多个所述图表线中选择第二选择组的图表线，当所述X轴上的所述X轴换算时刻被指示为第二时刻时，将作为所述第二选择组的各所述图表线的与所述X轴上换算时刻中的离所述第二时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第二测定值，作为各所述图表线的每一个的第二测定值，使所述显示装置显示所述第一测定值与所述第二测定值之差。
18.根据权利要求17所述的真空处理装置，其中，构成为 在所述显示装置显示与所述Y轴平行的第一、第二主测量线，将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第一时刻，将所述第二选择组的各所述图表线与所述第二主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第二时刻，所述第一、第二主测量线的位置构成为能够进行变更，当所述第一、第二主测量线的位置变更时，所述第一、第二时刻分别变更为变更后的所述第一、第二主测量线所示的所述X轴上换算时刻。
19.一种图表显示方法，其是将存储于真空处理装置的存储装置中的测定值的图表线显示于显示装置的图表显示方法，所述真空处理装置具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与所述测定值的测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，所述真空处理装置将连续对规定片数的所述处理对象物进行所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储于所述存储装置中， 在所述图表显示方法中，当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，当以能选择显示的所述图表线中的所希望的图表线的方式选择任一个所述图表线时， 属于被选择的所述图表线的所述批次的其他显示的所述图表线也一同被选择，被选择的所述图表线能在所述X-Y坐标上在所述X轴延伸的方向上一同进行相同距离的移动。
20.根据权利要求19所述的图表显示方法，其中，从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号，所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中，当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴， 所述时间轴上的规定位置作为所述基准时刻，以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述 X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，与被选择的所述图表线属于相同的所述批次的所述时间图，与被选择的所述图表线一同，与所述时间轴平行地在相同方向上进行相同距离的移动。
21.—种图表显示方法，其是将存储于真空处理装置的存储装置中的测定值的图表线显示于显示装置的图表显示方法，所述真空处理装置具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，所述真空处理装置将连续进行真空处理的规定片数的基板作为一个批次，将连续对规定片数的所述处理对象物进行相同的所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储于所述存储装置中，将包含使进行所述真空处理的装置动作的动作信号和使所述动作停止的停止信号的控制信号，与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作停止的动作停止时刻一起，与所述真空处理相对应地存储在所述存储装置中，在所述图表显示方法中，被构成为当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成多个图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴， 以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述 X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号，当对显示的所述时间图中的任一个所述时间图进行选择时，属于被选择的所述时间图所属的所述批次的其他显示的所述时间图也一同被选择，被选择的所述时间图能在所述时间轴上在所述时间轴延伸的方向上一同在相同方向上进行相同距离的移动，与被选择的所述时间图属于相同的所述批次的所述图表线，与被选择的所述时间图一同在相同方向上进行相同距离的移动。
22.根据权利要求19至权利要求21的任一项所述的图表显示方法，其中，根据移动后的所述图表线的所述测定值的所述X轴的位置，对所述X轴上换算时刻进行再计算，从显示于所述显示装置上的多个所述图表线中选择二个以上的所述图表线作为第一选择组，当所述X轴上的所述X轴换算时刻被指示为第一时刻时，将作为所述第一选择组的各所述图表线的与所述X轴上换算时刻中的离所述第一时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第一测定值，作为各所述图表线的每一个的第一测定值，在所述显示装置上，按被选择的所述图表的每一个来显示所述第一测定值， 显示所述第一测定值彼此之差。
23.根据权利要求22所述的图表显示方法，其中，从显示于所述显示装置上的所述第一选择组以外的多个所述图表线中，选择第二选择组的图表线，当所述X轴上的所述X轴换算时刻被指示为第二时刻时，将作为所述第二选择组的各所述图表线的与所述X轴上换算时刻中的离所述第二时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第二测定值，作为各所述图表线的每一个的第二测定值，使所述显示装置显示所述第一测定值与所述第二测定值之差。
24.根据权利要求23所述的图表显示方法，其中，在所述显示装置上显示与所述Y轴平行的第一、第二主测量线， 将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第一时刻，将所述第二选择组的各所述图表线与所述第二主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第二时刻，所述第一、第二主测量线的位置构成为能够进行变更，当所述第一、第二主测量线的位置变更时，所述第一、第二时刻分别变更为变更后的所述第一、第二主测量线所示的所述X轴上换算时刻。
25.一种真空处理装置，其具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，所述真空处理装置将连续进行真空处理的规定片数的基板作为一个批次，将连续对规定片数的所述处理对象物进行相同的所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储于所述存储装置中，将包含使进行所述真空处理的装置动作的动作信号和使所述动作停止的停止信号的控制信号，与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作停止的动作停止时刻一起，与所述真空处理相对应地存储在所述存储装置中，其中，在所述存储装置中存储有数据分析程序， 所述数据分析程序使得进行如下工作当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成多个图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，当从显示于所述显示装置上的多个所述图表线中选择二个以上的所述图表线作为第一选择组，在所述显示装置上显示与所述Y轴平行的第一主测量线时，将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻作为各所述图表的每一个的第一时刻，将作为所述第一选择组的各所述图表线的与所述X轴上换算时刻中的离所述第一时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第一测定值，作为各所述图表线的每一个的第一测定值，在所述显示装置上，按被选择的所述图表的每一个来显示所述第一测定值，并显示所述第一测定值彼此之差的值。
26.根据权利要求25所述的真空处理装置，其中，构成为除了所述第一时刻之外还指示所述X轴上包含的所述X轴上换算时刻的范围内的第二时刻，按所述第一选择组的所述图表的每一个，将所述X轴上换算时刻离所述第二时刻最近的所述测定值特别指定为第二测定值，一个所述图表的所述第一测定值与其他所述图表的所述第二测定值之差的值和所述第二测定值一起显示于所述显示装置上。
27.根据权利要求沈所述的真空处理装置，其中， 能选择显示的多个所述图表中的二个以上的所述图表，从被选择的所述图表中包含的测定值中，特别指定出所述第一、第二测定值。
28.根据权利要求沈或者权利要求27的任一项所述的真空处理装置，其中，不同的所述图表间的所述第二测定值彼此之差的值也显示于所述显示装置上。
29.根据权利要求沈所述的真空处理装置，其中，所述第一时刻和所述第二时刻显示于所述显示装置上。
30.根据权利要求沈所述的真空处理装置，其中，作为所述第一时刻与所述第二时刻之差的时间显示于所述显示装置上。
31.根据权利要求沈所述的真空处理装置，其中，构成为当除了所述第一主测量线之外还在所述显示装置上显示与所述Y轴平行的第二主测量线时，将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第一时刻，将所述第二选择组的各所述图表线与所述第二主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第二时刻，当对所述第一、第二主测量线的位置进行变更时，所述第一、第二时刻分别变更为变更了位置后的所述第一、第二主测量线的所述X轴上换算时刻。
32.一种真空处理装置，其中，从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号，所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中， 所述数据分析程序构成为求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴， 以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述 X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号。
33.根据权利要求32所述的真空处理装置，其中，构成为在所述X-Y坐标上显示所述图表线，该图表线是根据利用显示的所述时间图的所述控制信号进行的所述真空处理中所测定的所述测定值而生成的。
34.根据权利要求33所述的真空处理装置，其中，构成为在所述第一、第二主测量线的延长线上分别显示与所述控制信号的显示交叉的第三、 第四主测量线，当所述第一、第二主测量线的位置变更时，所述第三、第四主测量线移动到变更了位置后的所述第一、第二主测量线的延长线上的位置，当所述第三、第四主测量线的位置变更时，所述第一、第二主测量线分别移动到变更了位置后的所述第三、第四主测量线的延长线上的位置。
35.一种图表显示方法，其是将存储于真空处理装置的存储装置中的测定值的图表线显示于显示装置的图表显示方法，所述真空处理装置具有对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，所述真空处理装置将连续进行真空处理的规定片数的基板作为一个批次，将连续对规定片数的所述处理对象物进行相同的所述真空处理时的所述测定值作为一个批次，将多个所述批次的所述测定值存储于所述存储装置中，将包含使进行所述真空处理的装置动作的动作信号和使所述动作停止的停止信号的控制信号，与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作停止的动作停止时刻一起，与所述真空处理相对应地存储在所述存储装置中，在所述图表显示方法中，从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X-Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成多个图表线，并将其与所述X-Y坐标一起显示于显示装置上，从显示于所述显示装置上的多个所述图表线中选择二个以上的所述图表线作为第一选择组，在所述显示装置上显示与所述Y轴平行的第一主测量线，将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻作为各所述图表的每一个的第一时刻，将作为所述第一选择组的各所述图表线的与所述X轴上换算时刻中的离所述第一时刻最近的所述X轴上换算时刻对应的测定值的第一测定值，作为各所述图表线的每一个的第一测定值，在所述显示装置上，按被选择的所述图表的每一个来显示所述第一测定值，并显示所述第一测定值彼此之差的值。
36.根据权利要求35所述的图表显示方法，其中，构成为除了所述第一时刻之外还指示所述X轴上包含的所述X轴上换算时刻的范围内的第二时刻，按所述第一选择组的所述图表的每一个，将所述X轴上换算时刻离所述第二时刻最近的所述测定值特别指定为第二测定值，一个所述图表的所述第一测定值与其他所述图表的所述第二测定值之差的值和所述第二测定值一起显示于所述显示装置上。
37.根据权利要求36所述的图表显示方法，其中，能选择显示的多个所述图表中的二个以上的所述图表，从被选择的所述图表中包含的测定值中，特别指定出所述第一、第二测定值。
38.根据权利要求36或者权利要求37的任一项所述的图表显示方法，其中，不同的所述图表间的所述第二测定值彼此之差的值也显示于所述显示装置上。
39.根据权利要求36所述的图表显示方法，其中，所述第一时刻和所述第二时刻显示于所述显示装置上。
40.根据权利要求36所述的图表显示方法，其中，作为所述第一时刻与所述第二时刻之差的时间显示于所述显示装置上。
41.根据权利要求36所述的图表显示方法，其中，当除了所述第一主测量线之外还在所述显示装置显示与所述Y轴平行的第二主测量线时，将所述第一选择组的各所述图表线与所述第一主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第一时刻，将所述第二选择组的各所述图表线与所述第二主测量线的交点的所述X轴上换算时刻，作为各所述图表的每一个的所述第二时刻，当对所述第一、第二主测量线的位置进行变更时，所述第一、第二时刻分别变更为变更了位置后的所述第一、第二主测量线的所述X轴上换算时刻。
42.根据权利要求41所述的图表显示方法，其中，从所述控制装置输出包含使进行所述真空处理的处理装置动作的动作信号和使动作停止的停止信号的控制信号，所述控制信号与使所述动作开始的动作开始时刻和使所述动作的停止开始的动作停止时刻一起存储在所述存储装置中，所述数据分析程序使得进行如下工作求取存储在所述存储装置中的所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的、作为从所述基准时刻起的时间的时间轴上换算时刻，在所述显示装置上，在离开所述X轴的位置，与所述X轴平行地显示时间轴， 以使得与所述Y轴平行的一直线与所述X轴和所述时间轴交叉的交点分别所示的所述 X轴上换算时刻和所述时间轴上换算时刻为相同的时刻的方式，求取所述动作开始时刻和所述动作停止时刻的所述时间轴上的位置，在所述显示装置上，在所述时间轴上，利用具有表示所述动作信号和所述停止信号的高度不同的横线段的时间图来显示所述控制信号。
43.根据权利要求42所述的图表显示方法，其中，在所述X-Y坐标上显示所述图表线， 该图表线是根据利用显示的所述时间图的所述控制信号进行的所述真空处理中所测定的所述测定值而生成的。
44.根据权利要求43所述的图表显示方法，其中，构成为在所述第一、第二主测量线的延长线上，分别显示与所述控制信号的显示交叉的第三、 第四主测量线，当所述第一、第二主测量线的位置变更时，所述第三、第四主测量线移动到变更了位置后的所述第一、第二主测量线的延长线上的位置，当所述第三、第四主测量线的位置变更时，所述第一、第二主测量线分别移动到变更了位置后的所述第三、第四主测量线的延长线上的位置。
全文摘要
本发明能提取测定值的一部分进行图表化以简单地对提取的测定值彼此进行比较。读入大量的测定值并将其作为一次图表(132)显示在画面(100)上，对起点进行指示并提取成为比较对象的测定值，利用二次图表(134a、134b)显示所提取的测定值。在二次图表(134a、134b)不重合时，通过第一、第二主测量线(101、102)对图表线(134a、134b)的错开量进行测定，能使错开的二次图表(134a、134b)的一方移动而实现重合。
文档编号H01L21/02GK102576658SQ20108004732
公开日2012年7月11日 申请日期2010年10月8日 优先权日2009年10月22日
发明者山根克己, 平木勉, 猿渡治郎 申请人:株式会社爱发科