专利名称：薄膜晶体管及其制造方法、显示器件的制作方法
技术领域：
本发明涉及薄膜晶体管(TFT)及其制造方法、显示器件。更具体而言，本发明涉及栅极绝缘层的性能得到改善的薄膜晶体管及其制造方法、包括该薄膜晶体管的显示器件。
背景技术：
TFT已经用于包括液晶显示器件、半导体器件在内的多种电 光器件中。在TFT中，栅极绝缘层的质量对其电学特性有着极其重要的影响。采用高质量的高k值(即介电常数)栅极绝缘材料能够很大程度地改善TFT的器件性能，例如，降低阈值电压、増大开关比和减小亚阈值摆幅。传统的TFT器件采用化学气相沉积(CVD)、溅射等方法沉积SiO2或SiNx薄膜作为栅极绝缘层。例如，非专利文献I记载了一种采用正硅酸四こ酯(TEOS)エ艺制备栅极绝缘层的方法。然而，该方法仍然属于CVDエ艺，形成的栅极绝缘薄层因形成温度较低而质地比较疏松，绝缘性能并不最佳(只能达到约5. 6 X IO6VcnT1)，这对于TFT器件而言会因漏电流过大而影响器件性能。如果加厚栅极绝缘层，又会导致器件的工作电压増大，并且会延长エ艺时间。因此，本领域中仍然需要制备TFT、特别是栅极绝缘层的改进方法。非专利文献1-Kow-Ming Chang 等，Electrical Characteristics ofLowTemperature Polysilicon TFT With a Novel TEOS/Oxynitride StackGateDielectric (具有新的TEOS/氮氧化物堆叠栅极绝缘层的低温多晶硅TFT的电特性)，IEEEELECTRON DEVICE LETTERS,第 24 卷，第 8 期，2003 年 8 月。
发明内容
本发明的ー个目的是改善薄膜晶体管的制造方法，并且提高薄膜晶体管(特别是其中的栅极绝缘层)的性能，例如減少有源层与栅极绝缘层之间的表面态影响，提高栅极绝缘层的介电强度，减小TFT器件的漏电流等。本发明的另ー个目的是提供ー种性能得到改善的薄膜晶体管，以及包括该薄膜晶体管的显示器件。为了实现上述目的，本发明首先提供一种制造薄膜晶体管的方法，包括下列步骤提供衬底，形成有源层，形成栅极金属层以及形成源漏金属层，其中该方法还包括在氧化气氛中加热所述有源层来形成第一栅极绝缘层。本发明还提供ー种薄膜晶体管，包括衬底、有源层、栅极金属层、第一栅极绝缘层和源漏金属层，其中所述第一栅极绝缘层的介电强度至少为8X106 Vcm-10根据本发明，优选在300°C -1200 °C的温度范围内加热有源层，更优选在4000C -1000°C的温度范围内加热有源层。优选的是，有源层为多晶硅层。氧化气氛包含氧或氮。可以在含氧的气氛中加热多晶硅层生成SiO2，从而形成第一栅极绝缘层。也可以在含氮的气氛中加热多晶硅层生成SiNx，从而形成第一栅极绝缘层。优选的是，在含氧的气氛中，氧气含量大于98%，并且水含量小于IOppm(干法氧化工艺)。或者，氧气含量为大于97%，并且水含量为IO-IOOOppm (湿法氧化工艺)。优选的是，含氮的气氛含有N2或NH3。在一个实施方案中，本发明的方法还包括通过CVD或溅射法在第一栅极绝缘层上形成第二栅极绝缘层。优选的是，第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层的总厚度为l-100nm。第二栅极绝缘层可以包含SiO2或SiNx。根据本发明，栅极绝缘层的介电强度可以为至少SXlO6V cnT1，优选为至少IOXlO6V Cm—1。此外，优选的是，栅极绝缘层的质量密度为2. 0-3. 5g cm—3。根据本发明，能够形成致密的栅极绝缘层，減少栅极绝缘层的厚度和エ艺时间，同时减少TFT器件的漏电流而提升器电学性能。因此，一方面，本发明減少了有源层与栅极绝 缘层之间的表面态影响，另一方面，致密的栅极绝缘层有利于TFT器件的漏电流。本发明的TFT可以用于液晶显示器等显示器件中。因此，本发明的另ー个实施例提供ー种包括本发明的TFT的显示器件。关于该显示器件的其它部件，其是为本领域内的技术人员所已知的。例如，这些部件包括(但不限干)偏振片、公共电极、取向层、封框胶、液晶、隔垫物、保护层、有机半导体有源层、各向异性导电胶(ACF)、驱动1C、印刷电路板(PCB)、控制1C、黑矩阵(BM)以及彩膜(CF)。本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且部分地从说明书变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。
通过以下结合附图对本发明的多个例子所做的详细描述，可以更完全地理解本发明，其中图I示出根据本发明一个例子的TFT器件的制备エ艺中所用的衬底的示意2示出经过根据本发明一个例子的TFT器件的制备エ艺中的步骤a所形成的结构的示意图。图3示出经过根据本发明一个例子的TFT器件的制备エ艺中的步骤b所形成的结构的示意图。图4示出经过根据本发明一个例子的TFT器件的制备エ艺中的步骤c所形成的结构的示意图。图5示出经过根据本发明一个例子的TFT器件的制备エ艺中的步骤d所形成的结构的示意图。图6示出根据本发明一个例子的TFT器件的结构示意图。參考符号说明I-衬底2-缓冲层3-有源层4-栅极金属层5-栅极绝缘层
6-源漏金属层本发明可具有各种变化形式和替代形式。本发明的细节仅以举例的方式显示在附图中。但其目的并不是将本发明限定于所描述的具体的例子。相反，其目的在于涵盖落入本发明的精神实质和范围内的所有的变化形式、等同形式和替代形式。
具体实施例方式首先參照图6说明TFT器件的结构。具体而言，TFT器件包括衬底I、有源层3、栅极金属层4、第一栅极绝缘层5和源漏金属 层6。TFT器件101还可以在有源层3与衬底I之间包括缓冲层2。缓冲层2的厚度可以为5-1000nm，并且由SiO2或SiNx形成。衬底I可以是透明玻璃，并且衬底I的厚度可以为30-1000 u m。优选地，有源层3由多晶硅形成。多晶硅可以来自用准分子激光退火ELAエ艺得到的非晶硅。例如，在沉积有缓冲层2的透明衬底I上，首先沉积I-IOOnm厚度的非晶硅，然后采用高能量(例如，约100-500mJ*cm_2)的ELA等设备进行扫描使非晶硅层晶化，从而转变成多晶硅层。在一个优选例子中，可以将有源层3(例如，多晶硅层)置于氧化气氛(例如，含氮或含氧的气氛)中，采用对流加热或激光加热等方式，使得有源层3的表面直接形成致密的热氧化栅极绝缘层5。例如，在含氧环境中，加热作为有源层3的多晶硅层，可以直接形成致密的热氧化栅极绝缘层5 (热氧化硅层)。栅极绝缘层5的厚度可以为l-100nm。在另ー个例子中，还可以通过其它方法(例如，CVD法或溅射法)在栅极绝缘层5上形成另外的第二栅极绝缘层，从而形成复合栅极绝缘层(图中未示出)。复合栅极绝缘层的总厚度(即第一栅极绝缘层与第二栅极绝缘层的厚度之和)可以为l-100nm。栅极金属层4可以形成在栅极绝缘层5之上(顶栅结构)。或者，在具有底栅结构的TFT中，栅极金属层4可以形成在衬底I上。栅极金属层4的厚度为1-200纳米，并且可选择Mo、Cr、Au等金属以及其他合金等材料。源漏金属层6的厚度为5-300nm,并且可选择Mo、Al、In、Ti等金属或复合金属以及合金材料等。下面參照图1-6描述根据本发明ー个例子的TFT器件的制备エ艺。图I示出在根据本发明一个例子的TFT器件的制备エ艺中使用的透明衬底1，可以通过按标准エ艺清洗该透明衬底I并依次沉积缓冲层2和有源层前体(例如，非晶硅)，从而得到图2所示的结构。接下来，可以将图2中所示的有源层前体转化为有源层3，从而得到图3所示的结构。例如，在真空环境中，采用激光晶化等方式将非晶硅薄膜进行晶化，从而形成多晶硅层3。图4示出在图3所示的结构上形成栅极绝缘层5而得到的结构示意图。作为ー个例子，可以首先用1%的氢氟酸(HF)处理有源层3(例如，多晶硅层)的表面，之后在氧化气氛中，将有源层热氧化为致密的栅极绝缘层5。其中，热氧化可采用干法热氧化或湿法热氧化工艺，以及采用退火炉或ELA等方式为氧化工艺提供能量。优选的是，在干法热氧化工艺采用的气氛中，氧气含量大于98%，并且水含量小于lOppm。在湿法热氧化工艺采用的气氛中，氧气含量为大于97%，并且水含量为10-1000ppm。湿法热氧化工艺的气氛可以通过下列方式得到在氧气通过退火炉时，使其经过含有去离子水的容器(例如，锥形瓶)等，从而使得氧气在经过去离子水时自然带有水汽。此时，水含量优选为10-1000ppm。本领域内的技术人员将会理解，氧化气氛不仅包括含氧的气氛，还可以包括含有其它氧化性物质的气氛，例如含氮气氛。例如，含氮的气氛可以为含有N2或NH3的气氛。因此，如果此时有源层3为多晶硅的话，那么形成的栅极绝缘层5由SiNx形成。在一个例子中，还可以通过常规方法(例如，CVD或溅射法)在第一栅极绝缘层5上沉积其它的栅极绝缘层。例如，在栅极绝缘层5由SiO2组成的情况下，本发明的方法还包括将部分热氧化的SiO2与其它方法沉积的SiO2复合而形成栅极绝缘层。如图5所示，接下来可以沉积栅极金属层4，并通过光刻等方式形成所需图形。然后，通过光刻和刻蚀エ艺，将源漏金属层6 (即源漏电极)与有源层间所需的接触孔刻蚀出来，进而沉积源/漏电极，并通过光刻エ艺形成所需图形，从而得到图6所示的TFT器件。最后进行测试和分析。应当理解，以上仅是參照图1-6对具有顶栅结构的TFT器件的制备エ艺进行了描 述。本发明的方法同样适用于具有底栅等结构的TFT器件。下面结合具体例子对本发明作进ー步说明，但本发明并不限于以下的例子。对比例-采用CVD方法制备SiO2栅极绝缘层首先清洗石英衬底，并采用CVD方法在衬底上依次沉积50nm厚度的SiNx和300nm厚度的SiO2作为缓冲层，之后沉积IOOnm厚度的非晶硅，采用准分子激光对非晶硅进行晶化过程，之后先将样品经I %的HF处理表面，再采用CVD方法在样品表面沉积50nm厚的SiO2薄膜，再在其上依次沉积，光刻并刻蚀出Mo栅极金属层和Mo/Al源漏电极。该方法形成的SiO2薄膜较为疏松，栅极绝缘特性一般，密度为I. 9-2. 3g cnT3，折射率为I. 43-1. 45，介电强度约为5. 6X IO6V该方法可适应于普通玻璃，SiO2薄膜的沉积时间为约l-10min。实施例I-采用退火炉进行干法热氧化工艺得到栅极绝缘层首先清洗石英衬底，并采用CVD方法在衬底上依次沉积50nm厚度的SiNx和300nm厚度的SiO2作为缓冲层，之后沉积IOOnm厚度的非晶硅，采用准分子激光对非晶硅进行晶化过程，之后先将样品经I %的HF处理表面，再将样品放入干燥纯氧氛围(氧气含量大于98%,并且水含量小于IOppm)的退火炉中，将退火温度升高至1000°C,氧化20min,从而形成约50nm厚的致密SiO2薄膜，再在其上依次沉积，光刻并刻蚀出Mo栅极金属层和Mo/Al源漏电极。该方法形成的SiO2薄膜最为致密，栅极绝缘特性最佳，密度为2. 0-2. 4g cm—3，折射率为I. 45-1. 47，介电强度大于IOX IO6V cnT1。该方法适应于耐高温玻璃，SiO2薄膜的生长时间大于20min。实施例2、采用激光加热方式形成栅极绝缘层首先清洗玻璃衬底，并采用CVD方法在衬底上依次沉积IOOnm厚度的SiNx和200nm厚度的SiO2作为缓冲层，之后沉积IOOnm厚度的非晶硅，采用准分子激光对非晶硅进行晶化过程，之后先将样品经I %的HF处理表面，再将样品放入干燥纯氧的氛围(氧气含量大于98%，并且水含量小于IOppm)中，再次采用高能量密度(100-500mjcm_2)的近红外准分子激光进行扫描，从而形成约30nm厚的致密SiO2薄膜，再在其上依次沉积，光刻并刻蚀出Mo栅极金属层和Mo/Al源漏电极。该方法形成的SiO2薄膜结构致密，栅极绝缘特性好，密度为2. 0-2. 4g cnT3，折射率为I. 45-1. 47，介电强度为QXlO6VMm'该方法可在普通高温玻璃上实行，且SiO2薄膜的生长时间大约为30-60min (对于370mmX470mm的样品而言)。实施例3-制备复合栅极绝缘薄膜首先清洗玻璃衬底，并采用CVD方法在衬底上依次沉积200nm厚度的SiNx和200nm厚度的SiO2作为缓冲层，之后沉积IOOnm厚度的非晶硅，采用准分子激光对非晶硅进行晶化过程,之后先将样品经1%的HF处理表面，再将样品放入含IOOOppm的氧气氛围的退火炉中，将退火温度升高至400°C，氧化100秒，从而形成约5-10nm厚的SiO2薄膜。再在其上采用CVD方法沉积40nm厚度的SiO2，最后依次沉积，光刻并刻蚀出Mo栅极金属层和Mo/Al源漏电极。该方法中SiO2薄膜的生长时间如下热氧化时间约为60-300秒，之后CVD方法生长的时间约为60-300秒，总时间约为2-10min，有源层和栅极绝缘层接触面附近的5_10nm的SiO2薄膜比较致密，绝缘特性很好。热氧化膜层密度2. 0-2. 4g cm_3，折射率I. 45-1. 47， 介电强度 IOXlO6V cm—1 ；CVD沉积膜层密度2. 0-2. 2g cm_3，折射率I. 43-1. 45，介电强度 6X IO6V因此，有源层和栅极绝缘层接触界面的质量可以得到保证，并且该エ艺可适应于普通玻璃。实施例4-由SiNx形成的栅极绝缘薄膜首先清洗石英衬底，并采用CVD方法在衬底上依次沉积50nm厚度的SiNx和300nm厚度的SiO2作为缓冲层，之后沉积IOOnm厚度的非晶硅，采用准分子激光对非晶硅进行晶化过程，之后先将样品经1%的HF处理表面，再在含有NH3的氛围下，采用ELAエ艺(能量密度为约100-500mJ cm_2)生长出50nm厚的SiNx薄膜，再在其上依次沉积，光刻并刻蚀出Mo栅极金属层和Mo/Al源漏电极。该方法形成的SiNx薄膜比较致密，绝缘特性较好，密度为3. 2-3. 5g cm_3，折射率为I. 43-1. 45，介电强度> I X IO7V cnT1。该方法可适应于普通玻璃，薄膜的沉积时间约为10_30min。可以理解的是，以上实施例仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
权利要求
1.ー种薄膜晶体管的制造方法，包括下列步骤 提供衬底，形成有源层，形成栅极金属层，以及形成源漏金属层，其特征在于，该方法还包括 在氧化气氛中加热所述有源层来形成第一栅极绝缘层。
2.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述加热温度在300°C-1200°C的范围内。
3.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述有源层为多晶硅层。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，通过在含氧的气氛中加热所述多晶硅层生成SiO2，从而形成所述第一栅极绝缘层。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述氧化气氛的氧气含量为大于98%，并且水含量小于lOppm，或者所述氧化气氛的氧气含量为大于97%，并且水含量为10-1000ppm。
6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，通过在含氮的气氛中加热所述多晶硅层生成SiNx，从而形成所述第一栅极绝缘层。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于所述含氮的气氛含有N2或NH3。
8.根据权利要求I至7任一所述的方法，其特征在于，所述方法还包括通过化学气相沉积法或溅射法在所述第一栅极绝缘层上形成第二栅极绝缘层。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述第二栅极绝缘层包含SiO2或SiNx。
10.根据权利要求1-7中任意一项所述的方法，其特征在于，该方法具体为， 在所述衬底上形成缓冲层； 在所述缓冲层上形成非晶硅层，通过准分子激光法将所述非晶硅层晶化来形成多晶硅层作为所述有源层；以及 在形成所述第一栅极绝缘层之后，依次形成所述栅极金属层和所述源漏金属层。
11.ー种薄膜晶体管，包括衬底、有源层、栅极金属层、第一栅极绝缘层和源漏金属层，其特征在于，所述第一栅极绝缘层的介电强度为至少8X106 V cnT1。
12.根据权利要求11所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述第一栅极绝缘层是在氧化气氛中加热所述有源层形成的，并且所述有源层为多晶硅层。
13.根据权利要求11或12所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管在所述第ー栅极绝缘层上还包括通过化学气相沉积法或溅射法形成的第二栅极绝缘层。
14.一种显示器件，其特征在于，包括权利要求11所述的薄膜晶体管。
全文摘要
本发明提供了薄膜晶体管的制造方法，其包括下列步骤提供衬底，形成有源层，形成栅极金属层以及形成源漏金属层，该方法还包括在氧化气氛中加热所述有源层来形成第一栅极绝缘层。本发明还提供了一种薄膜晶体管以及包括该薄膜晶体管的显示器件。本发明的方法能够形成致密的栅极绝缘层，减少栅极绝缘层的厚度和工艺时间，同时减少薄膜晶体管器件的漏电流而提升器电学性能。
文档编号H01L29/51GK102646595SQ20111035931
公开日2012年8月22日 申请日期2011年11月11日 优先权日2011年11月11日
发明者关爽, 孙力, 李延钊, 王刚 申请人:京东方科技集团股份有限公司