专利名称：一种复合阴极结构oled器件的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及OLED技术领域，具体涉及一种复合阴极结构OLED器件。
背景技术：
OLED的基本结构是由ITO阳极、有机发光层和阴极组成形如三明治的结构。当电流供应至一定值时，阳极空穴与阴极电子就会在发光层中复合产生激子，激子退激发光，依其配方不同产生红、绿和蓝RGB三原色，构成基本色彩。OLED具有主动发光、电压需求低且省电效率高、重量轻、厚度薄，构造简单，成本低等优点，被视为21世纪最具前途的产品之
一ο常规的OLED器件结构，该结构自下而上包括玻璃基板、ITO阳极层、有机发光层及 Al阴极。这种OLED器件结构中所用缓冲层材料为碱金属氟化物，当把Al蒸镀在其上时，会造成碱金属氟化物解离之后扩散至发光层形成发光的淬熄中心，降低了器件的发光效率和
寿命ο
发明内容本实用新型目的在于提供一种发光效率高、工作时间长的复合阴极结构OLED器件。为达到上述目的，本实用新型采用了以下技术方案包括玻璃基板以及设置于玻璃基板上的ITO阳极层，ITO阳极层上设置有有机发光层，有机发光层上设置有阴极，所述阴极由设置于有机发光层上的第二缓冲层、设置于第二缓冲层上的第一缓冲层，设置于第一缓冲层上的Ca:Al合金层以及设置于Ca:Al合金层上的绝缘层组成，电源的一端与阴极相连，另一端与ITO阳极层相连。所述第一缓冲层所用材料为金属氧化物。[0008]所述金属氧化物为MoOx、WO2或V2O5。所述第二缓冲层所用材料为碱金属氟化物。所述碱金属氟化物为MF，其中M表示Li、Na、K、Rb或Cs。所述Ca:Al合金层包括蒸镀于第一缓冲层上的Ca薄膜层，蒸镀于Ca薄膜层上的 Ca:Al合金薄膜层以及蒸镀于Ca:Al合金薄膜层上的Al薄膜层。所述绝缘层采用的材料为金属氧化物。所述第二缓冲层的厚度为0. 1-lnm，第一缓冲层的厚度为0. l-lnm，绝缘层的厚度为 10-50nm。本实用新型所述OLED器件具有复合阴极结构，在原有碱金属氟化物(第二缓冲层)上再镀一层金属氧化物(第一缓冲层)形成双缓冲层，由于采用了双缓冲层，解决了直接蒸镀Al时碱金属氟化物解离并扩散至发光层形成发光的淬熄中心，避免了当驱动器件时阴极部分扩散至发光层形成的淬熄中心，因而提高了器件的发光效率和寿命，使器件的工作时间更长。
图1为本实用新型的器件结构图，图1中，玻璃基板1，ITO阳极层2，有机发光层3，第二缓冲层4，第一缓冲层5， Ca: Al合金层6，绝缘层7。
具体实施方式
以下结合附图对实用新型做进一步说明。参见图1，包括玻璃基板1以及设置于玻璃基板1上的ITO阳极层2，ITO阳极层 2上设置有有机发光层3，有机发光层3上设置有阴极，所述阴极由设置于有机发光层3上的第二缓冲层4、设置于第二缓冲层4上的第一缓冲层5，设置于第一缓冲层5上的Ca:Al 合金层6以及设置于Ca:Al合金层6上的绝缘层7组成，电源的一端与阴极相连，另一端与ITO阳极层2相连，所述第一缓冲层5所用材料为金属氧化物，所述金属氧化物为氧化钼 (MoOx)、氧化钨(WO2)或五氧化二钒(V2O5),所述第二缓冲层4所用材料为碱金属氟化物，所述碱金属氟化物为MF，其中M表示Li、Na、K、Rb或Cs，所述Ca:Al合金层6包括蒸镀于第一缓冲层5上的Ca薄膜层，蒸镀于Ca薄膜层上的Ca:Al合金薄膜层以及蒸镀于Ca:Al合金薄膜层上的Al薄膜层，这样形成了一种梯度层，更有利于电子的注入，所述绝缘层7采用的材料为金属氧化物，所述第二缓冲层4的厚度为0. Ι-lnm，第一缓冲层5的厚度为0. I-Inm, 绝缘层7的厚度为10-50nm。本实用新型所述OLED器件具有复合阴极结构，在原有碱金属氟化物(第二缓冲层)上再镀一层金属氧化物(第一缓冲层)形成双缓冲层，由于采用了双缓冲层，解决了直接蒸镀Al时碱金属氟化物解离并扩散至发光层形成发光的淬熄中心，避免了当驱动器件时阴极部分扩散至发光层形成的淬熄中心，因而提高了器件的发光效率和寿命，使器件的工作时间更长。本实用新型所述复合阴极结构OLED器件的制作过程主要包括以下几个步骤1) 阳极ITO光刻；2) ITO玻璃清洗；3)阳极ITO等离子处理；4)当真空镀膜机的真空室内气压达到10_4Pa时蒸镀OLED的有机发光层；5)在真空室内蒸镀碱金属氟化物层、金属氧化物层、Ca:Al合金层及绝缘层，Ca:Al合金层中的Ca:Al合金薄膜层由Ca与Al的混合物蒸镀而成，且混合物中Ca的质量分数小于等于30%;6)完成器件的封装，其制备工艺简单，成本低廉。
权利要求1.一种复合阴极结构OLED器件，其特征在于包括玻璃基板(1)以及设置于玻璃基板 (1)上的ITO阳极层(2)，ITO阳极层(2)上设置有有机发光层(3)，有机发光层(3)上设置有阴极，所述阴极由设置于有机发光层(3)上的第二缓冲层(4)、设置于第二缓冲层(4)上的第一缓冲层(5)，设置于第一缓冲层(5)上的Ca: Al合金层(6)以及设置于Ca: Al合金层 (6)上的绝缘层(7)组成，电源的一端与阴极相连，另一端与ITO阳极层(2)相连。
2.根据权利要求1所述一种复合阴极结构OLED器件，其特征在于所述第一缓冲层(5)所用材料为金属氧化物。
3.根据权利要求2所述一种复合阴极结构OLED器件，其特征在于所述金属氧化物为 Mo0x、WO2 或 V2O5。
4.根据权利要求1所述一种复合阴极结构OLED器件，其特征在于所述第二缓冲层 (4)所用材料为碱金属氟化物。
5.根据权利要求4所述一种复合阴极结构OLED器件，其特征在于所述碱金属氟化物为MF，其中M表示Li、Na、K、Rb或Cs。
6.根据权利要求1所述一种复合阴极结构OLED器件，其特征在于所述Ca:Al合金层(6)包括蒸镀于第一缓冲层(5)上的Ca薄膜层，蒸镀于Ca薄膜层上的Ca:Al合金薄膜层以及蒸镀于Ca:Al合金薄膜层上的Al薄膜层。
7.根据权利要求1所述一种复合阴极结构OLED器件，其特征在于所述绝缘层(7)采用的材料为金属氧化物。
8.根据权利要求1所述一种复合阴极结构OLED器件，其特征在于所述第二缓冲层 (4)的厚度为0. 1-lnm，第一缓冲层(5)的厚度为0. l-lnm，绝缘层(7)的厚度为10-50nm。
专利摘要本实用新型提供一种复合阴极结构OLED器件包括玻璃基板以及设置于玻璃基板上的ITO阳极层，ITO阳极层上设置有有机发光层，有机发光层上设置有阴极，所述阴极由设置于有机发光层上的第二缓冲层、设置于第二缓冲层上的第一缓冲层，设置于第一缓冲层上的Ca:Al合金层以及设置于Ca:Al合金层上的绝缘层组成，电源的一端与阴极相连，另一端与ITO阳极层相连。在原有碱金属氟化物上再镀一层金属氧化物形成双缓冲层，解决了直接蒸镀Al时碱金属氟化物解离并扩散至发光层形成发光的淬熄中心，因而提高了器件的发光效率和寿命，使器件的工作时间更长。
文档编号H01L51/50GK202067838SQ20112011000
公开日2011年12月7日 申请日期2011年4月14日 优先权日2011年4月14日
发明者张方辉, 张静, 毕长栋 申请人:陕西科技大学