专利名称：检查装置和基板的定位方法
技术领域：
本发明涉及一种用于对例如平板显示器用的玻璃基板、半导体基板、印刷电路板等进行检查、处理的检查装置及基板的定位方法。
背景技术：
近年来，在玻璃基板、半导体基板、印刷电路板(以下称作基板)等的制造中，具有用于对基板进行检查等处理的检查装置。检查装置具有用于对基板进行检查处理的处理部、以及用于自外部向处理部输送基板或者自处理部向外部输送基板的输送部。输送部包括用于支承基板并能够沿输送方向旋转的辊、以及吸附基板而能够沿输送方向移动的吸盘。输送部通过使吸附保持有基板的吸盘移动而进行基板的输送，该基板保持于辊。但是，当自外部输入了基板时，输送部进行位置调整以使基板配置于输送部中的基板载置位置。在该位置调整中，例如以自四面夹着基板而使基板移动到基板载置位置的方式进行调整并进行基板的定位。作为上述定位方法，公开有如下方法利用绕与输送方向正交的轴线旋转并且能够沿与输送方向正交的水平面方向往复移动的辊，使辊往复移动来改变辊的用于保持基板的保持位置从而调整基板的载置位置(例如参照专利文献1、幻。在该定位方法中，能够利用辊的旋转一边使基板沿输送方向移动一边使基板的载置位置改变。专利文献1 日本实开平1-1021 号公报专利文献2 日本特开2009-13061号公报但是，关于专利文献1、2所公开的定位方法，由于使辊沿与输送方向垂直的方向移动，因此在辊与基板之间产生摩擦力，有可能导致基板的与辊之间的接触面损伤。此外， 在专利文献1、2所公开的定位方法中，存在必须对辊设置驱动部而导致装置结构变复杂这样的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而做成的，其目的在于提供一种能够以简易的结构防止基板的损伤而进行输送的检查装置及基板的定位方法。为了解决上述问题并达到目的，本发明提供一种检查装置，其特征在于，包括输送台，其具有用于支承基板并沿输送该基板的输送方向旋转的辊；驱动机构，其用于使上述基板沿上述输送方向移动；定位构件驱动部，其设置于上述输送台的靠上述基板的输入侧的端部侧，用于保持与上述基板抵接的定位构件并使该定位构件向上述输送方向移动；端面检测部，其用于检测上述基板的与上述输送方向平行的方向的端面；检查部，其用于根据上述端面检测部所检测出的端面的信息来进行上述基板的检查；以及基准构件驱动部，其设置于上述检查部和上述定位构件驱动部之间，用于保持与上述基板抵接的基准构件并驱动该基准构件而使该基准构件升降。
为了解决上述问题并达到目的，本发明提供一种基板的定位方法，其是检查装置的基板的定位方法，该检查装置具有用来进行基板的检查的检查部、以及用于载置上述基板而输送该基板的输送部，该基板的定位方法的特征在于，上述基板的定位方法包括输入步骤，向输送台输入上述基板，该输送台具有用于沿输送上述基板的输送方向旋转的辊； 定位构件驱动步骤，驱动定位构件，该定位构件设置于上述输送台的靠上述基板的输入侧的端部侧并用于与上述基板抵接；基板固定步骤，利用基准构件以及上述定位构件来夹持固定上述基板，该基准构件设置于上述检查部和上述定位构件驱动部之间并用于与上述基板抵接；以及端面检测步骤，对利用上述基板固定步骤固定的上述基板的与上述输送方向平行的方向的端面进行检测。关于本发明的检查装置，由于使基板沿自由辊的旋转方向移动而固定载置位置， 并通过利用传感器检测端面来确认基板在与自由辊的旋转方向正交的方向上的位置，因此具有能够以简易的结构防止基板的损伤而进行输送这样的效果。
图1是示意性地表示本发明的实施方式的平板显示器(FPD)检查装置的结构的俯视图。图2是示意性地表示本发明的实施方式的FPD检查装置的结构的侧视图。图3是示意性地表示本发明的实施方式的定位销驱动部的立体图。图4是示意性地表示本发明的实施方式的定位销驱动部的立体图。图5是示意性地表示本发明的实施方式的基准销驱动部的立体图。图6是表示本发明的实施方式的基板检查处理的一系列的流程的流程图。图7是示意性地表示本发明的实施方式的基板检查处理中的基板输入的俯视图。图8是示意性地表示本发明的实施方式的基板检查处理中的基板输入的侧视图。图9是示意性地表示本发明的实施方式的基板检查处理中的基板输入的侧视图。图10是示意性地表示本发明的实施方式的基板检查处理中的定位处理的侧视图。图11是示意性地表示本发明的实施方式的基板检查处理中的定位处理的侧视图。
具体实施例方式以下，结合附图详细地说明用于实施本发明的实施方式。另外，本发明不限于以下的实施方式。此外，在以下的说明中，所参照的各图只是以能够理解本发明的内容的程度概略地表示出形状、大小以及位置关系。即，本发明不限于在各图中例示的形状、大小以及位
置关系。首先，参照附图详细地说明本发明的实施方式的检查装置。另外，在以下的说明中，以基板的检查装置为例进行说明。另外，本实施方式的检查装置为离线型的检查装置而进行了说明，但也可以是在线型的检查装置。图1是示意性地表示本实施方式的平板显示器(FPD)检查装置1的概略结构的俯视图。图2是示意性地表示本实施方式的FPD检查装置1的结构的侧视图。如图1所示，FPD检查装置1包括基板处理部2和控制部3，该基板处理部2用于检测被输送来的、呈矩形的基板W的缺陷，该控制部3用于进行基板处理部2整体的控制。此外，基板处理部2 包括输送台12、20、21和龙门载物台(gantry stage) 10，该输送台12、20、21用于输送基板 W，该龙门载物台10设置在输送台12上，并用于保持检查单元100(检查部)，该检查单元 100(检查部)用于对移动的基板W的缺陷进行检测。龙门载物台10及输送台12、20、21固定于例如图2所示的这种架台11上。架台 11由将例如块状的大理石、钢材组合而成的框架等耐震性较高的构件构成。除此之外，在架台11和设置面(例如地板)之间设置由例如弹簧、液压减震器等构成的振动吸收机构13。 由此进一步地防止输送台12、20、21及龙门载物台10的振动。输送台12、20、21具有例如作为输送辅助机构的多个板状构件沿与基板W的输送方向D垂直的方向以帘子状组合而成的构造。通过沿输送方向D排列该输送台12、20、21 而形成基板W的输送路径。在各输送台12、20、21的板状构件上分别设置用上表面保持基板W并能够沿输送方向D旋转的自由辊(free roller) 121、201、211。此外，在输送台20的宽度方向的中央设置用于向输送方向D驱动并吸附输送基板W的驱动机构30。另外，优选自由辊121、201、211如拉格朗日点那样以不会产生基板W的弯曲振动这样的间隔配置。输送台20包括定位销驱动部202，其用于使定位销20 沿着输送方向D移动， 该定位销20 用于使载置于输送台20的基板W定位；基准销驱动部203，其用于沿基板处理部2的上下方向驱动成为定位位置的基准的基准销203a ；以及端面检测部204，其具有端面检测传感器20 ，该端面检测传感器20 用于对基板W的与输送方向D平行的一侧的端面进行检测。图3、4是示意性地表示定位销驱动部202的立体图。如图3、4所示，定位销驱动部202包括用于与基板W的端面抵接的定位销20加、以及能够沿与输送方向D平行的方向进退并用于使定位销20 与输送方向D平行地移动的进退部202b。另外，进退部202b 在控制部3的控制下而被驱动。在该驱动中使用有气压缸、电动马达等。定位销20 使用PEEK (聚醚 醚 酮)材料等树脂而形成大致圆柱状，能够绕图 3所示那样的圆柱的长度方向的中心轴线X(与输送方向D正交)旋转。由此，即使在基板 W的与定位销20 抵接的端面相对于定位销20 的移动方向倾斜的情况下，也能够减少向基板W和定位销20 之间施加的摩擦力，从而能够抑制基板W的损伤。图5是示意性地表示基准销驱动部203的立体图。如图5所示，基准销驱动部203 包括用于与基板W抵接并成为基板W的定位位置的基准的基准销203a、以及能够沿与输送方向D垂直的方向升降并且用于驱动基准销203a而使基准销203a沿与输送方向D垂直的方向升降的升降部20北。另外，升降部20 在控制部3的控制下而被驱动。在该驱动中使用有气压缸、电动马达等。基准销203a由PEEK (聚醚 醚 酮)材料等树脂构成。基准销203a呈至少与基板W抵接的区域朝向输送方向D的前方倾斜的锥形。由此，当基板W输送到输送台20时， 特别是当自输送台20的上方接收基板W时，即使在基板W的位置偏离的情况下，也能够更可靠地避免基板接收时的基板W与基准销203a之间的接触。而且，能够减小与基板W抵接时的接触面积。另外，也可以在基准销203a的比基准销203a与基板W抵接的区域靠上方的部位形成锥形，若能规定其与基板的抵接位置，则也可以使用向检查单元100侧倾斜的棒状构件作为基准销。此外，也可以将基准销203a设置成能够绕图3所示那样的长度方向的中心轴线X(与输送方向D正交)旋转。如图1、2所示，定位销20 的配置只要是处于能够夹持基准销203a而固定基板 W的位置即可。更优选定位销20 相对于输送台20的宽度方向比位于最外缘侧的基准销 203a靠内侧地配置。此外，说明了定位销及基准销分别为2个的情况，但只要是上述的配置也可以分别配置1个或多个。驱动机构30包括驱动部32，其用于在与输送方向D的水平方向平行的输送轴31 上移动；支承构件33，其支承于驱动部32 ；以及吸盘34，其支承于支承构件33，利用未图示的泵的吸气来吸附基板W。驱动机构30通过使用线性电动机引导件作为输送轴31、并且使用线性电动机作为驱动部32来实现。另外，通过将驱动机构30设置于输送台的宽度方向的中央，能够保持包含被输入到输送台20上的基板W的重心位置在内的区域，从而能够进行稳定的基板输送。此外，只要能够不损伤基板W地进行输送，则驱动机构30的配设位置可以是任意的位置。而且，也可以是不是吸附保持基板W而是把持基板W的端部来进行输送的结构。检查单元100具有未图示的摄像部，该摄像部设定在输送台12所形成的输送路径上，用于借助显微镜101来拍摄在与输送台12的宽度方向平行的检查线Ll上通过的基板 W。通过解析由该检查单元100获得的图像，能够检测基板W是否存在缺陷。另外，检查单元 100能够沿检查线LI移动。在本说明中，检查单元100所被设置的区域称为检查空间rai。 此外，检查空间PRl以外的区域称为输送空间TR1、TR2。另外，检查单元100可替换成如下单元例如用于对基板W的缺陷部分进行激光照射修复、涂布修正等的修复单元、用于观察、保存图像的摄像单元、用于在预定的位置实施进行配线等的尺寸测量、膜厚测量、颜色测量等的测量单元等的处理的其他处理单元。艮口， 处理单元包含检查单元、修复单元、摄像单元、曝光单元、测量单元等。此外，本发明的检查装置也包含上述处理单元在用于载置基板W的台上对基板W进行各处理的结构。此外，由于若FPD检查装置1包括用于包围检查空间PRl及输送空间TRl、TR2的外壳则能够形成内部空间(无尘室)，故为优选。该无尘室是除了基板W的输入口、输出口及下部的管道以外被密闭的空间。外壳在检查单元100的上方具有用于向内部空间送入洁净的空气(以下称作洁净空气)的FFU。FFU用于送出被去除了例如微粒等粉尘的洁净空气。其结果，使特别是检查单元 loo附近及检查线L ι周边(检查空间rai)成为粉尘较少的洁净的状态。此外，向检查单元100附近及检查线Ll周边集中送出的洁净的空气在无尘室内形成下降流(down flow) 之后，自排气口排出。图6是表示本实施方式的基板检查处理的一系列的流程的流程图。图7是示意性地表示本实施方式的基板检查处理中的基板输入的俯视图。图8、9是示意性地表示本实施方式的基板检查处理中的基板输入的侧视图。图10、11是示意性地表示本实施方式的基板检查处理中的定位处理的侧视图。首先，自外部向FPD检查装置1输入基板W(步骤S 102)。 如图7、8所示，基板W的输入是向输送台20输入被保持在输送机器人40的臂40a上的基板 W。输送机器人40在使保持有基板W的臂40a前进至输送台20上之后下降。此时，臂40a 进入输送台20的板状构件之间。之后使臂40a下降，从而如图9所示那样，使基板W保持于自由辊201。在使基板W支承于自由辊201之后，输送机器人40自输送台20 (FPD检查装置1)脱离。在将基板W接收于输送台20之后，进行基板W的定位处理。首先，如图8所示，驱动基准销驱动部203而使基准销203a上升(步骤S 104)。之后，驱动定位销驱动部202 而使定位销20 移动(步骤S106)。如图10所示，定位销20 向图1、2所示的输送方向 D移动而与基板W抵接，使基板W向输送方向D移动。若利用定位销20 的移动而使基板 W移动，则基板W与基准销203a抵接(图11)。基板W在一个方向上被定位销20 及基准销203a夹持，成为被固定的状态。在该状态下确定基板W的载置位置。若确定基板W的载置位置，则端面检测部204利用端面检测传感器20 来对基板 W的与定位销20 及基准销203a的夹持方向正交的方向的一个边的端面进行检测(步骤 S108)。端面检测部204根据端面检测传感器20 所检测出的信息生成与输送台20上的基板W的与输送方向D平行的端面的位置信息。端面检测部204在生成位置信息之后，向控制部3输出位置信息(步骤S110)。另外，位置信息为例如来自端面检测传感器20 的距离信息，控制部3根据所获得的距离信息来进行基板W的位置校正。此外，位置信息为座标信息，控制部3也可以根据所获得的座标信息来进行基板W的座标校正。在端面检测部204的位置信息的输出之后，驱动机构30使基板W吸附保持于吸盘 34(步骤S112)。之后，定位销驱动部202使定位销20 向与输送方向D相反的方向移动， 从而自基板W解除定位销202a (步骤Sl 14)。此外，基准销驱动部203使基准销203a下降， 直到下降至至少基准销203a的上端部低于自由辊201的上端部的位置(步骤S116)。另夕卜，定位销20 的解除动作及基准销203a的下降动作既可以逆序进行，也可以同时进行。在进行定位销20 的解除及基准销203a的下降之后，驱动机构30驱动驱动部 32而使吸盘34移动，使基板W向输送台12侧移动(步骤Sl 18)。检查单元100借助显微镜101拍摄在检查线Ll上通过的基板W，并对所获得的图像进行解析(检查处理)(步骤 S120)。当所输送的基板W的检查处理结束之后，控制部3在具有下一个检查对象的基板W 的情况下(步骤S122 =Yes)转移至步骤S102而对下一个基板W进行基板检查处理。此外， 控制部3在没有下一个检查对象的基板W的情况下(步骤S122 =No)结束基板检查处理。如上述实施方式那样，由于使基板沿自由辊的旋转方向移动而固定载置位置，并通过利用传感器检测端面来确认基板在与旋转方向正交的方向上的位置，因此能够以简易的结构防止基板的损伤而进行输送。特别是，伴随着近年来基板的大型化，基板对辊施加的自重变大而容易产生损伤，因此利用仅一个方向上的移动及位置确认，能够产生有效地防止输送过程中的基板的损伤的效果。另外，在本实施方式中说明了作为离线型的FPD检查装置的情况，但也可以适用于在线型的FPD检查装置。为在线型的情况下，由于是自与输送台20的与检查单元100侧不同的一侧连结的输送台输送基板，因此优选添加使定位销20 下降或者自输送台20的上表面退避的结构。此外，在利用吸盘输送基板时，也可以将各吸盘替换成定位销及基准销驱动部，利用定位销及基准销夹持基板而固定载置位置，并且利用驱动部32的驱动一边维持夹持的状态一边输送基板。
另外，也可以将定位销驱动部及基准销配设在输送机器人的臂上，以保持于臂的状态固定基板的载置位置。此时，优选在臂的上表面设置有用于支承基板并能够沿定位销的移动方向旋转的自由辊。如上述那样，本发明的检查装置适用于以简易的结构稳定地输送检查对象的基板。附图标记说明1、FPD检查装置；2、基板处理部；3、控制部；10、龙门载物台；11、架台；12、20、21、 输送台；13、振动吸收机构；30、驱动机构；34、吸盘；40、输送机器人；40a、臂；100、检查单元；101、显微镜；121、201、211、自由辊；202、定位销驱动部；202a、定位销；203、基准销驱动部；203a、基准销；204、端面检测部；204a、端面检测传感器；Li、检查线；冊1、检查空间； TR1、TR2、输送空间；W、基板。
权利要求
1.一种检查装置，其特征在于，包括输送台，其具有用于支承基板并以沿输送方向输送该基板的方式进行旋转的辊； 驱动机构，其用于使上述基板沿上述输送方向移动；定位构件驱动部，其设置于上述输送台的靠上述基板的输入侧的端部侧，用于保持与上述基板抵接的定位构件并使该定位构件向上述输送方向移动；端面检测部，其用于检测上述基板的与上述输送方向平行的方向的端面； 检查部，其用于根据上述端面检测部所检测出的端面的信息来进行上述基板的检查；以及基准构件驱动部，其设置于上述检查部和上述定位构件驱动部之间，用于保持与上述基板抵接的基准构件并驱动该基准构件而使该基准构件升降。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，上述定位构件呈大致圆柱状，并能够绕该圆柱的中心轴线旋转。
3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，上述基准构件的比至少与上述基板抵接的区域靠上方的部位朝向上述输送方向的前方倾斜。
4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于， 上述驱动机构具有用于吸附保持上述基板的吸盘。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其特征在于， 上述基准构件设置有多个，上述定位构件相对于多个上述基准构件中的位于上述输送台的宽度方向的最外缘侧的基准构件位于上述宽度方向的内部侧。
6.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，上述定位构件驱动部用于驱动上述定位构件而使上述定位构件升降。
7.一种基板的定位方法，其是检查装置的基板的定位方法，该检查装置具有用来进行基板的检查的检查部、以及用于载置上述基板而输送该基板的输送部，其特征在于，上述基板的定位方法包括输入步骤，向输送台输入上述基板，该输送台具有用于沿输送上述基板的输送方向旋转的辊；定位构件驱动步骤，驱动定位构件，该定位构件设置于上述输送台的靠上述基板的输入侧的端部侧并用于与上述基板抵接；基板固定步骤，利用基准构件以及上述定位构件来夹持固定上述基板，该基准构件设置于上述检查部和上述定位构件驱动部之间并用于与上述基板抵接；以及端面检测步骤，对利用上述基板固定步骤固定的上述基板的与上述输送方向平行的方向的端面进行检测。
全文摘要
本发明提供能够以简易的结构防止基板的损伤而进行输送的检查装置及基板的定位方法。检查装置包括输送台(20)，具有用于支承基板并以沿输送方向输送基板的方式进行旋转的自由辊(201)；驱动机构(30)，用于使基板沿输送方向移动；定位销驱动部(202)，设置于输送台的端部侧，用于保持与基板抵接的定位销(202a)并使定位销向输送方向移动；基准销驱动部(203)，设置于检查单元和定位销驱动部之间，用于保持与基板抵接的基准销(203a)并驱动基准销而使基准销升降；端面检测部(204)，用于检测基板的与输送方向平行的方向的端面；检查单元(100)，用于根据端面检测部所检测出的端面的信息来进行基板的检查。
文档编号H01L21/66GK102456602SQ20111033201
公开日2012年5月16日 申请日期2011年10月27日 优先权日2010年10月28日
发明者木内智一, 辻治之 申请人:奥林巴斯株式会社