专利名称：晶硅太阳能电池的激光划线绝缘设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种激光划线设备，尤其涉及用于晶硅太阳能电池的激光划线绝缘设备，属于激光精密加工制造技术领域。
背景技术：
近年来由于环保意识的提高以及石油短缺日益严重，如何有效利用取之不尽、用之不竭的太阳能，降低太阳能电池发电成本，逐渐成为共同研发目标。太阳电池原理主要是以半导体材料硅为基体，利用扩散工艺在硅晶体中掺入杂质当掺入硼杂质时，硅晶体中就会存在一个空穴，形成η型半导体；同样，掺入磷原子后， 硅晶体中会有一个电子，形成P型半导体，P型半导体和η型半导体结合形成ρη结，当太阳光照射时，ρη结中η型半导体的空穴往ρ型区移动，而ρ型区的电子往η型区移动，从而形成η型区到ρ型区的电流，在ρη结中形成电势差，这就形成了电源。晶硅太阳能电池生产工艺环节中，在晶硅电池的正面印刷线状银电极，在晶硅电池的背面印刷铝面和银电极。而在电池内部形成ρη结的正面η极区域仅仅是表面以下几百纳米，正面的η极区域会通过电池片的边缘和背面电极直接产生短路电流，因此在晶硅太阳能电池的生产工艺环节需要在电池片的边缘蚀刻绝缘。现在可行的边缘蚀刻工艺包括等离子蚀刻、化学蚀刻和激光划线绝缘。激光划线绝缘是一种非接触式蚀刻绝缘方法，与等离子蚀刻和化学蚀刻相比，不会产生氟化物气体、强酸强碱溶液的排放，属于节能环保型加工工艺。此外激光划线绝缘工艺没有化学品等耗材的消耗，生产成本小。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种晶硅太阳能电池的激光划线绝缘设备。本发明的目的通过以下技术方案来实现晶硅太阳能电池的激光划线绝缘设备，特点是激光器的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有扫描振镜装置，所述扫描振镜装置包含CCD镜头、转角镜片、振镜头和扫描场镜，转角镜片与扩束镜的输出端相衔接，转角镜片上安装CCD镜头，转角镜片的输出端连接振镜头，振镜头的输出端连接扫描场镜，扫描场镜正对于加工平台，加工平台安装于 X轴直线导轨上，X轴直线导轨安装于Y轴直线导轨上，Y轴直线导轨与X轴直线导轨相垂直。进一步地，上述的晶硅太阳能电池的激光划线绝缘设备，其中，所述激光器是输出波长为红外1064nm或可见光532nm或紫外光355nm的半导体端面泵浦激光器。本发明技术方案突出的实质性特点和显著的进步主要体现在本发明激光划线绝缘设备，具有精度高、热效应区域小、绝缘性好等特点。采用高性能半导体端面泵浦激光器保证激光划线的品质和效率。具备同轴影像模组的扫描振镜结
3构实现高速扫描划线和影像实时监测功能。
下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明图1 本发明设备的光路结构示意图；图2 扫描振镜装置的结构示意图；图3 加工平台的结构示意图。图中各附图标记的含义见下表
权利要求
1.晶硅太阳能电池的激光划线绝缘设备，其特征在于激光器(1)的输出端设置有扩束镜0)，扩束镜O)的输出端布置有扫描振镜装置(3)，所述扫描振镜装置C3)包含CCD 镜头(7)、转角镜片(8)、振镜头(9)和扫描场镜(10)，转角镜片⑶与扩束镜(2)的输出端相衔接，转角镜片⑶上安装CCD镜头(7)，转角镜片⑶的输出端连接振镜头(9)，振镜头 (9)的输出端连接扫描场镜(10)，扫描场镜(10)正对于加工平台G)，加工平台⑷安装于 X轴直线导轨(5)上，X轴直线导轨(5)安装于Y轴直线导轨(6)上，Y轴直线导轨(6)与 X轴直线导轨(5)相垂直。
2.根据权利要求1所述的晶硅太阳能电池的激光划线绝缘设备，其特征在于所述激光器(1)是输出波长为红外1064nm或可见光532nm或紫外光355nm的半导体端面泵浦激光器。
全文摘要
本发明涉及晶硅太阳能电池的激光划线绝缘设备，激光器的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有扫描振镜装置，所述扫描振镜装置包含CCD镜头、转角镜片、振镜头和扫描场镜，转角镜片与扩束镜的输出端相衔接，转角镜片上安装CCD镜头，转角镜片的输出端连接振镜头，振镜头的输出端连接扫描场镜，扫描场镜正对于加工平台，加工平台安装于X轴直线导轨上，X轴直线导轨安装于Y轴直线导轨上，Y轴直线导轨与X轴直线导轨相垂直。具备同轴影像模组的扫描振镜结构实现高速扫描划线和影像实时监测功能，该设备具有精度高、热效应区域小、绝缘性好等特点。
文档编号H01L31/18GK102248289SQ20111000651
公开日2011年11月23日 申请日期2011年1月13日 优先权日2011年1月13日
发明者徐海宾, 赵裕兴 申请人:苏州德龙激光有限公司