专利名称：一种用于承载基板的玻璃条和平台装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及机械领域和液晶显示领域，特别是涉及用于承载基板的玻璃条和平台装 置。
背景技术：
目前TFT生产行业，生产设备用于承载基板的装置称为Stage (平台)，其中Stage 的样式有很多种，现在新兴技术使用最多的stage是由Glass Bar(玻璃条)间隔一定的距离组装而成。Glass bar与Glass bar之间的间距是用于robot (机器人)手臂取送 Glass (基板)，因此间隔距离较大。当很薄或者比较脆弱的基板放在Stage上时，会在间隔缝隙部位，产生向下的形变量，参见
图1所示。每个Glass bar上有多个气孔，参见图2A和图2B所示。当气体通过GlassBar上的气孔向上吹起基板时，气孔上的基板部分被吹起，基板在气孔之间的间隔缝隙部位也会产生向下的形变量，参见图3和图4所示。由于基板向下的形变，Glass Bar边缘很大的面积会和基板接触，当Clamp(夹具)向基板施加一个推力校正时，就会在Glass Bar的边缘产生一个很大的向下的摩擦力， Clamp推动基板会很费力。另外，不能使用一个很大的气压把基板完全吹起，否则由于基板形变量的不均勻，基板会飘移出Clamp所要校正的范围。并且，由于基板与Glass Bar都较光滑，如果基板与Glass Bar有接触面，会造成Glass Bar与基板之间有很大的粘附力，使得Clamp不能顺利把基板推动到正确的位置，造成设备的宕机，影响生产。以及，完全依靠气体将基板吹起，造成很大的气体消耗。目前采用的气体通常是CDA (干冷空气)，该气体需要专门的设备产生，对该设备的性能要求和损耗都比较大。
实用新型内容本实用新型实施例提供一种用于承载基板的玻璃条和平台装置，用于实现基板的承载，并便于对基板进行位置校正和减少气体的排出。一种用于承载基板的玻璃条，包括气孔和第一滚珠；第一滚珠为球体，位于气孔内，且第一滚珠的最大直径大于气孔的入气口直径和出气口直径。第一滚珠的最大直径小于气孔的最大直径。当气体将第一滚珠托起时，第一滚珠超出气孔的高度使基板不与玻璃条接触。玻璃条还包括位于气孔出口处的凹槽和多个第二滚珠；多个第二滚珠位于凹槽内；当气体将第一滚珠托起时，第一滚珠与第二滚珠接触。第二滚珠有多个，且布满凹槽。第一滚珠的材料为玻璃。气孔包括吹气孔和吸气孔。第一滚珠位于吹气孔内。一种平台装置，包括如前述的玻璃条。[0016]本实用新型实施例中在玻璃条的气孔中设置第一滚珠，向气孔吹气时，气体将第一滚珠托起，使第一滚珠顶起基板，减少基板与玻璃条直接的摩擦和粘附力。当Clamp推动基板时，第一滚珠随着基板的移动而滚动，使得Clamp可以轻松推动基板以校正位置，并第一滚珠与基板之间存在较小的摩擦，可防止基板漂移。
附图 说明图1为现有技术中基板在玻璃条间发生形变的示意图；图2A为现有技术中玻璃条的结构图；图2B为现有技术中气流的示意图；图3和图4为现有技术中基板在气孔间发生形变的示意图；图5为本实用新型实施例中玻璃条的结构图；图6为本实用新型实施例中气流的示意图；图7为本实用新型实施例中包括凹槽和第二滚珠的玻璃条的结构图。
具体实施方式
本实用新型实施例中在玻璃条的气孔中设置第一滚珠，向气孔吹气时，气体将第一滚珠托起，使第一滚珠顶起基板，减少基板与玻璃条直接的摩擦和粘附力。当Clamp推动基板时，第一滚珠随着基板的移动而滚动，使得Clamp可以轻松推动基板以校正位置，并第一滚珠与基板之间存在较小的摩擦，可防止基板漂移。参见图5，本实施例中玻璃条500包括气孔501和第一滚珠502。气孔501的横截面为圆形，可包括吹气孔5011和吸气孔5012，这样气体可以很方便的循环利用，减少损耗。玻璃条500可包括多个吹气孔5011和吸气孔5012，吹气孔5011 与吸气孔5012相间排列成直线。第一滚珠502为球体，位于气孔内，尤其是位于吹气孔5011内。且第一滚珠502 的最大直径d2大于气孔501的入气口直径和出气口直径dl。第一滚珠502的最大直径小于气孔501的最大直径d3。当不吹气时，第一滚珠502停留在气孔501内，当吹气时，第一滚珠502部分超出气孔501，但不完全脱离气孔501。较佳的，当气体将第一滚珠托起时，第一滚珠502超出气孔501的高度使基板不与玻璃条500接触。为了减少第一滚珠502与基板的摩擦，较佳的，第一滚珠502的材料为玻璃。在生产过程中，当基板放在玻璃条500上时，设备供气系统开始供气，气体通过玻璃条500上的圆形气孔501将第一滚珠502吹起。由于第一滚珠502吹起后会堵住气孔， 形成一个较密闭的空间，不会像原有的气孔那样，随着基板的高度气压会下降很大。所以同等气压下，本实施例中的玻璃条500会使得基板升起到一个更高的位置，减小了基板与玻璃条500的接触面积。并且，由于第一滚珠502升起时气孔501内会形成一个较密闭的空间，一定程度上减少了气体从气孔501出口的排出量，也就是减少了气体的使用量。另外， 由于有第一滚珠502的支撑，有一定的摩擦力，在气压较大的情况下，基板也不会因为自身的形变而飘出Clamp所要校正的范围。而现有技术中的Glass Bar完全是靠气体把基板吹起，由于玻璃形变量的不均勻，导致在气压较大的情况下，基板会漂出Clamp所要校正的范围。而第一滚珠502和基板之间的摩擦力属于滚动摩擦，不会太大，因此会节省Clamp推动基板校正时的力，节省能量。当基板被第一滚珠502顶起时，Clamp会推动基板到所要校正的位置。此时基板的形变会导致第一滚珠502受到一个侧推力，气体会从第一滚珠502 —面的缝隙加大吹出气压，促使第一滚珠502旋转，使Clamp推动更顺利。参见图6所示，吹气后，气体给第一滚珠502 —个向上的浮力F3，Clamp推动基板时，会给第一滚珠502 —个侧推力Fl。第一滚珠 502的一个侧面会加大吹出气压，给第一滚珠502 —个正方向推力F2，相应的另一个侧面出现一个反方向推力F4，则第一滚珠502发生旋转。当Clamp把基板校正后，供气系统关闭， 第一滚珠502通过自身重力或者靠真空系统提供的动力落下，基板放在玻璃条上。为了帮助第一滚珠502在吹气的情况下较好的旋转，减少摩擦，玻璃条500还包括位于气孔501出口处的凹槽503和多个第二滚珠504，参见图7所示。较佳的，凹槽503 位于吹气孔5011的出口处。多个第二滚珠504位于凹槽503内，最好是布满整个凹槽503。 当气体将第一滚珠502托起时，第一滚珠502与第二滚珠504接触，并一起滚动。由于第二滚珠504可随着第一滚珠502运动，减少了第一滚珠502与气孔边缘的摩擦，有助于第一滚珠502更好的旋转。本实施例中的玻璃条500可应用于承载基板的平台装置，较佳的，平台装置包括多个玻璃条500，多个玻璃条500并排放置。本实用新型实施例中在玻璃条的气孔中设置第一滚珠，向气孔吹气时，气体将第一滚珠托起，使第一滚珠顶起基板，减少基板与玻璃条直接的摩擦和粘附力。当Clamp推动基板时，第一滚珠随着基板的移动而滚动，使得Clamp可以轻松推动基板以校正位置，并第一滚珠与基板之间存在较小的摩擦，可防止基板漂移。本实用新型实施例中玻璃条还包括凹槽和第二滚珠，有助于第一滚珠的转动，减少摩擦。本实用新型实施例由于有第一滚珠， 因此用较少的气体便可托起基板，明显减少了气体的使用量。该气体可以是CDA(干冷空气)，在减少气体的同时，减少了生产该气体的设备的损耗，并且可以降低对该设备的性能要求，不需要较大的功率和生产能力。 显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种用于承载基板的玻璃条，包括气孔，其特征在于，还包括第一滚珠；第一滚珠为球体，位于气孔内，且第一滚珠的最大直径大于气孔的入气口直径和出气口直径。
2.如权利要求1所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，第一滚珠的最大直径小于气孔的最大直径。
3.如权利要求1所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，当气体将第一滚珠托起时，第一滚珠超出气孔的高度使基板不与玻璃条接触。
4.如权利要求1所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，还包括位于气孔出口处的凹槽和第二滚珠；第二滚珠位于凹槽内；当气体将第一滚珠托起时，第一滚珠与第二滚珠接触。
5.如权利要求4所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，第二滚珠有多个，且布满凹槽。
6.如权利要求1所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，第一滚珠的材料为玻璃。
7.如权利要求1所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，气孔包括吹气孔和吸气孔。
8.如权利要求7所述的用于承载基板的玻璃条，其特征在于，第一滚珠位于吹气孔内。
9.一种平台装置，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一项所述的玻璃条。
专利摘要本实用新型公开了一种用于承载基板的玻璃条，用于实现基板的承载，并便于对基板进行位置校正和减少气体的排出。所述玻璃条包括气孔和第一滚珠；第一滚珠为球体，位于气孔内，且第一滚珠的最大直径大于气孔的入气口直径和出气口直径。本实用新型还公开了包括所述玻璃条的平台装置。
文档编号H01L21/683GK202120884SQ20112024214
公开日2012年1月18日 申请日期2011年7月11日 优先权日2011年7月11日
发明者李景泉, 魏广伟, 黄雄天 申请人:北京京东方光电科技有限公司